JP5471439B2 - 半導体チップ及び半導体装置 - Google Patents
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Description
第1の信号伝送回路と第1の切替えスイッチが形成されたシリコン基板と、シリコン基板上に形成された配線層と、配線層上に形成された第1の容量性結合用上部電極とを有する半導体チップであって、シリコン基板を貫通する第1のビアホールを介してシリコン基板の裏面にも第1の容量性結合用下部電極が形成され、第1の容量性結合用上部電極は第1の信号伝送回路に直接接続され、第1の容量性結合用下部電極は第1のビアホールと第1の切替えスイッチとを介して第1の信号伝送回路に接続されている。
第1の信号伝送回路と第1の切替えスイッチが形成されたシリコン基板と、シリコン基上に形成された配線層と、配線層上に形成された第1の容量性結合用上部電極とを有する半導体チップを備えた半導体装置であって、シリコン基板を貫通する第1のビアホールを介してシリコン基板の裏面にも第1の容量性結合用下部電極が形成され、第1の容量性結合用上部電極は第1の信号伝送回路に直接接続され、第1の容量性結合用下部電極は第1のビアホールと第1の切替えスイッチとを介して第1の信号伝送回路に接続された半導体チップを備えている。
大きくなる。
2a、2b、2c 半導体チップ
3a、3b、3c シリコン基板
4a、4b、4c 配線層
5a、5b 接着層
6a、6b、6c、6d、6e、6f 送受信回路
7、7a、7b、7c、7d、11a、11b、11c、11d、12a、12b、12c、12d、12e、12f、12g、12h、7A、7B、7C、7D、7A1、7B1、7C1、7A2、7B2、7C2、17A、17B、17C スイッチ
8a、8b、8c、8d、8e、8f、8g、8h 電極パッド
9、9a、9b 貫通するビアホール
10 内部回路への端子
10A 接点
13A、13B、13C、13D、15A1、15B1、15C1、15A2、15B2、15C2 アンプ
14A、14B、14C、14D、16A1、16B1、16C1、16A2、16B2、16C2 スイッチ付きアンプ
18 送信バッファ
19 受信バッファ、サンプリングラッチ
図4は、図3における電極パッド部を拡大した図であり、第一の実施の形態の構成を示す。半導体チップ2a、2cは、シリコン基板3a、3cに少なくとも1つの送受信回路6a、6cが形成され、その上に形成されている配線層4a、4c中、もしくはその上に、電極パッド8a、8dが形成されている。一方、半導体チップ2bは、シリコン基板3bに少なくとも1つの送受信回路6bに加えスイッチ7が形成されている。また、配線層4b中、もしくはその上に電極パッド8bが形成され、シリコン基板3bを貫通するビアホール9を介してシリコン基板3bの裏面にも電極パッド8cが形成されている。
図6は、第二の実施の形態である。
することができるので、信号品質が向上する。
図8は、第三の実施の形態である。
図10は、第四の実施の形態である。
図12は、第五の実施の形態である。
図14は、第六の実施の形態の回路図である。第三の実施の形態と第五の実施の形態を組み合わせたものである。
複数のチップを積層し、チップ間でのデータ伝送を容量結合を介して送受信する場合、第一に送受信される信号が微分波形となること、第二に貫通ビアホールを信号が通過する際、貫通ビアホール部における寄生容量の影響を受け受信信号の強度が減衰すること、第三に第六の実施の形態などに示したようなスイッチ12a−hを介するため、スイッチ12a―hの抵抗により受信信号の強度が減衰するなどの課題がある。そこで、容量結合によるデータの送受信をアンプ素子を用いることで、これらの課題を解決する方法を図15により説明する。図15では、データ伝送の流れが上部電極から下部電極方向の片方向通信の場合を示している。
データの流れが上部電極から下部電極、下部電極から上部電極への双方向の場合であって、容量結合部分にアンプ素子を含む場合の動作を図17により説明する。
図18に示すように、第九の実施形態を示す。本実施形態では第八の実施の形態のアンプとスイッチ素子が分かれて配置されているのに代えてスイッチ付きアンプ素子を用いている。アンプとスイッチに分けていた機能をスイッチ付きのアンプ素子を用いている形態にしているため、動作は第八の実施形態と同様であるが、面積の低減や消費電力の低減といった効果がある。
本発明の第一の実施の形態の送受信回路の例を、図19の送受信回路図と図20のタイミングチャートを用いて説明する。
Claims (10)
- 第1の信号伝送回路と第1の切替えスイッチが形成されたシリコン基板と、該シリコン基板上に形成された配線層と、該配線層上に形成された第1の容量性結合用上部電極とを有する半導体チップであって、
前記シリコン基板を貫通する第1のビアホールを介して前記シリコン基板の裏面にも第1の容量性結合用下部電極が形成され、
前記第1の容量性結合用上部電極は前記第1の信号伝送回路に直接接続され、
前記第1の容量性結合用下部電極は前記第1のビアホールと前記第1の切替えスイッチとを介して前記第1の信号伝送回路に接続された半導体チップ。 - 前記シリコン基板に更に第4の切替えスイッチが形成され、
前記シリコン基板を貫通する第2のビアホールを介して前記シリコン基板の裏面にも第2の容量性結合用下部電極が形成され、
前記第2の容量性結合用下部電極は前記第2のビアホールと前記第4の切替えスイッチとを介して前記第1の信号伝送回路に接続された請求項1に記載の半導体チップ。 - 前記シリコン基板に更に第2の信号伝送回路と第5の切替えスイッチと第6の切替えスイッチとが形成され、
前記配線層に更に第2の容量性結合用上部電極が形成され、
前記第2の容量性結合用上部電極は前記第2の信号伝送回路に直接接続され、
前記第1の容量性結合用下部電極は前記第1のビアホールと前記第5の切替えスイッチとを介して前記第2の信号伝送回路に接続され、
前記第2の容量性結合用下部電極は前記第2のビアホールと前記第6の切替えスイッチとを介して前記第2の信号伝送回路に接続された請求項2に記載の半導体チップ。 - 前記切り換えスイッチに直列にアンプを接続した、請求項1から3のいずれか1つに記載の半導体チップ。
- 前記切り換えスイッチ及び前記アンプに代わり、スイッチ付きアンプを用いた、請求項4に記載の半導体チップ。
- 第1の信号伝送回路と第1の切替えスイッチが形成されたシリコン基板と、該シリコン基板上に形成された配線層と、該配線層上に形成された第1の容量性結合用上部電極とを有する半導体チップを備えた半導体装置であって、
前記シリコン基板を貫通する第1のビアホールを介して前記シリコン基板の裏面にも第1の容量性結合用下部電極が形成され、
前記第1の容量性結合用上部電極は前記第1の信号伝送回路に直接接続され、
前記第1の容量性結合用下部電極は前記第1のビアホールと前記第1の切替えスイッチとを介して前記第1の信号伝送回路に接続された半導体チップを備えた半導体装置。 - 前記シリコン基板に更に第4の切替えスイッチが形成され、
前記シリコン基板を貫通する第2のビアホールを介して前記シリコン基板の裏面にも第2の容量性結合用下部電極が形成され、
前記第2の容量性結合用下部電極は前記第2のビアホールと前記第4の切替えスイッチとを介して前記第1の信号伝送回路に接続された請求項6に記載の半導体装置。 - 前記シリコン基板に更に第2の信号伝送回路と第5の切替えスイッチと第6の切替えスイッチとが形成され、
前記配線層に更に第2の容量性結合用上部電極が形成され、
前記第2の容量性結合用上部電極は前記第2の信号伝送回路に直接接続され、
前記第1の容量性結合用下部電極は前記第1のビアホールと前記第5の切替えスイッチとを介して前記第2の信号伝送回路に接続され、
前記第2の容量性結合用下部電極は前記第2のビアホールと前記第6の切替えスイッチとを介して前記第2の信号伝送回路に接続された請求項7に記載の半導体装置。 - 前記切り換えスイッチに直列にアンプを接続した、請求項6から8のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記切り換えスイッチ及び前記アンプに代わり、スイッチ付きアンプを用いたことを特徴とする、請求項9に記載の半導体装置。
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