JP6084507B2 - マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法、及び半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、基板上の薄膜に2つの同一パターンを有する転写用マスクであり、実際には2つの薄膜のパターンには欠陥部分が存在しないが、一方のパターンの直下の基板内部に複屈折量の大きい領域が存在する転写用マスクに対し、Die−to−Die検査を行った場合、複屈折の影響により、基板を透過した2つの検査光の間で偏光状態が異なることとなる。
しかし、上記において説明をしたような複屈折測定装置による基板の複屈折量の測定は、正確な複屈折量と角度を算出するため、測定に要する時間は長く、この工程を入れると、スループットが大幅に低下することとなる。また、この装置自体も構造が複雑かつ高価であり、複屈折量を保証する必要がないマスクブランク用基板に対しては過剰な検査になる。そのため、このような検査光に偏光した光を適用したマスク検査装置に対応することを目的とした基板の複屈折の影響を検査する方法について、より簡便で低コストな方法が望まれていた。
Claims (9)
- 対向する1組の主表面と対向する少なくとも2組の端面を有する透光性基板を用いてマスクブランク用基板を製造する方法であって、
一方の前記主表面または端面から、円偏光に偏光された検査光を前記透光性基板内に導入し、前記一方の主表面または端面に対向する主表面または端面から出射した検査光を、波面が互いに直交する2つの直線偏光に分離し、各直線偏光の光量をそれぞれ測定する測定工程と、
前記測定工程で得られた2つの直線偏光の光量測定値のうち、いずれか一方の光量測定値を、前記2つの直線偏光の光量測定値の和で除して光量比率を算出する算出工程と、
前記算出した光量比率を基にマスクブランク用基板に適する透光性基板を選定する選定工程と
を有することを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法。 - 前記算出工程は、前記2つの直線偏光の光量測定値のうち、小さい方の光量測定値を光量測定値の和で除した値を光量比率として算出し、
前記選定工程は、前記光量比率が0.46以上の透光性基板をマスクブランク用基板に適するものとして選定する工程であることを特徴とする請求項1記載のマスクブランク用基板の製造方法。 - 前記選定工程で選定した透光性基板は、主表面の中心を基準とした一辺が132mmである四角形の内側領域における複屈折量が20nm/cm以下であることを特徴とする請求項2記載のマスクブランク用基板の製造方法。
- 前記透光性基板を通さずに前記検査光を前記2つの直線偏光に分離することにより、前記測定工程と同じ工程で2つの直線偏光の光量を測定し、
前記算出工程と同じ工程で前記光量比率を算出することにより、透光性材料の複屈折量が0nm/cmのときの前記光量比率である基準光量比率を予め算出しておき、
前記算出工程は、前記基準光量比率における透過率を100%の透過率としたときの、前記透光性基板の前記光量比率における透過率である規格化透過率を算出する工程を含み、
前記選定工程は、前記規格化透過率が予め設定した閾値以上である透光性基板をマスクブランク用基板に適するものとして選定する工程であることを特徴とする請求項1記載のマスクブランク用基板の製造方法。 - 前記測定工程は、一方の主表面から円偏光に偏光された検査光を前記透光性基板内に導入し、前記一方の主表面に対向する主表面から出射した検査光を、波面が互いに直交する2つの直線偏光に分離し、各直線偏光の光量をそれぞれ測定する工程であることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のマスクブランク用基板の製造方法。
- 前記透光性基板の検査光を導入する面と、前記検査光が出射する面は、鏡面に研磨されていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のマスクブランク用基板の製造方法。
- 請求項1から6のいずれかに記載のマスクブランク用基板の製造方法で製造されたマスクブランク用基板の主表面に、パターン形成用薄膜を形成する工程を有することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
- 請求項7に記載のマスクブランクの製造方法で製造されたマスクブランクの前記パターン形成用薄膜に転写パターンを形成する工程を有することを特徴とする転写用マスクの製造方法。
- 請求項8に記載の転写用マスクを用い、半導体ウェハ上に回路パターンを形成することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
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