JP5358130B2 - 裏面照射イメージセンサ - Google Patents
裏面照射イメージセンサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5358130B2 JP5358130B2 JP2008167599A JP2008167599A JP5358130B2 JP 5358130 B2 JP5358130 B2 JP 5358130B2 JP 2008167599 A JP2008167599 A JP 2008167599A JP 2008167599 A JP2008167599 A JP 2008167599A JP 5358130 B2 JP5358130 B2 JP 5358130B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gate
- image sensor
- photodiode
- film
- illuminated image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 38
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 31
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 31
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 26
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 14
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 14
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 claims description 12
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 5
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 claims description 5
- 239000005380 borophosphosilicate glass Substances 0.000 claims description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000005360 phosphosilicate glass Substances 0.000 claims description 4
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 claims description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 2
- WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N tungsten disilicide Chemical compound [Si]#[W]#[Si] WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910021342 tungsten silicide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 claims 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 7
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14603—Special geometry or disposition of pixel-elements, address-lines or gate-electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/14625—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L27/14629—Reflectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1464—Back illuminated imager structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
204 フォトダイオード用N型ドーピング領域
206 フォトダイオード用P型ドーピング領域(ピンニング層)
210 トランスファゲート
212 反射ゲートポリシリコン
214 反射ゲート金属シリサイド膜
222 N+バッファ領域
224 N+フローティング拡散領域
244 マイクロレンズ
Claims (24)
- 半導体基板の表上面の下部に形成され、前記半導体基板の裏面から照射される光を受け、光電荷を生成するフォトダイオードであって、N型ドーピング領域とP型ドーピング領域とを含むフォトダイオードと、
前記半導体基板の表面の上部近傍において前記フォトダイオード上に形成された反射ゲートであって、前記半導体基板の裏面から照射される光を反射させ、前記半導体基板の裏面から照射される光の損失を減らす金属シリサイド膜又は金属膜を備え、バイアス信号としてネガティブバイアスを受け、前記光電荷の集積期間中に前記フォトダイオードの空乏領域の幅をコントロールする反射ゲートと、
前記フォトダイオードからピクセルのセンスノードに前記光電荷を伝達するトランスファゲートとを備え、
前記反射ゲートが前記ネガティブバイアスを受けるとき、前記ネガティブバイアスは、前記N型ドーピング領域と前記P型ドーピング領域との間のPN接合に供給される
裏面照射イメージセンサ。 - 前記フォトダイオードと前記トランスファゲートとの間の前記半導体基板の表上面の下部に形成されたバッファ領域を更に備え、当該バッファ領域は、前記フォトダイオードから前記センスノードへの電荷転送効率及びタイミングマージンを増大させることを特徴とする請求項1に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記フォトダイオードが、前記半導体基板の表上面近傍から発生している暗電流の減少させるピンニング層を備えることを特徴とする請求項1に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記センスノードが、フローティング拡散領域を含むことを特徴とする請求項1に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記センスノードが、少なくとも2つのフォトダイオードを共有するために接続されていることを特徴とする請求項1に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 共に集積化され、前記反射ゲートに印加された前記ネガティブバイアス信号を生成するネガティブチャージポンプ回路を含むことを特徴とする請求項1に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記センスノードのkTCノイズの除去するCDS回路を有することを特徴とする請求項1に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記フォトダイオード、前記反射ゲート、及び前記トランスファゲートが、CMOS回路構造を含むことを特徴とする請求項1に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記反射ゲートが、前記トランスファゲートによって一部オーバーラップされ、前記絶縁層が、前記反射ゲート及び前記トランスファゲート間に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記半導体基板の裏面近傍に形成されているマイクロレンズを更に備えることを特徴とする請求項1に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記半導体基板の裏面近傍に形成されている非反射層を更に備えることを特徴とする請求項1に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記非反射層が、絶縁層を含むことを特徴とする請求項11に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記非反射層が、酸化膜、窒化膜、又はこれらの積層膜の少なくとも1つを含むことを特徴とする請求項11に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記酸化膜が、BPSG(BoroPhosphoSilicate Glass)、PSG(PhosphoSilicate Glass)、BSG(BoroSilicate Glass)、USG(Un−doped Silicate Glass)、TEOS(Tetraethyl Orthosilicate)、HDP(High Density Plasma)膜、シリコン酸化膜(SiO2)の中から選択される少なくとも1つの膜を含むことを特徴とする請求項13に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 前記窒化膜が、シリコン窒化膜(SixNy、ここで、x、yは自然数)、又はシリコン酸化窒化膜(SixOyNz、ここで、x、y、zは自然数)を含むことを特徴とする請求項13に記載の裏面照射イメージセンサ。
- 表上面及び裏面を有する基板と、
前記基板の前記裏面から受けた光に応答して光電荷を生成するように構成され、前記基板の前記表上面に近接して形成されているフォトダイオードであって、N型ドーピング領域とP型ドーピング領域とを含むフォトダイオードと、
前記フォトダイオード上に配置され、前記基板の前記裏面から受けた光を前記フォトダイオードの表面に反射するように構成された反射ゲートであって、前記光の損失を低減するよう構成された金属シリサイド膜又は金属膜を備え、前記光電荷の集積期間中に前記フォトダイオードの空乏領域の幅をコントロールするためネガティブバイアス信号を受信するようにさらに構成された反射ゲートと、
前記光電荷をフローティング拡散ノードへ転送するように構成されているトランスファトランジスタと
を備え、
前記反射ゲートが前記ネガティブバイアス信号を受けるとき、前記ネガティブバイアス信号は、前記N型ドーピング領域と前記P型ドーピング領域との間のPN接合に供給される
裏面照射イメージセンサのピクセル。 - 前記トランスファトランジスタが、前記反射ゲートから側方に離れたトランスファゲートを有し、前記トランスファゲート及び前記反射ゲートが、前記基板の前記表上面から実質的に同じ距離に配置されている請求項16に記載のピクセル。
- 前記トランスファトランジスタが前記基板に形成され、前記反射ゲートのエッジと垂直方向に整列されたバッファ領域を有する請求項16に記載のピクセル。
- 前記トランスファゲートの位置が前記反射ゲートの上に重なる請求項17に記載のピクセル。
- 前記反射ゲートが積層構造を有する請求項16に記載のピクセル。
- 前記積層構造が、ポリシリコン膜及び当該ポリシリコン膜に隣接する前記金属膜を有する請求項20に記載のピクセル。
- 前記金属膜がタングステンシリサイド膜を有する請求項21に記載のピクセル。
- 前記金属膜がタングステンを有する請求項21に記載のピクセル。
- 前記反射ゲートが前記金属シリサイド膜又は前記金属膜の単層構造を有する請求項16に記載のピクセル。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020070065368A KR100870821B1 (ko) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | 후면 조사 이미지 센서 |
KR10-2007-0065368 | 2007-06-29 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013097690A Division JP5723921B2 (ja) | 2007-06-29 | 2013-05-07 | 裏面照射イメージセンサを動作させる方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009016826A JP2009016826A (ja) | 2009-01-22 |
JP2009016826A5 JP2009016826A5 (ja) | 2010-12-16 |
JP5358130B2 true JP5358130B2 (ja) | 2013-12-04 |
Family
ID=39743135
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008167599A Active JP5358130B2 (ja) | 2007-06-29 | 2008-06-26 | 裏面照射イメージセンサ |
JP2013097690A Active JP5723921B2 (ja) | 2007-06-29 | 2013-05-07 | 裏面照射イメージセンサを動作させる方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013097690A Active JP5723921B2 (ja) | 2007-06-29 | 2013-05-07 | 裏面照射イメージセンサを動作させる方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7847326B2 (ja) |
EP (1) | EP2009696A3 (ja) |
JP (2) | JP5358130B2 (ja) |
KR (1) | KR100870821B1 (ja) |
CN (2) | CN102709299B (ja) |
Families Citing this family (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7442629B2 (en) | 2004-09-24 | 2008-10-28 | President & Fellows Of Harvard College | Femtosecond laser-induced formation of submicrometer spikes on a semiconductor substrate |
US7057256B2 (en) | 2001-05-25 | 2006-06-06 | President & Fellows Of Harvard College | Silicon-based visible and near-infrared optoelectric devices |
KR100870821B1 (ko) * | 2007-06-29 | 2008-11-27 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 후면 조사 이미지 센서 |
FR2935839B1 (fr) | 2008-09-05 | 2011-08-05 | Commissariat Energie Atomique | Capteur d'images cmos a reflexion lumineuse |
US8822815B2 (en) * | 2008-11-04 | 2014-09-02 | Northrop Grumman Systems Corporation | Photovoltaic silicon solar cells |
JP2010206174A (ja) * | 2009-02-06 | 2010-09-16 | Canon Inc | 光電変換装置およびその製造方法ならびにカメラ |
JP2010206173A (ja) | 2009-02-06 | 2010-09-16 | Canon Inc | 光電変換装置およびカメラ |
RU2011154222A (ru) | 2009-06-08 | 2013-07-20 | Эс.И.Эй. МЕДИКАЛ СИСТЕМЗ, ИНК. | Системы и способы для идентификации соединений в медицинских жидкостях с использованием спектроскопии полной проводимости |
US9117712B1 (en) * | 2009-07-24 | 2015-08-25 | Mesa Imaging Ag | Demodulation pixel with backside illumination and charge barrier |
US9911781B2 (en) | 2009-09-17 | 2018-03-06 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
KR102234065B1 (ko) | 2009-09-17 | 2021-03-31 | 사이오닉스, 엘엘씨 | 감광성 이미징 장치 및 이와 관련된 방법 |
US8476681B2 (en) * | 2009-09-17 | 2013-07-02 | Sionyx, Inc. | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US9673243B2 (en) | 2009-09-17 | 2017-06-06 | Sionyx, Llc | Photosensitive imaging devices and associated methods |
US8464952B2 (en) * | 2009-11-18 | 2013-06-18 | Hand Held Products, Inc. | Optical reader having improved back-illuminated image sensor |
JP5523813B2 (ja) | 2009-12-16 | 2014-06-18 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置 |
US8692198B2 (en) | 2010-04-21 | 2014-04-08 | Sionyx, Inc. | Photosensitive imaging devices and associated methods |
CN102280458A (zh) * | 2010-06-11 | 2011-12-14 | 英属开曼群岛商恒景科技股份有限公司 | 背面照光传感器 |
US20120146172A1 (en) | 2010-06-18 | 2012-06-14 | Sionyx, Inc. | High Speed Photosensitive Devices and Associated Methods |
JP2012094719A (ja) * | 2010-10-27 | 2012-05-17 | Sony Corp | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、及び電子機器 |
JP2012104704A (ja) | 2010-11-11 | 2012-05-31 | Toshiba Corp | 固体撮像装置およびその製造方法 |
JP2012156310A (ja) * | 2011-01-26 | 2012-08-16 | Sony Corp | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、および電子機器 |
US9496308B2 (en) | 2011-06-09 | 2016-11-15 | Sionyx, Llc | Process module for increasing the response of backside illuminated photosensitive imagers and associated methods |
JP2014525091A (ja) | 2011-07-13 | 2014-09-25 | サイオニクス、インク. | 生体撮像装置および関連方法 |
US8710420B2 (en) * | 2011-11-08 | 2014-04-29 | Aptina Imaging Corporation | Image sensor pixels with junction gate photodiodes |
US8652868B2 (en) * | 2012-03-01 | 2014-02-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Implanting method for forming photodiode |
US9064764B2 (en) | 2012-03-22 | 2015-06-23 | Sionyx, Inc. | Pixel isolation elements, devices, and associated methods |
JP6466346B2 (ja) | 2013-02-15 | 2019-02-06 | サイオニクス、エルエルシー | アンチブルーミング特性を有するハイダイナミックレンジcmos画像センサおよび関連づけられた方法 |
US9939251B2 (en) | 2013-03-15 | 2018-04-10 | Sionyx, Llc | Three dimensional imaging utilizing stacked imager devices and associated methods |
DE102013104968B4 (de) * | 2013-05-14 | 2020-12-31 | ams Sensors Germany GmbH | Sensoranordnung mit einem siliziumbasierten optischen Sensor und einem Substrat für funktionelle Schichtsysteme |
US9209345B2 (en) | 2013-06-29 | 2015-12-08 | Sionyx, Inc. | Shallow trench textured regions and associated methods |
CN103441133B (zh) | 2013-08-30 | 2016-01-27 | 格科微电子(上海)有限公司 | 背照式图像传感器及降低背照式图像传感器暗电流的方法 |
CN104659040A (zh) * | 2013-11-20 | 2015-05-27 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 一种全隔离背照式图像传感器及其制造方法 |
FR3018653B1 (fr) | 2014-03-11 | 2016-03-04 | E2V Semiconductors | Procede de capture d'image avec reduction de courant d'obscurite et faible consommation |
JP5847870B2 (ja) * | 2014-03-27 | 2016-01-27 | キヤノン株式会社 | 固体撮像装置 |
CN104078478B (zh) * | 2014-07-04 | 2017-10-27 | 豪威科技(上海)有限公司 | 背照式cmos影像传感器及其制造方法 |
CN104201180A (zh) * | 2014-07-11 | 2014-12-10 | 格科微电子(上海)有限公司 | 图像传感器及其形成方法 |
EP3167492A4 (en) | 2015-06-22 | 2017-11-08 | The Research Foundation For The State University Of New York | Self-balancing position sensitive detector |
JP2018186211A (ja) | 2017-04-27 | 2018-11-22 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
FR3070792A1 (fr) | 2017-09-05 | 2019-03-08 | Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies Alternatives | Detecteur photosensible a jonction 3d et grille autoalignees |
CN109671729B (zh) * | 2017-10-17 | 2021-04-09 | 京东方科技集团股份有限公司 | 探测单元及其制作方法、平板探测器 |
JP7056183B2 (ja) * | 2018-01-31 | 2022-04-19 | ブラザー工業株式会社 | 定着装置 |
CN110120396B (zh) * | 2018-02-05 | 2021-06-15 | 联华电子股份有限公司 | 影像传感器 |
CN108428712A (zh) * | 2018-05-14 | 2018-08-21 | 德淮半导体有限公司 | 图像传感器及其制造方法 |
US20220246666A1 (en) * | 2019-06-07 | 2022-08-04 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Imaging element and imaging device |
CN112397532A (zh) * | 2019-08-15 | 2021-02-23 | 天津大学青岛海洋技术研究院 | 一种高量子效率图像传感器像素结构及其制作方法 |
Family Cites Families (51)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61139061A (ja) * | 1984-12-11 | 1986-06-26 | Hamamatsu Photonics Kk | 半導体光検出装置 |
US4760031A (en) * | 1986-03-03 | 1988-07-26 | California Institute Of Technology | Producing CCD imaging sensor with flashed backside metal film |
JPH0766981B2 (ja) * | 1987-03-26 | 1995-07-19 | 日本電気株式会社 | 赤外線センサ |
JPS6482667A (en) * | 1987-09-25 | 1989-03-28 | Mitsubishi Electric Corp | Solid-state image sensor |
JPH03153075A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-01 | Mitsubishi Electric Corp | ショットキー型撮像素子 |
US5134274A (en) * | 1991-03-18 | 1992-07-28 | Hughes Aircraft Company | Two-sided solid-state imaging device |
CA2095739A1 (en) * | 1992-05-27 | 1993-11-28 | Michael J. Mcnutt | Charge skimming and variable integration time in focal plane arrays |
US5227313A (en) * | 1992-07-24 | 1993-07-13 | Eastman Kodak Company | Process for making backside illuminated image sensors |
US5244817A (en) * | 1992-08-03 | 1993-09-14 | Eastman Kodak Company | Method of making backside illuminated image sensors |
JP2797941B2 (ja) | 1993-12-27 | 1998-09-17 | 日本電気株式会社 | 光電変換素子とその駆動方法 |
JP3189550B2 (ja) * | 1993-12-29 | 2001-07-16 | 株式会社ニコン | 固体撮像装置およびその製造方法 |
US5670817A (en) * | 1995-03-03 | 1997-09-23 | Santa Barbara Research Center | Monolithic-hybrid radiation detector/readout |
JPH0945886A (ja) * | 1995-08-01 | 1997-02-14 | Sharp Corp | 増幅型半導体撮像装置 |
JPH0974178A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-18 | Nikon Corp | 赤外線固体撮像装置および赤外線固体撮像装置駆動方法 |
US5754228A (en) * | 1995-09-25 | 1998-05-19 | Lockhead Martin Corporation | Rapid-sequence full-frame CCD sensor |
US5818052A (en) * | 1996-04-18 | 1998-10-06 | Loral Fairchild Corp. | Low light level solid state image sensor |
JPH11274465A (ja) * | 1998-01-20 | 1999-10-08 | Nikon Corp | 固体撮像装置、受光素子、並びに半導体の製造方法 |
JP4428831B2 (ja) * | 1999-07-30 | 2010-03-10 | Hoya株式会社 | 3次元画像検出装置 |
US6168965B1 (en) * | 1999-08-12 | 2001-01-02 | Tower Semiconductor Ltd. | Method for making backside illuminated image sensor |
US7265397B1 (en) * | 2000-08-30 | 2007-09-04 | Sarnoff Corporation | CCD imager constructed with CMOS fabrication techniques and back illuminated imager with improved light capture |
KR100470821B1 (ko) * | 2001-12-29 | 2005-03-08 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법 |
JP3722367B2 (ja) * | 2002-03-19 | 2005-11-30 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子の製造方法 |
JP4541666B2 (ja) * | 2002-06-20 | 2010-09-08 | 三星電子株式会社 | イメージセンサ及びその製造方法 |
JP4470364B2 (ja) * | 2002-10-17 | 2010-06-02 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子及びカメラ装置 |
US7160753B2 (en) * | 2004-03-16 | 2007-01-09 | Voxtel, Inc. | Silicon-on-insulator active pixel sensors |
KR100595875B1 (ko) * | 2004-05-06 | 2006-07-03 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 식각데미지를 감소시킨 시모스 이미지센서 제조방법 |
WO2006137866A2 (en) | 2004-09-17 | 2006-12-28 | Bedabrata Pain | Back- illuminated cmos or ccd imaging device structure |
JP4867152B2 (ja) * | 2004-10-20 | 2012-02-01 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子 |
JP4725095B2 (ja) | 2004-12-15 | 2011-07-13 | ソニー株式会社 | 裏面入射型固体撮像装置及びその製造方法 |
JP2006261638A (ja) * | 2005-02-21 | 2006-09-28 | Sony Corp | 固体撮像装置および固体撮像装置の駆動方法 |
JP4826111B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2011-11-30 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子および固体撮像素子の製造方法および画像撮影装置 |
US7115924B1 (en) * | 2005-06-03 | 2006-10-03 | Avago Technologies Sensor Ip Pte. Ltd. | Pixel with asymmetric transfer gate channel doping |
US20070001100A1 (en) * | 2005-06-30 | 2007-01-04 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Light reflection for backside illuminated sensor |
KR100660345B1 (ko) * | 2005-08-22 | 2006-12-22 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 씨모스 이미지 센서 및 그의 제조방법 |
US7973380B2 (en) * | 2005-11-23 | 2011-07-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Method for providing metal extension in backside illuminated sensor for wafer level testing |
JP5175030B2 (ja) * | 2005-12-19 | 2013-04-03 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 固体撮像装置 |
KR100660714B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2006-12-21 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 백사이드 조명 구조의 씨모스 이미지 센서 및 그의 제조방법 |
KR100772316B1 (ko) * | 2006-04-28 | 2007-10-31 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 플라즈마손상으로부터 포토다이오드를 보호하는 씨모스이미지센서의 제조 방법 |
US8704277B2 (en) * | 2006-05-09 | 2014-04-22 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Spectrally efficient photodiode for backside illuminated sensor |
JP4525671B2 (ja) * | 2006-12-08 | 2010-08-18 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置 |
KR100806783B1 (ko) * | 2006-12-29 | 2008-02-27 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 씨모스 이미지 센서 및 그 형성 방법 |
KR100827447B1 (ko) * | 2007-01-24 | 2008-05-06 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서와 그 제조 방법 및 이미지 센싱 방법 |
US7485940B2 (en) * | 2007-01-24 | 2009-02-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Guard ring structure for improving crosstalk of backside illuminated image sensor |
KR100929349B1 (ko) * | 2007-01-30 | 2009-12-03 | 삼성전자주식회사 | 유기물 컬러 필터를 포함하지 않는 컬러 픽셀, 이미지 센서, 및 컬러 보간방법 |
KR100825808B1 (ko) * | 2007-02-26 | 2008-04-29 | 삼성전자주식회사 | 후면 조명 구조의 이미지 센서 및 그 이미지 센서 제조방법 |
US7498650B2 (en) * | 2007-03-08 | 2009-03-03 | Teledyne Licensing, Llc | Backside illuminated CMOS image sensor with pinned photodiode |
US7656000B2 (en) * | 2007-05-24 | 2010-02-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Photodetector for backside-illuminated sensor |
KR100870821B1 (ko) * | 2007-06-29 | 2008-11-27 | 매그나칩 반도체 유한회사 | 후면 조사 이미지 센서 |
KR101439434B1 (ko) * | 2007-10-05 | 2014-09-12 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 및 그 제조 방법 |
US7538307B1 (en) * | 2008-02-19 | 2009-05-26 | Teledyne Licensing Llc | Charge multiplication CMOS image sensor and method for charge multiplication |
US7875918B2 (en) * | 2009-04-24 | 2011-01-25 | Omnivision Technologies, Inc. | Multilayer image sensor pixel structure for reducing crosstalk |
-
2007
- 2007-06-29 KR KR1020070065368A patent/KR100870821B1/ko active IP Right Grant
-
2008
- 2008-06-24 EP EP08252168A patent/EP2009696A3/en not_active Withdrawn
- 2008-06-26 JP JP2008167599A patent/JP5358130B2/ja active Active
- 2008-06-27 US US12/216,065 patent/US7847326B2/en active Active
- 2008-06-27 CN CN201210151627.8A patent/CN102709299B/zh active Active
- 2008-06-27 CN CN2008101275449A patent/CN101335282B/zh active Active
-
2010
- 2010-11-30 US US12/956,975 patent/US8163591B2/en active Active
-
2013
- 2013-05-07 JP JP2013097690A patent/JP5723921B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101335282A (zh) | 2008-12-31 |
EP2009696A3 (en) | 2010-12-29 |
US20090001494A1 (en) | 2009-01-01 |
CN101335282B (zh) | 2012-07-04 |
US7847326B2 (en) | 2010-12-07 |
US8163591B2 (en) | 2012-04-24 |
JP2009016826A (ja) | 2009-01-22 |
CN102709299A (zh) | 2012-10-03 |
JP5723921B2 (ja) | 2015-05-27 |
KR100870821B1 (ko) | 2008-11-27 |
JP2013179334A (ja) | 2013-09-09 |
US20110108709A1 (en) | 2011-05-12 |
CN102709299B (zh) | 2014-11-05 |
EP2009696A2 (en) | 2008-12-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5358130B2 (ja) | 裏面照射イメージセンサ | |
US9818782B2 (en) | Image sensor and method for fabricating the same | |
US8698265B2 (en) | Image sensor including a light shielding pattern | |
US7572571B2 (en) | Image sensor and method for manufacturing the same | |
JP5489705B2 (ja) | 固体撮像装置および撮像システム | |
JP4779320B2 (ja) | 固体撮像装置およびその製造方法 | |
US20060038248A1 (en) | Method for manufacturing CMOS image sensor using spacer etching barrier film | |
JP2009016826A5 (ja) | ||
KR20100079058A (ko) | 이미지센서 및 그 제조방법 | |
KR20150071768A (ko) | 이미지 센서 및 그 제조방법 | |
KR20150033606A (ko) | 고체 촬상 소자, 고체 촬상 소자의 제조 방법, 및, 전자기기 | |
KR102587498B1 (ko) | 이미지 센서 | |
KR20140075898A (ko) | 이미지센서 및 그 제조 방법 | |
US20220149101A1 (en) | Image sensor | |
JP2009188380A (ja) | イメージセンサ及びその製造方法 | |
CN114823756A (zh) | 图像传感器及其制造方法 | |
KR101776611B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서의 단위 화소 어레이 | |
US20230170372A1 (en) | Image sensor including reflective structure including a reflective structure | |
JP2018207049A (ja) | 固体撮像素子およびその製造方法 | |
KR20070036532A (ko) | 시모스 이미지센서 제조 방법 | |
KR100612423B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서 | |
KR20100077589A (ko) | 이미지센서 및 그 제조방법 | |
KR20100062099A (ko) | 이미지 센서 및 그 제조 방법 | |
JP2010034563A (ja) | イメージセンサ及びその製造方法 | |
KR20080014261A (ko) | 이미지 센서 및 그 형성 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20090624 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090713 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100315 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101029 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20110928 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120705 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120713 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120924 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130205 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130507 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130813 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5358130 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |