JP5393895B2 - 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 - Google Patents
半導体装置の製造方法及び基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5393895B2 JP5393895B2 JP2012531844A JP2012531844A JP5393895B2 JP 5393895 B2 JP5393895 B2 JP 5393895B2 JP 2012531844 A JP2012531844 A JP 2012531844A JP 2012531844 A JP2012531844 A JP 2012531844A JP 5393895 B2 JP5393895 B2 JP 5393895B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon
- nucleation
- substrate
- processing chamber
- containing gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/02—Pretreatment of the material to be coated
- C23C16/0227—Pretreatment of the material to be coated by cleaning or etching
- C23C16/0236—Pretreatment of the material to be coated by cleaning or etching by etching with a reactive gas
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02587—Structure
- H01L21/0259—Microstructure
- H01L21/02592—Microstructure amorphous
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/24—Deposition of silicon only
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45523—Pulsed gas flow or change of composition over time
- C23C16/45525—Atomic layer deposition [ALD]
- C23C16/45544—Atomic layer deposition [ALD] characterized by the apparatus
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/52—Controlling or regulating the coating process
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02441—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/0245—Silicon, silicon germanium, germanium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02524—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02532—Silicon, silicon germanium, germanium
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
Description
塩素含有ガスを基板上に供給することにより基板上の核の成長を抑制し、局所的なシリコン成長を制御する核成長抑制工程と、
シリコン含有ガスを基板上に供給することにより基板上のシリコン核を形成する核形成工程と、を有し、
前記核成長抑制工程と前記核形成工程とを1サイクルとし、2サイクル以上繰り返してシリコン膜を形成し、
前記核成長抑制工程にかかる時間は、前記核形成工程にかかる時間以下である半導体装置の製造方法が提供される。
基板を処理する処理室と、
前記処理室内に少なくとも塩素含有ガスを供給する塩素含有ガス供給系と、
前記処理室内に少なくともシリコン含有ガスを供給するシリコン含有ガス供給系と、
前記シリコン含有ガス供給系が前記処理室内に少なくとも前記シリコン含有ガスを供給し前記塩素含有ガス供給系が前記処理室内に前記塩素含有ガスを供給し前記核の成長を抑制する核成長抑制工程と、前記基板に核を形成する核形成工程とからなり、前記核成長抑制工程と前記核形成工程とを1サイクルとし、本サイクルを2サイクル以上繰り返し、前記核成長抑制工程にかかる時間は、前記核形成工程にかかる時間以下に設定されてシリコン膜を形成するように制御するコントローラと、
を有する基板処理装置が提供される。
本工程は、核(初期の基板上に存在する不純物、形成されるシリコン核など)の一部分の除去や成長の抑制をすることにより、局所的なシリコン成長を抑制する工程である。
上記のようにウエハ200上にシリコン核が形成された状態において、塩素含有ガスを所定の時間供給し、図4(b)に示すように、図4(a)にて形成されたシリコン核の成長を抑制し、また、一部のシリコン核をウエハ200上から離脱させて、シリコンの核の成長を制御する。
処理温度:300℃以上500℃以下、
処理圧力:10Pa以上1330Pa以下、
ジクロロシランガス供給流量:10sccm以上5000sccm以下、
が例示され、それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することで、ウエハ200上におけるシリコン核の成長を抑制できる。
本工程は、基板上にシリコン核を形成させる工程である。上述の核成長抑制工程と核形成工程とを1サイクルとし、本サイクルを2サイクル以上繰り返すことで、基板上にシリコン核を敷き詰めるように核を形成させることができる。
シリコン等で構成される基板としてのウエハ200に、例えばアモルファスシリコン(非晶質シリコン、amorphous silicon)膜を形成する膜形成工程について説明する。図4(a)に示すように、処理室201内に少なくともシリコン含有ガスを所定の時間供給し、ウエハ200上にシリコン核を形成させる。
処理温度:300℃以上500℃以下、
処理圧力:10Pa以上1330Pa以下、
ジシランガス供給流量:10sccm以上5000sccm以下、
が例示され、それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することでウエハ200上にシリコン核が形成される。
(1)膜厚の面内分布が良好なシリコン膜を形成することができる。
(2)(1)において、特に半導体製造工程に適用する際に、シリコンで構成される絶縁膜を均一に形成することができる。
(3)(1)において、核成長抑制工程にかかる時間は、核形成工程にかかる時間に対し、0.4倍以上1倍以下であることが好ましい。
(4)(1)において、特に高いアスペクト比(Aspect比)を有するトレンチ構造等に適用する際に、良好なステップカバレージ(Step Coverage)を得ることが出来る。
(5)良好な性能を有する半導体装置を安定して製造することができ、スループットを向上させることが出来る。
次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態は、第1実施形態の変形例であり、核成長抑制工程と核形成工程とを1サイクルとし、本サイクルを2サイクル以上繰り返した後、核成長工程を行う成膜方法である。詳細は以下に説明する。
上記のようにウエハ200上にシリコン核が形成された状態において、塩素含有ガスを所定の時間供給し、形成されたシリコンの核の成長を制御する。
処理温度:300℃以上500℃以下、
処理圧力:10Pa以上1330Pa以下、
ジクロロシランガス供給流量:10sccm以上5000sccm以下、
が例示され、それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することでウエハ200上に形成されたシリコンの核の成長を抑制できる。
シリコン等で構成される基板としてのウエハ200上に、例えば、アモルファスシリコン(非晶質シリコン、amorphous silicon)膜710を形成する膜形成工程について説明する。本工程では、処理室201内に少なくともシリコン含有ガスを所定の時間供給し、ウエハ200上にシリコンの核を形成させる。
処理温度:300℃以上500℃以下、
処理圧力:10Pa以上1330Pa以下、
ジシランガス供給流量:10sccm以上5000sccm以下、
が例示され、それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することでウエハ200上にシリコンの核が形成される。
核成長工程とは、核成長抑制工程と核形成工程を1サイクルとし、本サイクルを2サイクル以上行った後に、基板上に敷き詰められたシリコン核を成長させる工程である。
上記のようにウエハ200上に均一にシリコン核が形成された状態において、シリコン含有ガスを所定の時間供給し、形成されたシリコンの核を成長させて、シリコン膜を形成する。
処理温度:300℃以上500℃以下、
処理圧力:10Pa以上1330Pa以下、
シランガス供給流量:10sccm以上5000sccm以下、
が例示され、それぞれの処理条件を、それぞれの範囲内のある値で一定に維持することでウエハ200上に形成されたシリコン核が成長し、シリコン膜が形成される。
(1)シリコン核を効率良く成長させてシリコン膜を形成することができる。
(2)(1)において、原料ガスの消費を抑制することができる。
筐体 12
ポッド 16
ポッドステージ 18
ポッド搬送装置 20
ポッド棚 22
ポッドオープナ 24
基板枚数検知器 26
基板移載機 28
アーム 32
ボートエレベータ 115
昇降モータ 122
ウエハ 200
処理室 201
処理炉 202
プロセスチューブ 203
インナーチューブ 204
アウターチューブ 205
ヒータ 206
マニホールド 209
断熱板 216
ボート 217
シールキャップ 219
Oリング 220a、220b
ノズル 230a、230b、230c
排気管 231
ガス供給管 232
ガス流量制御部 235
圧力制御部 236
駆動制御部 237
温度制御部 238
主制御部 239
コントローラ 240
MFC(マスフローコントローラ) 241a、241b、241c
圧力調整装置 242
圧力センサ 245
真空排気装置 246
筒状空間 250
回転機構 254
回転軸 255
温度センサ 263
シリコン含有ガス供給源 300a
塩素含有ガス供給源 300b
不活性ガス供給源 300c
バルブ(開閉装置) 310a、310b、310c
Claims (4)
- 塩素含有ガスを処理室内の基板上に供給することにより前記基板上の核の成長を抑制し、局所的なシリコン成長を制御する核成長抑制工程と、
シリコン含有ガスを前記処理室内の前記基板上に供給することにより前記基板上のシリコン核を形成する核形成工程と、
前記核成長抑制工程と前記核形成工程との間に、前記処理室内を真空置換または窒素ガス置換する工程と、を有し、
少なくとも、前記核成長抑制工程と、前記真空置換または窒素ガス置換する工程と、前記核形成工程とを1サイクルとし、前記サイクルを2サイクル以上繰り返してシリコン膜を形成し、
前記核成長抑制工程と前記核形成工程とのそれぞれでは、前記処理室内の圧力を10Pa以上の処理圧力とし、前記核成長抑制工程にかかる時間は、前記核形成工程にかかる時間以下である半導体装置の製造方法。 - 基板を処理する処理室と、
前記処理室内に少なくとも塩素含有ガスを供給する塩素含有ガス供給系と、
前記処理室内に少なくともシリコン含有ガスを供給するシリコン含有ガス供給系と、
前記処理室内を排気する排気管に設けられた圧力調整装置と、
少なくとも、前記処理室内の基板上に前記塩素含有ガスを供給することにより前記基板上の核の成長を抑制し、局所的なシリコン成長を制御する核成長抑制工程と、前記処理室内の前記基板上に前記シリコン含有ガスを供給することにより前記基板上のシリコン核を形成する核形成工程と、前記核成長抑制工程と前記核形成工程との間に、前記処理室内を真空置換または窒素ガス置換する工程と、を1サイクルとし、前記サイクルを2サイクル以上繰り返してシリコン膜を形成し、前記核成長抑制工程と前記核形成工程とのそれぞれでは、前記処理室内の圧力を10Pa以上の処理圧力とし、前記核成長抑制工程にかかる時間は、前記核形成工程にかかる時間以下とするように、前記塩素含有ガス供給系、前記シリコン含有ガス供給系および前記圧力調整装置を制御するコントローラと、
を有する基板処理装置。 - 前記核成長抑制工程と前記核形成工程とのそれぞれは、前記基板の温度を500℃以下の処理温度とし、前記塩素含有ガスはジクロロシランガスである請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記核成長抑制工程にかかる時間は、前記核形成工程にかかる時間の0.4倍以上1倍である請求項1または3に記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012531844A JP5393895B2 (ja) | 2010-09-01 | 2011-08-26 | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010195662 | 2010-09-01 | ||
JP2010195662 | 2010-09-01 | ||
JP2012531844A JP5393895B2 (ja) | 2010-09-01 | 2011-08-26 | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 |
PCT/JP2011/069319 WO2012029661A1 (ja) | 2010-09-01 | 2011-08-26 | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012029661A1 JPWO2012029661A1 (ja) | 2013-10-28 |
JP5393895B2 true JP5393895B2 (ja) | 2014-01-22 |
Family
ID=45772751
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012531844A Active JP5393895B2 (ja) | 2010-09-01 | 2011-08-26 | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20130149846A1 (ja) |
JP (1) | JP5393895B2 (ja) |
WO (1) | WO2012029661A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8012859B1 (en) * | 2010-03-31 | 2011-09-06 | Tokyo Electron Limited | Atomic layer deposition of silicon and silicon-containing films |
JP5902073B2 (ja) * | 2012-09-25 | 2016-04-13 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法及び基板処理装置 |
JP6100854B2 (ja) * | 2014-11-19 | 2017-03-22 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、ガス供給システムおよびプログラム |
CN105609406B (zh) | 2014-11-19 | 2018-09-28 | 株式会社日立国际电气 | 半导体器件的制造方法、衬底处理装置、气体供给系统 |
JP6322131B2 (ja) * | 2014-12-24 | 2018-05-09 | 東京エレクトロン株式会社 | シリコン膜の成膜方法および成膜装置 |
JP6078604B2 (ja) * | 2015-09-24 | 2017-02-08 | 株式会社日立国際電気 | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置およびガス供給系 |
JP6594768B2 (ja) | 2015-12-25 | 2019-10-23 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、プログラムおよび記録媒体 |
JP6560991B2 (ja) | 2016-01-29 | 2019-08-14 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
JP6561001B2 (ja) * | 2016-03-09 | 2019-08-14 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、ガス供給系およびプログラム |
JP6546872B2 (ja) | 2016-04-07 | 2019-07-17 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
JP6585551B2 (ja) | 2016-06-15 | 2019-10-02 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
US20180102161A1 (en) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | Kilopass Technology, Inc. | Vertical Thyristor Memory Array and Memory Array Tile Therefor |
JP6777624B2 (ja) | 2017-12-28 | 2020-10-28 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム |
US10861727B2 (en) | 2018-03-13 | 2020-12-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Segmented vertical wafer boat |
JP7058575B2 (ja) | 2018-09-12 | 2022-04-22 | 株式会社Kokusai Electric | 半導体装置の製造方法、基板処理方法、基板処理装置、およびプログラム |
KR102138149B1 (ko) * | 2019-08-29 | 2020-07-27 | 솔브레인 주식회사 | 박막 형성용 성장 억제제, 이를 이용한 박막 형성 방법 및 이로부터 제조된 반도체 기판 |
KR102141547B1 (ko) * | 2019-09-25 | 2020-09-14 | 솔브레인 주식회사 | 박막 제조 방법 |
KR102156663B1 (ko) * | 2019-09-25 | 2020-09-21 | 솔브레인 주식회사 | 박막 제조 방법 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05267166A (ja) * | 1992-03-04 | 1993-10-15 | Nec Corp | シリコンエピタキシャル膜の選択成長方法及び成長装置 |
JP2005183514A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法 |
WO2007013464A1 (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2889810B2 (ja) | 1994-03-14 | 1999-05-10 | 三菱マテリアル株式会社 | ポリシリコン膜の研磨方法およびポリシリコン膜用研磨剤 |
KR100373853B1 (ko) * | 2000-08-11 | 2003-02-26 | 삼성전자주식회사 | 반도체소자의 선택적 에피택시얼 성장 방법 |
JP3952735B2 (ja) * | 2001-10-25 | 2007-08-01 | ソニー株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7560352B2 (en) * | 2004-12-01 | 2009-07-14 | Applied Materials, Inc. | Selective deposition |
US7438760B2 (en) * | 2005-02-04 | 2008-10-21 | Asm America, Inc. | Methods of making substitutionally carbon-doped crystalline Si-containing materials by chemical vapor deposition |
JP2007329200A (ja) * | 2006-06-06 | 2007-12-20 | Toshiba Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2008177419A (ja) * | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Nissin Electric Co Ltd | シリコン薄膜形成方法 |
US8012885B2 (en) * | 2007-04-02 | 2011-09-06 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | Manufacturing method of semiconductor device |
KR101028416B1 (ko) * | 2007-08-20 | 2011-04-13 | 재단법인서울대학교산학협력재단 | 박막 제조 방법 및 박막 제조 장치 |
JP5436101B2 (ja) * | 2008-09-05 | 2014-03-05 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
KR20110021654A (ko) * | 2009-08-25 | 2011-03-04 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 미결정 반도체막의 제조방법, 및 반도체장치의 제조방법 |
JP5514162B2 (ja) * | 2011-07-22 | 2014-06-04 | 東京エレクトロン株式会社 | アモルファスシリコン膜の成膜方法および成膜装置 |
-
2011
- 2011-08-26 JP JP2012531844A patent/JP5393895B2/ja active Active
- 2011-08-26 WO PCT/JP2011/069319 patent/WO2012029661A1/ja active Application Filing
-
2013
- 2013-02-04 US US13/758,334 patent/US20130149846A1/en not_active Abandoned
-
2015
- 2015-01-15 US US14/597,372 patent/US9666430B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05267166A (ja) * | 1992-03-04 | 1993-10-15 | Nec Corp | シリコンエピタキシャル膜の選択成長方法及び成長装置 |
JP2005183514A (ja) * | 2003-12-17 | 2005-07-07 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 半導体装置の製造方法 |
WO2007013464A1 (ja) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Hitachi Kokusai Electric Inc. | 半導体装置の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2012029661A1 (ja) | 2013-10-28 |
US20130149846A1 (en) | 2013-06-13 |
US20150126021A1 (en) | 2015-05-07 |
WO2012029661A1 (ja) | 2012-03-08 |
US9666430B2 (en) | 2017-05-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5393895B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | |
JP5495847B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置および基板処理方法 | |
JP5564311B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及び基板の製造方法 | |
JP2010010513A (ja) | 基板処理方法及び基板処理装置 | |
KR100996689B1 (ko) | 반도체장치의 제조방법, 막생성방법 및 기판처리장치 | |
JP5235142B2 (ja) | 半導体装置の製造方法及び基板処理装置 | |
US20230170215A1 (en) | Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, recording medium and method of processing substrate | |
JP2012186275A (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
KR20200030451A (ko) | 반도체 장치의 제조 방법, 기판 처리 장치 및 프로그램 | |
US20220178019A1 (en) | Method of processing substrate, method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and recording medium | |
JP7101204B2 (ja) | 半導体装置の製造方法、プログラム、基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2012195355A (ja) | 基板処理装置及び基板の製造方法 | |
JP7440480B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、およびプログラム | |
WO2022176155A1 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置、およびプログラム | |
JP2017220526A (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置及びプログラム | |
KR20220138808A (ko) | 실리콘막의 성막 방법 및 성막 장치 | |
JP2014123616A (ja) | 基板処理装置 | |
WO2019035258A1 (ja) | 半導体装置の製造方法、基板処理装置およびプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131008 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131015 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5393895 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |