JP5374984B2 - 誘電アクチュエータ - Google Patents
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Description
また、かかる構成の誘電アクチュエータの弾性絶縁材料として現在の適用でき
る材料としては合成ゴムが考えられる。合成ゴムとして、たとえばシリコーンゴム、アクリルゴム、アクリル−シリコーン共重合体ゴム、ポリウレタンゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、ニトリルゴムなどが挙げられる。しかしながら、かかるゴム材料自体として、高い誘電率を持つものは知られていない。
対向する一対の電極に誘電弾性体を挟み、該一対の電極間に電圧を印加することにより前記誘電弾性体を変形させる誘電アクチュエータであって、
前記誘電弾性体は弾性高誘電材料部と弾性絶縁材料部とを備え、前記弾性高誘
電材料部と前記一対の電極との間に前記弾性絶縁材料部が介在されている、ことを特徴とする、誘電アクチュエータ。
導電性ゴム材料は絶縁性には劣るものの、大きな誘電率となる。また、合成ゴム材料は絶縁性において極めて優れている。このため、これらを組み合わせることによって、印加電圧に対する変位量を大きくすることができる。
第2の局面で規定される誘電アクチュエータにおいて、前記導電性ゴム材料の基材と前記第1の合成ゴム材料とは同一もしくは同種のゴム材料からなる、ことを特徴とする。ここで、同種のゴム材料とは、合成ゴムを構成する構成単位分子が同じで分子量が異なっていている場合や、合成ゴムの種類(例えばジエン系合成ゴム、シリコン系合成ゴム、フッ素系合成ゴム、アクリル系合成ゴム、EPDM系合成ゴム、これらの合成ゴムの各種共重合体等の種類)が同種である場合等をいう。
弾性高誘電材料部の導電性ゴム材料の基材と弾性絶縁材料部の材料たる第1の合成ゴム材料を同一若しくは同種とすることにより、弾性高誘電材料部と弾性絶縁材料部との間に高い接合力が確保でき、誘電アクチュエータの誘電弾性体としてその機械的安定性が向上する。
第3の局面で規定される誘電アクチュエータにおいて、前記一対の電極は導電性ゴム材料からなり、その基材は前記第1の合成ゴム材料と同一もしくは同種のゴム材料からなる、ことを特徴とする。
このような導電性ゴム材料からなる電極を用いることにより、電極に対して導電性のみならず、可撓性も付与される。このため、誘電弾性体が印加電圧の付与によって変形しても、その変形に電極が追随して変形する。また、その基材を第1の合成ゴムと同一若しくは同種とすることにより、電極と弾性絶縁材部との間に高い接合力が確保できる。その結果、誘電アクチュエータとしてその機械的安定性が向上する。
第3の局面で規定される誘電アクチュエータにおいて、ゴム材料はシリコーンゴム、アクリルゴム、アクリル−シリコーン共重合体ゴム、ポリウレタンゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、ニトリルゴムから選ばれる1種又はこれら2種以上の混合したゴムからなり、
前記導電性ゴム材料は該第1のゴム材料に導電性フイラーを分散したものである、
ことを特徴とする。
これらのゴム材料は、絶縁性及び耐久性に優れており、誘電弾性体として適している。これらの中でも、シリコーンゴムは耐候性、耐熱性、耐薬品性において得に優れており好適に用いることができる。
第3の局面で規定される誘電アクチュエータにおいて、前記第1の合成ゴム材料はシリコーンゴムであり、前記導電性フイラーはカーボン粉である、ことを特徴とする。
本発明者らは、合成ゴム材料としてシリコーンゴムとし、導電性フイラーとしてカーボン粉を用いることにより、印加電圧に対する変位量の大きな誘電アクチュエータを実現できることを確かめている。
第1〜6の局面のいずれかで規定される誘電アクチュエータにおいて、前記弾性高誘電材料部と前記弾性絶縁材料部との界面は凹凸に形成されている、ことを特徴とする。
弾性高誘電材料部と弾性絶縁材料部との界面に凹凸に形成されていれば、弾性高誘電材料部と弾性絶縁材料部との接合強度が増して剥離がし難くなり、ひいては誘電アクチュエータの機械的安定性が向上することとなる。
第1〜7の局面のいずれかで規定される誘電アクチュエータにおいて、前記弾性絶縁材料部と前記電極との界面が凹凸に形成されている、ことを特徴とする。
弾性絶縁材料部と電極との界面が凹凸に形成されていれば、弾性絶縁材料部と電極との接合強度が増して剥離がし難くなり、ひいては誘電アクチュエータの機械的安定性が向上することとなる。
第1〜8の局面のいずれかで規定される誘電アクチュエータにおいて、前記弾性高誘電体は前記弾性絶縁体と同一若しくは同種のゴム材料を基材として、該基材に導電性フイラーを分散させたものであり、該導電性フイラーの分散濃度は前記弾性絶縁体側で薄く、その中心側で濃くなる、ことを特徴とする。
こうであれば、弾性高誘電材料部と弾性絶縁材料部との間での材質変化が小さくなるので、両者間の接合強度が向上し、ひいては誘電アクチュエータの機関的安定性が向上する。
(実施形態1)
図1は、実施形態1にかかる誘電アクチュエータ1を示す断面図である。この誘電アクチュエータ1は、弾性高誘電材料部2が弾性絶縁材料部3a、3bによって挟持されており、さらにその外側から電極4a、4bで挟持された構造となっている。
図2は、実施形態2にかかる誘電アクチュエータ11を示す断面図である。この誘電アクチュエータ11は、ゴム材料に導電性粉体が混合されている弾性高誘電材料部20が多層構造とされており、その中心の層をなす中央弾性高誘電材料部12が第1高誘電材料部13a、13bによって挟持され、さらに外側から第2高誘電材料部14a、14bによって挟持されて弾性高誘電材料部20を構成している。導電性粉体の混合割合は中央弾性高誘電材料部12>第1高誘電材料部13a、13b>第2高誘電材料部14a、14bとされている。その他の構成は、図1に示す実施形態1の誘電アクチュエータと同様であり、同一の構成については同一の符号を付して詳細な説明を省略する。
実施例1では、図1における弾性高誘電材料部2及び弾性絶縁材料部3a、3bの基材を同種のシリコーンゴム(誘電率ε=2)とし、弾性高誘電材料部2にはグラファイト粉末が5重量%添加されたシリコーンゴムを用いた。このグラファイト粉末が添加されたシリコーンゴムの誘電率はε=200となり、シリコーンゴム単独の場合に比べて、約100倍の誘電率となった。また、弾性高誘電材料部2の厚さは200μm、大きさは30mm×30mmとした。さらに、厚さ50μmの同種シリコーンゴム板材を弾性高誘電材料部2と同じ大きさに切り出して、弾性絶縁材料部3a、3bとした。そして、弾性絶縁材料部3a、3bの外側面全体に銀ペーストを塗布して乾燥し、これを電極4a、4bとし、弾性高誘電材料部2の両側から弾性絶縁材料部3a、3bを図示しない治具で挟持させて実施例1の誘電アクチュエータとした。
比較例1では、図3に示すように、アクリロニトリル−ブタジエンゴム(NBR)からなる誘電材料部15が電極15a、16bで挟持された構造とされている。誘電材料部15の厚さは220μmとした。アクリロニトリル−ブタジエンゴムの誘電率εは17であった。
上記実施例1及び比較例1の誘電アクチュエータの電極に2000V電圧を印加して、そのときの厚さ方向の変位量をレーザ変位計で測定した。その結果、実施例1の誘電アクチュエータでは、図4に示すように、膜厚方向の歪み量が−0.0003mmの収縮となったのに対し、比較例1では、図5に示すように、−0.00005mmの収縮となり、実施例1が比較例1に対して6倍の変位を示した。
2、3a、3b、20、12、13a、13b、14a、14b、3a、3b…誘電弾性体(2、12、13a、13b、14a、14b…弾性高誘電材料部、3a、3b…弾性絶縁材料部)
Claims (8)
- 対向する一対の電極に誘電弾性体を挟み、該一対の電極間に電圧を印加することにより前記誘電弾性体を変形させる誘電アクチュエータであって、
前記誘電弾性体は弾性高誘電材料部と弾性絶縁材料部とを備え、前記弾性高誘電材料部と前記一対の電極との間に前記弾性絶縁材料部が介在されており、
前記弾性高誘電材料部は導電性ゴム材料からなり、前記弾性絶縁材料部は第1のゴム材料からなり、
前記導電性ゴム材料の誘電率は前記第1のゴム材料の誘電率より高い、ことを特徴とする、誘電アクチュエータ。 - 前記導電性ゴム材料の基材と前記第1のゴム材料とは同一もしくは同種のゴム材料からなる、ことを特徴とする請求項1に記載の誘電アクチュエータ。
- 前記一対の電極は導電性ゴム材料からなり、その基材は前記第1のゴム材料と同一もしくは同種のゴム材料からなる、ことを特徴とする請求項2に記載の誘電アクチュエータ。
- 前記第1のゴム材料はシリコーンゴム、アクリルゴム、アクリル−シリコーン共重合体ゴム、ポリウレタンゴム、スチレンブタジエンゴム、クロロプレンゴム、クロロスルホン化ポリエチレン、ニトリルゴムから選ばれる1種又はこれら2種以上の混合したゴムからなり、前記導電性ゴム材料は該第1のゴム材料に導電性フイラーを分散したものである、ことを特徴とする請求項2に記載の誘電アクチュエータ。
- 前記第1のゴム材料はシリコーンゴムであり、前記導電性フイラーはカーボン粉である、ことを特徴とする請求項4に記載の誘電アクチュエータ。
- 前記弾性高誘電材料部と前記弾性絶縁材料部との界面は凹凸に形成されている、ことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の誘電アクチュエータ。
- 前記弾性絶縁材料部と前記電極との界面が凹凸に形成されている、ことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の誘電アクチュエ−タ。
- 前記弾性高誘電体は前記弾性絶縁体と同一若しくは同種のゴム材料を基材として、該基材に導電性フイラーを分散させたものであり、該導電性フイラーの分散濃度は前記弾性絶縁体側で薄く、その中心側で濃くなる、ことを特徴とする請求項2に記載の誘電アクチュエータ。
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