JP6195777B2 - 複屈折の測定方法、マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法および半導体デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
上記発明では、検査光の光源の光量が、測定箇所ごと、あるいは枚葉ごとで変動することを技術的課題としており、光量比率の概念を導入することである一定の解決を図ることはできている。しかし、光量比率を導入しても、2つの光量測定器(受光器)の精度、検査光源(レーザー光源)から照射される光(直線偏光)を円偏光に変換する1/4波長板の精度、透光性基板を透過した検査光を2つの直線偏光に分離するウォラストンプリズムや偏光ビームスプリッターの精度等の誤差が存在するため、より低い複屈折の基準値で透光性基板を選定することは、困難であることがわかった。
(構成1)
対向する1組の表面を有する透光性物品における複屈折の測定方法であって、
光源ユニットから出射される円偏光の検査光を一方の前記表面の測定箇所から前記透光性物品の内部に入射し、他方の前記表面から出射した検査光を1/2波長板を透過させてから、光分離器によって波面が互いに直交する2つの直線偏光に分離し、2つの光量測定器で前記2つの直線偏光をそれぞれ受光して光量を測定し、前記2つの直線偏光の光量測定値のうち、いずれか一方の光量測定値を、前記2つの直線偏光の光量測定値の和で除して光量比率を算出する工程を、同じ前記測定箇所で、前記1/2波長板を回転させることにより前記光分離器に入射する検査光の偏光面の角度の条件を変えて複数回行い、前記1/2波長板の回転角度と前記光量比率との対応関係である第1対応関係を取得する工程と、
前記光源ユニットと前記1/2波長板の間に前記透光性物品を配置しない状態とすることを除いて、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である基準対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第1対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である前記第1対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記第1対応関係の相対光量比率を用い、予め取得して置いた相対光量比率と複屈折値との対応関係から前記測定箇所の複屈折値を取得する工程と
を有することを特徴とする複屈折の測定方法。
対向する1組の表面を有する透光性物品における複屈折の測定方法であって、
光源ユニットから出射される円偏光の検査光を一方の前記表面の測定箇所から前記透光性物品の内部に入射し、他方の前記表面から出射した検査光を1/2波長板を透過させてから、光分離器によって波面が互いに直交する2つの直線偏光に分離し、2つの光量測定器で前記2つの直線偏光をそれぞれ受光して光量を測定し、前記2つの直線偏光の光量測定値のうち、いずれか一方の光量測定値を、前記2つの直線偏光の光量測定値の和で除して光量比率を算出する工程を、同じ前記測定箇所で、前記1/2波長板を回転させることにより前記光分離器に入射する検査光の偏光面の角度を変えて複数回行い、前記1/2波長板の回転角度と前記光量比率との対応関係である第1対応関係を取得する工程と、
前記光源ユニットと前記1/2波長板の間に前記透光性物品を配置しない状態とすることを除いて、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である基準対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第1対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である前記第1対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記透光性物品と検査光とを、前記検査光の進行方向を回転軸として相対的に90度回転させたことを除いて、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である第2対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第2対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である第2対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第1対応関係の相対光量比率と前記第2対応関係の相対光量比率で平均値を算出する工程と、
前記第1対応関係の相対光量比率と前記平均値との差から、または前記第2対応関係の相対光量比率と前記平均値との差から補正相対光量比率を算出する工程と、
前記補正相対光量比率を用い、予め取得して置いた補正相対光量比率と複屈折値との対応関係から前記測定箇所の複屈折値を取得する工程と
を有することを特徴とする複屈折の測定方法。
前記第1対応関係の相対光量比率または前記第2対応関係の相対光量比率から算出された補正相対光量比率と前記1/2波長板の回転角度の対応関係からフィッティング関数を取得する工程をさらに有し、前記複屈折値を取得する工程は、前記フィッティング関数から算出される補正相対光量比率を用いて前記測定箇所の複屈折値を取得する工程であることを特徴とする構成2記載の複屈折の測定方法。
(構成4)
前記フッティング関数は、三角関数の項を含む関数であることを特徴とする構成3記載の複屈折の測定方法。
前記第1対応関係、第2対応関係および基準対応関係は、同じ前記1/2波長板の回転角度に対応する光量比率を3方位以上の角度でともに取得していることを特徴とする構成3または4に記載の複屈折の測定方法。
(構成6)
前記フィッティング関数の取得は、最小2乗法を用いて行われることを特徴とする構成3から5のいずれかに記載の複屈折の測定方法。
対向する1組の表面を有する透光性物品における複屈折の測定方法であって、
光源ユニットから出射される円偏光の検査光を一方の前記表面の測定箇所から前記透光性物品の内部に入射し、他方の前記表面から出射した検査光を1/2波長板を透過させてから、光分離器によって波面が互いに直交する2つの直線偏光に分離し、2つの光量測定器で前記2つの直線偏光をそれぞれ受光して光量を測定し、前記2つの直線偏光の光量測定値のうち、いずれか一方の光量測定値を、前記2つの直線偏光の光量測定値の和で除して光量比率を算出する工程を、同じ前記測定箇所で、前記1/2波長板を回転させることにより前記光分離器に入射する検査光の偏光面の角度を変えて複数回行い、前記1/2波長板の回転角度と前記光量比率との対応関係である第1対応関係を取得する工程と、
前記光源ユニットと前記1/2波長板の間に前記透光性物品を配置しない状態とすることを除いて、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である基準対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第1対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である前記第1対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記透光性物品と検査光とを、前記検査光の進行方向を回転軸として相対的に90度回転させたことを除いて、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である第2対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第2対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である第2対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第1対応関係の相対光量比率と前記第2対応関係の相対光量比率で平均値を算出する工程と、
前記透光性物品における別の測定箇所または別の透光性物品における測定箇所に対し、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である第3対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第3対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である前記第3対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記第3対応関係の相対光量比率と前記平均値との差から、前記第3対応関係の補正相対光量比率を算出する工程と、
前記補正相対光量比率を用い、予め取得して置いた補正相対光量比率と複屈折値との対応関係から、前記透光性物品における別の測定箇所または前記別の透光性物品における測定箇所の複屈折値を取得する複屈折値取得工程と
を有することを特徴とする複屈折の測定方法。
前記第3対応関係の相対光量比率から算出された補正相対光量比率と前記1/2波長板の回転角度の対応関係からフィッティング関数を取得する工程をさらに有し、前記複屈折値を取得する工程は、前記フィッティング関数から算出される補正相対光量比率を用いて前記測定箇所の複屈折値を取得する工程であることを特徴とする構成6記載の複屈折の測定方法。
(構成9)
前記フッティング関数は、三角関数の項を含む関数であることを特徴とする構成8記載の複屈折の測定方法。
前記第1対応関係、第2対応関係、第3対応関係および基準対応関係は、同じ前記1/2波長板の回転角度に対応する光量比率を3方位以上の角度でともに取得していることを特徴とする構成8または9に記載の複屈折の測定方法。
前記フィッティング関数の取得は、最小2乗法を用いて行われることを特徴とする構成8から10のいずれかに記載の複屈折の測定方法。
(構成12)
前記光源ユニットは、レーザー光源と1/4波長板を備え、前記円偏光の検査光は、レーザー光源から射出された直線偏光を、1/4波長板を透過させて得られたものであることを特徴とする構成1から11のいずれかに記載の複屈折の測定方法。
前記透光性物品は、透光性基板であり、前記透光性基板に対して、構成1から12のいずれかに記載の複屈折の測定方法を適用して取得した複屈折値が所定値以下の透光性基板をマスクブランク用基板として選定する工程を有することを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法。
(構成14)
構成13記載のマスクブランク用基板の製造方法で製造されたマスクブランク用基板の主表面に、パターン形成用薄膜を形成する工程を有することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
構成14記載のマスクブランクの製造方法で製造されたマスクブランクのパターン形成用薄膜に転写パターンを形成する工程を有することを特徴とする転写用マスクの製造方法。
(構成16)
構成15記載の転写用マスクの製造方法で製造された転写用マスクを用い、半導体ウェハ上に回路パターンを形成する工程を有することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
[測定装置]
図1は、本発明の実施の形態にかかる測定装置の装置構成を説明する図である。
図1に示すように、測定装置100は、検査光のルート順に、検査光の光源であるレーザー光源102と1/4波長板(λ/4板)103とを備えた光源ユニット101、複屈折の測定対象物である透光性物品(透光性基板等)10、1/2波長板(λ/2板)104、偏光ビームスプリッター(光分離器)108、2つのパワーメーター(光量測定器)106a,106bで構成される。
詳しい説明は、後述する[測定装置]と同様である。
次に、本発明の第1の実施形態にかかる複屈折の測定方法について説明する。
上記測定装置を用いたこの第1の実施形態に係る複屈折の測定方法(算出方法)の手順は、以下のようになる。
(1−1) レーザー光源102から照射された検査光は、1/4波長板103を透過する際に円偏光に偏光される。
(1−2) 円偏光の検査光を、測定対象物10の対向する2つの表面のうちの一方の表面における測定箇所から入射し、他方の表面から出射させる。
(1−3) 他方の表面から出射した検査光は、1/2波長板104を透過した後、偏光ビームスプリッター108で互いに波面が直交する2つの直線偏光に分離される。
(1−4) 分離された2つの直線偏光は、それぞれパワーメーター106a,106bで受光され、各光量値M10,M20が計測される。
(1−5) 計測された直線偏光の光量値M10,M20から、光量比率R10[%]=M10/(M10+M20)、または光量比率R20[%]=M20/(M10+M20)を算出する。
(1−6) 1/2波長板104を所定角度Δθで回転させることで、他方の表面から出射した検査光の偏光方位(偏光面の角度)を所定角度Δ2θだけ回転させた状態での光量比率が取得できる。この工程を1つの測定箇所で繰り返し行うことで、1/2波長板104の回転角度θ(検査光の偏光方位、偏光面の角度2θ)と光量比率R10またはR20との対応関係(第1対応関係)を取得する。
次に、本発明の第2の実施形態にかかる複屈折の測定方法について説明する。
上記測定装置を用いたこの第2の実施形態に係る複屈折の測定方法(算出方法)の手順は、以下のようになる。
(2−1)〜(2−8) 第1の実施形態に係る複屈折の測定方法における(1−1)〜(1−8)の工程を行い、1/2波長板104の回転角度θ(検査光の偏光方位、偏光面の角度2θ)と光量比率R10またはR20との対応関係(第1対応関係)、1/2波長板104の回転角度θ(検査光の偏光方位、偏光面の角度2θ)と空気中のみを通過した光量比率である基準光量比率R1aまたはR2aとの対応関係、波長板104の回転角度θ(検査光の偏光方位、偏光面の角度2θ)と相対光量比率R10sまたはR20sとの対応関係をそれぞれ取得する。
次に、本発明の第3の実施形態にかかる複屈折の測定方法について説明する。第2の実施形態に係る複屈折の測定方法とは、第1対応関係の補正相対光量比率R10scまたはR20sc、あるいは第2対応関係の補正相対光量比率R190scまたはR290scと1/2波長板104の回転角度θ(検査光の偏光方位、偏光面の角度2θ)との対応関係から、フィッティング関数(近似関数)を取得する工程と、そのフィティング関数から算出された補正光量比率R10scf、R20scf、R190scfまたはR290scfを用いて、透光性物品の測定箇所における複屈折値を取得する工程を備える点が大きく異なる。
(3−1)〜(3−12) (2−1)〜(2−12)と同様の工程を行い、第1対応関係の補正相対光量比率R10scまたはR20scを算出する。または、第2対応関係の補正相対光量比率R190scまたはR290scを算出する。
(3−13) 1/2波長板104の回転角度θ(検査光の偏光方位、偏光面の角度2θ)と補正相対光量比率R10scまたはR20sc(R190scまたはR290sc)における第1対応関係(第2対応関係)に対し、関数のフィッティングを行い、フィッティング関数F10scまたはF20sc(F190scまたはF290sc)を取得する。このフィッティング関数F10scまたはF20sc(F190sc,またはF290sc)は、回転角度θと補正光量比率R10scまたはR20sc(R190scまたはR290sc)を変数とする2変数関数である。
(3−15) (2−13)と同様の工程で、予め取得しておいた複屈折値と補正相対光量比率R1sbcまたはR2sbcとの対応関係に、補正相対光量比率R10scfまたはR20scf(R190scfまたはR290scf)をあてはめることで、複屈折値を取得する。
次に、本発明の第4の実施形態にかかる複屈折の測定方法について説明する。
上記の第2の形態に係る複屈折の測定方法では、相対光量比率の平均値R1avまたはR2avを算出しているが、この平均値R1avまたはR2avは、同じ透光性物品の同じ測定箇所だけでしか適用できないものではなく、ほかの測定箇所(同じ透光性物品のほかの測定箇所だけでなく、ほかの透光性物品の測定箇所も)でも適用できるものである。この平均値R1av,R2avは、測定装置の微小な公差がほとんどを占める補正値であり、測定箇所や測定する透光性物品が変わってもほとんど変わらない数値であるためである。
(4−1)〜(4−11) (2−1)〜(2−11)と同様の工程を行い、平均値R1avまたはR2avを算出する。
(4−12)〜(4−20) 同じ透光性物品の別の測定箇所、あるいは、別の透光性物品の測定箇所に対して、(2−1)〜(2−8)と同じ工程を行い、1/2波長板104の回転角度θ(検査光の偏光方位、偏光面の角度2θ)と相対光量比率R13sまたはR23sとの対応関係(第3対応関係)を取得する。
(4−22) (2−13)と同様の工程で、予め取得しておいた複屈折値と補正相対光量比率R1sbcまたはR2sbcとの対応関係に、補正相対光量比率R13scまたはR23scをあてはめることで、複屈折値を取得する。
本発明の一実施形態に係るマスクブランク用基板の製造方法は、基板準備工程、および基板検査工程を備える。
本例において、基板検査工程は、測定対象物である透光性基板の複屈折を測定する工程とマスクブランク用基板を選定する工程を有する。透光性基板の複屈折を測定する工程に関しては、上記の透光性物品の複屈折の測定方法に係る各実施形態で記載した事項と同様の工程を行う。そして、その工程で得られた複屈折値が、予め定められた複屈折の基準値以下である透光性基板をマスクブランク用基板として選定する工程を行う。
本発明によれば、簡便で低コストの方法で、複屈折の影響の検査を行うことができる。
本発明に係る複屈折の測定方法によって、透光性基板10内の複屈折の影響を検出できることを確認した実験結果について説明を行う。図3〜図9は、実験結果を説明する図である。なお、本実験例では、測定の便宜上、1枚の透光性基板10を用い、この透光性基板10内の複数箇所に対して、各種の測定を行った。しかし、複屈折の性質上、このようにして得られる実験結果は、複数枚の透光性基板10を用いた場合に得られる実験結果と同等のものであると考えることができる。
これに対し、例えば、公知の複屈折測定装置の場合、光源が重水素ランプであり光源のゆらぎがあり、光源の強度が弱く、ショットノイズ(光子のばらつき)がある。測定に時間がかかり、光源のドリフト(光量の経時シフト)の問題がある。測定データのばらつき範囲が本発明装置に比べ大きい。これらのことから精度を上げることが難しい。
Claims (16)
- 対向する1組の表面を有する透光性物品における複屈折の測定方法であって、
光源ユニットから出射される円偏光の検査光を一方の前記表面の測定箇所から前記透光性物品の内部に入射し、他方の前記表面から出射した検査光を1/2波長板を透過させてから、光分離器によって波面が互いに直交する2つの直線偏光に分離し、2つの光量測定器で前記2つの直線偏光をそれぞれ受光して光量を測定し、前記2つの直線偏光の光量測定値のうち、いずれか一方の光量測定値を、前記2つの直線偏光の光量測定値の和で除して光量比率を算出する工程を、同じ前記測定箇所で、前記1/2波長板を回転させることにより前記光分離器に入射する検査光の偏光面の角度の条件を変えて複数回行い、前記1/2波長板の回転角度と前記光量比率との対応関係である第1対応関係を取得する工程と、
前記光源ユニットと前記1/2波長板の間に前記透光性物品を配置しない状態とすることを除いて、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である基準対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第1対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である前記第1対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記第1対応関係の相対光量比率を用い、予め取得して置いた相対光量比率と複屈折値との対応関係から前記測定箇所の複屈折値を取得する工程と
を有することを特徴とする複屈折の測定方法。 - 対向する1組の表面を有する透光性物品における複屈折の測定方法であって、
光源ユニットから出射される円偏光の検査光を一方の前記表面の測定箇所から前記透光性物品の内部に入射し、他方の前記表面から出射した検査光を1/2波長板を透過させてから、光分離器によって波面が互いに直交する2つの直線偏光に分離し、2つの光量測定器で前記2つの直線偏光をそれぞれ受光して光量を測定し、前記2つの直線偏光の光量測定値のうち、いずれか一方の光量測定値を、前記2つの直線偏光の光量測定値の和で除して光量比率を算出する工程を、同じ前記測定箇所で、前記1/2波長板を回転させることにより前記光分離器に入射する検査光の偏光面の角度を変えて複数回行い、前記1/2波長板の回転角度と前記光量比率との対応関係である第1対応関係を取得する工程と、
前記光源ユニットと前記1/2波長板の間に前記透光性物品を配置しない状態とすることを除いて、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である基準対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第1対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である前記第1対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記透光性物品と検査光とを、前記検査光の進行方向を回転軸として相対的に90度回転させたことを除いて、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である第2対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第2対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である第2対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第1対応関係の相対光量比率と前記第2対応関係の相対光量比率で平均値を算出する工程と、
前記第1対応関係の相対光量比率と前記平均値との差から、または前記第2対応関係の相対光量比率と前記平均値との差から補正相対光量比率を算出する工程と、
前記補正相対光量比率を用い、予め取得して置いた補正相対光量比率と複屈折値との対応関係から前記測定箇所の複屈折値を取得する工程と
を有することを特徴とする複屈折の測定方法。 - 前記第1対応関係の相対光量比率または前記第2対応関係の相対光量比率から算出された補正相対光量比率と前記1/2波長板の回転角度の対応関係からフィッティング関数を取得する工程をさらに有し、
前記複屈折値を取得する工程は、前記フィッティング関数から算出される補正相対光量比率を用いて前記測定箇所の複屈折値を取得する工程であることを特徴とする請求項2記載の複屈折の測定方法。 - 前記フィッティング関数は、三角関数の項を含む関数であることを特徴とする請求項3記載の複屈折の測定方法。
- 前記第1対応関係、第2対応関係および基準対応関係は、同じ前記1/2波長板の回転角度に対応する光量比率を3方位以上の角度でともに取得していることを特徴とする請求項3または4に記載の複屈折の測定方法。
- 前記フィッティング関数の取得は、最小2乗法を用いて行われることを特徴とする請求項3から5のいずれかに記載の複屈折の測定方法。
- 対向する1組の表面を有する透光性物品における複屈折の測定方法であって、
光源ユニットから出射される円偏光の検査光を一方の前記表面の測定箇所から前記透光性物品の内部に入射し、他方の前記表面から出射した検査光を1/2波長板を透過させてから、光分離器によって波面が互いに直交する2つの直線偏光に分離し、2つの光量測定器で前記2つの直線偏光をそれぞれ受光して光量を測定し、前記2つの直線偏光の光量測定値のうち、いずれか一方の光量測定値を、前記2つの直線偏光の光量測定値の和で除して光量比率を算出する工程を、同じ前記測定箇所で、前記1/2波長板を回転させることにより前記光分離器に入射する検査光の偏光面の角度を変えて複数回行い、前記1/2波長板の回転角度と前記光量比率との対応関係である第1対応関係を取得する工程と、
前記光源ユニットと前記1/2波長板の間に前記透光性物品を配置しない状態とすることを除いて、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である基準対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第1対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である前記第1対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記透光性物品と検査光とを、前記検査光の進行方向を回転軸として相対的に90度回転させたことを除いて、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である第2対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第2対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である第2対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第1対応関係の相対光量比率と前記第2対応関係の相対光量比率で平均値を算出する工程と、
前記透光性物品における別の測定箇所または別の透光性物品における測定箇所に対し、前記第1対応関係を取得する工程と同じ条件で、前記1/2波長板の回転角度と光量比率との対応関係である第3対応関係を取得する工程と、
前記1/2波長板の回転角度が同一である前記第3対応関係の光量比率と前記基準対応関係の光量比率との差である前記第3対応関係の相対光量比率を算出する工程と、
前記第3対応関係の相対光量比率と前記平均値との差から、前記第3対応関係の補正相対光量比率を算出する工程と、
前記補正相対光量比率を用い、予め取得して置いた補正相対光量比率と複屈折値との対応関係から、前記透光性物品における別の測定箇所または前記別の透光性物品における測定箇所の複屈折値を取得する複屈折値取得工程と
を有することを特徴とする複屈折の測定方法。 - 前記第3対応関係の相対光量比率から算出された補正相対光量比率と前記1/2波長板の回転角度の対応関係からフィッティング関数を取得する工程をさらに有し、
前記複屈折値を取得する工程は、前記フィッティング関数から算出される補正相対光量比率を用いて前記測定箇所の複屈折値を取得する工程であることを特徴とする請求項7記載の複屈折の測定方法。 - 前記フィッティング関数は、三角関数の項を含む関数であることを特徴とする請求項8記載の複屈折の測定方法。
- 前記第1対応関係、第2対応関係、第3対応関係および基準対応関係は、同じ前記1/2波長板の回転角度に対応する光量比率を3方位以上の角度でともに取得していることを特徴とする請求項8または9に記載の複屈折の測定方法。
- 前記フィッティング関数の取得は、最小2乗法を用いて行われることを特徴とする請求項8から10のいずれかに記載の複屈折の測定方法。
- 前記光源ユニットは、レーザー光源と1/4波長板を備え、前記円偏光の検査光は、レーザー光源から射出された直線偏光を、1/4波長板を透過させて得られたものであることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の複屈折の測定方法。
- 前記透光性物品は、透光性基板であり、
前記透光性基板に対して、請求項1から12のいずれかに記載の複屈折の測定方法を適用して取得した複屈折値が所定値以下の透光性基板をマスクブランク用基板として選定する工程を有することを特徴とするマスクブランク用基板の製造方法。 - 請求項13記載のマスクブランク用基板の製造方法で製造されたマスクブランク用基板の主表面に、パターン形成用薄膜を形成する工程を有することを特徴とするマスクブランクの製造方法。
- 請求項14記載のマスクブランクの製造方法で製造されたマスクブランクのパターン形成用薄膜に転写パターンを形成する工程を有することを特徴とする転写用マスクの製造方法。
- 請求項15記載の転写用マスクの製造方法で製造された転写用マスクを用い、半導体ウェハ上に回路パターンを形成する工程を有することを特徴とする半導体デバイスの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013219695A JP6195777B2 (ja) | 2013-10-22 | 2013-10-22 | 複屈折の測定方法、マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法および半導体デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013219695A JP6195777B2 (ja) | 2013-10-22 | 2013-10-22 | 複屈折の測定方法、マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法および半導体デバイスの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015081835A JP2015081835A (ja) | 2015-04-27 |
JP6195777B2 true JP6195777B2 (ja) | 2017-09-13 |
Family
ID=53012506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013219695A Active JP6195777B2 (ja) | 2013-10-22 | 2013-10-22 | 複屈折の測定方法、マスクブランク用基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、転写用マスクの製造方法および半導体デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6195777B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107850555B (zh) * | 2015-06-30 | 2023-06-13 | 康宁股份有限公司 | 使用静态条纹图案的干涉法滚降测量 |
JP7041015B2 (ja) * | 2018-07-06 | 2022-03-23 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電場ベクトル計測の校正方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0075689A1 (en) * | 1981-09-28 | 1983-04-06 | International Business Machines Corporation | Optical instruments for viewing a sample surface |
JPH05281137A (ja) * | 1992-04-06 | 1993-10-29 | Asahi Optical Co Ltd | 複屈折測定装置 |
JP2003247934A (ja) * | 2002-02-25 | 2003-09-05 | Sony Corp | 複屈折測定方法及び複屈折測定装置 |
JP4058337B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2008-03-05 | キヤノン株式会社 | 複屈折測定装置 |
JP4455024B2 (ja) * | 2002-12-13 | 2010-04-21 | キヤノン株式会社 | 複屈折測定装置 |
JP5881417B2 (ja) * | 2011-12-29 | 2016-03-09 | Hoya株式会社 | マスクブランク用合成石英ガラス基板の複屈折仕様決定方法、マスクブランク用合成石英ガラス基板の製造方法、マスクブランクの製造方法、及び転写用マスクの製造方法 |
-
2013
- 2013-10-22 JP JP2013219695A patent/JP6195777B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015081835A (ja) | 2015-04-27 |
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