JP5442236B2 - 電子部品内蔵配線基板の製造方法、電子部品内蔵配線基板及び半導体装置 - Google Patents
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Description
先ず、ポスト24の付いたチップ20を作製し、このポスト付チップ25を基材27上に搭載する。
積層配線シート30は、例えば、本願の出願人が以前に提案したコアレス基板の製造技術(特開2007−158174号公報)を利用して作製することができる。その方法の一例は以下の通りである。
20,20a…チップ(内蔵される電子部品)、
21…電極パッド、
24,24a…ポスト(突起状端子)、
25,25a…ポスト付チップ、
27,27a,27b…(ポスト付チップを搭載する)基材、
28,28a…ポスト付チップ搭載基板(第1の構造体)、
30…積層配線シート(第2の構造体)、
31,34,41,44…配線層、
32,35…樹脂層(絶縁層)、
33,36,43…ビア、
40…樹脂シート(接着部材)、
42,45…ソルダレジスト層(保護膜/絶縁層)、
41P,44P…外部接続パッド、
60,60a…半導体装置、
61,66…外部チップ(表面実装される電子部品)、
TH…スルーホール、
VH,VH1…ビアホール。
Claims (8)
- 一方の面に突起状端子が形成された電子部品を用意し、該電子部品をフェイスアップの態様で基材上に搭載してなる第1の構造体を作製する工程と、
所要の層数で配線層を積層し、前記電子部品の突起状端子を挿通させるためのスルーホールを形成してなる第2の構造体を作製する工程と、
前記第1の構造体と前記第2の構造体との間に樹脂材を介在させ、前記第1の構造体の突起状端子と前記第2の構造体のスルーホールとを位置合わせし、前記突起状端子を前記樹脂材に貫通させて前記第1、第2の構造体を一体化させる工程と、
前記突起状端子の端面を前記第2の構造体から露出させる工程と、
前記突起状端子の端面に接続される配線層を形成する工程とを
を含み、
前記第1の構造体の前記基材と前記第2の構造体との間、前記第1の構造体の前記電子部品と前記第2の構造体との間、及び前記突起状端子と前記スルーホールの内壁との間に、前記樹脂材が一体的に充填されることを特徴とする電子部品内蔵配線基板の製造方法。 - 前記配線層を形成する工程の後に、
前記配線層及び前記第2の構造体上に、当該配線層のパッド部が露出するように絶縁層を形成する工程と、
前記基材上に、該基材及び前記樹脂材を順に貫通して前記第2の構造体の配線層に達するビアホールを形成する工程と、
前記ビアホールを導体で充填し、該導体に接続される配線層を形成する工程と、
該配線層及び前記基材上に、当該配線層のパッド部が露出するように絶縁層を形成する工程とを含むことを特徴とする請求項1に記載の電子部品内蔵配線基板の製造方法。 - 前記第1、第2の構造体を一体化させる工程において、位置合わせされ重ね合わされた前記第1の構造体、前記樹脂材及び前記第2の構造体を、1対のプレス熱盤間に配置して加熱・加圧処理により積層し、前記突起状端子の端面を前記第2の構造体の表面と同じ高さに露出させることを特徴とする請求項1に記載の電子部品内蔵配線基板の製造方法。
- 前記第2の構造体と一方のプレス熱盤との間に保護フィルムを介在させて加熱・加圧処理を行うことを特徴とする請求項3に記載の電子部品内蔵配線基板の製造方法。
- 前記第1の構造体を作製する工程において、前記電子部品を搭載する基材として、導電性材料からなるシート部材の一方の面に絶縁層が形成され、かつ、所要の箇所に所定の大きさで開口部が形成された2層構造の基材を使用し、
前記第1、第2の構造体を一体化させる工程において、前記2層構造の基材と他方のプレス熱盤との間にも保護フィルムを介在させて加熱・加圧処理を行うことを特徴とする請求項4に記載の電子部品内蔵配線基板の製造方法。 - 一方の面に突起状端子が設けられた電子部品がフェイスアップの態様で基材上に搭載された第1の構造体と、
配線層が積層されていると共に、スルーホールが設けられ、前記電子部品の突起状端子が前記スルーホールに挿通された第2の構造体と、
前記第1の構造体の前記基材と前記第2の構造体との間、前記第1の構造体の前記電子部品と前記第2の構造体との間、及び前記突起状端子と前記スルーホールとの内壁との間に一体的に充填された樹脂材と、
前記第2の構造体の上に形成され、前記突起状端子に接続された配線層と
を備え、
前記第2の構造体のスルーホールの開口端から前記突起状端子の端面と前記樹脂材の端面が露出していることを特徴とする電子部品内蔵配線基板。 - 一方の面に突起状端子が設けられた電子部品がフェイスアップの態様で基材上に搭載された第1の構造体と、
配線層が積層されていると共に、スルーホールが設けられ、前記電子部品の突起状端子が前記スルーホールに挿通された第2の構造体と、
前記第1の構造体の前記基材と前記第2の構造体との間、前記第1の構造体の前記電子部品と前記第2の構造体との間、及び前記突起状端子と前記スルーホールとの内壁との間に一体的に充填された樹脂材と、
前記第2の構造体の上に形成され、前記突起状端子に接続された配線層と
を備え、
前記第2の構造体のスルーホールの開口端から前記突起状端子の端面と前記樹脂材の端面が露出していることを含む電子部品内蔵配線基板と、
前記電子部品内蔵配線基板に表面実装された半導体素子と
を備えたことを特徴とする半導体装置。 - 一方の面に突起状端子が設けられた電子部品がフェイスアップの態様で基材上に搭載された第1の構造体と、
配線層が積層されていると共に、スルーホールが設けられ、前記電子部品の突起状端子が前記スルーホールに挿通された第2の構造体と、
前記第1の構造体の前記基材と前記第2の構造体との間、前記第1の構造体の前記電子部品と前記第2の構造体との間、及び前記突起状端子と前記スルーホールとの内壁との間に一体的に充填された樹脂材と、
前記第2の構造体の上に形成され、前記突起状端子に接続された配線層と
を備え、
前記第2の構造体のスルーホールの開口端から前記突起状端子の端面と前記樹脂材の端面が露出していることを含む電子部品内蔵配線基板と、
前記電子部品内蔵配線基板に表面実装された半導体素子と、
前記電子部品内蔵配線基板に表面実装された受動素子と
を備えたことを特徴とする半導体装置。
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