JP5467238B2 - 半導体の熱処理方法 - Google Patents
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Description
或いは、パルスレーザを用いて半導体薄膜を短時間溶融して固化結晶化する技術、および半導体表面に生じるリッジを抑制しながらレーザアニールを行なう技術が知られている。(例えば特許文献2参照)。
これらの結晶化技術は、大面積にわたって良質の多結晶シリコン膜を形成するのに用いられている方法である。
一方、例えば特許文献2に記載の技術のように半導体レーザ光を使用するという方法では、シリコン薄膜半導体表面での光反射によるエネルギー損失が大きいという問題がある。
さらに、先行技術として、カーボン層またはカーボンを含む層からなる光吸収による発熱層とし、この層をパルス的な光照射により加熱することにより、間接的にシリコン膜を加熱する方法が提案されている。しかし、この先行技術においては、上記の問題を解決する有力な手段ではあるが、極端に短時間のパルス光照射の場合、断熱的な反応により、アブレーションと呼ばれる、カーボンを含有する薄膜破壊により、却って熱伝達に支障をきたす場合がある。
この実施の形態においては、その被熱処理体1が、基体2例えばガラス基体上に被熱処理層3として例えばSi半導体層が形成されており、さらにその上にカーボンを主体とする光吸収層(発熱層ともいう、以下同じ。)4が形成されている。光吸収層4と被熱処理層3の間には、厚さ5nm〜100μmの伝熱層を介することができるが、この図1には示していない。伝熱層は、光吸収層4と被熱処理層3が高温下で反応性の高くなる組み合わせの場合、バリア層として機能させることができる。
なお、CWレーザのビーム掃引による短時間加熱は、ビーム掃引条件を適切に選ぶことにより、レーザ光の照射されていない隣接部への熱拡散効果のために、あまりに急激な加熱・冷却工程を避けることができるという点で、パルスレーザによる短時間加熱とは質的に異なるものといえる。特にエキシマレーザなどの100ns未満のパルス幅のパルスレーザを用いて被熱処理層3を1400℃以上に加熱しようとする場合は光吸収層4のアブレーションが起こりやすいという不都合が生じやすい。一方例えばガウシアン型の強度分布をもつCWレーザビームを掃引する場合、先行する強度の弱い裾野の部分から照射され、次に最高強度をもつ部分が照射され、次いで再び強度の弱い裾野の部分が照射される。即ち、100ns〜100msという短時間の範囲ながら、パルスレーザ照射と異なり、温度上昇、温度下降を容易に制御しやすいために、アブレーションなどの急加熱に伴う不都合が生じにくいという特徴がある。
また、用途に応じてビーム速度一定領域aの一部を選択的に遮光マスクで被覆して半導体レーザ光を照射することもできる。例えば、選択的に深いイオン注入を行った後の、活性化アニールなどの場合に適用することができる。
半導体層、不純物含有層の材質はこれらに限定されるものではないことは言うまでもない。
例えば、集光光学系と半導体レーザが一体化された光源ユニットを構成していてこれが、可動型XYZステージに搭載され、固定化された被熱処理体上にビーム掃引されるのでもよいし、光源であるレーザおよび比熱処理体は固定されていて、例えばガルバノミラーとfθレンズから構成されるビーム掃引光学系により、被熱処理体上に半導体レーザ光が掃引照射される方法を採用してもよい。また、レーザは固定されているが、半導体レーザ光が導入される光ファイバーおよび集光光学系が可動型XYZステージに搭載されていて、固定された被熱処理体に掃引照射される方法でもよい。その逆に、光源ユニットは固定されているが、被熱処理体がXYステージに搭載されるのであってもよい。
Claims (5)
- 波長600nm〜2μmの範囲の半導体レーザ光を、光エネルギーの吸収によって発熱するカーボン層または、カーボンを含む層からなる発熱層に照射してこの発熱層を発熱さ、この発熱層と直接または厚さ5nm〜100μmの伝熱層を介して接する半導体材料を熱処理する方法において、
前記半導体レーザ光を前記発熱層の同一箇所に、一回の掃引につき連続的に100ns〜100msの時間照射するとともに、
前記半導体レーザ光が該掃引照射する箇所に一部重なりを持つように繰り返し掃引照射し、
ビーム掃引エリアの掃引方向の折り返し点を含む減速領域を覆う遮光マスクを用いて前記半導体レーザ光の前記発熱層への照射を遮断し、前記半導体材料に前記半導体レーザ光の掃引照射を行う
ことを特徴とする半導体の熱処理方法。 - 微粒子状のカーボンを分散した溶液を前記半導体材料上にパターン塗布し、パターニングされた前記発熱層を形成し、前記半導体材料の一部の領域のみに熱処理を行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体の熱処理方法。
- 複数のビームからなる半導体レーザ光がビーム掃引方向と同一方向に配列されるとともに、これら複数のビームの光強度を異ならしめ、同一箇所を逐次異なる強度のレーザビームで照射することを特徴とする請求項1に記載の半導体の熱処理方法。
- 先に照射するビームの強度は後に照射するビームの強度よりも弱いことを特徴とする請求項3に記載の半導体の熱処理方法。
- 前記レーザ光を照射する時に、光エネルギーを吸収して発熱する前記発熱層の表面に不活性ガスを吹き付けることを特徴とする請求項1に記載の半導体の熱処理方法。
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