JP4701208B2 - 光学システムの透過損失を特徴付ける方法、基板の特性を測定する方法、及びインスペクション装置 - Google Patents
光学システムの透過損失を特徴付ける方法、基板の特性を測定する方法、及びインスペクション装置 Download PDFInfo
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 75
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 41
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 31
- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 16
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 103
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 25
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 24
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 18
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 12
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 claims 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 10
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 8
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 7
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 5
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 4
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 3
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N Deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 229910052805 deuterium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000009977 dual effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/027—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
- H01L21/0271—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers
- H01L21/0273—Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers characterised by the treatment of photoresist layers
- H01L21/0274—Photolithographic processes
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70908—Hygiene, e.g. preventing apparatus pollution, mitigating effect of pollution or removing pollutants from apparatus
- G03F7/70941—Stray fields and charges, e.g. stray light, scattered light, flare, transmission loss
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/7055—Exposure light control in all parts of the microlithographic apparatus, e.g. pulse length control or light interruption
- G03F7/70566—Polarisation control
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Public Health (AREA)
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
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- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Description
1)分光スキャタロメトリ(Spectroscopic scatterometry)は、通常、キセノン、重水素、またはハロゲンベースの光源などの広帯域光源を使用して、波長に応じて固定角度で散乱される光の特性を測定する。固定角度は、垂直入射または斜め入射とすることができる。
2)角分解スキャタロメトリ(Angle-resolved scatterometry)は、単一波長光源としてレーザ、または狭帯域干渉フィルタ、分散プリズム、または回折格子などの波長選択デバイスと組み合わせた広帯域源をしばしば使用して、入射角度に応じて固定波長で散乱光の特性を測定する。
1.ステップモードにおいて、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTは、本質的に静止して維持され、一方、放射ビームに与えられるパターン全体は、1度にターゲット部分C上に投影される(すなわち、単一の静止露光)。基板テーブルWTは、次に異なるターゲット部分Cが露光できるように、Xおよび/またはY方向にシフトされる。ステップモードにおいて、露光フィールドの最大サイズが、単一の静止露光で結像されるターゲット部分Cのサイズを制限する。
2.スキャンモードにおいて、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTは、同期してスキャンされ、一方、放射ビームに与えられるパターンは、ターゲット部分C上に投影される(すなわち、単一の動的露光)。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPLの(縮小率)倍率および画像反転特徴によって決定できる。スキャンモードにおいて、露光フィールドの最大サイズが、単一の動的露光におけるターゲット部分の幅(非スキャンニング方向)を制限し、一方、スキャンニング移動の長さは、ターゲット部分の高さ(スキャンニング方向)を決定する。
3.他のモードにおいて、マスクテーブルMTは、本質的に静止してプログラマブルパターニングデバイスを保持したままであり、基板テーブルWTは、移動またはスキャンされ、一方、放射ビームに与えられるパターンは、ターゲット部分C上に投影される。このモードにおいて、一般にパルス放射ソースが用いられ、プログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの各移動の後、またはスキャンの間の連続する放射パルスの間に、必要に応じて更新される。動作のこのモードは、上記に参照されたようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクレスリソグラフィに容易に与えることができる。
Claims (18)
- 光学システムの透過損失を特徴付ける方法であって、
放射ビームの照明プロファイルを測定することと、
前記光学システムを通して前記放射ビームを投影することと、
前記光学システムを通して投影される前記放射ビームの角分解スペクトルを測定することと、
P偏光光とS偏光光に関して前記透過損失を特徴付けるために、測定された角分解スペクトルと前記照明プロファイルとを比較することと、
を含む方法。 - 前記P偏光光とS偏光光に関して特徴付けることは、前記光学システムを通して直線偏光放射ビームを投影することと、前記直線偏光に平行な偏光成分および前記直線偏光に垂直な偏光成分の透過を測定することとを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記角分解スペクトルは、前記光学システムの瞳面で測定され、既知の反射率を有する基板が、前記光学システムの焦点面に配置される、請求項1または2に記載の方法。
- 既知の反射率を有する前記基板が、ミラーである、請求項3に記載の方法。
- 前記光学システムを通して投影される前記放射ビームの前記照明プロファイルおよび前記強度分布を測定することは、CCDまたはCMOSデバイスを使用して行われる、請求項1ないし4のいずれかに記載の方法。
- 前記照明プロファイルを測定することは、レファレンスミラーによる前記放射ビームの反射を測定することを含む、請求項1ないし5のいずれかに記載の方法。
- 前記光学システムを通した投影の後で、前記放射ビームの経路に直交偏光子を配置することと、前記光学システムおよび前記直交偏光子を通して投影される前記放射ビームの強度分布を測定することとをさらに含む、請求項1ないし6のいずれかに記載の方法。
- 前記光学システムは、基板の特性を測定するように構成されたインスペクションシステムを備える、請求項1ないし7のいずれかに記載の方法。
- 前記インスペクションシステムが、
前記光学システムを使用して前記基板上に前記放射ビームを投影し、
測定されるべき特性を示す反射された放射ビームの強度分布を検出し、
前記放射ビームの前記照明プロファイルを測定し、
前記光学システムを通して前記放射ビームを投影し、
前記光学システムを通して投影される前記放射ビームの強度分布を測定し、かつ
P偏光光とS偏光光に関して前記透過損失を特徴付けるために、前記測定された角分解スペクトルと前記照明プロファイルとを比較する、ことによって、
前記光学システムの前記透過損失を特徴付け、そして
前記反射された放射ビームから前記透過損失を減算する、ことによって、
前記基板の前記特性を測定する、請求項8に記載の方法。 - 基板の特性を測定する方法であって、
光学システムを使用して基板上に放射ビームを投影することと、
測定されるべき前記特性を示す反射された放射ビームの強度分布を検出することと、
前記放射ビームの照明プロファイルを測定し、
前記光学システムを通して前記放射ビームを投影し、前記光学システムを通して投影される前記放射ビームの角分解スペクトルを測定し、かつ
P偏光光とS偏光光に関して透過損失を特徴付けるために、測定された角分解スペクトルと前記照明プロファイルとを比較する、ことによって、
前記光学システムの前記透過損失を特徴付けることと、
前記反射された放射ビームから前記透過損失を減算することと、
を含む方法。 - 基板の特性を測定するように構成されたインスペクション装置であって、
前記基板上に放射を投影するように構成された放射プロジェクタと、
前記基板から反射された前記放射を検出するように構成されたディテクタと、
P偏光光およびS偏光光によって受ける透過損失を考慮することによって、前記検出された放射ビームを正規化するように構成されたデータ処理ユニットと、を備え、
前記データ処理ユニットは、
前記放射の照明プロファイルを測定し、
前記光学システムを通して前記放射を投影し、
前記光学システムを通して投影される前記放射の角分解スペクトルを測定し、かつ
P偏光光とS偏光光に関して透過損失を特徴付けるために、測定された角分解スペクトルと前記照明プロファイルとを比較する、ことによって、
前記光学システムの前記透過損失を特徴付ける、インスペクション装置。 - P偏光光およびS偏光光によって受ける前記透過損失を格納するように構成されたデータテーブルをさらに備える請求項11に記載のインスペクション装置。
- 前記放射は、直線偏光放射ビームであり、前記ディテクタは、前記直線偏光に平行な偏光成分および前記直線偏光に垂直な偏光成分の透過を検出する、請求項11または12に記載のインスペクション装置。
- 前記角分解スペクトルは、前記光学システムの瞳面で測定され、既知の反射率を有する基板が、前記光学システムの焦点面に配置される、請求項11ないし13のいずれかに記載のインスペクション装置。
- 前記既知の反射率を有する基板が、ミラーである、請求項14に記載のインスペクション装置。
- 前記光学システムを通して投影される前記放射の前記照明プロファイルおよび前記強度分布を測定することは、CCDまたはCMOSデバイスを使用して行われる、請求項11ないし15のいずれかに記載のインスペクション装置。
- 前記照明プロファイルを測定することは、レファレンスミラーによる前記放射の反射を測定することを含む、請求項11ないし16のいずれかに記載のインスペクション装置。
- 前記光学システムを通した投影の後で、前記放射の経路に直交偏光子を配置することと、前記光学システムおよび前記直交偏光子を通して投影される前記放射の強度分布を測定することとをさらに含む、請求項11ないし17のいずれかに記載のインスペクション装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/451,599 US7791724B2 (en) | 2006-06-13 | 2006-06-13 | Characterization of transmission losses in an optical system |
US11/451,599 | 2006-06-13 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008003084A JP2008003084A (ja) | 2008-01-10 |
JP4701208B2 true JP4701208B2 (ja) | 2011-06-15 |
Family
ID=38458458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007148724A Active JP4701208B2 (ja) | 2006-06-13 | 2007-06-05 | 光学システムの透過損失を特徴付ける方法、基板の特性を測定する方法、及びインスペクション装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7791724B2 (ja) |
EP (1) | EP1868035B1 (ja) |
JP (1) | JP4701208B2 (ja) |
KR (1) | KR100939313B1 (ja) |
CN (1) | CN101089733B (ja) |
SG (1) | SG138557A1 (ja) |
TW (1) | TWI365361B (ja) |
Families Citing this family (47)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
NL1036734A1 (nl) * | 2008-04-09 | 2009-10-12 | Asml Netherlands Bv | A method of assessing a model, an inspection apparatus and a lithographic apparatus. |
CN103529643B (zh) * | 2012-07-05 | 2017-01-18 | 中国科学院物理研究所 | 一种纳米图形化系统及其光响应特性检测装置 |
CZ2013919A3 (cs) * | 2013-11-21 | 2014-12-03 | ÄŚeskĂ© vysokĂ© uÄŤenĂ technickĂ© v Praze - fakulta stavebnĂ | Zařízení pro měření rozlišovací schopnosti mikroskopových objektivů |
EP3294989B1 (en) * | 2015-05-13 | 2019-07-24 | ConocoPhillips Company | Power loss dysfunction characterization |
KR102326190B1 (ko) * | 2016-09-12 | 2021-11-15 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 정정 유도 방법 및 장치, 구조체의 속성을 결정하는 방법 및 장치, 디바이스 제조 방법 |
KR102340174B1 (ko) | 2017-06-20 | 2021-12-16 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 엣지 러프니스 파라미터 결정 |
WO2019020484A1 (en) | 2017-07-25 | 2019-01-31 | Asml Netherlands B.V. | METHOD FOR DETERMINING PARAMETERS AND ASSOCIATED APPARATUS |
WO2019042809A1 (en) | 2017-09-01 | 2019-03-07 | Asml Netherlands B.V. | OPTICAL SYSTEMS, METROLOGY APPARATUS AND ASSOCIATED METHODS |
WO2019048145A1 (en) | 2017-09-11 | 2019-03-14 | Asml Netherlands B.V. | METROLOGY IN LITHOGRAPHIC PROCESSES |
EP3457211A1 (en) | 2017-09-13 | 2019-03-20 | ASML Netherlands B.V. | A method of aligning a pair of complementary diffraction patterns and associated metrology method and apparatus |
EP3474074A1 (en) | 2017-10-17 | 2019-04-24 | ASML Netherlands B.V. | Scatterometer and method of scatterometry using acoustic radiation |
EP3480659A1 (en) | 2017-11-01 | 2019-05-08 | ASML Netherlands B.V. | Estimation of data in metrology |
KR20240037383A (ko) | 2017-11-07 | 2024-03-21 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 관심 특성을 결정하는 계측 장치 및 방법 |
WO2019129465A1 (en) | 2017-12-28 | 2019-07-04 | Asml Netherlands B.V. | A metrology apparatus for and a method of determining a characteristic of interest of a structure on a substrate |
EP3570109A1 (en) | 2018-05-14 | 2019-11-20 | ASML Netherlands B.V. | Illumination source for an inspection apparatus, inspection apparatus and inspection method |
IL310215A (en) | 2018-06-13 | 2024-03-01 | Asml Netherlands Bv | Metrological device |
EP3582009A1 (en) | 2018-06-15 | 2019-12-18 | ASML Netherlands B.V. | Reflector and method of manufacturing a reflector |
EP3611569A1 (en) | 2018-08-16 | 2020-02-19 | ASML Netherlands B.V. | Metrology apparatus and photonic crystal fiber |
CN112639622B (zh) | 2018-09-04 | 2024-03-19 | Asml荷兰有限公司 | 量测设备 |
EP3627226A1 (en) | 2018-09-20 | 2020-03-25 | ASML Netherlands B.V. | Optical system, metrology apparatus and associated method |
EP3629086A1 (en) * | 2018-09-25 | 2020-04-01 | ASML Netherlands B.V. | Method and apparatus for determining a radiation beam intensity profile |
US11087065B2 (en) | 2018-09-26 | 2021-08-10 | Asml Netherlands B.V. | Method of manufacturing devices |
SG11202103803QA (en) | 2018-10-24 | 2021-05-28 | Asml Netherlands Bv | Optical fibers and production methods therefor |
EP3650941A1 (en) | 2018-11-12 | 2020-05-13 | ASML Netherlands B.V. | Method of determining the contribution of a processing apparatus to a substrate parameter |
CN113168115A (zh) | 2018-12-03 | 2021-07-23 | Asml荷兰有限公司 | 制造器件的方法 |
EP3696606A1 (en) | 2019-02-15 | 2020-08-19 | ASML Netherlands B.V. | A metrology apparatus with radiation source having multiple broadband outputs |
EP3702840A1 (en) | 2019-03-01 | 2020-09-02 | ASML Netherlands B.V. | Alignment method and associated metrology device |
EP3705942A1 (en) | 2019-03-04 | 2020-09-09 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based optical component for broadband radiation generation |
EP3715945A1 (en) | 2019-03-25 | 2020-09-30 | ASML Netherlands B.V. | Frequency broadening apparatus and method |
EP3948373A1 (en) | 2019-04-03 | 2022-02-09 | ASML Netherlands B.V. | Optical fiber |
EP3739389A1 (en) | 2019-05-17 | 2020-11-18 | ASML Netherlands B.V. | Metrology tools comprising aplanatic objective singlet |
CN114008499A (zh) | 2019-06-21 | 2022-02-01 | Asml荷兰有限公司 | 安装式中空芯部光纤布置 |
EP3758168A1 (en) | 2019-06-25 | 2020-12-30 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based optical component for broadband radiation generation |
EP3611567A3 (en) | 2019-07-23 | 2020-05-13 | ASML Netherlands B.V. | Improvements in metrology targets |
KR20220024908A (ko) | 2019-07-24 | 2022-03-03 | 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. | 방사선 소스 |
EP3783439A1 (en) | 2019-08-22 | 2021-02-24 | ASML Netherlands B.V. | Metrology device and detection apparatus therefor |
DK3786703T3 (da) | 2019-09-02 | 2023-07-10 | Asml Netherlands Bv | Tilstandsstyring af fotoniske krystalfiberbaserede bredbåndslyskilder |
WO2021043516A1 (en) | 2019-09-03 | 2021-03-11 | Asml Netherlands B.V. | Assembly for collimating broadband radiation |
WO2021052801A1 (en) | 2019-09-18 | 2021-03-25 | Asml Netherlands B.V. | Improved broadband radiation generation in hollow-core fibres |
EP4365653A2 (en) | 2019-10-24 | 2024-05-08 | ASML Netherlands B.V. | Hollow-core photonic crystal fiber based optical component for broadband radiation generation |
WO2021089360A1 (en) | 2019-11-07 | 2021-05-14 | Asml Netherlands B.V. | Method of manufacture of a capillary for a hollow-core photonic crystal fiber |
IL293985B1 (en) | 2020-01-15 | 2024-06-01 | Asml Netherlands Bv | Method, assembly and device for improved control of broadband radiation generation |
EP3889681A1 (en) | 2020-03-31 | 2021-10-06 | ASML Netherlands B.V. | An assembly including a non-linear element and a method of use thereof |
EP3913429A1 (en) | 2020-05-19 | 2021-11-24 | ASML Netherlands B.V. | A supercontinuum radiation source and associated metrology devices |
CN116057462A (zh) | 2020-09-03 | 2023-05-02 | Asml荷兰有限公司 | 基于中空芯部光子晶体光纤的宽带辐射产生器 |
IL303441A (en) | 2020-12-10 | 2023-08-01 | Asml Netherlands Bv | Broadband radiation generator based on photonic fibers with a photonic core |
KR102534005B1 (ko) * | 2021-11-03 | 2023-05-18 | 한국전기연구원 | 형광분석모듈 및 그를 가지는 형광분석시스템 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1153923A (ja) * | 1997-08-01 | 1999-02-26 | Fujitsu Ltd | 照明制御装置 |
JPH11304645A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Nec Corp | 異方性薄膜評価方法および評価装置 |
JP2002033272A (ja) * | 2000-05-11 | 2002-01-31 | Nikon Corp | 露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 |
JP2005098937A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Terametsukusu Kk | 反射測定用内部標準を装備した試験片分析装置 |
JP2006023307A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Carl Zeiss Sms Gmbh | 顕微鏡結像システムおよび高アパーチャ結像システムのエミュレーションのための、特にマスク検査のための方法 |
JP2006060214A (ja) * | 2004-08-16 | 2006-03-02 | Asml Netherlands Bv | 角度分解した分光リソグラフィの特徴付けの方法および装置 |
Family Cites Families (40)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4526466A (en) * | 1983-09-01 | 1985-07-02 | Rca Corporation | Technique for verifying genuineness of authenticating device |
JPH06103252B2 (ja) * | 1989-05-04 | 1994-12-14 | サーマ―ウェイブ・インク | 高分解能エリプソメータ装置と方法 |
US5703692A (en) * | 1995-08-03 | 1997-12-30 | Bio-Rad Laboratories, Inc. | Lens scatterometer system employing source light beam scanning means |
US5880838A (en) * | 1996-06-05 | 1999-03-09 | California Institute Of California | System and method for optically measuring a structure |
US5877859A (en) * | 1996-07-24 | 1999-03-02 | Therma-Wave, Inc. | Broadband spectroscopic rotating compensator ellipsometer |
US5963329A (en) * | 1997-10-31 | 1999-10-05 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for measuring the profile of small repeating lines |
KR200186320Y1 (ko) | 1998-03-11 | 2000-07-01 | 김범림 | 목재연소 보일러 |
JP2001267239A (ja) * | 2000-01-14 | 2001-09-28 | Nikon Corp | 露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 |
US6429943B1 (en) * | 2000-03-29 | 2002-08-06 | Therma-Wave, Inc. | Critical dimension analysis with simultaneous multiple angle of incidence measurements |
US6689519B2 (en) * | 2000-05-04 | 2004-02-10 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods and systems for lithography process control |
US6704090B2 (en) | 2000-05-11 | 2004-03-09 | Nikon Corporation | Exposure method and exposure apparatus |
DE10043315C1 (de) | 2000-09-02 | 2002-06-20 | Zeiss Carl | Projektionsbelichtungsanlage |
US6753961B1 (en) * | 2000-09-18 | 2004-06-22 | Therma-Wave, Inc. | Spectroscopic ellipsometer without rotating components |
IL138552A (en) * | 2000-09-19 | 2006-08-01 | Nova Measuring Instr Ltd | Measurement of transverse displacement by optical method |
US6768983B1 (en) * | 2000-11-28 | 2004-07-27 | Timbre Technologies, Inc. | System and method for real-time library generation of grating profiles |
US6515744B2 (en) * | 2001-02-08 | 2003-02-04 | Therma-Wave, Inc. | Small spot ellipsometer |
WO2002065545A2 (en) * | 2001-02-12 | 2002-08-22 | Sensys Instruments Corporation | Overlay alignment metrology using diffraction gratings |
US6699624B2 (en) * | 2001-02-27 | 2004-03-02 | Timbre Technologies, Inc. | Grating test patterns and methods for overlay metrology |
WO2002070985A1 (en) * | 2001-03-02 | 2002-09-12 | Accent Optical Technologies, Inc. | Line profile asymmetry measurement using scatterometry |
US6721094B1 (en) * | 2001-03-05 | 2004-04-13 | Sandia Corporation | Long working distance interference microscope |
US6522406B1 (en) * | 2001-04-20 | 2003-02-18 | Nanometrics Incorporated | Correcting the system polarization sensitivity of a metrology tool having a rotatable polarizer |
US6704661B1 (en) * | 2001-07-16 | 2004-03-09 | Therma-Wave, Inc. | Real time analysis of periodic structures on semiconductors |
US6785638B2 (en) * | 2001-08-06 | 2004-08-31 | Timbre Technologies, Inc. | Method and system of dynamic learning through a regression-based library generation process |
US6678046B2 (en) | 2001-08-28 | 2004-01-13 | Therma-Wave, Inc. | Detector configurations for optical metrology |
US7061615B1 (en) * | 2001-09-20 | 2006-06-13 | Nanometrics Incorporated | Spectroscopically measured overlay target |
US6608690B2 (en) * | 2001-12-04 | 2003-08-19 | Timbre Technologies, Inc. | Optical profilometry of additional-material deviations in a periodic grating |
US6772084B2 (en) * | 2002-01-31 | 2004-08-03 | Timbre Technologies, Inc. | Overlay measurements using periodic gratings |
US6813034B2 (en) * | 2002-02-05 | 2004-11-02 | Therma-Wave, Inc. | Analysis of isolated and aperiodic structures with simultaneous multiple angle of incidence measurements |
US7061627B2 (en) * | 2002-03-13 | 2006-06-13 | Therma-Wave, Inc. | Optical scatterometry of asymmetric lines and structures |
US6721691B2 (en) * | 2002-03-26 | 2004-04-13 | Timbre Technologies, Inc. | Metrology hardware specification using a hardware simulator |
US6928628B2 (en) * | 2002-06-05 | 2005-08-09 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Use of overlay diagnostics for enhanced automatic process control |
US7046376B2 (en) * | 2002-07-05 | 2006-05-16 | Therma-Wave, Inc. | Overlay targets with isolated, critical-dimension features and apparatus to measure overlay |
US6919964B2 (en) * | 2002-07-09 | 2005-07-19 | Therma-Wave, Inc. | CD metrology analysis using a finite difference method |
US7148959B2 (en) | 2002-11-01 | 2006-12-12 | Asml Netherlands B.V. | Test pattern, inspection method, and device manufacturing method |
JP4391082B2 (ja) * | 2002-12-20 | 2009-12-24 | 株式会社トプコン | 表面検査方法及びその装置 |
US7068363B2 (en) * | 2003-06-06 | 2006-06-27 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Systems for inspection of patterned or unpatterned wafers and other specimen |
US7061623B2 (en) * | 2003-08-25 | 2006-06-13 | Spectel Research Corporation | Interferometric back focal plane scatterometry with Koehler illumination |
TWI335417B (en) * | 2003-10-27 | 2011-01-01 | Zygo Corp | Method and apparatus for thin film measurement |
US20060109463A1 (en) * | 2004-11-22 | 2006-05-25 | Asml Netherlands B.V. | Latent overlay metrology |
US7453577B2 (en) * | 2004-12-14 | 2008-11-18 | Asml Netherlands B.V. | Apparatus and method for inspecting a patterned part of a sample |
-
2006
- 2006-06-13 US US11/451,599 patent/US7791724B2/en active Active
-
2007
- 2007-06-01 EP EP07252242.8A patent/EP1868035B1/en active Active
- 2007-06-05 JP JP2007148724A patent/JP4701208B2/ja active Active
- 2007-06-07 TW TW096120568A patent/TWI365361B/zh active
- 2007-06-12 KR KR1020070057156A patent/KR100939313B1/ko active IP Right Grant
- 2007-06-12 CN CN2007101264702A patent/CN101089733B/zh active Active
- 2007-06-13 SG SG200704351-6A patent/SG138557A1/en unknown
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1153923A (ja) * | 1997-08-01 | 1999-02-26 | Fujitsu Ltd | 照明制御装置 |
JPH11304645A (ja) * | 1998-04-24 | 1999-11-05 | Nec Corp | 異方性薄膜評価方法および評価装置 |
JP2002033272A (ja) * | 2000-05-11 | 2002-01-31 | Nikon Corp | 露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法 |
JP2005098937A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Terametsukusu Kk | 反射測定用内部標準を装備した試験片分析装置 |
JP2006023307A (ja) * | 2004-07-08 | 2006-01-26 | Carl Zeiss Sms Gmbh | 顕微鏡結像システムおよび高アパーチャ結像システムのエミュレーションのための、特にマスク検査のための方法 |
JP2006060214A (ja) * | 2004-08-16 | 2006-03-02 | Asml Netherlands Bv | 角度分解した分光リソグラフィの特徴付けの方法および装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200807175A (en) | 2008-02-01 |
JP2008003084A (ja) | 2008-01-10 |
US7791724B2 (en) | 2010-09-07 |
CN101089733B (zh) | 2011-07-13 |
US20070296960A1 (en) | 2007-12-27 |
KR20070118967A (ko) | 2007-12-18 |
TWI365361B (en) | 2012-06-01 |
EP1868035A1 (en) | 2007-12-19 |
KR100939313B1 (ko) | 2010-01-29 |
EP1868035B1 (en) | 2017-08-09 |
CN101089733A (zh) | 2007-12-19 |
SG138557A1 (en) | 2008-01-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081107 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100402 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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