JP5378424B2 - 配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法 - Google Patents

配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法に関する。
裏面電極型太陽電池セルと配線シートとが接続された太陽電池モジュールを開示した先行文献として、特許文献１および２がある。特許文献１および２に記載された太陽電池モジュールにおいては、配線シートに形成された配線パターン上に裏面電極型太陽電池セルの電極パターンが重なり合うように配置される。この際の裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの位置合わせのために、特許文献２に記載された太陽電池モジュールの製造方法においては、配線シートに設けたスリットパターンを用いている。
特開２００５−３４０３６２号公報 特開２００９−８８１４５号公報
裏面電極型太陽電池セルの裏面電極が微細化されて電極同士間のピッチが狭くなるに伴って、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの位置合わせに高い精度が求められてきている。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、太陽電池セルの裏面電極と配線シートの配線との位置合わせ精度を向上できる、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法を提供することを目的とする。
本発明に基づく裏面電極型太陽電池セルは、半導体基板の一方の面側に形成された複数の電極からなる電極パターンの外周より内側の内部領域にアライメントマークを有する。
好ましくは、アライメントマークは、内部領域において複数の電極が位置しないスペースに位置する。
本発明の一形態においては、電極は、直線状に延在する電極ラインを含む。上記スペースは、複数の電極ラインのうちの少なくとも１つの電極ラインにおける電極ラインの延在方向の一方の端部が、他の電極ラインにおける一方の端部より延在方向において内側に位置することにより形成されている。
本発明の一形態においては、電極は、直線状に延在する電極ラインを含む。上記スペースは、複数の電極ラインのうちの少なくとも１つの電極ラインがこの電極ラインの延在方向に分離して配置されることによるこの電極ライン間の隙間である。
本発明の一形態においては、電極は、直線状に延在する電極ラインを含む。アライメントマークは、複数の電極ラインにおいて互いに隣り合う電極ライン同士の間に位置する。
好ましくは、アライメントマークは、複数の電極と同じ材料で形成されている。
本発明に基づく配線シートは、複数の裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線を備える配線シートである。配線は、同じ形状を有する複数の同形状部と同形状部とは異なる形状を有する少なくとも１つの異形状部とを備える。
本発明の一形態においては、配線は、電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含む。第１配線および第２配線のそれぞれは、複数の櫛歯形状部とこの複数の櫛歯形状部を接続する接続配線部とを含む。第１配線および第２配線の少なくとも一方は、同形状部と異形状部とを含む。異形状部は、複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも１つの櫛歯形状部が、同形状部である他の櫛歯形状部よりも短いことにより形成される。
本発明の一形態においては、配線は、電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含む。第１配線および第２配線のそれぞれは、複数の櫛歯形状部とこの複数の櫛歯形状部を接続する接続配線部とを含む。第１配線および第２配線の少なくとも一方は、同形状部と異形状部とを含む。異形状部は、配線が開口部を有することにより形成される。
本発明の一形態においては、配線は、電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含む。第１配線および第２配線のそれぞれは、複数の櫛歯形状部とこの複数の櫛歯形状部を接続する接続配線部とを含む。第１配線および第２配線の少なくとも一方は、同形状部と異形状部とを含む。異形状部は、複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも１つが、隣り合う櫛歯形状部同士の間の間隔が部分的に広がるような形状を有することにより形成される。
本発明に基づく配線シート付き太陽電池セルは、上記のいずれかに記載の裏面電極型太陽電池セルと上記のいずれかに記載の配線シートとを備える。少なくとも１つのアライメントマークが、異形状部により規定されるアライメントターゲット領域と重なって配置されている。
本発明の一形態においては、裏面電極型太陽電池セルが複数のアライメントマークを有する。
本発明の一形態においては、複数のアライメントマークのうちの少なくとも２つのアライメントマークがアライメントターゲット領域と重なって配置されている。
本発明の一形態においては、複数のアライメントマークのうちの少なくとも１つのアライメントマークが配線と重なって配置されている。
本発明の一形態においては、裏面電極型太陽電池セルがアライメントマークを少なくとも３つ有する。少なくとも２つのアライメントマークがアライメントターゲット領域と重なって配置されている。少なくとも１つのアライメントマークが配線と重なって配置されている。
本発明に基づく太陽電池モジュールは、上記のいずれかに記載の配線シート付太陽電池セルを有する。
本発明に基づく配線シート付き太陽電池セルの製造方法は、半導体基板の一方の面側に形成された複数の電極からなる電極パターンの外周より内側の内部領域にアライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セルを準備する工程を備える。また、配線シート付き太陽電池セルの製造方法は、裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線シートであって、同じ形状を有する複数の同形状部とこの同形状部とは異なる形状を有する少なくとも１つの異形状部とを有する配線を含む配線シートを準備する工程を備える。さらに、配線シート付き太陽電池セルの製造方法は、裏面電極型太陽電池セルのアライメントマークと配線シートの異形状部により規定されるアライメントターゲット領域とを重ね合わせて配置することにより、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを位置合わせする工程を備える。
好ましくは、上記の位置合わせする工程において、複数のアライメントマークとアライメントターゲット領域とを重ね合わせて配置する。
本発明の一形態においては、上記の位置合わせする工程において、少なくとも１つのアライメントマークと配線とを重ね合わせて配置する。
本発明の一形態においては、上記の位置合わせする工程において、裏面電極型太陽電池セルを透過する光を照射してアライメントマークとアライメントターゲット領域とを確認しつつ裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせることにより、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを位置合わせする。
本発明の一形態においては、上記の位置合わせする工程において、裏面電極型太陽電池セルの電極を反射する光を照射してアライメントマークとアライメントターゲット領域とを確認しつつ裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせることにより、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを位置合わせする。
本発明によれば、裏面電極型太陽電池セルの裏面電極と配線シートの配線との位置合わせ精度を向上できる。また、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの発電効率を向上することができる。
本発明の実施形態１に係る配線シート付き太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。 裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの配置関係を示す斜視図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢印方向から見た断面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 配線シート付き太陽電池セルを封止する前の状態を示す断面図である。 配線シート付き太陽電池セルを封止して太陽電池モジュールを形成した状態を示す断面図である。 本発明の実施形態２に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 本発明の実施形態３に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 同実施形態において裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせる状態を示す斜視図である。 本発明の実施形態４に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 本発明の実施形態５に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 本発明の実施形態６に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 本発明の実施形態７に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 本発明の実施形態８に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 本発明の実施形態９に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 本発明の実施形態１０に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 本発明の実施形態１１に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 本発明の実施形態１２に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。 本発明の実施形態１３に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。 同実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。 同実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。
以下、本発明の実施形態に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。以下の実施形態の説明においては、図中の同一または相当部分には同一符号を付して、その説明は繰り返さない。
＜実施形態１＞
（配線シート付き太陽電池セル）
図１は、本発明の実施形態１に係る配線シート付き太陽電池セルを受光面側から見た平面図である。図１に示すように、配線シート付き太陽電池セル１００は、絶縁性基材１１の表面上に設けられた配線材１６によって複数の裏面電極型太陽電池セル２０が電気的に接続されることにより構成される。
絶縁性基材１１の表面上に配線材１６が設けられることにより配線シートが構成される。配線シートには、裏面電極型太陽電池セル２０を配置するための複数のセル配置部が行方向および列方向にマトリクス状に配列されている。
図１に示すように、配線シート付き太陽電池セル１００においては、複数の裏面電極型太陽電池セル２０は、配線シート１０の絶縁性基材１１上においてサーペンタイン状に配置されて電気的に直列に接続されている。ただし、裏面電極型太陽電池セル２０の電気的接続形態はこのような形態に限られず、並列接続、直列接続および並列接続の組み合わせも含まれる。
図２は、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの配置関係を示す斜視図である。なお、図２においては、図１に示す配線シート付き太陽電池セル１００の一部のみ示している。
図２に示すように、配線シート１０の配線材１６は、第１導電型用の第１配線１２および第２導電型用の第２配線１３を構成する。櫛形状の第１配線１２の櫛歯部分と櫛形状の第２配線１３の櫛歯部分とが１本ずつ交互に噛み合わさるように、第１配線１２および第２配線１３がそれぞれ配置されている。その結果、櫛形状の第１配線１２の櫛歯部分と櫛形状の第２配線１３の櫛歯部分とはそれぞれ１本ずつ交互に所定の間隔を空けて配置されている。
配線シート１０の絶縁性基材１１上においては、１つの裏面電極型太陽電池セルに対応する第１配線１２および第２配線１３とを含むセル配置部１９が並んで配置されている。配線シート１０上に裏面電極型太陽電池セル２０が設置されることによって、配線シート付き太陽電池セル１００が作製される。
図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線矢印方向から見た断面図である。なお、図３においては、配線シート付き太陽電池セル１００に含まれない後述する観測装置１５も図示している。
図３に示すように、裏面電極型太陽電池セル２０は、ｎ型またはｐ型の導電型を有するシリコン基板などの半導体基板２１と、裏面電極型太陽電池セル２０の受光面となる半導体基板２１の凹凸形状を有する表面上に形成された反射防止膜２７と、裏面電極型太陽電池セル２０の裏面となる半導体基板２１の裏面に形成されたパッシベーション膜２６とを有している。
半導体基板２１の裏面には、第１導電型不純物が拡散して形成された第１導電型不純物拡散領域２２と、第２導電型不純物が拡散して形成された第２導電型不純物拡散領域２３とが、所定の間隔を空けて交互に形成されている。
また、半導体基板２１の裏面のパッシベーション膜２６に設けられたコンタクトホールを通して第１導電型不純物拡散領域２２に接する第１導電型用電極２４および第２導電型不純物拡散領域２３に接する第２導電型用電極２５が、それぞれ半導体基板２１の裏面に設けられている。
第１導電型拡散不純物および第２導電型拡散不純物として、導電型がｎ型の場合はリンなどを用いることができ、導電型がｐ型の場合はボロンなどを用いることができる。
上記の構成により、第１導電型不純物拡散領域２２または第２導電型不純物拡散領域２３と半導体基板２１内部との界面において複数のｐｎ接合が形成されることになる。なお、近接する第１導電型不純物拡散領域２２と第２導電型不純物拡散領域２３との接触によりｐｎ接合が形成されてもよい。
半導体基板２１がｎ型およびｐ型のいずれの導電型を有している場合においても、第１導電型不純物拡散領域２２および第２導電型不純物拡散領域２３はそれぞれ半導体基板２１内部と接合している。そのため、第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５はそれぞれ半導体基板２１の裏面に形成された複数のｐｎ接合にそれぞれ対応する電極となる。
裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５の両方または一方の少なくとも一部の表面に、たとえば、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、錫（Ｓｎ）、ＳｎＰｂ半田、およびＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる群から選択された少なくとも１種を含む電気導電性物質を被覆してもよい。
この場合、配線シート１０の配線材１６と裏面電極型太陽電池セル２０の被覆した電極との電気的接続を良好なものとし、裏面電極型太陽電池セル２０の電極の耐候性を向上させることができる。
裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５の両方または一方の少なくとも一部の表面に、黒化処理などの表面処理を施してもよい。
半導体基板２１としては、ｎ型またはｐ型の導電型を有する多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどからなるシリコン基板などを用いることができる。
第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５としてはそれぞれ、銀などの金属からなる電極を用いることができる。
パッシベーション膜２６としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または、酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができる。
反射防止膜２７としては、窒化シリコン膜などを用いることができる。
なお、本発明における裏面電極型太陽電池セルの概念には、上述した半導体基板２１の裏面のみに第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５の双方が形成された構成のものだけでなく、半導体基板に設けられた貫通孔に電極の一部を配置した構成の太陽電池セルであるＭＷＴ（Metal Wrap Through）セルなどのいわゆるバックコンタクト型太陽電池セルのすべてが含まれる。
図３に示すように、裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４は、配線シート１０の第１配線１２と電気的に接続される。裏面電極型太陽電池セル２０の第２導電型用電極２５は、配線シート１０の第２配線１３と電気的に接続される。
裏面電極型太陽電池セル２０の電極パターンと配線シート１０の配線パターンとは、電気的に良好に接続される必要がある。そのため、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを接続する際の電極パターンと配線パターンとの位置合わせ（アライメント）精度が高いことが望まれる。
本発明は、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせ精度を向上するために、裏面電極型太陽電池セルにアライメントマークを設け、配線シートの配線に異形状部を設けている。位置合わせの方法としては、図３に示すように、観測装置１５を用いて矢印Ａまたは矢印Ｂに示す方向からアライメントマークを確認しつつ、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との相対的な位置を調節する。以下に、本実施形態に係るアライメントマークについて説明する。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図４は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図４においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図４に示すように、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマークは、裏面電極型太陽電池セル２０を構成する半導体基板２１の一方の面側に形成された複数の電極からなる電極パターンの外周より内側の内部領域に形成される。図４においては、内部領域の境界線を点線で示している。
内部領域とは、１つの裏面電極型太陽電池セル２０において、複数の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５からなる電極パターンに含まれる全ての電極を包含する、内角が１８０°以下の１つの多角形からなる領域である。したがって、電極の端部を連続して結ぶ線が局部的に凹んでいる場合、内部領域の境界線の一部は、その凹んでいる部分の両端を結ぶ線で構成される。
たとえば、図４に示す実施形態においては、アライメントマーク２５ａまたはアライメントマーク２５ｂが設けられる列の第２導電型用電極２５が他の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５より短く形成されている。この場合、内部領域は、短く形成された第２導電型用電極２５に関わらず、他の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５によって規定される（図４における点線で示す領域）。
本実施形態においては、図４に示すように、短く形成された第２導電型用電極２５の先端近傍に円形の点状のアライメントマーク２５ａ，２５ｂが形成されている。すなわち、アライメントマーク２５ａ，２５ｂは、内部領域において上記複数の電極が位置しないスペースに位置している。
具体的には、電極パターンは、直線状に延在する複数の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５が並列に並ぶ複数の電極ラインを含む。上記スペースは、複数の電極ラインのうちの少なくとも１つの電極ラインにおける電極の延在方向の一方の端部が、他の電極ラインにおける一方の端部より上記延在方向において内側に位置することにより形成されている。
本実施形態においては、電極ラインの延長線上にアライメントマーク２５ａ，２５ｂが形成されているが、アライメントマーク２５ａ，２５ｂは互いに隣接する電極ライン間に形成されていてもよい。
仮に、内部領域の外側にアライメントマークを形成した場合、内部領域の外側である、電極が配置されない領域の面積が大きくなり、発電された電力の収集効率が低下するため、単位面積当たりの太陽電池セルの発電効率が低下する。
本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、アライメントマーク２５ａ，２５ｂを内部領域に形成しているため、上記の電力を取り出せない領域を大きくすることなく裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを可能にしている。
列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とは、同じ電極パターンを有している。
列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０に形成されたアライメントマーク２５ａと、列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０に形成されたアライメントマーク２５ｂとは、どちらかの裏面電極型太陽電池セル２０を図４の紙面内において１８０°回転させて各々の第１導電型用電極２４のパターン同士と第２導電型用電極２５のパターン同士とを重ね合わせた際に、重なるように配置されている。したがって、列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０としては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０を紙面内において１８０°回転させることにより配置可能となる。
アライメントマーク２５ａ，２５ｂは、複数の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５と同じ材料で形成されている。
この場合、第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５とアライメントマーク２５ａ，２５ｂとを１工程で形成することができる。たとえば、フォトリソグラフィー法またはスクリーン印刷法などを用いて第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５とアライメントマーク２５ａ，２５ｂとを同一の工程で作製することにより、互いの位置関係の精度を向上することができる。このようにする場合、アライメントマーク２５ａ，２５ｂの幅は、電極ラインの幅と同程度であることが好ましい。これにより、電極形成の工程をほとんど変更することなく、アライメントマーク２５ａ，２５ｂを形成することが可能となる。
なお、アライメントマーク２５ａ，２５ｂの位置は図４に示す位置に限られず、たとえば、裏面電極型太陽電池セル２０内において最も外側に配置された電極ラインの延長線上の内部領域に形成されていてもよい。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図５は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図５においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
図５に示すように、配線シート１０は、複数の裏面電極型太陽電池セル２０を電気的に接続するための配線を備える。配線は、同じ形状を有する複数の同形状部とこの同形状部とは異なる形状を有する少なくとも１つの異形状部とを備える。
配線は、互いに電気的に絶縁された、第１導電型用電極２４を接続するための第１配線１２と、第２導電型用電極２５を接続するための第２配線１３とを含む。第１配線１２および第２配線１３のそれぞれは、複数の櫛歯形状部１７ａと複数の櫛歯形状部１７ａを接続する接続配線部１７ｂとを含む。
第１配線１２および第２配線１３の少なくとも一方は、同形状部と異形状部とを含む。本実施形態においては、第２配線１３が異形状部１３ａを含む。異形状部１３ａは、複数の櫛歯形状部１７ａのうちの少なくとも１つの櫛歯形状部１７ａが、同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも短いことにより形成されている。
図５に示すように、本実施形態においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における中央に位置する第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。異形状部１３aによりアライメントターゲット領域１８が規定される。アライメントターゲット領域１８は、たとえば本実施形態のように、絶縁性基材１１上に配線材１６が配置されていない配線不存在領域としてもよい。
列Ｌ1に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８と、列Ｌ2に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８とは、どちらかの配線シート１０を図５の紙面内において１８０°回転させて各々の第１配線１２のパターン同士と第２配線１３のパターン同士とを重ね合わせた際に、重なるように配置されている。
配線シート１０の絶縁性基材１１の材質としては、電気絶縁性の材質であれば特に限定されず、たとえば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ：polyethylene terephthalate）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ：polyethylene naphthalate）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ：polyphenylene sulfide）、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ：polyvinyl fluoride）およびポリイミド（polyimide）からなる群から選択される少なくとも１種の樹脂を含む材質を用いることができる。
絶縁性基材１１の厚さは特に限定されず、たとえば、１０μｍ以上２００μｍ以下である。絶縁性基材１１は、単層構造を有してもよく、２層以上からなる積層構造を有してもよい。
配線材１６の材質としては、電気導電性の材質のものであれば特に限定されず、たとえば、銅、アルミニウムおよび銀からなる群から選択された少なくとも１種を含む金属などを用いることができる。
第１配線１２および第２配線１３の厚さの各々の厚さは特に限定されず、たとえば、５μｍ以上７５μｍ以下である。第１配線１２および第２配線１３のパターン形状は、同形状部および異形状部を有する限り、上述した形状に限定されず、適宜設定することができる。
第１配線１２および第２配線１３の両方または一方の少なくとも一部の表面に、たとえば、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、錫（Ｓｎ）、ＳｎＰｂ半田、およびＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる群から選択された少なくとも１種を含む電気導電性物質を被覆してもよい。
この場合、被覆した配線シート１０の配線材１６と裏面電極型太陽電池セル２０の電極との電気的接続を良好なものとし、第１配線１２および第２配線１３の耐候性を向上させることができる。
第１配線１２および第２配線１３の両方または一方の少なくとも一部の表面に、たとえば、黒化処理などの表面処理を施してもよい。第１配線１２および第２配線１３は、単層構造を有してもよく、２層以上からなる積層構造を有してもよい。
配線シート１０の製造方法としては、たとえば、ＰＥＴフィルムなどの絶縁性基材１１を用意する。その絶縁性基材１１の一方の表面の全面に、金属箔または金属プレートなどの電気導電性物質を貼り合わせる。
次に、絶縁性基材１１の表面に貼り合わされた電気導電性物質の一部をフォトエッチングなどにより除去して電気導電性物質をパターニングして、第１配線１２および第２配線１３を形成する。
なお、アライメントターゲット領域１８を配線不存在領域とする場合には、絶縁性基材１１と配線材１６とにおける、特定の波長の透過率の比が１０倍以上異なることが好ましい。これによって、後述する裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせ工程において、アライメントターゲット領域１８を精度よく認識することが可能となる。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図６は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図６においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図６に示すように、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａ，２５ｂと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態においては、異形状部１３aは、同形状部である他の第１配線１２および第２配線１３より短く形成されているため、異形状部１３ａの先端近傍にアライメントターゲット領域１８となる配線不存在領域が規定されている。
裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせは、図３に示すように、観測装置１５を用いて矢印Ａで示す方向または矢印Ｂで示す方向から、裏面電極型太陽電池セル２０および配線シート１０を観測しながら行なう。
矢印Ａで示す方向から観測する場合には、裏面電極型太陽電池セル２０側から、裏面電極型太陽電池セル２０を透過する光を照射してアライメントマーク２５ａ，２５ｂとアライメントターゲット領域１８とを確認しつつ裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを重ね合わせることにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
または、配線シート１０側から、裏面電極型太陽電池セル２０を反射する光を照射してアライメントマーク２５ａ，２５ｂとアライメントターゲット領域１８とを確認しつつ裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを重ね合わせることにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
矢印Ｂで示す方向から観測する場合には、配線シート１０側から、裏面電極型太陽電池セル２０を透過する光を照射してアライメントマーク２５ａ，２５ｂとアライメントターゲット領域１８とを確認しつつ裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを重ね合わせることにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
裏面電極型太陽電池セル２０を透過する光としては、Ｘ線、ＩＲ(infrared)光などを用いることができる。裏面電極型太陽電池セル２０を反射する光としては、ＬＥＤ(Light Emitting Diode)およびハロゲンランプから発光される光を用いることができる。
具体的には、アライメントマーク２５ａ，２５ｂを、アライメントターゲット領域１８かつ異形状部１３aの延長線上に配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。本実施形態においては、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置の誤差を５０μｍ以下とすることができる。
このように位置合わせされた状態で、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とが接合されることにより配線シート付き太陽電池セルが形成される。
なお、アライメントターゲット領域１８を配線不存在領域とする場合には、位置合わせ工程においてアライメントマークとアライメントターゲットとを観測するために照射する光は、絶縁性基材１１と配線材１６との透過率の比が１０倍以上異なる波長の光を含むことが好ましい。
そして、裏面電極型太陽電池セル２０を透過する光を照射してアライメントマークを確認する場合には、アライメントマーク２５ａ，２５ｂとその周辺の半導体基板２１との透過率の比が１０倍以上異なる波長の光を含む光を照射することが好ましい。または、裏面電極型太陽電池セル２０を反射する光を照射してアライメントマークを確認する場合には、アライメントマーク２５ａ，２５ｂとその周辺の半導体基板２１との反射率の比が５倍以上異なる波長の光を含む光を照射することが好ましい。これによって、アライメントマーク２５ａ，２５ｂとアライメントターゲット領域１８とをともに精度よく認識することが可能となる。
（太陽電池モジュール）
図７は、配線シート付き太陽電池セルを封止する前の状態を示す断面図である。図８は、配線シート付き太陽電池セルを封止して太陽電池モジュールを形成した状態を示す断面図である。
図７に示すように、裏面保護シート３２と透明基板３３との間に配線シート付き太陽電池セルを配置する。配線シート付き太陽電池セルの裏面電極型太陽電池セル２０と透明基板３３との間に、第１透明樹脂３１ａを配置する。配線シート付き太陽電池セルの配線シート１０と裏面保護シート３２との間に、第２透明樹脂３１ｂを配置する。
裏面保護シート３２と透明基板３３とを挟み込むように押圧した状態で加熱処理を行なう。その結果、図８に示すように、第１透明樹脂３１ａと第２透明樹脂３１ｂとは、軟化して一体化した後、硬化して封止材３１となる。配線シート付き太陽電池セルが、封止材３１中に封止されることにより、太陽電池モジュールが形成される。
第１透明樹脂３１ａと第２透明樹脂３１ｂとが硬化して封止材３１となる際には、収縮力が発生する。その収縮力により裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とは強く圧着される。
そのため、裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４と配線シート１０の第１配線１２と接合が強化される。同様に、裏面電極型太陽電池セル２０の第２導電型用電極２５と配線シート１０の第２配線１３との接合が強化される。その結果、裏面電極型太陽電池セル２０の電極と配線シート１０の配線とが、電気的に良好に接続される。
上記のように、配線シート付き太陽電池セルを封止材３１中に封止するための押圧および加熱処理は、たとえば、ラミネータと呼ばれる真空圧着および加熱処理を行なう装置などを用いて行なわれる。なお、真空圧着とは、大気圧よりも減圧した雰囲気下で圧着させる処理のことである。
真空圧着を行なうことにより、封止材３１中に気泡が残留することを抑制することができる。また、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との間の接合面内における圧着力の均一化を図ることができる。
透明基板３３としては、太陽光に対して透明な基板であれば特に限定されず、たとえば、ガラス基板などを用いることができる。
第１透明樹脂３１ａおよび第２透明樹脂３１ｂの材料は、太陽光に対して透明な樹脂であれば特に限定されない。第１透明樹脂３１ａおよび第２透明樹脂３１ｂの各々の材料は、同一種類の透明樹脂でもよいし、異なる種類の透明樹脂でもよい。
配線シート付き太陽電池セルを封止材３１中に封止する際の加熱処理の温度は、第１透明樹脂３１ａおよび第２透明樹脂３１ｂの融点により適宜決定される。
裏面電極型太陽電池セル２０の電極と配線シート１０の配線との接合をより強固にするために、たとえば、非導電性ペースト（ＮＣＰ(Non Conductive Paste)）および異方性導電ペースト（ＡＣＰ(Anisotropic Conductive Paste)）などの接着剤、または、半田などを用いてもよい。
ＮＣＰを用いる場合、アライメントマーク２５ａ，２５ｂの観測を妨げないように、アライメントマーク２５ａ，２５ｂの位置に、ＮＣＰを塗布しないようにするか、もしくは位置合わせ工程に使用する照射光に対する透過率が高いことが好ましい。ＡＣＰまたは半田を用いる場合には、裏面電極型太陽電池セル２０の電極および配線シート１０の配線の少なくとも一方にＡＣＰまたは半田が塗布されることが好ましい。
裏面保護シート３２としては、封止材３１の裏面を保護することができるものであれば特に限定されず、たとえば、ＰＥＴなどの耐候性フィルムを用いることができる。
封止材３１中への水蒸気および酸素の透過を十分に抑制して、太陽電池モジュールの長期的な信頼性を確保するために、裏面保護シート３２は、たとえば、アルミニウムなどの金属フィルムを含んでいてもよい。
太陽電池モジュールの端面などの裏面保護シート３２を封止材３１に密着させることが難しい部分には、たとえば、ブチルゴムテープなどの水分透過防止テープを用いて裏面保護シート３２と封止材３１とを完全に密着させるようにしてもよい。
太陽電池モジュールは、たとえば、アルミニウム合金などからなるフレームが周囲を取り囲むように取り付けられていてもよい。
配線シート、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールはそれぞれ上記の構成に限定されず、様々な構成をとることができる。たとえば、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａ，２５ｂが第１導電型用電極２４の延長線上に設けられ、配線シート１０の異形状部が第１配線１２に備えられていてもよい。また、アライメントマーク２５ａ，２５ｂの形状は、円形の点状に限られず、たとえば、四角形または三角形の点状であってもよい。
本実施形態の配線シート付き太陽電池セルにおいては、アライメントマーク２５ａ，２５ｂは配線と重ならないように配置されているが、アライメントマーク２５ａ，２５ｂの一部が配線と重なるように配置されてもよい。この場合、配線と接合されるアライメントマーク２５ａ，２５ｂの一部から電力を取り出すことができるので、配線シート付き太陽電池セルの発電効率を向上させることができる。
１つの裏面電極型太陽電池セル２０に１つのアライメントマークを設けた態様について説明したが、１つの裏面電極型太陽電池セル２０に複数のアライメントマークを設けてもよい。この場合、配線シート１０の配線は、複数のアライメントマークに対応するように異形状部を備えることが好ましい。
上記の構成により、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。また、正確な位置に裏面電極型太陽電池セル２０を配置することにより配線シート付き太陽電池セルの充填率を向上させて、単位面積当たりの太陽電池モジュールの発電効率を向上することができる。
以下、本発明の実施形態２に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態２＞
本実施形態は、異形状部の構成のみ実施形態１と異なるため、上記実施形態１と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図９は、本発明の実施形態２に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図９においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図９に示すように、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セル２０は、実施形態１に係る裏面電極型太陽電池セル２０と同様の電極パターンおよびアライメントマーク２５ａ，２５ｂを有する。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図１０は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図１０においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
図１０に示すように、本実施形態に係る配線シート１０においては、第１配線１２および第２配線１３の両方が異形状部を含む。第２配線１３の異形状部１３ａは、実施形態１と同様である。
第１配線１２の異形状部１２ｂは、複数の櫛歯形状部１７ａのうちの少なくとも１つが、隣り合う櫛歯形状部１７ａ同士の間の間隔が部分的に広がるような形状を有することにより形成されている。
本実施形態においては、第２配線１３の異形状部１３ａの両隣に形成された第１配線１２の櫛歯形状部１７ａが異形状部１２ｂとなる。異形状部１２ｂでは、異形状部１３ａの先端近傍の位置において、異形状部１３ａに面する側の第１配線１２の櫛歯形状部１７ａの側部が湾曲または屈曲している曲部１８ｂを有している。異形状部１２ｂは、曲部１８ｂを有することにより、その櫛歯形状部１７ａが同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも部分的に細くなることにより形成されている。
ただし、異形状部１２ｂは上記の構成に限られず、曲部１８ｂを有することにより、その櫛歯形状部１７ａの幅は変化せずに櫛歯形状部１７ａが部分的に湾曲または屈曲しているものでもよい。この場合、曲部１８ｂが形成された櫛歯形状部１７ａの側部とは反対側の側部に、曲部１８ｂと平行な部分が形成されている。
異形状部１２ｂおよび異形状部１３ａにより、アライメントターゲット領域１８が規定されている。
列Ｌ1に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８と、列Ｌ2に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８とは、どちらかの配線シート１０を図１０の紙面内において１８０°回転させて各々の第１配線１２のパターン同士と第２配線１３のパターン同士とを重ね合わせた際に、重なるように配置されている。
この構成により、配線パターンおよびアライメントターゲット領域１８に対応した電極パターンおよびアライメントマーク２５ａ，２５ｂを有する１種類の裏面電極型太陽電池セル２０を、列Ｌ1および列Ｌ2の両方に共通に配置することができるため好ましい。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図１１は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図１１においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図１１に示すように、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａ，２５ｂと配線シート１０の異形状部１２ｂ，１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態においては、異形状部１３ａは、同形状部である他の第１配線１２および第２配線１３より短く形成されている。異形状部１２ｂは、同形状部である他の第１配線１２および第２配線１３より一部が細く形成されている。その結果、異形状部１３ａの先端近傍で２つの異形状部１２ｂに挟まれたアライメントターゲット領域１８となる配線不存在領域が規定されている。
異形状部１３ａの先端に加えて、異形状部１２ｂの曲部１８ｂを基準にして、アライメントマーク２５ａ，２５ｂとアライメントターゲット領域１８とを重ね合わせることにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを高精度に位置合わせすることができる。
また、異形状部１２ｂの曲部１８ｂによって、アライメントターゲット領域１８の幅が部分的に広くなっているため、アライメントマーク２５ａ，２５ｂの幅をその分大きくすることができる。その場合、アライメントマーク２５ａ，２５ｂの視認性を向上することができる。
１つの裏面電極型太陽電池セル２０に１つのアライメントマークを設けた態様について説明したが、１つの裏面電極型太陽電池セル２０に複数のアライメントマークを設けてもよい。この場合、配線シート１０の配線は、複数のアライメントマークに対応するように異形状部を備えることが好ましい。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
本実施形態は、他の実施の形態と組み合わせて適用することができる。すなわち、他の実施形態においても、本実施形態のように曲部などの異形状部が形成された櫛歯形状部によってアライメントターゲット領域１８を規定することもできる。
以下、本発明の実施形態３に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態３＞
本実施形態は、異形状部の構成のみ実施形態１および２と異なるため、上記実施形態１または２と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図１２は、本発明の実施形態３に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図１２においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図１２に示すように、本発明の実施形態３に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。
具体的には、列Ｌ1および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０の各々において、第２導電型用電極２５が短く形成されている。短く形成された第２導電型用電極２５の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２５ａが形成されている。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図１３は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図１３においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
図１３に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、実施形態２の配線シート１０と同様に、２つの異形状部１２ｂおよび異形状部１３ａにより、アライメントターゲット領域１８が規定されている。
列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、第２配線１３が異形状部１３ｃを含む。異形状部１３ｃは、第２配線１３が矩形状の開口部１８ｃを有することにより形成されている。
図１３に示すように、本実施形態においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における中央に位置する第２配線１３の櫛歯形状部１７ａに開口部１８ｃが形成されている。異形状部１３ｃによりアライメントターゲット領域１８が規定される。
なお、開口部１８ｃの形状は矩形状に限られず、円形および多角形などでもよい。また、開口部１８ｃは、その周囲が電極パターンと重なることで異形状部１３ｃを配線として機能させつつ、アライメントマーク２５ａを観測できる形状であればよい。したがって、開口部１８ｃは、図１３に示すように配線の幅方向の中央に形成された場合に限られず、配線の幅方向の端部に偏って形成されていてもよい。必ずしも開口部１８ｃの周囲の全周が配線に囲まれていなくてもよく、すなわち、開口部１８ｃの一部が開放していてもよい。
さらに、開口部１８ｃは、接続配線部１７ｂに形成されてもよく、また、櫛歯形状部１７ａと接続配線部１７ｂとにまたがって配置されていてもよい。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図１４は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図１４においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図１４に示すように、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１２ｂ，１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とを重ね合わせて配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
また、列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１３ｃにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態においては、異形状部１３ｃは、配線が開口部１８ｃを有することにより形成されている。そのため、異形状部１３ｃにおいては、開口部１８ｃの周囲を通じて櫛歯形状部１７ａと接続配線部１７ｂとを接続することができる。その結果、配線シート付き太陽電池セルの発電効率の低下を抑制しつつ、アライメントターゲット領域１８を形成することができる。
図１５は、本実施形態において裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせる状態を示す斜視図である。図１５においては、各裏面電極型太陽電池セル２０において、アライメントマーク２５ａが配置されている側に向いた矢印を図示している。
本実施形態の裏面電極型太陽電池セル２０においては、上述の通り、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。そして、隣り合う列Ｌ1と列Ｌ2とに裏面電極型太陽電池セル２０を配置する際に、どちらかの列に配置される裏面電極型太陽電池セル２０を紙面内において１８０°回転させることなく両方の列に配置している。したがって、裏面電極型太陽電池セル２０を配線シート１０に配置する際に、隣り合う列に配置される裏面電極型太陽電池セル２０の向きを一方向に保つことができる。
そのため、図１５に示すように、配置される列に関わらず全ての裏面電極型太陽電池セル２０を、アライメントマーク２５ａが矢印で示す先端側に位置する状態で配線シート１０上に配置することが可能である。よって、部品管理が容易となり、また、製造工程が削減されることによって、製造効率の向上が図れる。
１つの裏面電極型太陽電池セル２０に１つのアライメントマークを設けた態様について説明したが、１つの裏面電極型太陽電池セル２０に複数のアライメントマークを設けてもよい。この場合、配線シート１０の配線は、複数のアライメントマークに対応するように異形状部を備えることが好ましい。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
以下、本発明の実施形態４に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態４＞
本実施形態は、アライメントマークの位置および異形状部の構成のみ実施形態１から３と異なるため、上記実施形態１から３と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図１６は、本発明の実施形態４に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図１６においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図１６に示すように、本発明の実施形態４に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。
具体的には、複数の電極ラインのうちの少なくとも１つの電極ラインで電極の延在方向において電極が分離して位置することによる電極間の隙間のスペースに、アライメントマーク２５ｃが形成されている。
図１６に示すように、本実施形態においては、電極の並ぶ方向における中央に位置する第２導電型用電極２５が、第２導電型用電極２５の延在方向において分離して位置する。分離した第２導電型用電極２５同士間の隙間に、円形の点状のアライメントマーク２５ｃが形成されている。アライメントマーク２５ｃは、裏面電極型太陽電池セル２０の裏面の略中心の位置に形成されている。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図１７は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図１７においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
図１７に示すように、列Ｌ1および列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、第２配線１３が異形状部１３ｃを含む。異形状部１３ｃは、第２配線１３が矩形状の開口部１８ｃを有することにより形成されている。
本実施形態においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における中央に位置する第２配線１３の櫛歯形状部１７ａに開口部１８ｃが形成されている。開口部１８ｃは、櫛歯形状部１７ａの延在方向において櫛歯形状部１７ａの中央に形成されている。異形状部１３ｃによりアライメントターゲット領域１８が規定される。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図１８は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図１８においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図１８に示すように、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ｃと配線シート１０の異形状部１３ｃにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態の裏面電極型太陽電池セル２０においては、上述の通り、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。また、アライメントマーク２５ｃが裏面電極型太陽電池セル２０の裏面の中央に位置している。
そのため、配置される列に関わらず全ての裏面電極型太陽電池セル２０の向きを一方向に保って、配線シート１０上に配置することが可能である。よって、部品管理が容易となり、また、裏面電極型太陽電池セル２０を回転する工程が削減されることによって、製造効率の向上が図れる。
１つの裏面電極型太陽電池セル２０に１つのアライメントマークを設けた態様について説明したが、１つの裏面電極型太陽電池セル２０に複数のアライメントマークを設けてもよい。この場合、配線シート１０の配線は、複数のアライメントマークに対応するように異形状部を備えることが好ましい。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
以下、本発明の実施形態５に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態５＞
本実施形態は、アライメントマークの位置および異形状部の構成のみ実施形態１と異なるため、上記実施形態１と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図１９は、本発明の実施形態５に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図１９においては、図１に示す列Ｌ1、列Ｌ1 ’、列Ｌ2および列Ｌ2 ’部分の一部について図示している。
図１９に示すように、本発明の実施形態５に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、列Ｌ1 ’に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。また、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2 ’に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。
具体的には、複数の電極ラインにおいて互いに隣り合う電極ライン同士の間の位置に、アライメントマーク２８，２９が形成されている。
図１９に示すように、列Ｌ1 ’および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０においては、左から２番目に配置された第１導電型用電極２４と３番目に配置された第２導電型用電極２５との間の位置にアライメントマーク２８が形成されている。アライメントマーク２８は、内部領域に形成されている。アライメントマーク２８は、電極の延在方向において電極の一方の端部近傍に形成されていてもよい。
列Ｌ1および列Ｌ2 ’に配置される裏面電極型太陽電池セル２０においては、右から２番目に配置された第１導電型用電極２４と３番目に配置された第２導電型用電極２５との間の位置にアライメントマーク２９が形成されている。アライメントマーク２９は、内部領域に形成されている。アライメントマーク２９は、電極の延在方向において電極の他方の端部近傍に形成されていてもよい。
列Ｌ1および列Ｌ2 ’に配置される裏面電極型太陽電池セル２０に形成されたアライメントマーク２９と、列Ｌ1 ’および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０に形成されたアライメントマーク２８とは、どちらかの裏面電極型太陽電池セル２０を図１９の紙面内において１８０°回転させて各々の第１導電型用電極２４のパターン同士と第２導電型用電極２５のパターン同士とを重ね合わせた際に、重なるように配置されている。したがって、列Ｌ1および列Ｌ2’に配置される裏面電極型太陽電池セル２０としては、列Ｌ1’および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０を紙面内において１８０°回転させることにより配置可能となる。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図２０は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図２０においては、図１に示す列Ｌ1、列Ｌ1 ’、列Ｌ2および列Ｌ2 ’部分の一部について図示している。
図２０に示すように、本実施形態に係る配線シート１０においては、第１配線１２および第２配線１３の両方が異形状部を含む。
異形状部は、複数の櫛歯形状部１７ａのうち、隣り合う少なくとも１組の櫛歯形状部１７ａ同士の間の間隔が部分的に広がるような形状を有することにより形成されている。
本実施形態においては、列Ｌ1および列Ｌ2 ’に配置される配線シート１０においては、右から２番目に形成された第１配線１２の櫛歯形状部１７ａが異形状部１２ｄとなる。また、右から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが異形状部１３ｄとなる。
本実施形態においては、列Ｌ1 ’および列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、左から２番目に形成された第１配線１２の櫛歯形状部１７ａが異形状部１２ｄとなる。また、左から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが異形状部１３ｄとなる。
異形状部１２ｄと異形状部１３ｄとは、互いに対向するように形成されている。異形状部１２ｄおよび異形状部１３ｄのそれぞれは、互いに対向する側の櫛歯形状部１７ａの側部が湾曲または屈曲している曲部１８ｄを有して、その櫛歯形状部１７ａが同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも部分的に細くなることにより形成されている。
ただし、異形状部１２ｄおよび異形状部１３ｄは上記の構成に限られず、曲部１８ｄを有することにより、その櫛歯形状部１７ａの幅は変化せずに櫛歯形状部１７ａが部分的に湾曲または屈曲しているものでもよい。この場合、曲部１８ｄが形成された櫛歯形状部１７ａの側部とは反対側の側部に、曲部１８ｄと平行な部分が形成されている。
２つの異形状部１２ｄおよび異形状部１３ｄにより、アライメントターゲット領域１８が規定されている。
列Ｌ1および列Ｌ2 ’に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８と、列Ｌ1 ’および列Ｌ2に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８とは、どちらかの配線シート１０を図２０の紙面内において１８０°回転させて各々の第１配線１２のパターン同士と第２配線１３のパターン同士とを重ね合わせた際に、重なるように配置されている。
この構成により、配線パターンおよびアライメントターゲット領域１８に対応した電極パターンおよびアライメントマーク２５ａ，２５ｂを有する１種類の裏面電極型太陽電池セル２０を、列Ｌ1、列Ｌ1 ’、列Ｌ2および列Ｌ2 ’の全てに共通に配置することができるため好ましい。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図２１は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図２１においては、図１に示す列Ｌ1、列Ｌ1 ’、列Ｌ2および列Ｌ2 ’部分の一部について図示している。
図２１に示すように、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２８，２９と配線シート１０の異形状部１２ｄ，１３ｄにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態においては、異形状部１２ｄおよび異形状部１３ｄは、同形状部である他の第１配線１２および第２配線１３より一部が細く形成されている。その結果、２つの異形状部１２ｄおよび異形状部１３ｄに挟まれたアライメントターゲット領域１８となる配線不存在領域が規定されている。
本実施形態においては、異形状部１２ｄおよび異形状部１３ｄの曲部１８ｄを基準にして、アライメントマーク２８，２９とアライメントターゲット領域１８とを重ね合わせることにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを高精度に位置合わせすることができる。
本実施形態においては、アライメントターゲット領域１８を規定するために実施形態１の裏面電極型太陽電池セル２０のように電極ラインの一部を短くする必要がない。そのため、配線シート付き太陽電池セルの発電効率を向上することができる。
１つの裏面電極型太陽電池セル２０に１つのアライメントマークを設けた態様について説明したが、１つの裏面電極型太陽電池セル２０に複数のアライメントマークを設けてもよい。この場合、配線シート１０の配線は、複数のアライメントマークに対応するように異形状部を備えることが好ましい。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
以下、本発明の実施形態６に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態６＞
本実施形態は、アライメントマークおよび異形状部の数のみ実施形態１と異なるため、上記実施形態１と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図２２は、本発明の実施形態６に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図２２においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図２２に示すように、本実施形態においては、電極の並ぶ方向において左から３番目および右から３番目に配置された第２導電型用電極２５が他の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５より短く形成されている。
短く形成された第２導電型用電極２５の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２５ａが形成されている。すなわち、アライメントマーク２５ａは、内部領域において電極が位置しないスペースに位置している。
列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０においては、複数のアライメントマーク２５ａは、電極の延在方向において電極の一方の端部近傍に形成されている。列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０においては、複数のアライメントマーク２５ｂは、電極の延在方向において電極の他方の端部近傍に形成されている。
列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０に形成されたアライメントマーク２５ａと、列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０に形成されたアライメントマーク２５ｂとは、どちらかの裏面電極型太陽電池セル２０を図２２の紙面内において１８０°回転させて各々の第１導電型用電極２４のパターン同士と第２導電型用電極２５のパターン同士とを重ね合わせた際に、重なるように配置されている。したがって、列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０としては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０を紙面内において１８０°回転させることにより配置可能となる。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図２３は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図２３においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
本実施形態においては、第２配線１３が異形状部１３ａを含む。異形状部１３ａは、複数の櫛歯形状部１７ａのうちの複数の櫛歯形状部１７ａが、同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも短いことにより形成されている。
図２３に示すように、列Ｌ1および列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における左から３番目および右から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。異形状部１３aによりアライメントターゲット領域１８が規定される。
列Ｌ1に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８と、列Ｌ2に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８とは、どちらかの配線シート１０を図２３の紙面内において１８０°回転させて各々の第１配線１２のパターン同士と第２配線１３のパターン同士とを重ね合わせた際に、重なるように配置されている。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図２４は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図２４においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図２４に示すように、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａ，２５ｂと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態においては、１つの裏面電極型太陽電池セル２０につき２つのアライメントマーク２５ａを設けているため、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０の上下左右方向の位置合わせだけでなく、回転方向に対しても精度良く位置合わせすることができる。
よって、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
以下、本発明の実施形態７に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態７＞
本実施形態は、アライメントマークの位置、異形状部の数および位置のみ実施形態６と異なるため、上記実施形態６と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図２５は、本発明の実施形態７に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図２５においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図２５に示すように、本発明の実施形態７に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。
具体的には、列Ｌ1および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０の各々において、右から２番目に配置された第１導電型用電極２４および左から３番目に配置された第２導電型用電極２５が短く形成されている。短く形成された第１導電型用電極２４の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２４ａが形成されている。短く形成された第２導電型用電極２５の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２５ａが形成されている。このように、本実施形態においては、２つのアライメントマーク２４ａ，２５ａがそれぞれ導電型の異なる電極ラインの延在方向の延長上に形成されている。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図２６は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図２６においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
本実施形態においては、第１配線１２および第２配線１３が、それぞれ異形状部１２ａおよび異形状部１３ａを含む。異形状部１２ａ，１３ａは、複数の櫛歯形状部１７ａのうちの少なくとも１つの櫛歯形状部１７ａが、同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも短いことにより形成されている。
図２６に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における左から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。また、列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における右から２番目に形成された第１配線１２の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。
列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、異形状部１３ａによりアライメントターゲット領域１８が規定されている。列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、異形状部１２ａにより、アライメントターゲット領域１８が規定されている。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図２７は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図２７においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図２７に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、第１配線１２の櫛歯形状部１７ａとアライメントマーク２４ａとが重なるように配置する。
列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２４ａと配線シート１０の異形状部１２aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、第２配線１３の櫛歯形状部１７ａとアライメントマーク２５ａとが重なるように配置する。
このように、複数のアライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル２０を用いて、少なくとも１つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置し、少なくとも１つのアライメントマークが配線と重なるように配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
具体的には、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０を透過する光を図３中の矢印Ａで示す方向から観測して、アライメントマーク２５ａとアライメントターゲット領域１８とが重なり、かつ、第１配線１２の櫛歯形状部１７ａとアライメントマーク２４ａとが重なるように、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０を透過する光を図３中の矢印Ａで示す方向から観測して、アライメントマーク２４ａとアライメントターゲット領域１８とが重なり、かつ、第２配線１３の櫛歯形状部１７ａとアライメントマーク２５ａとが重なるように、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
このように、２つのアライメントマーク２４ａ，２５ａを用いることにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを高精度に位置合わせすることができる。アライメントマーク２４ａの形状とアライメントマーク２５ａの形状とが異なるなどによってアライメントマーク２４ａとアライメントマーク２５ａとが識別可能となるようにした場合、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０のそれぞれの位置合わせにおいて、アライメントマーク２４ａ，２５ａをそれぞれ識別しつつ高精度に位置合わせを行なうことができる。
なお、少なくとも１つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置すること、および、少なくとも１つのアライメントマークが配線と重なるように配置することのいずれか一方を行なうことにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせするようにしてもよい。
本実施形態の裏面電極型太陽電池セル２０においては、上述の通り、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。そして、隣り合う列Ｌ1と列Ｌ2とに裏面電極型太陽電池セル２０を配置する際に、どちらかの列に配置される裏面電極型太陽電池セル２０を紙面内において１８０°回転させることなく両方の列に配置している。したがって、裏面電極型太陽電池セル２０を配線シート１０に配置する際に、隣り合う列に配置される裏面電極型太陽電池セル２０の向きを一方向に保つことができる。
そのため、図１５に示すように、配置される列に関わらず全ての裏面電極型太陽電池セル２０を、アライメントマーク２４ａ，２５ａが矢印で示す先端側に位置する状態で配線シート１０上に配置することが可能である。よって、部品管理が容易となり、また、製造工程が削減されることによって、製造効率の向上が図れる。
本実施形態においては、さらにアライメントマーク２４ａとアライメントマーク２５ａとを個別に識別可能にできるため、たとえばアライメントマーク２４ａとアライメントマーク２５ａとがそれぞれ異なる導電型の電極ラインの延長上に位置していれば、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせのときに、裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４が、対応する配線シートの第１配線１２に適切に接続されるように位置合わせされており、裏面電極型太陽電池セル２０の第２導電型用電極２５が、対応する配線シートの第２配線１３に適切に接続されるように位置合わせされていることを確認することができるため、意図せぬアライメントミスによって不良製品ができてしまうことを確実に防止できる。
本実施形態においては、アライメントマークおよび異形状部は１つの配線シート付き太陽電池セルについて各２つ設けられているが、アライメントマークおよび異形状部の数はこれに限られるものではない。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
以下、本発明の実施形態８に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態８＞
本実施形態は、異形状部の構成のみ実施形態７と異なるため、上記実施形態７と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図２８は、本発明の実施形態８に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。図２８に示すように、本発明の実施形態８に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セル２０は、実施形態７の裏面電極型太陽電池セル２０と同一の電極パターンを有している。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図２９は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図２９においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
本実施形態においては、第１配線１２が異形状部１２ａ，１２ｃを含む。第２配線１３が異形状部１３ａ，１３ｃを含む。異形状部１２ａ，１３ａは、複数の櫛歯形状部１７ａのうちの少なくとも１つの櫛歯形状部１７ａが、同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも短いことにより形成されている。
図２９に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における左から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。また、列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における右から２番目に形成された第１配線１２の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。
異形状部１２ｃ，１３ｃは、第１配線１２および第２配線１３が矩形状の開口部１８ｃを有することにより形成されている。列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、開口部１８ｃは、右から２番目に形成された第１配線１２の櫛歯形状部１７ａに形成されている。列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、開口部１８ｃは、左から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａに形成されている。ただし、開口部１８ｃは、接続配線部１７ｂに形成されてもよく、または、櫛歯形状部１７ａと接続配線部１７ｂとにまたがって形成されていてもよい。
列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、異形状部１２ｃおよび異形状部１３ａによりそれぞれアライメントターゲット領域１８が規定されている。列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、異形状部１２ａおよび異形状部１３ｃによりそれぞれアライメントターゲット領域１８が規定されている。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図３０は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図３０においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図３０に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２４ａと配線シート１０の異形状部１２ｃにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。
列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２４ａと配線シート１０の異形状部１２aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１３ｃにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。
このように、複数のアライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル２０を用いて、少なくとも２つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態においては、１つの裏面電極型太陽電池セル２０につき２つのアライメントマーク２４ａ，２５ａを設けているため、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０の上下左右方向の位置合わせだけでなく、回転方向に対しても精度良く位置合わせすることができる。
本実施形態においては、アライメントマーク２４ａおよびアライメントマーク２５ａの両方が各裏面電極型太陽電池セル２０において識別可能となるため、たとえばアライメントマーク２４ａとアライメントマーク２５ａとがそれぞれ異なる導電型の電極ラインの延長上に位置していれば、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせのときに、裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４が、対応する配線シートの第１配線１２に適切に接続されるように位置合わせされており、裏面電極型太陽電池セル２０の第２導電型用電極２５が、対応する配線シートの第２配線１３に適切に接続されるように位置合わせされていることを確認することができるため、意図せぬアライメントミスによって不良製品ができてしまうことを確実に防止できる。
本実施形態においては、アライメントマークおよび異形状部は１つの配線シート付き太陽電池セルについて各２つ設けられているが、アライメントマークおよび異形状部の数はこれに限られるものではない。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
以下、本発明の実施形態９に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態９＞
本実施形態は、アライメントマークの位置、異形状部の数および位置のみ実施形態６と異なるため、上記実施形態６と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図３１は、本発明の実施形態９に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図３１においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図３１に示すように、本発明の実施形態９に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。
本実施形態においては、電極の並ぶ方向において左から３番目および右から３番目に配置された第２導電型用電極２５が他の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５より短く形成されている。短く形成された第２導電型用電極２５の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２５ａ，２５ｂが形成されている。
アライメントマーク２５ａは、電極の延在方向において電極の一方の端部近傍に形成され、アライメントマーク２５ｂは、電極の他方の端部近傍に形成されている。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図３２は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図３２においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
本実施形態においては、第２配線１３が異形状部１３ａを含む。異形状部１３ａは、複数の櫛歯形状部１７ａのうちの複数の櫛歯形状部１７ａが、同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも短いことにより形成されている。
図３２に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における左から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における右から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。これらの異形状部１３aによりアライメントターゲット領域１８が規定される。
列Ｌ1に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８と、列Ｌ2に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８とは、どちらかの配線シート１０を図３２の紙面内において１８０°回転させて各々の第１配線１２のパターン同士と第２配線１３のパターン同士とを重ね合わせた際に、重なるように配置されている。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図３３は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図３３においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図３３に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、第２配線１３の櫛歯形状部１７ａとアライメントマーク２５ｂとが重なるように配置する。
列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ｂと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、第２配線１３の櫛歯形状部１７ａとアライメントマーク２５ａとが重なるように配置する。
このように、複数のアライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル２０を用いて、少なくとも１つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置し、少なくとも１つのアライメントマークが配線と重なるように配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
なお、少なくとも１つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置すること、および、少なくとも１つのアライメントマークが配線と重なるように配置することのいずれか一方を行なうことにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせするようにしてもよい。
本実施形態においては、アライメントマークおよび異形状部は１つの配線シート付き太陽電池セルについて各２つ設けられているが、アライメントマークおよび異形状部の数はこれに限られるものではない。
本実施形態の裏面電極型太陽電池セル２０においては、上述の通り、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。そして、隣り合う列Ｌ1と列Ｌ2とに裏面電極型太陽電池セル２０を配置する際に、どちらかの列に配置される裏面電極型太陽電池セル２０を紙面内において１８０°回転させることなく両方の列に配置している。したがって、裏面電極型太陽電池セル２０を配線シート１０に配置する際に、隣り合う列に配置される裏面電極型太陽電池セル２０の向きを一方向に保つことができる。
そのため、配置される列に関わらず全ての裏面電極型太陽電池セル２０を一方向に保って、配線シート１０上に配置することが可能である。よって、部品管理が容易となり、また、裏面電極型太陽電池セル２０を回転する工程が削減されることによって、製造効率の向上が図れる。
また、アライメントマーク２５ａとアライメントマーク２５ｂとが、裏面電極型太陽電池セル２０の裏面の中心に関して点対称の位置に形成されている。このため、裏面電極型太陽電池セル２０が紙面内において１８０°回転した場合にも、その状態で裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせすることが可能である。したがって、裏面電極型太陽電池セル２０の方向の管理を簡略化することが可能となり、製造効率の向上が図れる。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
以下、本発明の実施形態１０に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態１０＞
本実施形態は、異形状部の構成のみ実施形態９と異なるため、上記実施形態９と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図３４は、本発明の実施形態１０に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図３４においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図３４に示すように、本発明の実施形態１０に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セル２０は、実施形態９の裏面電極型太陽電池セル２０と同一の電極パターンを有している。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図３５は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図３５においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
本実施形態においては、第２配線１３が異形状部１３ａ，１３ｃを含む。異形状部１３ａは、複数の櫛歯形状部１７ａのうちの少なくとも１つの櫛歯形状部１７ａが、同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも短いことにより形成されている。
図３５に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における左から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。また、列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における右から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。
異形状部１３ｃは、第２配線１３が矩形状の開口部１８ｃを有することにより形成されている。本実施形態においては、開口部１８ｃは、櫛歯形状部１７ａに形成されている。列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、開口部１８ｃは、右から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａに形成されている。列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、開口部１８ｃは、左から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａに形成されている。ただし、開口部１８ｃは、接続配線部１７ｂに形成されてもよく、または、櫛歯形状部１７ａと接続配線部１７ｂとにまたがって形成されていてもよい。
列Ｌ1および列Ｌ2に配置される配線シート１０の両方において、異形状部１３ａおよび異形状部１３ｃによりそれぞれアライメントターゲット領域１８が規定されている。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図３６は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図３６においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図３６に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ｂと配線シート１０の異形状部１３ｃにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。
列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ｂと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１３ｃにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。
このように、複数のアライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル２０を用いて、少なくとも２つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態においては、アライメントマーク２５ａおよびアライメントマーク２５ｂを各裏面電極型太陽電池セル２０において識別可能となるため、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０の上下左右方向の位置合わせだけでなく、回転方向に対しても精度良く位置合わせすることができる。
本実施形態においては、アライメントマークおよび異形状部は１つの配線シート付き太陽電池セルについて各２つ設けられているが、アライメントマークおよび異形状部の数はこれに限られるものではない。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
以下、本発明の実施形態１１に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態１１＞
本実施形態は、アライメントマークの位置および異形状部の数のみ実施形態９と異なるため、上記実施形態９と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図３７は、本発明の実施形態１１に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図３７においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図３７に示すように、本発明の実施形態１１に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、列Ｌ1および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０の各々で２本の電極が、他の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５より短く形成されている。
具体的には、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０において、右から２番目に配置された第１導電型用電極２４と、左から３番目に配置された第２導電型用電極２５とが短く形成されている。
列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０において、左から２番目に配置された第１導電型用電極２４と、右から３番目に配置された第２導電型用電極２５とが短く形成されている。
列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０において、短く形成された第１導電型用電極２４の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２４ｂが形成されている。また、短く形成された第２導電型用電極２５の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２５ａが形成されている。このように、２つのアライメントマーク２４ｂ，２５ａがそれぞれ導電型の異なる電極ラインの延在方向の延長上に形成されている。
列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０において、短く形成された第１導電型用電極２４の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２４ａが形成されている。また、短く形成された第２導電型用電極２５の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２５ｂが形成されている。このように、２つのアライメントマーク２４ａ，２５ｂがそれぞれ導電型の異なる電極ラインの延在方向の延長上に形成されている。
アライメントマーク２５ａは、電極の延在方向において電極の一方の端部近傍に形成され、アライメントマーク２４ｂは、電極の延在方向においてアライメントマーク２５ａとは反対側の他方の端部近傍に形成されている。同様に、アライメントマーク２４ａは、電極の延在方向において電極の一方の端部近傍に形成され、アライメントマーク２５ｂは、電極の延在方向においてアライメントマーク２４ａとは反対側の他方の端部近傍に形成されている。
列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０に形成されたアライメントマーク２４ｂ，２５ａと、列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０に形成されたアライメントマーク２４ａ，２５ｂとは、どちらかの裏面電極型太陽電池セル２０を図３７の紙面内において１８０°回転させて各々の第１導電型用電極２４のパターン同士と第２導電型用電極２５のパターン同士とを重ね合わせた際に、重なるように配置されている。したがって、列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０としては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０を紙面内において１８０°回転させることにより配置可能となる。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図３８は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図３８においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
本実施形態においては、第１配線１２および第２配線１３が、それぞれ異形状部１２ａおよび異形状部１３ａを含む。異形状部１２ａ，１３ａは、複数の櫛歯形状部１７ａのうちの少なくとも１つの櫛歯形状部１７ａが、同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも短いことにより形成されている。
図３８に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における右から２番目に形成された第１配線１２の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。また、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における左から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。
列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、複数の櫛歯形状部１７ａの並ぶ方向における左から２番目に形成された第１配線１２の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。また、右から３番目に形成された第２配線１３の櫛歯形状部１７ａが他の櫛歯形状部１７ａより短く形成されている。異形状部１２ａ，１３aによりアライメントターゲット領域１８が規定される。
列Ｌ1に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８と、列Ｌ2に配置される配線シート１０のアライメントターゲット領域１８とは、どちらかの配線シート１０を図３８の紙面内において１８０°回転させて各々の第１配線１２のパターン同士と第２配線１３のパターン同士とを重ね合わせた際に、重なるように配置されている。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図３９は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図３９においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図３９に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２４ｂと配線シート１０の異形状部１２aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。
列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２４ａと配線シート１０の異形状部１２aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ｂと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。
このように、複数のアライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル２０を用いて、少なくとも２つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態においては、１つの裏面電極型太陽電池セル２０につき２つのアライメントマーク２４ｂ，２５ａまたは２つのアライメントマーク２４ａ，２５ｂを設けているため、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０の上下左右方向の位置合わせだけでなく、回転方向に対しても精度良く位置合わせすることができる。
本実施形態においては、アライメントマークおよび異形状部は１つの配線シート付き太陽電池セルについて各２つ設けられているが、アライメントマークおよび異形状部の数はこれに限られるものではない。
アライメントマーク２４ｂ，２５ａの互いの位置およびアライメントマーク２４ａ，２５ｂの互いの位置は電極の延在方向において反対であるため、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０のそれぞれの位置合わせにおいて、互いに離れた位置でアライメントマーク２４ｂ，２５ａまたはアライメントマーク２４ａ，２５ｂを確認しつつ高精度に位置合わせを行なうことができる。
特に、アライメントマーク２４ｂ，２５ａまたはアライメントマーク２４ａ，２５ｂはそれぞれ電極の延在方向において電極の両端近傍に離れて配置されているため、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを回転方向において高精度に位置合わせすることができる。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
以下、本発明の実施形態１２に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態１２＞
本実施形態は、アライメントマークの数および異形状部の構成のみ実施形態８と異なるため、上記実施形態８と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図４０は、本発明の実施形態１２に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図４０においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図４０に示すように、本発明の実施形態１２に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。列Ｌ1および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０において、４本の電極が他の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５より短く形成されている。
具体的には、列Ｌ1および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０において、右から２番目および左から２番目に配置された第１導電型用電極２４と、左から１番目および右から１番目に配置された第２導電型用電極２５とが短く形成されている。
列Ｌ1および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０の両方において、短く形成された第１導電型用電極２４の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２４ａが形成されている。また、左から１番目の短く形成された第２導電型用電極２５の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２５ａが形成されている。このように、本実施形態においては、アライメントマーク２４ａ，２５ａがそれぞれ導電型の異なる電極ラインの延在方向の延長上に形成されている。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図４１は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図４１においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
本実施形態においては、第１配線１２は異形状部１２ａ，１２ｃを含む。第２配線１３が異形状部１３ａを含む。異形状部１２ａ，１３ａは、複数の櫛歯形状部１７ａのうちの少なくとも１つの櫛歯形状部１７ａが、同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも短いことにより形成されている。
異形状部１２ｃは、第１配線１２が矩形状の開口部１８ｃを有することにより形成されている。本実施形態においては、開口部１８ｃは、接続配線部１７ｂ’に形成されている。接続配線部１７ｂ’は、接続配線部１７ｂのうち裏面電極型太陽電池セル２０の内部領域と対向する部分である。なお、開口部１８ｃは、櫛歯形状部１７ａや接続配線部１７ｂに形成されてもよく、また、櫛歯形状部１７ａ、接続配線部１７ｂおよび接続配線部１７ｂ’のいずれかにまたがって配置されていてもよい。
列Ｌ1に配置される配線シート１０において、接続配線部１７ｂ’は右から２番目に形成された第１配線１２の櫛歯形状部１７ａと繋がっている。このように配線に開口部１８ｃを設けて、その開口部１８ｃに対応するように裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマークが内部領域の外縁近傍に設けられている場合、アライメントマークに隣接する電極を短く形成してもよい。
本実施形態においては、図４０に示すように、右から１番目に配置された第２導電型用電極２５が短く形成されている。これにより、裏面電極型太陽電池セル２０が発電した電力の収集効率が若干低下するが、図４１に示す接続配線部１７ｂ’のように接続配線部を広くすることができるため、開口部１８ｃの形成によって開口部１８ｃの周辺において配線が細くなることなることによる断線などの発生を抑制できる。この形態は配線の一部を細くする、曲げる、開口部を形成するなどを施す他の実施形態にも適用することができる。
列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、異形状部１２ｃおよび異形状部１３ａによりそれぞれアライメントターゲット領域１８が規定されている。列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、２つの異形状部１２ａによりそれぞれアライメントターゲット領域１８が規定されている。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図４２は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図４２においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図４２に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２４ａのうちの一方と配線シート１０の異形状部１２ｃにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。さらに、第１配線１２の櫛歯形状部１７ａとアライメントマーク２４ａのうちの他方とが重なるように配置する。
列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０の２つのアライメントマーク２４ａと配線シート１０の異形状部１２aにより規定される２つのアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、第２配線１３の櫛歯形状部１７ａとアライメントマーク２５ａとが重なるように配置する。
このように、少なくとも３つのアライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル２０を用いて、少なくとも２つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置し、少なくとも１つのアライメントマークが配線と重なるように配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態においては、１つの裏面電極型太陽電池セル２０につき３つのアライメントマーク２４ａ，２５ａを設けているため、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０の上下左右方向の位置合わせだけでなく、回転方向に対しても精度良く位置合わせすることができる。
アライメントマーク２４ａの形状とアライメントマーク２５ａの形状とが異なるなどによってアライメントマーク２４ａとアライメントマーク２５ａとが識別可能となるようにした場合、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０のそれぞれの位置合わせにおいて、異なる形状のアライメントマーク２４ａ，２５ａをそれぞれ識別しつつ高精度に位置合わせを行なうことができる。
なお、少なくとも１つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置すること、および、少なくとも１つのアライメントマークが配線と重なるように配置することのいずれか一方を行なうことにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせするようにしてもよい。
２つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置することにより裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする場合、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０においては、２つのアライメントマーク２４ａ，２５ａを確認し、列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０においては、２つのアライメントマーク２４ａを確認することになる。
この場合、配置される列によって確認するアライメントマークが異なるため、裏面電極型太陽電池セル２０の電極ラインの延在方向における向き、および、電極ラインの並ぶ方向における位置ズレを確認することが可能となり、高精度に位置合わせを行なうことができる。
たとえばアライメントマーク２４ａとアライメントマーク２５ａとがそれぞれ異なる導電型の電極ラインの延長上に位置していれば、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせのときに、裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４が、対応する配線シートの第１配線１２に適切に接続されるように位置合わせされており、裏面電極型太陽電池セル２０の第２導電型用電極２５が、対応する配線シートの第２配線１３に適切に接続されるように位置合わせされていることを確認することができるため、意図せぬアライメントミスによって不良製品ができてしまうことを確実に防止できる。
本実施形態の裏面電極型太陽電池セル２０においては、上述の通り、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。
そのため、図１５に示すように、配置される列に関わらず全ての裏面電極型太陽電池セル２０を、アライメントマーク２４ａ２５ａが矢印で示す先端側に位置する状態で配線シート１０上に配置することが可能である。よって、部品管理が容易となり、また、製造工程が削減されることによって、製造効率の向上が図れる。
本実施形態においては、アライメントマークおよび異形状部は１つの配線シート付き太陽電池セルについて各３つ設けられているが、アライメントマークおよび異形状部の数はこれに限られるものではない。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
以下、本発明の実施形態１３に係る裏面電極型太陽電池セル、配線シート、配線シート付き太陽電池セル、太陽電池モジュールおよび配線シート付き太陽電池セルの製造方法について説明する。
＜実施形態１３＞
本実施形態は、アライメントマークの数および異形状部の構成のみ実施形態１０と異なるため、上記実施形態１０と同様である部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図４３は、本発明の実施形態１３に係る裏面電極型太陽電池セルの裏面を示す平面図である。なお、図４３においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図４３に示すように、本発明の実施形態１３に係る裏面電極型太陽電池セル２０においては、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。
本実施形態においては、電極の並ぶ方向において左から２番目に配置された第１導電型用電極２４が他の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５より短く形成されている。また、電極の並ぶ方向において左から１番目および右から１番目に配置された第２導電型用電極２５が他の第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５より短く形成されている。
短く形成された第１導電型用電極２４および第２導電型用電極２５の先端近傍に、円形の点状のアライメントマーク２４ａ，２５ａ，２５ｂが形成されている。アライメントマーク２４ａ，２５ａは、電極の延在方向において電極の一方の端部近傍に形成され、アライメントマーク２５ｂは、電極の他方の端部近傍に形成されている。このように、本実施形態においては、アライメントマーク２４ａと、アライメントマーク２５ａ，２５ｂとがそれぞれ導電型の異なる電極ラインの延在方向の延長上に形成されており、アライメントマーク２４ａ，２５ａは互いに近傍に配置されて、アライメントマーク２５ｂはアライメントマーク２４ａ，２５ａとは反対側に離れて配置されている。
（配線シートにおける同形状部および異形状部）
図４４は、本実施形態に係る配線シートの配線パターンを示す平面図である。なお、図４４においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について、配線材のみを図示している。
本実施形態においては、第１配線１２が異形状部１２ａを含む。第２配線１３が異形状部１３ａ，１３ｃを含む。異形状部１２ａ，１３ａは、複数の櫛歯形状部１７ａのうちの少なくとも１つの櫛歯形状部１７ａが、同形状部である他の櫛歯形状部１７ａよりも短いことにより形成されている。
異形状部１３ｃは、第２配線１３が矩形状の開口部１８ｃを有することにより形成されている。本実施形態においては、開口部１８ｃは、櫛歯形状部１７ａに形成されている。
列Ｌ1に配置される配線シート１０において、異形状部１３ａおよび異形状部１３ｃによりそれぞれアライメントターゲット領域１８が規定されている。列Ｌ2に配置される配線シート１０において、異形状部１２ａおよび異形状部１３ａによりそれぞれアライメントターゲット領域１８が規定されている。
（裏面電極型太陽電池セルと配線シートとのアライメント）
図４５は、本実施形態に係る裏面電極型太陽電池セルと配線シートとを重ね合わせた状態を配線シート付き太陽電池セルの裏面側から見た平面図である。なお、図４５においては、図１に示す列Ｌ1および列Ｌ2部分の一部について図示している。
図４５に示すように、列Ｌ1に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ａと配線シート１０の異形状部１３aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ｂと配線シート１０の異形状部１３ｃにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。さらに、第１配線１２の櫛歯形状部１７ａとアライメントマーク２４ａとが重なるように配置する。
列Ｌ2に配置される配線シート１０においては、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２４ａと配線シート１０の異形状部１２aにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。また、裏面電極型太陽電池セル２０のアライメントマーク２５ｂと配線シート１０の異形状部１３ａにより規定されるアライメントターゲット領域１８とをそれぞれ重ね合わせて配置する。さらに、第２配線１３の櫛歯形状部１７ａとアライメントマーク２５ａとが重なるように配置する。
このように、少なくとも３つのアライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル２０を用いて、少なくとも２つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置し、少なくとも１つのアライメントマークが配線と重なるように配置することにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする。
本実施形態においては、１つの裏面電極型太陽電池セル２０につき３つのアライメントマーク２４ａ，２５ａ，２５ｂを設けているため、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０の上下左右方向の位置合わせだけでなく、回転方向に対しても精度良く位置合わせすることができる。
さらに、いずれの列においてもアライメントターゲット領域１８から認識できるアライメントマーク２５ｂをアライメントマーク２４ａ，２５ａとは離して配置することにより、アライメントターゲット領域１８から認識できる２つのアライメントマーク（列Ｌ1においてはアライメントマーク２５ａと２５ｂ、列Ｌ2においてはアライメントマーク２４ａと２５ｂ）間の距離をより離すことで、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせをさらに精度良く行うことができる。
このためには、図４３に示すように、いずれの列においてもアライメントターゲット領域１８から認識できるアライメントマーク２５ｂと、列によって認識するアライメントマークが異なるアライメントマーク２４ａ，２５ａとを、裏面電極型太陽電池セル２０の内部領域においてできるだけ対角に位置するように配置することがより好ましい。
アライメントマーク２４ａの形状とアライメントマーク２５ａの形状とが異なるなどによってアライメントマーク２４ａとアライメントマーク２５ａとが識別可能となるようにした場合、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０および列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０のそれぞれの位置合わせにおいて、アライメントマーク２４ａ，２５ａをそれぞれ識別しつつ高精度に位置合わせを行なうことができる。
なお、少なくとも１つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置すること、および、少なくとも１つのアライメントマークが配線と重なるように配置することのいずれか一方を行なうことにより、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせするようにしてもよい。
２つのアライメントマークがアライメントターゲット領域１８と重なるように配置することにより裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせする場合、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０においては、２つのアライメントマーク２５ａ，２５ｂを確認し、列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０においては、２つのアライメントマーク２４ａ，２５ｂを確認することになる。
この場合、配置される列によって確認するアライメントマークが異なるため、裏面電極型太陽電池セル２０の電極ラインの延在方向における向き、および、電極ラインの並ぶ方向における位置ズレを確認することが可能となり、高精度に位置合わせを行なうことができる。
たとえばアライメントマーク２４ａとアライメントマーク２５ａとがそれぞれ異なる導電型の電極ラインの延長上に位置していれば、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０とを位置合わせのときに、裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極２４が、対応する配線シートの第１配線１２に適切に接続されるように位置合わせされており、裏面電極型太陽電池セル２０の第２導電型用電極２５が、対応する配線シートの第２配線１３に適切に接続されるように位置合わせされていることを確認することができるため、意図せぬアライメントミスによって不良製品ができてしまうことを確実に防止できる。
本実施形態の裏面電極型太陽電池セル２０においては、上述の通り、列Ｌ1に配置される裏面電極型太陽電池セル２０と列Ｌ2に配置される裏面電極型太陽電池セル２０とが、同じ電極パターンを有している。
そのため、図１５に示すように、配置される列に関わらず全ての裏面電極型太陽電池セル２０を、アライメントマーク２４ａ２５ａが矢印で示す先端側に位置する状態で配線シート１０上に配置することが可能である。よって、部品管理が容易となり、また、製造工程が削減されることによって、製造効率の向上が図れる。
本実施形態においては、アライメントマークおよび異形状部は１つの配線シート付き太陽電池セルについて各３つ設けられているが、アライメントマークおよび異形状部の数はこれに限られるものではない。
本実施形態においても、裏面電極型太陽電池セル２０と配線シート１０との位置合わせを良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを作製することができる。
上記の全ての実施形態においては、各実施形態における構成で相互に組み合わせることが可能なものを適宜組み合わせることを当初から予定している。
今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
１０ 配線シート、１１ 絶縁性基材、１２ 第１配線、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，１２ｄ，１３ａ，１３ｃ，１３ｄ 異形状部、１３ 第２配線、１５ 観測装置、１６ 配線材、１７ａ 櫛歯形状部、１７ｂ 接続配線部、１８ アライメントターゲット領域、１８ｂ，１８ｄ 曲部、１８ｃ 開口部、１９ セル配置部、２０ 裏面電極型太陽電池セル、２１ 半導体基板、２２ 第１導電型不純物拡散領域、２３ 第２導電型不純物拡散領域、２４ 第１導電型用電極、２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ，２５ｃ，２８，２９ アライメントマーク、２５ 第２導電型用電極、２６ パッシベーション膜、２７ 反射防止膜、３１ 封止材、３１ａ 第１透明樹脂、３１ｂ 第２透明樹脂、３２ 裏面保護シート、３３ 透明基板、１００ 配線シート付き太陽電池セル。

Claims (18)

  1. 半導体基板の一方の面側に形成された複数の電極からなる電極パターンの外周より内側の内部領域にアライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セルと、
    複数の裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線を有する配線シートと
    を備え、
    前記配線は、同じ形状を有する複数の同形状部と該同形状部とは異なる形状を有する少なくとも１つの異形状部を含み、
    少なくとも１つの前記アライメントマークは、前記異形状部により規定されるアライメントターゲット領域と重なって配置されている、配線シート付き太陽電池セル。
  2. 前記アライメントマークは、前記内部領域において前記複数の電極が位置しないスペースに位置する、請求項１に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  3. 前記電極は、直線状に延在する電極ラインを含み、
    前記スペースは、複数の前記電極ラインのうちの少なくとも１つの電極ラインにおける前記電極ラインの延在方向の一方の端部が、他の電極ラインにおける前記一方の端部より前記延在方向において内側に位置することにより形成されている、請求項２に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  4. 前記電極は、直線状に延在する電極ラインを含み、
    前記スペースは、複数の前記電極ラインのうちの少なくとも１つの電極ラインが該電極ラインの延在方向に分離して配置されることによる該電極ライン間の隙間である、請求項２に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  5. 前記電極は、直線状に延在する電極ラインを含み、
    前記アライメントマークは、複数の前記電極ラインにおいて互いに隣り合う電極ライン同士の間に位置する、請求項１に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  6. 前記アライメントマークは、前記複数の電極と同じ材料で形成されている、請求項１から５のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  7. 前記配線は、電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含み、
    前記第１配線および前記第２配線のそれぞれは、複数の櫛歯形状部と該複数の櫛歯形状部を接続する接続配線部とを含み、
    前記第１配線および前記第２配線の少なくとも一方は、前記同形状部と前記異形状部とを含み、
    前記異形状部は、前記複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも１つの前記櫛歯形状部が、前記同形状部である他の前記櫛歯形状部よりも短いことにより形成される、請求項１から６のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  8. 前記配線は、電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含み、
    前記第１配線および前記第２配線のそれぞれは、複数の櫛歯形状部と該複数の櫛歯形状部を接続する接続配線部とを含み、
    前記第１配線および前記第２配線の少なくとも一方は、前記同形状部と前記異形状部とを含み、
    前記異形状部は、前記配線が開口部を有することにより形成される、請求項１から６のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  9. 前記配線は、電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含み、
    前記第１配線および前記第２配線のそれぞれは、複数の櫛歯形状部と該複数の櫛歯形状部を接続する接続配線部とを含み、
    前記第１配線および前記第２配線の少なくとも一方は、前記同形状部と前記異形状部とを含み、
    前記異形状部は、前記複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも１つが、隣り合う櫛歯形状部同士の間の間隔が部分的に広がるような形状を有することにより形成される、請求項１から６のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  10. 前記裏面電極型太陽電池セルが複数の前記アライメントマークを有する、請求項１から６のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  11. 前記複数のアライメントマークのうちの少なくとも２つのアライメントマークが前記アライメントターゲット領域と重なって配置されている、請求項１０に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  12. 前記複数のアライメントマークのうちの少なくとも１つのアライメントマークが前記配線と重なって配置されている、請求項１０または１１に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  13. 請求項１から１２のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セルを有する太陽電池モジュール。
  14. 半導体基板の一方の面側に形成された複数の電極からなる電極パターンの外周より内側の内部領域にアライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セルを準備する工程と、
    前記裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線シートであって、同じ形状を有する複数の同形状部と該同形状部とは異なる形状を有する少なくとも１つの異形状部とを有する配線を含む配線シートを準備する工程と、
    前記裏面電極型太陽電池セルの前記アライメントマークと前記配線シートの前記異形状部により規定されるアライメントターゲット領域とを重ね合わせて配置することにより、前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとを位置合わせする工程を備える、配線シート付き太陽電池セルの製造方法。
  15. 前記位置合わせする工程において、複数の前記アライメントマークと前記アライメントターゲット領域とを重ね合わせて配置する、請求項１４に記載の配線シート付き太陽電池セルの製造方法。
  16. 前記位置合わせする工程において、少なくとも１つの前記アライメントマークと前記配線とを重ね合わせて配置する、請求項１４に記載の配線シート付き太陽電池セルの製造方法。
  17. 前記位置合わせする工程において、前記裏面電極型太陽電池セルを透過する光を照射して前記アライメントマークと前記アライメントターゲット領域とを確認しつつ前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとを重ね合わせることにより、前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとを位置合わせする、請求項１４から１６のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セルの製造方法。
  18. 前記位置合わせする工程において、前記裏面電極型太陽電池セルの前記電極を反射する光を照射して前記アライメントマークと前記アライメントターゲット領域とを確認しつつ前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとを重ね合わせることにより、前記裏面電極型太陽電池セルと前記配線シートとを位置合わせする、請求項１４から１６のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セルの製造方法。
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