JP5434573B2 - Iii族窒化物系化合物半導体素子 - Google Patents
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HEMTにおいては、各層の界面がC面であると、InAlGaN層とn-型GaNとの界面に二次元電子ガス層を形成する場合、例えばInAlGaN層の分極がGaNのそれよりも大きい場合にヘテロ界面にて電子が溜まりやすく、ノーマリオフが実現できないなど所望のデバイス特性を得ることができない懸念がある。一方、例えばR面((1−102)面)を主面とするサファイア基板上に、いわゆる無極性のA面((11−20)面)を成長面とするIII族窒化物系化合物半導体を形成した場合には、分極電界はヘテロ界面に垂直には形成されないため、ノーマリオフ型のトランジスタが実現できたり、電子が分極電界の影響を受けずに走行できるので高速動作上有利となることが知られている。
また、発光素子では、MQW発光層(活性層)において、電子と正孔とが別々の層で量子化され閉じ込められる、いわゆるタイプII量子井戸活性層が提案されている。この際、無極性のA面((11−20)面)などの無極性面上にタイプII量子井戸活性層を作製することにより、活性層が分極の影響を受けずに、より高効率の発光を実現することが可能となるとされている。
そこで最近、GaN基板としてA面やM面を主面とするものが販売され、膜厚方向が無極性であるa軸やm軸であるIII族窒化物系化合物半導体を積層した素子が注目されている。
そこで本発明は、無極性面であるA面やM面、C面を主面とするGaN基板のN極性面、その他Ga極性であるC面以外の面を主面とするn型領域に、比較的低温の加熱で負電極を形成することを目的とする。
請求項3に係る発明は、請求項1、2の発明において、負電極が、少なくともチタン(Ti)又はバナジウム(V)を含む第1の金属層と、少なくともアルミニウム(Al)を含む第2の金属層とを順に蒸着した積層であることを特徴とする。
また、その特徴において、エッチング面は、ストライプ状の段差の側面で形成されること、エッチング面は、主面に垂直な面に対して傾斜した傾斜面の凹凸から成ることも記載されている。
更には、V/Alの二重層その他、Vを含む層とAlを含む層の金属多重層で負電極を形成する場合も同様である。
図2のIII族窒化物系化合物半導体発光素子200において、A面を主面とするn型GaN基板120に替えてM面を主面とするn型GaN基板を用いた場合も、各層の膜厚方向がm軸方向となるが、M面を主面とするn型GaN基板裏面に、段差の側面がC面であるストライプ状の段差をエッチングにより形成することで、負電極のアニーリングを500℃程度とすることができる。
尚、各傾斜面の傾斜角は揃えてもバラバラでも良い。この際、傾斜面としてはA面やM面が露出することは避けるべきである。更には、凹凸状の傾斜面121sに変えて、例えば45度のオフ角や、或いは10度以下のオフ角となるように、基板裏面全体を1枚の傾斜面としても良い。
図3のIII族窒化物系化合物半導体発光素子300において、C面を主面とするn型GaN基板121に替えてA面やM面を主面とするn型GaN基板を用いても良い。傾斜面としてはやはりA面やM面が露出することは避けるべきである。また、更には、凹凸状の傾斜面121sに変えて、例えば45度のオフ角や、或いは10度以下のオフ角となるように、基板裏面全体を1枚の傾斜面としても良い。
尚、各傾斜面の傾斜角は揃えてもバラバラでも良い。この際、傾斜面としてはA面やM面が露出することは避けるべきである。更には、凹凸状の傾斜面11s’に変えて、例えば45度のオフ角や、或いは10度以下のオフ角となるように、nコンタクト層11の露出面全体を1枚の傾斜面としても良い。
図4のIII族窒化物系化合物半導体発光素子400において、R面を主面とするサファイア基板に替えて他の異種基板を用いる場合、その基板の主面によっては、III族窒化物系化合物半導体のエピタキシャル成長方向がc軸方向でもa軸方向でも無い場合が存在することが知られている。そのような場合、負電極を形成する領域に形成すべき凹凸として、よりC面に近い面を形成する。この場合、エピタキシャル成長方向に平行な面で形成するよりも傾斜面とすることが好ましい場合があり得る。各傾斜面の傾斜角は揃えてもバラバラでも良い。尚、傾斜面としてはA面やM面が露出することは避けるべきである。
11:nコンタクト層
11s:エッチングにより形成された段差の側面
11s’:傾斜面から成る凹凸
110:静電耐圧改善層
12:nクラッド層
13:MQW発光層
14:pクラッド層
15:pコンタクト層
20:透光性電極
25:電極パッド
30:負電極
120:A面を主面とするn型GaN基板
120s:エッチングにより形成された段差の側面
121:C面を主面とするn型GaN基板
121s:エッチングにより形成された傾斜面から成る凹凸
Claims (3)
- III族窒化物系化合物半導体をエピタキシャル成長させることにより形成されたIII族窒化物系化合物半導体素子において、
負電極が形成されたn型領域は、
A面又はM面を主面とするn型のIII族窒化物系化合物半導体基板における前記主面に平行な、前記III族窒化物系化合物半導体基板の裏面上に、エッチングにより形成された少なくともIII族元素極性のC面であるエッチング面を有することを特徴とするIII族窒化物系化合物半導体素子。 - 前記エッチング面は、ストライプ状の段差の側面で形成されることを特徴とする請求項1に記載のIII族窒化物系化合物半導体素子。
- 前記負電極が、少なくともチタン(Ti)又はバナジウム(V)を含む第1の金属層と、少なくともアルミニウム(Al)を含む第2の金属層とを順に蒸着した積層であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のIII族窒化物系化合物半導体素子。
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