JP5369009B2 - 配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュール - Google Patents

配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュール Download PDF

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Description

本発明は、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールに関する。
複数の太陽電池セルを接続して太陽電池パネルなどの太陽電池モジュールを製造する際に、従来の太陽電池モジュールは、各太陽電池セルに接続されたインターコネクタ同士を接続することによって、一般的に全ての太陽電池セルを直列に接続していた。また、近年、各太陽電池セルを配線シートを用いて接続する方法が提案されている。
このような方法として、特許文献１には、複数の太陽電池セルを一列で直列に接続した太陽電池ストリングにおいて、配線シートに裏面電極型の太陽電池セルを配置して、配線シートにより各太陽電池セル間を電気的に接続する方法が開示されている。また、特許文献２には配線シートに設けたスリットパターンを用いて太陽電池セルの裏面電極と配線シートの配線との位置合わせを行うことが記載されている。
特開２００５−３４０３６２号公報 特開２００９−８８１４５号公報
特許文献１に開示される方法では、太陽電池セルをマトリクス状に配置すべく複数の太陽電池ストリングを並べて、太陽電池ストリング間を直列接続する場合は、隣接する太陽電池ストリング間で電流の向きが反対となるために太陽電池セルの向きを反転する必要があり、製造工程を複雑にする因子となっている。
また、セルの裏面電極の微細化、狭ピッチ化の要求に伴い、より精度の高い太陽電池セルの裏面電極と配線シートの配線との位置合わせ方法が求められている。
本発明は、太陽電池セルを反転させることなく配置すること、および、太陽電池セルの裏面電極と配線シートの配線との位置合わせを精度よく行なうことを両立する配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することを目的とする。
本発明の裏面電極型太陽電池セルは、半導体基板の一方の面側に形成された第１導電型用電極と第２導電型用電極とを備え、半導体基板の上記一方の面側であって第１導電型用電極と第２導電型用電極とが形成される以外の領域に、少なくとも４つのアライメントマークを有することを特徴とする。
上記裏面電極型太陽電池セルには、上記第１導電型用電極は、複数の第１導電型用電極ラインを並べるように形成されており、上記第２導電型用電極は、複数の第２導電型用電極ラインを並べるように形成されており、第１導電型用電極ラインと第２導電型用電極ラインとは、交互に配列されており、上記アライメントマークは、第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用アライメントマークを含み、該２つの第１導電型用アライメントマークは、複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの第１導電型用電極ラインの両端部を、複数の第１導電型用電極ラインおよび複数の第２導電型用電極ラインのうちの別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられている態様を含む。
また、上記裏面電極型太陽電池セルには、第１導電型用電極は、複数の第１導電型用電極ラインを並べるように形成されており、第２導電型用電極は、複数の第２導電型用電極ラインを並べるように形成されており、第１導電型用電極ラインと第２導電型用電極ラインとは、交互に配列されており、上記アライメントマークは、第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用アライメントマークを含み、該２つの第２導電型用アライメントマークは、複数の第２導電型用電極ラインのうちの１つの第２導電型用電極ラインの両端部を、複数の第１導電型用電極ラインおよび複数の第２導電型用電極ラインのうち別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられている態様を含む。
本発明の裏面電極型太陽電池セルには、第１導電型用電極は、複数の第１導電型用電極ラインを並べるように形成されており、第２導電型用電極は、複数の第２導電型用電極ラインを並べるように形成されており、第１導電型用電極ラインと第２導電型用電極ラインとは、交互に配列されており、上記アライメントマークは、第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用アライメントマークを含み、該２つの第１導電型用アライメントマークのうちの一方の第１の第１導電型用アライメントマークは、複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの第１導電型用電極ラインの一方の端部を、複数の第１導電型用電極ラインおよび複数の第２導電型用電極ラインのうち別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられており、上記２つの第１導電型用アライメントマークのうちの他方の第２の第１導電型用アライメントマークは、第１の第１導電型用アライメントマークとは反対側で、複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの第１導電型用電極ラインの一方の端部を、複数の第１導電型用電極ラインおよび複数の第２導電型用電極ラインのうち別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられている態様を含む。
さらに本発明の裏面電極型太陽電池セルは、第１導電型用電極は、複数の第１導電型用電極ラインを並べるように形成されており、第２導電型用電極は、複数の第２導電型用電極ラインを並べるように形成されており、第１導電型用電極ラインと第２導電型用電極ラインとは、交互に配列されており、上記アライメントマークは、第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用アライメントマークを含み、該２つの第２導電型用アライメントマークのうちの一方の第１の第２導電型用アライメントマークは、複数の第２導電型用電極ラインのうちの１つの第２導電型用電極ラインの一方の端部を、複数の第１導電型用電極ラインおよび複数の第２導電型用電極ラインのうち別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられており、上記２つの第２導電型用アライメントマークのうちの他方の第２の第２導電型用アライメントマークは、第１の第２導電型用アライメントマークとは反対側で、複数の第２導電型用電極ラインのうちの１つの第２導電型用電極ラインの一方の端部を、複数の第１導電型用電極ラインおよび複数の第２導電型用電極ラインのうち別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられている態様を含む。
上記アライメントマークは、上記裏面電極型太陽電池セルの電極材料により形成されることが好ましい。
上記第１導電型用電極の位置合わせのための第１導電型用アライメントマークと上記第２導電型用電極の位置合わせのための第２導電型用アライメントマークとは、相異なる形状である態様が含まれる。
また、本発明は、裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線を備えた配線シートであって、上記配線は、同形状の同形状部を複数備えると共に、同形状部の一部を欠いたような異形状部を少なくとも２つ備える配線シートに関する。
本発明の配線シートには、上記配線は、電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含み、第１配線および第２配線のそれぞれは、上記同形状部または上記異形状部に相当する複数の櫛歯形状部と、該複数の櫛歯形状部を接続する接続配線部とを含み、第１配線および第２配線に含まれる複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも２つの櫛歯形状部の先端が、上記複数の櫛歯形状部のうちの別のいずれかの櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成された態様を含む。
本発明の配線シートには、上記第１配線および上記第２配線のうちの一方に含まれる複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも２つの櫛歯形状部の先端が、一方に含まれる複数の櫛歯形状部のうちの別のいずれかの櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されている態様を含む。
また、本発明の配線シートには、第１配線に含まれる複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも１つの櫛歯形状部の先端が、上記第１配線に含まれる複数の櫛歯形状部のうちの別のいずれかの櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成され、かつ第２配線に含まれる複数の櫛歯形状部の少なくとも１つの櫛歯形状部の先端が、上記第２配線に含まれる複数の櫛歯形状部のうちの別のいずれかの櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成された態様を含む。
本発明は、上記いずれかの裏面電極型太陽電池セルまたは配線シートを備えた配線シート付き太陽電池セルに関する。
本発明は、半導体基板の一方の面側に形成された第１導電型用電極および第２導電型用電極を有する裏面電極型太陽電池セルと、該裏面電極型太陽電池セルの電極を電気的に接続するための配線を有する配線シートとを備える配線シート付き太陽電池セルであって、裏面電極型太陽電池セルの上記一方の面側であって第１導電型用電極と第２導電型用電極とが形成される以外の領域に、少なくとも４つのアライメントマークを設け、裏面電極型太陽電池セルの少なくとも２つのアライメントマークが配線シートの配線と重ならない部分を備え、それ以外のアライメントマークが配線シートの配線に重なる部分を備える配線シート付き太陽電池セルに関する。
また、本発明は、上記各態様の配線シート付き太陽電池セルを有する太陽電池モジュールに関する。
本発明によれば、裏面電極型の太陽電池セルに所定のアライメントマークを有し、また配線シートから裏面電極型太陽電池セルのアライメントマークを認識することができるので、太陽電池セルと配線シートとの位置合わせ（アライメント）を良好に行なうことができ、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することができる。また、本発明の裏面電極型太陽電池セルは、例えば電流方向が互いに反対となる太陽電池ストリング列を有する配線シート付き太陽電池セルの製造において、列ごとの太陽電池セルの反転（回転）操作が不要となるので、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの製造効率を向上させることができる。
また、位置合わせが良好に行なわれるので、太陽電池セルの充填率を向上させることができ、その結果、太陽電池モジュールの効率が向上する。
本発明の配線シート付き太陽電池セルの一例を受光面側から見た模式的な平面図である。 本発明における裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの配置関係を示す概略図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩに沿った模式的な断面図である。 （ａ）は実施の形態１の裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の平面模式図であり、（ｂ）は実施の形態１の配線シートの配線パターンの一例の平面模式図であり、（ｃ）は実施の形態１の配線シート付き太陽電池セルの一例を裏面側から見た模式的な平面図である。 図１に示す配線シート付き太陽電池セル１００の製造方法の一例を図解する模式的な斜視図を示す。 （ａ）は実施の形態２の裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の平面模式図であり、（ｂ）は実施の形態２の配線シートの配線パターンの一例の平面模式図であり、（ｃ）は実施の形態２の配線シート付き太陽電池セルの一例を裏面側から見た模式的な平面図である。 （ａ）は実施の形態３の裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の平面模式図であり、（ｂ）は実施の形態３の配線シートの配線パターンの一例の平面模式図であり、（ｃ）は実施の形態３の配線シート付き太陽電池セルの一例を裏面側から見た模式的な平面図である。 （ａ）は実施の形態４の裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の平面模式図であり、（ｂ）は実施の形態４の配線シートの配線パターンの一例の平面模式図であり、（ｃ）は実施の形態４の配線シート付き太陽電池セルの一例を裏面側から見た模式的な平面図である。 （ａ）および（ｂ）は、本発明の太陽電池モジュールの一例の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。 実施の形態５の裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の平面模式図である。 （ａ）および（ｂ）は図１０のアライメントマーク部分の拡大図である。 実施の形態５の配線シートの配線パターンの一例の平面模式図である。 実施の形態５の配線シート付き太陽電池セルの一例を裏面側から見た模式的な平面図である。 （ａ）〜（ｄ）は図１３のアライメントマーク部分の拡大図である。
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は同一部分または相当部分を表すものとする。また、以下では、太陽電池セルを設置するためのセル配置部（１つの太陽電池セルに対応する配線シート上の領域）が設けられた構成を配線シート、単数または複数の太陽電池セルを行方向および列方向にマトリクス状に配列した構成を配線シート付き太陽電池セルとして説明する。
＜実施の形態１＞
（配線シート付き太陽電池セル）
図１に、本発明の配線シート付き太陽電池セルの一例を受光面側から見た模式的な平面図を示す。ここで、配線シートは、絶縁性基板１１の表面上に配線材１６が設けられることにより、太陽電池セルを配置するためのセル配置部が形成された構成であり、配線シート付き太陽電池セル１００は、絶縁性基板１１の表面上の配線材１６によって裏面電極型太陽電池セル２０が電気的に接続されることにより構成されている。
以上のような構成の図１に示される配線シート付き太陽電池セル１００においては、複数の裏面電極型太陽電池セル２０は、配線シート１０の絶縁性基板１１の表面上において、行方向に直列接続された太陽電池ストリング列が、列方向に複数配置されて、太陽電池ストリング列の端部同士が接続されることで、通電経路が蛇行するようにして電気的に直列に接続される例が挙げられる。
上記裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの配置関係を図２に示す。図２は、図１に示す配線シート付き太陽電池セル１００の列の一部に相当する。図２に示されるように、配線シート１０の配線材１６は、太陽電池セルの第１導電型用電極の接続のための第１配線１２と第２導電型用電極の接続のための第２配線１３とから構成されており、櫛形状の第１配線１２の櫛歯に相当する部分と櫛形状の第２配線１３の櫛歯に相当する部分とが１本ずつ交互に噛み合わさるように第１配線１２および第２配線１３がそれぞれ配置されている。その結果、櫛形状の第１配線１２の櫛歯に相当する部分と櫛形状の第２配線１３の櫛歯に相当する部分とはそれぞれ１本ずつ交互に所定の間隔を空けて配置されている。
そして、配線シート１０の絶縁性基材１１の表面上においては、第１配線１２と第２配線１３との組み合わせであるセル配置部１９が絶縁性基材１１の表面に並べられている。ここで、図２においては、図１に示す配線シート付き太陽電池セルの一部を示しており、３つのセル配置部１９で構成されているが、これに限られるものではなく、図１の破線で囲まれる部分に示すようにセル配置部１９は、絶縁性基材１１の表面の列方向に隣接して配置されている他のセル配置部１９と電気的に接続されることもある。
そして、図２に示される構成の配線シート１０の表面上に裏面電極型太陽電池セル２０を設置することによって図１に示す配線シート付き太陽電池セルを作製することができる。図３に、図２のＩＩＩ−ＩＩＩに沿った断面模式図を示す。
図３に示される裏面電極型太陽電池セル２０は、たとえばｎ型またはｐ型の導電型を有するシリコン基板などの半導体基板２１と、裏面電極型太陽電池セル２０の受光面となる半導体基板２１の凹凸表面上に形成された反射防止膜２７と、裏面電極型太陽電池セル２０の裏面となる半導体基板２１の裏面に形成されたパッシベーション膜２６とを有している。
また、半導体基板２１の一方の面側には、第１導電型不純物が拡散して形成された第１導電型不純物拡散領域２２と第２導電型不純物が拡散して形成された第２導電型不純物拡散領域２３とが所定の間隔を空けて交互に形成されているとともに、半導体基板２１の裏面のパッシベーション膜２６に設けられたコンタクトホールを通して第１導電型不純物拡散領域２２に接する第１導電型用電極を構成する第１導電型用電極ライン２４および第２導電型不純物拡散領域２３に接する第２導電型用電極を構成する第２導電型用電極ライン２５がそれぞれ設けられている。上記第１導電型拡散不純物および第２導電型拡散不純物として、導電型がｎ型の場合はリンなどを用いることができ、導電型がｐ型の場合はたとえばボロンなどを用いることができる。
ここで、上記半導体基板２１の一方の面側には、第１導電型不純物拡散領域２２または第２導電型不純物拡散領域２３と半導体基板２１内部との界面において複数のｐｎ接合が形成されることになる。半導体基板２１がｎ型またはｐ型のいずれの導電型を有していても、第１導電型不純物拡散領域２２および第２導電型不純物拡散領域２３はそれぞれ半導体基板２１内部と接合していることから、第１導電型用電極ライン２４および第２導電型用電極ライン２５はそれぞれ半導体基板２１の一方の面側に形成された複数のｐｎ接合にそれぞれ対応する電極となる。なお、半導体基板２１の導電型を問わず、近接する第１導電型不純物拡散領域２２と第２導電型不純物拡散領域２３との接触によりｐｎ接合が形成されてもよい。
本発明において、裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極ライン２４の少なくとも一部の表面および／または第２導電型用電極ライン２５の少なくとも一部の表面には、たとえば、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、錫（Ｓｎ）、ＳｎＰｂはんだ、およびＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる群から選択された少なくとも１種を含む電気導電性物質を設置してもよい。この場合には、配線シート１０の配線材と裏面電極型太陽電池セル２０の電極（複数の第１導電型用電極ライン２４により構成される第１導電型用電極、複数の第２導電型用電極ライン２５により構成される第２導電型用電極）との電気的接続を良好なものとし、裏面電極型太陽電池セル２０の電極の耐候性を向上させることができる傾向にある。
また、裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極ライン２４の少なくとも一部の表面および／または第２導電型用電極ライン２５の少なくとも一部の表面には、たとえば黒化処理などの表面処理を施してもよい。
また、半導体基板２１としては、たとえば、ｎ型またはｐ型の導電型を有する多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどからなるシリコン基板などを用いることができる。
また、第１導電型用電極および第２導電型用電極としてはそれぞれ、たとえば、銀などの金属からなる電極を用いることができる。
また、パッシベーション膜２６としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができる。
また、反射防止膜２７としては、たとえば、窒化シリコン膜などを用いることができる。
なお、本発明における裏面電極型太陽電池セルの概念には、上述した半導体基板２１の一方の表面（裏面）のみに第１導電型用電極および第２導電型用電極の双方が形成された構成のものだけでなく、ＭＷＴ（Metal Wrap Through）セル（半導体基板に設けられた貫通孔に電極の一部を配置した構成の太陽電池セル）などのいわゆるバックコンタクト型太陽電池セル（太陽電池セルの受光面と反対側の裏面から電流を取り出す構造の太陽電池セル）のすべてが含まれる。
そして、上記裏面電極型太陽電池セル２０の第１導電型用電極を構成する第１導電型用電極ライン２４および第２導電型用電極を構成する第２導電型用電極ライン２５はそれぞれ、図１に示すように、配線シート１０の１つの第１配線１２と１つの第２配線１３との組み合わせであるセル配置部と電気的に接続されて、図１に示す配線シート付き太陽電池セル１００が作製されることになる。
上記配線シート付き太陽電池セルにおいては、裏面電極型太陽電池セルの電極パターンと配線シートに設けられた配線パターンとの各々の接続が良好に行なわれるためには、電極パターンと配線パターンとの位置合わせ（アライメント）精度が高いことが要求される。本発明は、上記位置合わせ精度のために、裏面電極型太陽電池セルに所定のアライメントマークを少なくとも４つ備えることを特徴とする。本発明において、アライメントマークとは、図３中の矢印Ａの方向、または図３中の矢印Ｂの方向に備えた観測装置１５を用いた透過画像または反射画像により認識することができるアライメントのためのマークをいう。このようにアライメントマークを認識できるように形成することにより、位置合わせの精度を維持することができる。以下にアライメントマークおよび該アライメントマークによる位置あわせが可能な配線シートの形態の一例について説明する。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図４（ａ）に本実施の形態１の裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の平面模式図を示す。図４（ａ）は、図１の破線部に示す列方向に隣接する２つの太陽電池セル２０の裏面に相当し、図３中の矢印Ａの方向から見た平面模式図である。
図４（ａ）において、第１導電型用電極は、複数の第１導電型用電極ライン２４を並べるように形成されており、第２導電型用電極は、複数の第２導電型用電極ライン２５を並べるように形成されており、第１導電型用電極ライン２４と第２導電型用電極ライン２５とは交互に配列されている。
本発明の裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマークは４つ以上設けられ、これら複数のアライメントマークの少なくとも一部は裏面電極型太陽電池セルの不純物拡散領域上に形成されていることが好ましい。不純物拡散領域上に形成されるアライメントマークが後述のように配線材と接触する場合には、該アライメントマークが電極として機能するのでセルの発電効率を良好に維持することができる。
アライメントマークは、図４（ａ）に示されるように、太陽電池セルの電極パターンの外周領域（図４（ａ）の破線領域）内に形成されてもよいし、外周領域の外に形成されてもよい。本発明において、外周領域とは、半導体基板２１上の第１導電型用電極を構成する第１導電型用電極ライン２４と第２導電型用電極を構成する第２導電型用電極ライン２５とにより形成される電極パターンの端部を結ぶ線により形成される領域の内側をいう。
電極パターンの外周領域内にアライメントマークを有する場合は、アライメントマークを設けるための別段の領域を設ける必要がなく、後述のようにセルの効率と位置合わせ精度をバランスよく向上させることができるので好ましい。
本実施の形態１において、１つの太陽電池セルには第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用のアライメントマークａおよびアライメントマークｂと、他の第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用のアライメントマークｃおよびアライメントマークｄの合計４つのアライメントマークを含む。上記２つの第２導電型用アライメントマークは、それぞれ上記複数の第２導電型用電極ライン２５のうちの任意の１つの第２導電型用電極ライン２５の両端部を、この第２導電型用電極ライン以外に設けられた複数の第１導電型用電極ラインおよび複数の第２導電型用電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセル内側に位置させることにより形成された上記領域内のスペースに設けられている。
図４（ａ）に、第２導電型用電極の位置合わせのためのアライメントマークが４つ設けられた太陽電池セルの裏面の模式図を示すが、本発明におけるアライメントマークはこのような形態に限られない。すなわち、第１導電型用電極の位置合わせのための４つの第１導電型用アライメントマークを有する場合、また第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用アライメントマークおよび第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用アライメントマークの合計４つのアライメントマークを有する場合も、本実施の形態と同様に良好な位置合わせを行なうことができる。４つの第１導電型用アライメントマークが設けられる場合は、たとえばそれぞれ上記複数の第１導電型用電極ライン２４のうちの１つの第１導電型用電極ライン２４の両端部を、この第１導電型用電極ライン以外の別の複数の第１導電型用電極ラインおよび第２導電型用電極ライン２５のいずれかの電極ラインの端部よりもセル内側に位置させることにより形成された上記領域内のスペースに設けることとなる。また、２つの第１導電型用アライメントマークと２つの第２導電型用アライメントマークとを設ける場合は、それぞれ第１導電型用アライメントマークは、複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの第１導電型用電極ラインの両端部を、この第１導電型用電極ライン以外の別の複数の第１導電型用電極ラインおよび第２導電型用電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセル内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられ、第２導電型用アライメントマークは、複数の第２導電型用電極ラインのうちの１つの第２導電型用電極ラインの両端部を、この第２導電型用電極ライン以外の別の複数の第１導電型用電極ラインおよび第２導電型用電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセル内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられる。また、アライメントマークは少なくとも４つ備えられるものであり、第２導電型用電極の位置合わせのための４つのアライメントマークの他に、第１導電型用電極の位置合わせのための１以上のアライメントマークを備えたり、さらに第２導電型用電極の位置合わせのためのアライメントマークが設けられていてもよい。
これらのアライメントマークは、セルの裏面の電極およびアライメントマークの形状および配置だけを考慮した際に、同一平面内で、電極パターンの中心に関して点対称の位置や形状とならない配置または形状とすることが望ましい。このような配置または形状とすることで、配線シートに太陽電池セルを載置する工程において、太陽電池セルが同一平面内で回転した場合には、アライメントマークが観測できない、または観測するアライメントマークの形状がその他の観測されている形状と異なるので、セルの配置の誤りが明確となり、そのままの状態で配線シートと位置合わせをしてしまうことを防ぐことができる。
上記アライメントマークの幅は、特に限定されず、電極パターンの電極の列に対応する位置に設けられる場合は、電極ラインと同様の幅以下で形成されることが望ましいが、電極幅よりも幅広い場合も本発明の範囲に含まれる。また、上記アライメントマークは、電極パターンを形成するために用いられる電極材料と同様の材料により形成することができる。電極材料と同様の材料によりアライメントマークを形成することによって、電極パターンと同時にアライメントマークを付与することができるので、たとえば他の材料を用いて電極パターンの形成とは別の工程によりアライメントマークを形成する場合に比べて、アライメントマークを所望の位置に精度よく製造することができる。以上のようにして、配線シートに形成された配線パターンとの位置合わせのためのアライメントマークが太陽電池セルの一方の面側に形成される。
上記アライメントマークの形状は、図４（ａ）に示すように円形であってもよく、三角や四角形状であってもよい。また、たとえば、後述のように列Ｌ1の太陽電池セルに設けられる２つのアライメントマークが互いに異なる形状であってもよく、他の列についても同様である。列Ｌ1で観測されるアライメントマークと列Ｌ2で観測されるアライメントマークとが相異なる形状であってもよい。このように列ごとに異なる形状のアライメントマークが観測されるようにすることで、観測するアライメントマークのチェックによって、配線シートに載置するセルの方向が所望の方向であることを確認することができる。
（配線シートにおける開口部）
図４（ｂ）に、本実施の形態１における配線シートの一例の平面模式図を示す。図４（ｂ）は、図１の破線部に示す列方向に隣接する２つのセル配置部に対応する配線パターンを示し、図３中の矢印Ａの方向から見た平面模式図である。配線シートは、絶縁性基材と、絶縁性基材の表面上に設置された配線材とを有し、図４（ｂ）においては配線材のみを示す。
本発明の配線シートは、上記裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線を備えており、このような配線は、裏面電極型太陽電池セルの電極パターンに対応するような配線パターンとする。本発明は、このような配線において、同形状の同形状部を複数備えると共に、該同形上部の一部を欠いたような異形状部を少なくとも２つ備えることを特徴とする。この異形状部は、配線シートにおいて上記電極パターンに対応するように配線パターンが設けられていない部分または領域であり、このような同形状部の一部を欠いた部分または領域を開口部ともいう。そして、本発明においては、このような異形状部（開口部）を介して裏面電極型太陽電池セルに備えられたアライメントマークの少なくとも一部を認識できる態様とすることが望ましい。このような異形状部を少なくとも２つ備える限り、例えば、同形状部の他に、配線パターンの一部の形状が同形状部よりも配線幅が太い部分や配線長が長い部分も配線パターンに含まれる。
図４（ｂ）に示す配線シートにおいて、上記配線は電気的に絶縁された第１配線１２と第２配線１３とを含む。本実施の形態においては、第１配線１２が裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極２４との接続のため、第２配線１３が第２導電型用電極２５との接続のために設けられる。
上記第１配線１２と上記第２配線１３のそれぞれは、同形状部の複数を含む、または、同形状部および異形状部を含む複数の櫛歯形状部１７ａと該櫛歯形状部１７ａを接続する接続配線部１７ｂとを含む。そして、第１配線１２および第２配線１３に含まれる複数の櫛歯形状部１７ａのうちの少なくとも２つの櫛歯形状部１７ａを構成する配線パターンの先端が、該配線パターンの両側に配置された櫛歯形状部１７ａを構成する配線パターンの先端よりも内側に位置するように形成される配線長の一部を欠いた異形状部が含まれる。図４（ｂ）においては、第２配線１３に異形状部１３ａが形成されている。また、太陽電池セル裏面のアライメントマークをより認識し易くするために、図４（ｂ）に示すように、第１配線１２に配線幅の一部を欠いた湾曲部からなるような異形状部１２ｂを形成してもよい。このように開口部は、複数の形状の異形状部の組み合わせにより構成することができる。
図４（ｂ）においては、列Ｌ1と列Ｌ2の両方の列において第１配線１２の配線幅の一部を欠いた異形状部１２ｂと第２配線１３の配線長の一部を欠いた異形状部１３ａとにより開口部が設けられている。
本発明において、上記開口部を有する第１配線１２および第２配線１３からなる配線パターンは、配線シート全体の少なくとも１つのセル配置部１９に対応する配線パターンに備えられていればよく、２以上のセル配置部１９に対応する配線パターンや、配線シート全体において設けられていてもよい。
上記配線シートにおける開口部は、後述の配線パターンと同様に製造することができる。
上記絶縁性基材の材質としては、電気絶縁性の材質であれば特に限定なく用いることができ、たとえば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ：polyethylene terephthalate）、ポリエチレンナフタレート（ＰＥＮ：polyethylene naphthalate）、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ：polyphenylene sulfide））、ポリビニルフルオライド（ＰＶＦ：polyvinyl fluoride）およびポリイミド（polyimide）からなる群から選択される少なくとも１種の樹脂を含む材質を用いることができる。
また、絶縁性基材の厚さは特に限定されず、たとえば１０μｍ以上２００μｍ以下とすることができる。なお、絶縁性基材は、１層のみからなる単層構造であってもよく、２層以上からなる複数層構造であってもよい。
また、第１配線１２および第２配線１３の材質としては、電気導電性の材質のものであれば特に限定なく用いることができ、たとえば、銅、アルミニウムおよび銀からなる群から選択された少なくとも１種を含む金属などを用いることができる。
また、第１配線１２および第２配線１３の厚さもそれぞれ特に限定されず、たとえば５μｍ以上７５μｍ以下とすることができる。
また、第１配線１２および第２配線１３の形状も、上記開口部を有する限り、それぞれ上述した形状に限定されず、適宜設定することができるものであることは言うまでもない。
また、第１配線１２の少なくとも一部の表面および／または第２配線１３の少なくとも一部の表面には、たとえば、ニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）、白金（Ｐｔ）、パラジウム（Ｐｄ）、銀（Ａｇ）、錫（Ｓｎ）、ＳｎＰｂはんだ、およびＩＴＯ（Indium Tin Oxide）からなる群から選択された少なくとも１種を含む電気導電性物質を設置してもよい。この場合には、第１配線１２および第２配線１３と裏面電極型太陽電池セルの電極との電気的接続を良好なものとし、第１配線１２および／または第２配線１３の耐候性を向上させることができる傾向にある。
また、第１配線１２の少なくとも一部の表面および／または第２配線１３の少なくとも一部の表面には、たとえば黒化処理などの表面処理を施してもよい。
なお、第１配線１２および第２配線１３もそれぞれ、１層のみからなる単層構造であってもよく、２層以上からなる複数層構造であってもよい。
以下に、配線シートの製造方法の一例について説明する。まず、たとえばＰＥＴフィルムなどの絶縁性基材を用意し、その絶縁性基材の一方の表面の全面にたとえば金属箔または金属プレートなどの電気導電性物質を貼り合わせる。
次に、絶縁性基材の表面に貼り合わされた電気導電性物質の一部をフォトエッチングなどにより除去して電気導電性物質をパターニングすることによって、絶縁性基材の表面上にパターニングされた電気導電性物質からなる第１配線１２および第２配線１３から構成された開口部を有する配線材を形成する。以上により、図４（ｂ）に示される構成の配線パターンおよび開口部を有する配線シートを作製することができる。
（裏面電極型太陽電池セルおよび配線シートのアライメント）
上記アライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル（図４（ａ））および異形状部（開口部）を有する配線シート（図４（ｂ））は、図４（ｃ）に示すように、配線シートに設けられた開口部から裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの一部が認識できるように重ね合わせられる。すなわち、配線シートに太陽電池セルを１つずつ配置していく際に、図３中の矢印Ａの方向から配線シートの開口部を含む配線部分を観測しながら、裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの少なくとも一部が、上記配線シートの開口部を介して認識できるように、太陽電池セルの位置合わせを行なう。たとえば、図３の矢印Ａの方向に相当する位置から透過光による透過画像を用いて観測して、図４（ｃ）に示すように、配線シートの列Ｌ1の配線端の異形状部１３ａおよび湾曲部形状である異形状部１２ｂからなる開口部をとおして、裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークａおよびアライメントマークｃが認識されるように配置する。この隣の列Ｌ2においては、配線シートの配線端の異形状部１３ａおよび湾曲部形状である異形状部１２ｂからなる開口部を介して裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークｂおよびアライメントマークｄが認識されるように配置する。このように太陽電池セルを配置することによって、アライメントの誤差が５０μｍ以下である配線シート付き太陽電池セルが形成される。
上記のように配線シートに設けられた開口部を介して裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの少なくとも一部が認識できるようにアライメントマークまたは開口部を設けることによって、１つの観測領域において太陽電池セル裏面のアライメントマークおよび配線シートの開口部の両方を観測することができる。
開口部を介したアライメントマークは、Ｘ線、ＩＲ光などを用いて透過光による透過画像を観測することにより行なう場合は図３中の矢印Ａの方向もしくは図３中の矢印Ｂの方向から認識することができる。また、ＬＥＤ、ハロゲンランプなどを用いて反射光による反射画像を確認することにより行なう場合は、図３中の矢印Ａの方向から裏面電極型太陽電池セルのアライメントマークおよび配線シートの開口部を認識できる。このような観測による位置合わせは、１箇所ごとに行なってもよく、アライメントマークおよび／または開口部に対応する数の観測装置を設けて全てのアライメントマークまたは開口部を同時に観測しながら行なってもよい。
また、図４（ｃ）に示す例において、配線シートの列Ｌ1では裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークｂおよびアライメントマークｄが配線シート側からは確認できないように配置してもよく、同様に、配線シートの列Ｌ2では裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークａおよびアライメントマークｃが配線シート側からは確認できないように配置してもよい。このように太陽電池セルを配置することによって、アライメントの精度をさらに向上させることができる。
本実施の形態１においては、太陽電池モジュールの製造において、太陽電池セルを配線シートに配置する際に、隣り合う列の太陽電池セルを一方向に保つことができるので、製造効率を向上させることができる。
図５に、図１に示す配線シート付き太陽電池セル１００の製造方法の一例を図解する模式的な斜視図を示す。図５に示すように、上記所定のアライメントマークまたは開口部を有する本実施の形態１の裏面電極型太陽電池セルおよび配線シートを用いた場合、配線シート付き太陽電池セルを作製する際に、配線シート付き太陽電池セルを構成する配線シート１０の行方向および列方向に隣り合う裏面電極型太陽電池セル２０として、裏面電極およびアライメントマークが同じパターン（配置）を有するセルを、図５中の矢印に示すように一方向に並べて配置することが可能である。
（太陽電池モジュール）
図９（ａ）および図９（ｂ）に、本発明の太陽電池モジュールの一例の製造方法の一例を図解する模式的な断面図を示す。以下、図９（ａ）および図９（ｂ）を参照して、上述のようにして作製された配線シート付き太陽電池セルを用いた本発明の太陽電池モジュールの一例の製造方法の一例について説明する。
まず、図９（ａ）に示すように、配線シート付き太陽電池セルの裏面電極型太陽電池セル側に第１の透明樹脂３１ａと透明基板３３とを設置するとともに、配線シート付き太陽電池セルの配線シート側に第２の透明樹脂３１ｂと裏面保護シート３２とを設置する。ここで、配線シート付き太陽電池セルとしては、上述のようにして複数の太陽電池セルを電気的に接続して作製された配線シート付き太陽電池セルの他、複数の分割された配線シート付き太陽電池セルを電気的に接続して作製された配線シート付き太陽電池セルを用いてもよい。
次に、第１の透明樹脂３１ａを配線シート付き太陽電池セルの各裏面電極型太陽電池セルに圧着させるとともに、第２の透明樹脂３１ｂを配線シート付き太陽電池セルの配線シートに圧着させた状態で加熱処理することによって、第１の透明樹脂３１ａと第２の透明樹脂３１ｂとを一体化させて硬化させる。これにより、図９（ｂ）に示すように、第１の透明樹脂３１ａと第２の透明樹脂３１ｂとが一体化してなる封止材３１中に上記の配線シート付き太陽電池セルが封止されてなる本発明の太陽電池モジュールが作製される。
図９（ｂ）に示す太陽電池モジュールにおいては、封止材３１の伸縮力によって裏面電極型太陽電池セルが配線シートに強く圧着され、裏面電極型太陽電池セルの第１導電型用電極ライン２４と配線シートの第１配線１２との圧着および裏面電極型太陽電池セルの第２導電型用電極ライン２５と配線シートの第２配線１３との圧着がそれぞれ強化されて、個々の裏面電極型太陽電池セルの電極と配線シートの配線との間に良好な電気的接続が得られることになる。
ここで、配線シート付き太陽電池セルを封止材３１中に封止するための圧着および加熱処理は、たとえばラミネータと呼ばれる真空圧着および加熱処理を行なう装置などを用いて行なうことができる。たとえばラミネータにより第１の透明樹脂３１ａおよび第２の透明樹脂３１ｂを熱変形させ、第１の透明樹脂３１ａおよび第２の透明樹脂３１ｂを熱硬化させることにより、これらの透明樹脂が一体化されて封止材３１が形成され、封止材３１中に上記の配線シート付き太陽電池セルが包み込まれるようにして封止されることになる。
なお、真空圧着とは、大気圧よりも減圧した雰囲気下で圧着させる処理のことである。ここで、圧着方法として真空圧着を用いた場合には、第１の透明樹脂３１ａと第２の透明樹脂３１ｂとの間に空隙が形成されにくくなり、第１の透明樹脂３１ａと第２の透明樹脂３１ｂとを一体化して形成された封止材３１中に気泡が残留しにくくなる傾向にある点で好ましい。また、真空圧着を用いた場合には、裏面電極型太陽電池セルと配線シートとの間の均一な圧着力の確保に有利となる傾向にもある。
ここで、透明基板３３としては、太陽光に対して透明な基板であれば特に限定なく用いることができ、たとえば、ガラス基板などを用いることができる。
また、第１の透明樹脂３１ａおよび第２の透明樹脂３１ｂとしては、太陽光に対して透明な樹脂を特に限定なく用いることができる。なお、第１の透明樹脂３１ａと第２の透明樹脂３１ｂとはそれぞれ同一種類の透明樹脂を用いてもよく、異なる種類の透明樹脂を用いてもよい。
また、上記の配線シート付き太陽電池セルを封止材３１中に封止する際の加熱処理は、第１の透明樹脂３１ａおよび第２の透明樹脂３１ｂの融点により適宜調整すればよい。
また、上記の電気的接続をより強固にまた確実なものとするために、たとえば非導電ペースト（ＮＣＰ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）などの接着剤やはんだなどを用いることもできる。この場合、ＮＣＰはアライメントマークの観察を妨げないようにパターン塗布されるか、もしくは透明であることが望ましい。また、ＡＣＰやはんだは太陽電池セルの裏面電極および配線シートの配線の少なくとも一方に塗布されていることが望ましい。
また、裏面保護シート３２としては、封止材３１の裏面を保護することができるものであれば特に限定なく用いることができ、たとえば従来から用いられているＰＥＴなどの耐候性フィルムを用いることができる。
また、封止材３１中への水蒸気や酸素の透過を十分に抑制して長期的な信頼性を確保する観点から、裏面保護シート３２は、たとえばアルミニウムなどの金属フィルムを含んでいても良い。
また、太陽電池モジュールの端面などの裏面保護シート３２を密着させることが難しい部分にはたとえばブチルゴムテープなどの水分透過防止テープを用いて完全に密着させることもできる。
また、上記のようにして作製された本発明の太陽電池モジュールの一例においては、たとえばアルミニウム合金などからなるフレームが太陽電池モジュールの外周を取り囲むようにして取り付けられていてもよい。
（他の構成および作用）
本発明の配線シート、配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールはそれぞれ上記の構成に限定されず、様々な構成にすることができることは言うまでもない。たとえば、太陽電池セルの一方の面側に設けられるアライメントマークが、第１導電型用電極の端部の延長上の位置に設けられ、対応する配線シートの開口部が第１配線に備えられていてもよい。
また、本発明の配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールにおいて、太陽電池セルおよび配線シートの電気的接続はそれぞれ、全て直列の場合について説明したが、直列、並列、または直列と並列とを組み合わせた電気的接続としてもよい。
以上のように、本発明の裏面電極型太陽電池セルは、上記少なくとも４つのアライメントマークを有するので、電流方向が互いに反対となる太陽電池ストリング列を有する配線シート付き太陽電池セルの製造において、太陽電池セルを列ごとに反転（回転）させる必要がない。また、少なくとも２つのアライメントマークを配線シートの配線と重ならない配置として、配線シートの開口部を介してアライメントマークを観測することで、太陽電池セルと配線シートとの回転方向のずれも防止することができる。
本発明においては、裏面電極型太陽電池セルまたは配線シートの配線に所定の開口部を有し、配線シートの開口部を介して裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの少なくとも一部を認識できるように設けられているので、１つの観測装置によりこれらのアライメントマークおよび開口部を同時に観測することができる。その結果、太陽電池セルと配線シートとの位置合わせを良好に行なうことができ、また、信頼性の高い配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することができる。
＜実施の形態２＞
本実施の形態２は、太陽電池セルの裏面に、第２導電型用電極の位置合わせのための４つの第２導電型用アライメントマークがそれぞれ異なる電極ラインに設けられ、配線シートに設けられる開口部の配置がアライメントマークの配置に対応して異なる以外は、実施の形態１と同様であり、上記実施の形態１と重複する部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図６（ａ）に本実施の形態２の裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の平面模式図を示す。図６（ａ）は、図１の破線部に示す列方向に隣接する２つの太陽電池セル２０の裏面に相当し、図３中の矢印Ａの方向から見た平面模式図である。
本実施の形態２において、太陽電池セル裏面には第２導電型用電極の位置合わせのための４つの第２導電型用のアライメントマークを含む。
上記４つの第２導電型用アライメントマークのうちの２つの第２導電型用アライメントマークａとアライメントマークｃとは、複数の第２導電型用電極ラインのうちの任意の２つの第２導電型用電極ラインの一方の端部を、この第２導電型用電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセルの内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられる。また、上記４つの第２導電型用アライメントマークのうちの他方の２つの第２導電型用アライメントマークｂとアライメントマークｄとは、上記第２導電型用アライメントマークａおよびアライメントマークｃを設けるスペースの形成のために、端部を内側に位置させた第２導電型用電極ラインとは異なる第２導電型用電極ラインの、上記第２導電型用アライメントマークａおよびアライメントマークｃとは反対側の電極ラインの端部を、この第２導電型用電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型用電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセルの内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられている。
図６（ａ）に、第２導電型用電極の位置合わせのためのアライメントマークが４つ設けられた太陽電池セルの裏面の模式図を示すが、本発明におけるアライメントマークはこのような形態に限られない。すなわち、たとえば第１導電型用電極の位置合わせのための４つの第１導電型用アライメントマークを有する態様としてもよい。また、アライメントマークは少なくとも４つ設けられるので、上記第２導電型用電極の位置合わせのための第２導電型用アライメントマークの他に、第１導電型用電極の位置合わせのための第１導電型用アライメントマークを１以上備る態様や、さらに第２導電型用電極の位置合わせのための第２導電型用アライメントマークが設けられていてもよい。少なくとも４つあれば、十分に精度よく位置合わせを行なうことができる。
このようなアライメントマークの配置は、セルの裏面の電極およびアライメントマークの形状および配置だけを考慮した際に、同一平面内で、電極パターンの中心に関して点対称の位置や形状とならない配置または形状とすることが望ましい。このような配置または形状とすることで、配線シートに太陽電池セルを載置する工程において、太陽電池セルが同一平面内で回転した場合には、アライメントマークが観測できない、または観測するアライメントマークの形状がその他の観測されている形状と異なるので、セルの配置の誤りが明確となり、そのままの状態で配線シートと位置合わせをしてしまうことを防ぐことができる。
上記アライメントマークの形状は、図６（ａ）に示すように円形であってもよく、三角や四角形状であってもよい。また、列Ｌ1で観測されるアライメントマークと列Ｌ2で観測されるアライメントマークとが相異なる形状であってもよい。このように列ごとに異なる形状のアライメントマークが観測されるようにすることで、観測するアライメントマークのチェックによって、配線シートに載置するセルの方向が所望の方向であることを確認することができる。
（配線シートにおける開口部）
図６（ｂ）に、本実施の形態２における配線シートの一例の平面模式図を示す。図６（ｂ）は、図１の破線部に示す列方向に隣接する２つのセル配置部に対応する配線パターンを示し、図３中の矢印Ａの方向から見た平面模式図である。図６（ｂ）においては配線シートを構成する配線材のみを示す。１つのセル配置部に相当する配線材に２つの開口部が設けられる。第２配線に含まれる複数の櫛歯形状部の少なくとも１つの櫛歯形状部の先端が、両側の櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されて、配線長の一部を欠いた異形状部１３ａが２箇所設けられている。この形状の配線端の異形状部１３ａにより裏面電極型太陽電池セルに備えられたアライメントマークを認識できる開口部が形成されている。また、太陽電池セル裏面のアライメントマークをより認識し易くするために、図４（ｂ）と同様、配線端の異形状部１３ａの両隣に位置する列の配線に湾曲部形状である異形状部１２ｂが形成されていてもよい。
本実施の形態２においても、上記開口部を有する第１配線１２および第２配線１３からなる配線パターンは、配線シート全体の少なくとも１つのセル配置部１９に対応する配線パターンに備えられていればよく、２以上のセル配置部１９に対応する配線パターンや、配線シート全体において設けられていてもよい。
（裏面電極型太陽電池セルおよび配線シートのアライメント）
上記アライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル（図６（ａ））および開口部を有する配線シート（図６（ｂ））は、図６（ｃ）に示すように、配線シートに設けられた開口部から裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの一部が認識できるように重ね合わせられる。
たとえば、図３の矢印Ａの方向に相当する位置から透過光による透過画像を用いて観測して、図６（ｃ）に示すように、配線シートの列Ｌ1の異形状部１３ａおよび異形状部１２ｂからなる開口部を介して、裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークａおよびアライメントマークｃが認識される。配線シートの列Ｌ2の異形状部１３ａおよび異形状部１２ｂからなる開口部をとおして、裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークｂおよびアライメントマークｄが認識される。このように配置することによって、アライメントの誤差が５０μｍ以下である配線シート付き太陽電池セルが形成される。
上記のように配線シートに設けられた開口部を介して裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの少なくとも一部が認識できるようにアライメントマークおよび開口部を設けることによって、１つの観測領域において太陽電池セル裏面のアライメントマークおよび配線シートの開口部の両方を観測することができる。
以上のように、本発明の裏面電極型太陽電池セルは、上記少なくとも４つのアライメントマークを有するので、電流方向が互いに反対となる太陽電池ストリング列を有する配線シート付き太陽電池セルの製造において、太陽電池セルを列ごとに反転（回転）させる必要がない。また、少なくとも２つのアライメントマークを配線シートの配線と重ならない配置として、配線シートの開口部を介してアライメントマークを観測することで、太陽電池セルと配線シートとの回転方向のずれも防止することができる。
また、太陽電池モジュールの製造において、太陽電池セルを配線シートに配置する際に、図５に示すように隣り合う列の太陽電池セルを一方向に保つことができるので、製造効率を向上させることができる。
さらに、本実施の形態２においては、１つの電極ラインの両端のそれぞれにアライメントマークを設けなくてもよいので、セルや配線シートの設計に合わせて適宜電極ラインを選択すればよく、選択幅が実施の形態１に比べて広いものとなる。
＜実施の形態３＞
本実施の形態３は、太陽電池セルの裏面に、第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用アライメントマークと、第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用アライメントマークとがそれぞれ異なる電極ラインに設けられ、配線シートに設けられる開口部の配置がアライメントマークの配置に対応して異なる以外は、実施の形態１と同様であり、上記実施の形態１と重複する部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図７（ａ）に本実施の形態３の裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の平面模式図を示す。図７（ａ）は、図１の破線部に示す列方向に隣接する２つの太陽電池セル２０の裏面に相当し、図３中の矢印Ａの方向から見た平面模式図である。
本実施の形態３において、太陽電池セル裏面には第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用アライメントマークと、第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用アライメントマークとを含む。
上記４つのアライメントマークのうち、第１導電型用のアライメントマークｅとアライメントマークｆとは、複数の第１導電型用電極ラインのうちの任意の２つの第１導電型用電極ラインの一方の端部を、この第１第導電型用電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセルの内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられる。第１導電型用のアライメントマークｅとアライメントマークｆとは、電極ライン端部の同じ端部側に設けられている。
また、上記４つのアライメントマークのうち、第２導電型用のアライメントマークａとアライメントマークｃとは、複数の第２導電型用電極ラインのうちの任意の２つの第２導電型用電極ラインの一方の端部を、この第２導電型用電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセルの内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられる。第２導電型用のアライメントマークａとアライメントマークｃとは、上記第１導電型用のアライメントマークと同じ端部側に設けられている。
図７（ａ）には、本実施の形態３における裏面電極型太陽電池セルの裏面の模式図を示すが、本発明におけるアライメントマークはこのような形態に限られない。すなわち、アライメントマークは少なくとも４つ設けられるので、上記第１導電型用アライメントマークおよび第２導電型用アライメントマークの他に、さらに第１導電型用電極の位置合わせのための第１導電型用アライメントマークを１以上備る態様や、第２導電型用電極の位置合わせのための第２導電型用アライメントマークがさらに設けられていてもよい。少なくとも４つあれば、十分に精度よく位置合わせを行なうことができる。
図７（ａ）においては、第１導電型用アライメントマークと第２導電型用アライメントマークとが隣接する電極列上の端部に位置しているが、このような形態に限られず、隣り合わない電極列上の同じ方向の端部に存在してもよい。
このようなアライメントマークの配置は、セルの裏面の電極およびアライメントマークの形状および配置だけを考慮した際に、同一平面内で、電極パターンの中心に関して点対称の位置や形状とならない配置または形状とすることが望ましい。このような配置または形状とすることで、配線シートに太陽電池セルを載置する工程において、太陽電池セルが同一平面内で回転した場合には、アライメントマークが観測できない、または観測するアライメントマークの形状がその他の観測されている形状と異なるので、セルの配置の誤りが明確となり、そのままの状態で配線シートと位置合わせをしてしまうことを防ぐことができる。
上記アライメントマークの形状は、図７（ａ）に示すように円形であってもよく、三角や四角形状であってもよい。また、第１導電型用アライメントマークと第２導電型用アライメントマークとが相異なる形状であったり、列Ｌ1で観測されるアライメントマークと列Ｌ2で観測されるアライメントマークとが相異なる形状であってもよい。このように導電型ごと、または列ごとに異なる形状のアライメントマークが観測されるようにすることで、観測するアライメントマークのチェックによって、配線シートに載置するセルの方向や電極の極性を確認することができ、セルの電極配置のずれなどを回避することができる。
（配線シートにおける開口部）
図７（ｂ）に、本実施の形態３における配線シートの一例の平面模式図を示す。図７（ｂ）は、図１の破線部に示す列方向に隣接する２つのセル配置部に対応する配線パターンを示し、図３中の矢印Ａの方向から見た平面模式図である。
図７（ｂ）においては配線シートを構成する配線材のみを示す。１つのセル配置部に相当する配線材に２つの開口部が設けられる。列Ｌ1においては第２配線に含まれる複数の櫛歯形状部の少なくとも１つの櫛歯形状部の先端が、その両側の櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されて、配線長の一部を欠いた異形状部１３ａが２箇所設けられている。この形状の配線端の異形状部１３ａにより裏面電極型太陽電池セルに備えられたアライメントマークを認識できる開口部が形成されている。また、太陽電池セル裏面のアライメントマークをより認識し易くするために、図４（ｂ）と同様、配線端の異形状部１３ａの両隣に位置する列の配線に湾曲部形状である異形状部１２ｂが形成されていてもよい。
また、列Ｌ2においては第１配線に含まれる複数の櫛歯形状部の少なくとも１つの櫛歯形状部の先端が、その両側に位置する櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されて、配線長の一部を欠いた異形状部１２ａが２箇所設けられている。この形状の配線端の異形状部１２ａにより裏面電極型太陽電池セルに備えられたアライメントマークを認識できる開口部が形成されている。また、太陽電池セル裏面のアライメントマークをより認識し易くするために、図４（ｂ）と同様、配線端の異形状部１２ａの両隣に位置する列の配線に湾曲部形状である異形状部１３ｂが形成されていてもよい。
本実施の形態３においても、上記開口部を有する第１配線１２および第２配線１３からなる配線パターンは、配線シート全体の少なくとも１つのセル配置部１９に対応する配線パターンに備えられていればよく、２以上のセル配置部１９に対応する配線パターンや、配線シート全体において設けられていてもよい。
（裏面電極型太陽電池セルおよび配線シートのアライメント）
上記アライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル（図７（ａ））および開口部を有する配線シート（図７（ｂ））は、図７（ｃ）に示すように、配線シートに設けられた開口部から裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの一部が認識できるように重ね合わせられる。
たとえば、図３の矢印Ａの方向に相当する位置から透過光による透過画像を用いて観測して、図７（ｃ）に示すように、配線シートの列Ｌ1の異形状部１３ａおよび異形状部１２ｂからなる開口部を介して、裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークａおよびアライメントマークｃが認識される。配線シートの列Ｌ2の異形状部１２ａおよび異形状部１３ｂからなる開口部をとおして、裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークｅおよびアライメントマークｆが認識される。このように配置することによって、アライメントの誤差が５０μｍ以下である配線シート付き太陽電池セルが形成される。
上記のように配線シートに設けられた開口部を介して裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの少なくとも一部が認識できるようにアライメントマークおよび開口部を設けることによって、１つの観測領域において太陽電池セル裏面のアライメントマークおよび配線シートの開口部の両方を観測することができる。
以上のように、本発明の裏面電極型太陽電池セルは、上記少なくとも４つのアライメントマークを有するので、電流方向が互いに反対となる、太陽電池ストリング列を有する配線シート付き太陽電池セルの製造において、太陽電池セルを列ごとに反転（回転）させる必要がない。また、少なくとも２つのアライメントマークを配線シートの配線と重ならない配置として、配線シートの開口部を介してアライメントマークを観測することで、太陽電池セルと配線シートとの回転方向のずれも防止することができる。
また、太陽電池モジュールの製造において、太陽電池セルを配線シートに配置する際に、図５に示すように隣り合う列の太陽電池セルを一方向に保つことができるので、製造効率を向上させることができる。
さらに、本実施の形態３においては、実施の形態２と同様に、１つの電極ラインの両端のそれぞれにアライメントマークを設けなくてもよいので、セルや配線シートの設計に合わせて適宜電極ラインを選択すればよく、選択幅が実施の形態１に比べて広いものとなる。
上記実施の形態３の態様においては、第１導電型と第２導電型の両方の導電型電極ラインにアライメントマークを設けるので、有効な電極長が両方の導電型で同じ長さとなり、発電効率をより向上させることができる。その他、本実施の形態３では、図７（ａ）のように異なる導電型用のアライメントマークを、電極ラインの同じ側の端部に設けるので、たとえばアライメントマークａとアライメントマークｅという異なる導電型の一対のアライメントマークを近い位置に配置することが可能となる（一方の導電型のアライメントマークを設ける場合は、必ず間に他の導電型の電極ラインが存在するので、この状態に比べて一対のアライメントマークが近くに位置することとなる）。このような配置の場合は、配線シートの開口部を介して観測するアライメントマークの位置が列ごとに大きく変化しないので、すなわち、例えば図７（ａ）では、上記一対のアライメントマークは隣り合う電極ライン上に配置されていることになり、列Ｌ1と列Ｌ2とで観測位置自体はほとんど変わらないので、観測装置の観測領域の固定ができ、位置合わせ装置の簡易化および高精度化に有効である。
＜実施の形態４＞
本実施の形態４は、太陽電池セルに設けられるアライメントマークが、第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用アライメントマークと、第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用アライメントマークとがそれぞれ異なる電極列に設けられ、配線シートに設けられる開口部の配置が異なる以外は、実施の形態１と同様であり、上記実施の形態１と重複する部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図８（ａ）に本実施の形態４の裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の平面模式図を示す。図８（ａ）は、図１の破線部に示す列方向に隣接する２つの太陽電池セル２０の裏面に相当し、図３中の矢印Ａの方向から見た平面模式図である。
本実施の形態４において、太陽電池セルには第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用のアライメントマークと、第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用のアライメントマークとの４つのアライメントマークを含む。
上記２つの第１導電型用アライメントマークのうちの一方の第１の第１導電型用アライメントマークｅは、複数の第１導電型用電極ラインのうちの任意の１つの第１導電型用電極ラインの一方の端部を、この第１導電型用電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセルの内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられる。また、上記２つの第１導電型用アライメントマークのうちの他方の第２の第１導電型用アライメントマークｇは、上記第１の第１導電型用アライメントマークとは反対側の端部であって、上記複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの上記第１導電型用電極ラインの一方の端部を、この第１導電型用電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型用電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセルの内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられる。なお、第１の第１導電型用アライメントマークと第２の第１導電型用アライメントマークとは異なる電極ラインの延長線上に設けられる。
また、上記２つの第２導電型用アライメントマークのうちの一方の第１の第２導電型用アライメントマークａは、複数の第２導電型用電極ラインのうちの任意の１つの第２導電型用電極ラインの一方の端部を、この第２導電型用電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセルの内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられる。また、上記２つの第２導電型用アライメントマークのうちの他方の第２の第２導電型用アライメントマークｄは、上記第１の第２導電型用アライメントマークとは反対側の端部であって、上記複数の第２導電型用電極ラインのうちの１つの上記第２導電型用電極ラインの一方の端部を、この第２導電型用電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型用電極ラインのいずれかの電極ラインの端部よりもセルの内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられる。なお、第１の第２導電型用アライメントマークと第２の第２導電型用アライメントマークとは異なる電極ラインの延長線上に設けられる。
図８（ａ）においては、第１導電型用アライメントマークと第２導電型用アライメントマークとが隣接する電極列上の端部に位置しているが、このような形態に限られず、隣り合わない電極列上の同じ方向の端部に存在してもよい。
このようなアライメントマークの配置は、セルの裏面の電極およびアライメントマークの形状および配置だけを考慮した際に、同一平面内で、電極パターンの中心に関して点対称の位置や形状とならない配置または形状とすることが望ましい。このような配置または形状とすることで、配線シートに太陽電池セルを載置する工程において、太陽電池セルが同一平面内で回転した場合には、アライメントマークが観測できない、または観測するアライメントマークの形状がその他の観測されている形状と異なるので、セルの配置の誤りが明確となり、そのままの状態で配線シートと位置合わせをしてしまうことを防ぐことができる。
上記アライメントマークの形状は、図８（ａ）に示すように円形であってもよく、三角や四角形状であってもよい。また、第１導電型用アライメントマークと第２導電型用アライメントマークとが相異なる形状であったり、列Ｌ1で観測されるアライメントマークと列Ｌ2で観測されるアライメントマークとが相異なる形状であってもよい。このように導電型ごと、または列ごとに異なる形状のアライメントマークが観測されるようにすることで、観測するアライメントマークのチェックによって、配線シートに載置するセルの方向や電極の極性を確認することができ、セルの電極配置のずれなどを回避することができる。
（配線シートにおける開口部）
図８（ｂ）に、本実施の形態４における配線シートの一例の平面模式図を示す。図８（ｂ）は、図１の破線部に示す列方向に隣接する２つのセル配置部に対応する配線パターンを示し、図３中の矢印Ａの方向から見た平面模式図である。
図８（ｂ）においては配線シートを構成する配線材のみを示す。１つのセル配置部に相当する配線材に２つの開口部が設けられる。第１配線に含まれる複数の櫛歯形状部の少なくとも１つの櫛歯形状部の先端が、両側の櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されて、配線長の一部を欠いた異形状部１２ａが構成され、第２配線に含まれる複数の櫛歯形状部の少なくとも１つの櫛歯形状部の先端が、両側の櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されて、配線長の一部を欠いた異形状部１３ａが構成されている。この形状の配線端の異形状部１２ａおよび配線端の異形状部１３ａにより裏面電極型太陽電池セルに備えられたアライメントマークを認識できる開口部が形成されている。また、太陽電池セル裏面のアライメントマークをより認識し易くするために、図４（ｂ）と同様、配線端の異形状部１２ａおよび配線端の異形状部１３ａのそれぞれの両隣に位置する列の配線に湾曲部形状である異形状部１３ｂおよび湾曲部形状である異形状部１２ｂが形成されていてもよい。
本実施の形態４においても、上記開口部を有する第１配線１２および第２配線１３からなる配線パターンは、配線シート全体の少なくとも１つのセル配置部１９に対応する配線パターンに備えられていればよく、２以上のセル配置部１９に対応する配線パターンや、配線シート全体において設けられていてもよい。
（裏面電極型太陽電池セルおよび配線シートのアライメント）
上記アライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル（図８（ａ））および開口部を有する配線シート（図８（ｂ））は、図８（ｃ）に示すように、配線シートに設けられた開口部から裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの一部が認識できるように重ね合わせられる。
たとえば、図３の矢印Ａの方向に相当する位置から透過光による透過画像を用いて観測して、図８（ｃ）に示すように、配線シートの列Ｌ1の異形状部１３ａおよび異形状部１２ｂからなる開口部を介して、裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークａが認識され、配線端の異形状部１２ａおよび異形状部１３ｂからなる開口部を介して裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークｇが認識される。配線シートの列Ｌ2の異形状部１２ａおよび異形状部１３ｂからなる開口部をとおして、裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークｅが認識され、配線シートの配線端の異形状部１３ａおよび異形状部１２ｂからなる開口部を介して裏面電極型太陽電池セルの裏面のアライメントマークｄが認識される。このように配置することによって、アライメントの誤差が５０μｍ以下である配線シート付き太陽電池セルが形成される。
上記のように配線シートに設けられた開口部を介して裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの少なくとも一部が認識できるようにアライメントマークおよび開口部を設けることによって、１つの観測領域において太陽電池セル裏面のアライメントマークおよび配線シートの開口部の両方を観測することができる。
また、太陽電池モジュールの製造において、太陽電池セルを配線シートに配置する際に、図５に示すように隣り合う列の太陽電池セルを一方向に保つことができるので、製造効率を向上させることができる。
以上のように、本発明の裏面電極型太陽電池セルは、上記少なくとも４つのアライメントマークを有するので、電流方向が互いに反対となる太陽電池ストリング列を有する配線シート付き太陽電池セルの製造において、太陽電池セルを列ごとに反転（回転）させる必要がない。また、少なくとも２つのアライメントマークを配線シートの配線と重ならない配置として、配線シートの開口部を介してアライメントマークを観測することで、太陽電池セルと配線シートとの回転方向のずれも防止することができる。
さらに、本実施の形態４においては、実施の形態２および３と同様に、１つの電極ラインの両端のそれぞれにアライメントマークを設けなくてもよいので、セルや配線シートの設計に合わせて適宜電極ラインを選択すればよく、選択幅が実施の形態１に比べて広いものとなる。
また、上記実施の形態３と同様に、異なる導電型の一対のアライメントマークを近い位置に配置することが可能となるので、配線シートの開口部を介して観測するアライメントマークの位置が列ごとに大きく変化せず、観測装置の観測領域の固定ができるので、位置合わせ装置の簡易化および高精度化に有効である。
本実施の形態４の態様においては、第１導電型と第２導電型の両方の導電型電極ラインにアライメントマークを設けるので、有効な電極長が両方の導電型で同じ長さとなり、発電効率をより向上させることができる。その他、本実施の形態４では、図８（ａ）のように異なる導電型用のアライメントマークを、電極ラインの異なる側の端部に設けるので、配線シートの開口部を介して観測できるアライメントマークが、電極ラインの両端側に１つずつ備えられていることになり、１つの裏面電極型太陽電池セルにおいて観測する２つのアライメントマーク間の距離を、同じ端側の電極ラインに設けるよりも長くすることができ、たとえば、セルの対角近傍での位置合わせを行なうことができるようになる。この場合、電極ラインの同じ端側にある２つのアライメントマークを観測する場合（セルの辺側での位置合わせ）に比べて、より精度の高い位置合わせができることになる。
＜実施の形態５＞
本実施の形態５は、第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用アライメントマークと、第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用アライメントマークとが設けられる上記スペースが、複数の電極ラインにより形成される以外は、実施の形態４と同様であり、上記実施の形態４と重複する部分についてはその説明は繰り返さない。
（裏面電極型太陽電池セルにおけるアライメントマーク）
図１０に本実施の形態５の裏面電極型太陽電池セルの裏面の一例の平面模式図を示す。図１０は、図１の破線部に示す列方向に隣接する２つの太陽電池セル２０の裏面に相当し、図３中の矢印Ａの方向から見た平面模式図である。
本実施の形態５において、太陽電池セルには第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用のアライメントマークと、第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用のアライメントマークとの４つのアライメントマークを含む。
上記２つの第１導電型用アライメントマークと上記２つの第２導電型用アライメントマークとは、それぞれ２以上の電極ラインにより形成されるスペースに設けられている。図１０においては、第１の第１導電型用アライメントマークａは、複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの第１導電型用電極ラインおよび該第１導電型用電極ラインの両側に配置された第２導電型用電極ラインの端部の一方を、これらの電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成された上記領域内のスペースに設けられている。すなわち、連続する３本の電極ラインの一方端にスペースが設けられている状態となる（図１０および図１０のアライメントマーク部分の拡大図である図１１（ａ））。
同様に、第２の第１導電型用アライメントマークｄは、上記第１の第１導電型用アライメントマークａが設けられるのとは異なる電極ラインの端部の一方であって、複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの第１導電型用電極ラインおよび該第１導電型用電極ラインの両側に配置された第２導電型用電極ラインの端部の一方を、これらの電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成された上記領域内のスペースに設けられている。上記第１の第１導電型用アライメントマークａと同様に、連続する３本の電極ラインの一方端によりスペースが設けられている状態となる（図１０および図１０のアライメントマーク部分の拡大図である図１１（ｂ））。
上記２つの第２導電型用アライメントマークを構成する第１の第２導電型用アライメントマークｃと第２の第２導電型用アライメントマークｂとは、第２導電型用電極ラインの互いに異なる端部側であって、それぞれ複数の第２導電型電極ラインのうちの１つの第２導電型電極ラインおよび該第２導電型用電極ラインの両側に配置された第１導電型用電極ラインの両端部の一方を、これらの電極ラインとは別の、上記複数の第１および第２導電型電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成された上記領域内のスペースに設けられている。すなわち、第１の第２導電型用アライメントマークｃと第２の第２導電型用アライメントマークｂとは、連続する３本の電極ラインの一方端にスペースが設けられている状態となる。
また、本発明においては、第１の第１導電型用アライメントマークと第１の第２導電型用アライメントマークとを設けるスペースとは無関係な電極ラインの両端部の少なくとも一方を欠いた形状としてもよい。図１０においては、６本の連続する電極ラインによりスペースが形成されている。
本実施の形態５においては、第１の第２導電型用アライメントマークｃと第２の第２導電型用アライメントマークｂとは、電極ラインよりも幅広い形状を有する。このように、アライメントマークが電極ラインよりも幅広い形状を有する場合はより識別力を向上させることができるので好ましい。ただし、このようにアライメントマークの幅が電極ラインよりも幅広い場合は、上記実施の形態１〜４のように１つの電極ラインの端部をセルの内側に位置させることにより形成されたスペースにアライメントマークを設けると、隣接する電極ラインとの距離が短くなるために、マイグレーションが発生する虞があるので、本実施の形態のように複数の電極ラインにより形成されたスペースにアライメントマークを設けることが好ましい。このような、電極ラインとアライメントマークの幅との関係は、これら電極ラインとアライメントマークを形成する際の精度や観測装置の精度などにより、複数の電極ラインとするか１つの電極ラインとするかを適宜変更すればよい。
図１０においては、第１導電型用アライメントマークと第２導電型用アライメントマークとは電極ラインの配列が連続する位置に設けられているが、このような形態に限られず、連続しない電極ラインの配列上に存在してもよい。
（配線シートにおける開口部）
図１２に、本実施の形態５における配線シートの一例の平面模式図を示す。図１２は、図１の破線部に示す列方向に隣接する２つのセル配置部に対応する配線パターンを示し、図３中の矢印Ａの方向から見た平面模式図である。配線シートは、絶縁性基材と、絶縁性基材の表面上に設置された配線材とを有し、図１２においては配線材のみを示す。
図１２において、第１配線に含まれる複数の櫛歯形状部の少なくとも３つの櫛歯形状部の先端が、両側の櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されて、配線長の一部を欠いた異形状部１２ａが構成されている。また、第２配線に含まれる複数の櫛歯形状部の少なくとも３つの櫛歯形状部１３の先端が、両側の櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されて、配線長の一部を欠いた異形状部１３ａが構成されている。この形状の配線端の異形状部１２ａおよび配線端の異形状部１３ａにより裏面電極型太陽電池セルに備えられたアライメントマークを認識できる開口部が形成されている。また、太陽電池セル裏面のアライメントマークをより認識し易くするために、配線端の異形状部１３ａのいずれか１つの両隣に位置する列の配線に湾曲部形状である異形状部１２ｂが形成されていてもよく、異形状部１２ａのいずれか１つの両隣に位置する列の一方の配線に湾曲部形状である異形状部１２ａと凸状の異形状部１３ｃとを形成した態様としてもよい。
本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池セルは連続する６本の電極ラインが、これらの電極ラインの端部に配置された電極ラインの端部よりもセル内側に位置するようにスペースが形成されている。他方、配線シートにおいては、上記太陽電池セルのアライメントマークが設けられるスペースに対応する位置の３つの配線パターンの配線長の一部を欠いた異形状部となっている。このような構成とする場合は、配線長がその他の同形状部分と同じ部分において、セルに設けられた第１導電型用電極または第２導電型用電極との接続を確保することができるので、電流取り出し効率の点から好ましい。
（裏面電極型太陽電池セルおよび配線シートのアライメント）
上記アライメントマークを有する裏面電極型太陽電池セル（図１０）および開口部を有する配線シート（図１２）は、図１３に示すように、配線シートに設けられた開口部から裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの一部が認識できるように重ね合わせられる。たとえば、図３の矢印Ａの方向に相当する位置から透過光による透過画像を用いて観測して、図１３、図１３のアライメントマーク部分の拡大図である図１４（ａ）、図１４（ｂ）、図１４（ｃ）および図１４（ｄ）に示すように、配線シートのある列（列Ｌ2に対応、図１４（ｂ））の異形状部１３ａからなる開口部をとおして、裏面電極型太陽電池セルの裏面の第１導電型用アライメントマークａが認識され、別の列（列Ｌ1に対応）の配線端の異形状部１３ａおよび湾曲部形状である異形状部１２ｂからなる開口部を介して裏面電極型太陽電池セルの裏面の第２導電型用アライメントマークｃが認識される（図１４（ａ））。配線シートのある列（列Ｌ2に対応、図１４（ｄ））の異形状部１２ａおよび湾曲部形状である異形状部１３ｂおよび異形状部１３ｃからなる開口部をとおして、裏面電極型太陽電池セルの裏面の第１導電型用アライメントマークｄが認識され、別の列（列Ｌ1に対応）の配線端の異形状部１２ａからなる開口部を介して裏面電極型太陽電池セルの裏面の第２導電型用アライメントマークｂが認識される（図１４（ｃ））。このように配置することによって、アライメントの誤差が５０μｍ以下である配線シート付き太陽電池セルが形成される。なお、図１４において絶縁性基板および半導体基板は図示していない。
上記のように配線シートに設けられた開口部を介して裏面電極型太陽電池セルに設けられたアライメントマークの少なくとも一部が認識できるようにアライメントマークおよび開口部を設けることによって、１つの観測領域において太陽電池セル裏面のアライメントマークおよび配線シートの開口部の両方を観測することができる。
本実施の形態５のような開口部を設けると、アライメントマークの幅を電極ラインよりも幅広くすることができるので、アライメントマークの識別がしやすくなる。また、複数の電極ライン分のスペースを形成し、そこにアライメントマークを設けるので、アライメントマークと隣接する電極ラインとの距離が短くならず、短絡やマイグレーションが起こる虞がない。配線シートの開口部に隣り合う配線が湾曲した形状部を備えるので、アライメントマークと隣接する配線との距離が短くならず、短絡やマイグレーションが起こる虞がないので好ましい。
以上のように本発明の実施の形態について説明を行なったが、上述の各実施の形態の構成を適宜組み合わせることも当初から予定している。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
本発明によれば、太陽電池モジュールの出力効率および製造効率を向上させることができる配線シート付き太陽電池セルおよび太陽電池モジュールを提供することができる。
１０ 配線シート、１１ 絶縁性基板、１２ 第１配線、１３ 第２配線、１５ 観測装置、１６ 配線材、１９ セル配置部、２０ 裏面電極型太陽電池セル、２１ 半導体基板、２２ 第１導電型不純物拡散領域、２３ 第２導電型不純物拡散領域、２４ 第１導電型用電極ライン、２５ 第２導電型用電極ライン、ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆ，ｇ アライメントマーク、１２ａ，１２ｂ，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ 異形状部、２６ パッシベーション膜、２７ 反射防止膜、３１ 封止材、３１ａ 第１の透明樹脂、３１ｂ 第２の透明樹脂、３２ 裏面保護シート、３３ 透明基板、１００ 配線シート付き太陽電池セル。

Claims (11)

  1. 半導体基板の一方の面側に形成された第１導電型用電極と第２導電型用電極とを備えた裏面電極型太陽電池セルと、該裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線を備えた配線シートとを有する配線シート付き太陽電池セルであって、
    前記裏面電極型太陽電池セルは、前記半導体基板の前記一方の面側であって前記第１導電型用電極と前記第２導電型用電極とが形成される以外の領域に、少なくとも４つのアライメントマークを有し、
    前記第１導電型用電極は、複数の第１導電型用電極ラインを並べるように形成されており、
    前記第２導電型用電極は、複数の第２導電型用電極ラインを並べるように形成されており、
    前記第１導電型用電極ラインと前記第２導電型用電極ラインとは、交互に配列されており、
    前記アライメントマークは、前記複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの第１導電型用電極ラインまたは前記複数の第２導電型用電極ラインのうちの１つの第２導電型用電極ラインの少なくとも一方の端部を、前記複数の第１導電型用電極ラインおよび前記複数の第２導電型用電極ラインのうちの別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられており、
    前記配線シートの前記配線は、同形状の同形状部を複数備えると共に、該同形状部の一部を欠いたような異形状部を少なくとも２つ備え、電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含み、
    前記第１配線および前記第２配線のそれぞれは、前記同形状部または前記異形状部に相当する複数の櫛歯形状部と、該複数の櫛歯形状部を接続する接続配線部とを含み、
    前記第１配線および前記第２配線に含まれる前記複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも２つの櫛歯形状部の先端が前記複数の櫛歯形状部のうちの別のいずれかの櫛歯形状部の先端よりも内側に位置して、前記裏面電極型太陽電池セルの少なくとも２つのアライメントマークと前記配線シートの前記配線とが重ならないように形成されており、それ以外のアライメントマークが前記配線シートの前記配線に重なる、配線シート付き太陽電池セル。
  2. 前記アライメントマークは、前記第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用アライメントマークを含み、
    前記２つの第１導電型用アライメントマークは、前記複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの第１導電型用電極ラインの両端部を、前記複数の第１導電型用電極ラインおよび前記複数の第２導電型用電極ラインのうちの別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられている請求項１に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  3. 前記アライメントマークは、前記第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用アライメントマークを含み、
    前記２つの第２導電型用アライメントマークは、前記複数の第２導電型用電極ラインのうちの１つの第２導電型用電極ラインの両端部を、前記複数の第１導電型用電極ラインおよび前記複数の第２導電型用電極ラインのうち別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられている、請求項１または２に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  4. 前記アライメントマークは、前記第１導電型用電極の位置合わせのための２つの第１導電型用アライメントマークを含み、
    前記２つの第１導電型用アライメントマークのうちの一方の第１の第１導電型用アライメントマークは、前記複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの第１導電型用電極ラインの一方の端部を、前記複数の第１導電型用電極ラインおよび前記複数の第２導電型用電極ラインのうち別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられており、
    前記２つの第１導電型用アライメントマークのうちの他方の第２の第１導電型用アライメントマークは、前記第１の第１導電型用アライメントマークとは反対側で、前記複数の第１導電型用電極ラインのうちの１つの第１導電型用電極ラインの一方の端部を、前記複数の第１導電型用電極ラインおよび前記複数の第２導電型用電極ラインのうち別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられている、請求項１に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  5. 前記アライメントマークは、前記第２導電型用電極の位置合わせのための２つの第２導電型用アライメントマークを含み、
    前記２つの第２導電型用アライメントマークのうちの一方の第１の第２導電型用アライメントマークは、前記複数の第２導電型用電極ラインのうちの１つの第２導電型用電極ラインの一方の端部を、前記複数の第１導電型用電極ラインおよび前記複数の第２導電型用電極ラインのうち別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられており、
    前記２つの第２導電型用アライメントマークのうちの他方の第２の第２導電型用アライメントマークは、前記第１の第２導電型用アライメントマークとは反対側で、前記複数の第２導電型用電極ラインのうちの１つの第２導電型用電極ラインの一方の端部を、前記複数の第１導電型用電極ラインおよび前記複数の第２導電型用電極ラインのうち別のいずれかの電極ラインの端部よりも内側に位置させることにより形成されたスペースに設けられている、請求項１または４に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  6. 前記アライメントマークは、前記裏面電極型太陽電池セルの電極材料により形成された、請求項１から５のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  7. 前記アライメントマークは、前記第１導電型用電極の位置合わせのための第１導電型用アライメントマークと、前記第２導電型用電極の位置合わせのための第２導電型用アライメントマークとを含み、
    前記第１導電型用アライメントマークと、前記第２導電型用アライメントマークとは、相異なる形状である、請求項１から６のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  8. 半導体基板の一方の面側に形成された第１導電型用電極と第２導電型用電極とを備えた裏面電極型太陽電池セルと、該裏面電極型太陽電池セルを電気的に接続するための配線を備えた配線シートとを有する配線シート付き太陽電池セルであって、
    前記裏面電極型太陽電池セルは、前記半導体基板の前記一方の面側であって前記第１導電型用電極と前記第２導電型用電極とが形成される以外の領域に、前記第１導電型用電極または前記第２導電型用電極に対応付けられた少なくとも４つのアライメントマークを有し、
    前記配線シートの前記配線は、同形状の同形状部を複数備えると共に、該同形状部の一部を欠いたような異形状部を少なくとも２つ備え、電気的に絶縁された第１配線と第２配線とを含み、
    前記第１配線および前記第２配線のそれぞれは、前記同形状部または前記異形状部に相当する複数の櫛歯形状部と、該複数の櫛歯形状部を接続する接続配線部とを含み、
    前記第１配線および前記第２配線に含まれる前記複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも２つの櫛歯形状部の先端が前記複数の櫛歯形状部のうちの別のいずれかの櫛歯形状部の先端よりも内側に位置して、前記裏面電極型太陽電池セルの少なくとも２つのアライメントマークと前記配線シートの前記配線とが重ならないように形成されており、それ以外のアライメントマークが前記配線シートの前記配線に重なる、配線シート付き太陽電池セル。
  9. 前記第１配線および前記第２配線のうちの一方に含まれる前記複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも２つの櫛歯形状部の先端が、前記一方に含まれる前記複数の櫛歯形状部のうちの別のいずれかの櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されている、請求項１から８のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  10. 前記第１配線に含まれる前記複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも１つの櫛歯形状部の先端が、前記第１配線に含まれる前記複数の櫛歯形状部のうちの別のいずれかの櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されていると共に、
    前記第２配線に含まれる前記複数の櫛歯形状部のうちの少なくとも１つの櫛歯形状部の先端が、前記第２配線に含まれる前記複数の櫛歯形状部のうちの別のいずれかの櫛歯形状部の先端よりも内側に位置するように形成されている、請求項１から８のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セル。
  11. 請求項１から１０のいずれか１項に記載の配線シート付き太陽電池セルを有する太陽電池モジュール。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP5758787B2 (ja) * 2011-12-14 2015-08-05 株式会社日立製作所 太陽電池モジュールの製造装置
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JP4644964B2 (ja) * 2001-04-04 2011-03-09 ソニー株式会社 多結晶性半導体薄膜の形成方法、及び半導体装置の製造方法
JP5252472B2 (ja) * 2007-09-28 2013-07-31 シャープ株式会社 太陽電池、太陽電池の製造方法、太陽電池モジュールの製造方法および太陽電池モジュール

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