JP5359876B2 - ワーク欠陥検査装置およびそれを用いた光学部材の製造方法 - Google Patents
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Description
[発明の実施の形態1]
以下に、液晶パターン形成用フォトマクスの製造例を説明する。最初に、光学面が研磨され、所定の平面度となった石英ガラス基板(光学部材)を用意する。石英ガラス基板を純水で洗浄した後、実施形態1で説明したワーク欠陥検査装置1のワーク保持装置20で保持し、実施形態1と同様にして欠陥を検査する。次いで、欠陥が石英ガラス基板に存在していたならば、実施形態1で説明したような方法で除去する。次いで、石英ガラス基板を洗浄した後、石英ガラス基板の一方の面にスパッタリングによりクロム(Cr)膜を成膜する。石英ガラス基板を保持する部材により遮蔽されてクロム膜が成膜されない部分があるが、この遮蔽された部分以外はクロム膜が形成されて良い。
Claims (18)
- 120〜380nmの範囲内の波長の光を出射する光源と、
前記光源から出射された光を拡散させる拡散光学系と、
前記拡散光学系によって拡散した光を平行光束にするコリメータと、
前記光源から出射された光の光軸上で光学部材用ワークを保持するワーク保持具と、
前記ワーク保持具に保持されたワークを透過した紫外光を検出し、前記ワーク中の欠陥の2次元分布を測定する紫外光検出器と、
前記ワークを透過した紫外光を紫外光検出器に導く紫外光結像系と、
前記紫外光がワークを通過することによって発生した蛍光を検出する蛍光検出器と、
前記ワーク保持具に保持されたワークを透過した光の一部を蛍光検出器に導く蛍光結像系とを備えているワーク欠陥検査装置であって、
前記ワーク保持具は、前記紫外光検出器と共役になる位置が当該ワーク保持具に保持されたワーク内に収まるように、光軸方向に移動自在に設けられているワーク欠陥検査装置。 - 前記光源は、120〜220nmの範囲内の光を出射する請求項1に記載のワーク欠陥検査装置。
- 前記ワーク保持具は、光軸と交差する方向に移動自在に設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載のワーク欠陥検査装置。
- 前記ワークを透過した紫外光と前記蛍光とを互いに分離する分光素子をさらに備える請求項1〜3のいずれか一項に記載のワーク欠陥検査装置。
- 紫外光を出射する光源と、
前記紫外光に対してワークを移動可能に保持するワーク保持具と、
前記ワーク保持具に保持されたワークを透過した前記紫外光を検出し、前記ワーク中の欠陥の2次元分布を測定する検出器と、
前記紫外光がワークを通過することによって発生した蛍光を検出する蛍光検出器と、
前記ワーク保持具に保持されたワークを透過した光の一部を蛍光検出器に導く蛍光結像系とを備え、前記ワーク保持具によりワークを紫外光に対して移動させながらワーク内に存在する欠陥を検出することで、ワーク内の欠陥の3次元的な分布を求める欠陥検査装置であって、
前記ワーク保持具は、前記紫外光検出器と共役になる位置が当該ワーク保持具に保持されたワーク内に収まるように、光軸方向に移動自在に設けられている欠陥検査装置。 - 前記ワークを紫外光に対して紫外光の光路に沿って移動させながら欠陥の像のコントラストを観察することでワーク内の欠陥の深さを求める請求項5に記載の欠陥検査装置。
- 前記ワークを紫外光に対して紫外光の光路に垂直に移動させながら欠陥の像を観察することでワーク内の欠陥の2次元分布を求める請求項5に記載の欠陥検査装置。
- 前記ワークを透過した紫外光と前記蛍光とを互いに分離する分光素子をさらに備える請求項5〜7のいずれか一項に記載の欠陥検査装置。
- ワークを加工して光学部材を製造する方法であって、
前記ワークを準備するワーク準備工程と、
前記ワークを所望の形状に切断するワーク切断工程と、
前記ワークを所定の透過率になるように研磨するワーク研磨工程と、
請求項1〜8のいずれか一項に記載のワーク欠陥検査装置を用いて前記ワークの欠陥を検査する欠陥検査工程とを含む光学部材の製造方法。 - ワークを加工して光学部材を製造する方法であって、
前記ワークを準備するワーク準備工程と、
前記ワークを所望の形状に切断するワーク切断工程と、
前記ワークを所定の透過率になるように研磨するワーク研磨工程と、
請求項3〜5のいずれか一項に記載のワーク欠陥検査装置を用いて前記ワークの欠陥を検査して3次元分布を測定する欠陥検査工程とを含む光学部材の製造方法。 - ワークを加工して光学部材を製造する方法であって、
予め板状に切り出されたワークを準備するワーク準備工程と、
前記ワークを所定の透過率になるように研磨するワーク研磨工程と、
請求項1〜8のいずれか一項に記載のワーク欠陥検査装置を用いて前記ワークの欠陥を検査する欠陥検査工程とを含む光学部材の製造方法。 - ワークを加工して光学部材を製造する方法であって、
予め板状に切り出されたワークを準備するワーク準備工程と、
前記ワークを所定の透過率になるように研磨するワーク研磨工程と、
請求項3〜5のいずれか一項に記載のワーク欠陥検査装置を用いて前記ワークの欠陥を検査して3次元分布を測定する欠陥検査工程とを含む光学部材の製造方法。 - さらに、前記ワークに欠陥が見つかった場合に当該欠陥を除去する欠陥除去工程を含む請求項9〜12のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法。
- 前記光学部材がフォトマスクであり、ワークの一方の面に金属膜を設ける工程と、金属膜の一部を除去して金属膜のパターンを形成する工程とをさらに含む請求項9〜13のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法。
- 前記透過率は、50%以上である請求項9〜14のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法。
- 前記光学部材の材質は、合成石英ガラスである請求項9〜15のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法。
- 前記光学部材の材質は、フッ化カルシウムである請求項9〜15のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法。
- 前記光学部材の材質は、深紫外光を透過可能なフッ化物結晶である請求項9〜15のいずれか一項に記載の光学部材の製造方法。
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