JP5339936B2 - 脱臭装置およびその安全停止方法 - Google Patents

Description

本発明は揮発性有機化合物の脱臭装置に関するものである。本発明は、特に揮発ガス発生源から脱臭手段への送風路と、大気への放出路の２系統の未処理ガスの経路と、脱臭手段や送風ファンを制御する２重化された制御装置を有し、いずれの制御装置も故障した場合に作業環境を排気しつつ、脱臭手段を停止させる脱臭装置に関する。

有機溶媒は、溶解度が高く、沸点も低い物が多いので、塗料用の溶剤や洗浄液として広く利用されている。しかし、有機溶媒は分子構造が生体物質に似た構造の物も多く、そのまま吸引すると人体に影響が及ぶ場合もある。特に揮発性の高いものについては、揮発性有機化合物（Ｖｏｌａｔｉｌｅ Ｏｒｇａｎｉｃ Ｃｏｍｐｏｕｎｄｓ：以下「ＶＯＣ」と呼ぶ）と呼ばれる。ＶＯＣは、難分解性であることが多いため浸透して土壌や地下水を汚染したり、大気中に放出されると光化学反応によってオキシダントやＳＰＭ（浮遊粒子状物質）の発生源として関与していると考えられ、ＶＯＣを原因とする大気汚染での人体や環境に及ぼす影響が懸念される。

そこで、燃焼処理、触媒処理、微生物処理といった方法で、ＶＯＣを分解処理して大気に排出することが行われている。すなわち、有機溶媒の使用および使用によって生じたＶＯＣの分解処理は、ＶＯＣの種類、濃度、発生量などに応じて処理方法が選択されている。

特に大量のＶＯＣを分解処理する場合は、燃焼による処理が素早く分解できる点で好ましい。しかし、燃焼による分解処理では、７００℃乃至９００℃の温度を維持する必要があるので、ランニングコストがかかるという問題もある。

特許文献１には、これを解決する方法として、蓄熱式の燃焼処理装置が開示されている。この燃焼処理装置は、燃焼後の高温のガスで蓄熱室を過熱し、未処理のガスをこの蓄熱室を通過させる。そこで、燃焼後のガスから未処理ガスへ熱交換を行い、未処理ガスの燃焼効率を高める。

有機溶媒を多量に連続して使用する製造工場においては、製造装置で発生するＶＯＣの分解処理システムも大規模になる。すると、分解処理システムが静圧調節器などの故障によって制御不能になると、ＶＯＣを発生する製造装置にも影響があり、製造装置をできるだけ停止しないように、安全に運転継続できる施策が必要となる。

このような場合、プロセス制御の２重化を行うことで安全性を高める方法は良く知られている。特許文献２には、処理装置を２重化し、両方の処理装置になんらかの故障が発生した場合は、人手に制御を返すシステムが開示されている。
特開２００３−１６１４２４号公報 特許第３３０３１０５号公報

特許文献２の技術を特許文献１の燃焼処理装置に適用した場合、安全性の高い自動運転脱臭装置を得ることが可能となる。しかし、２４時間の自動運転を継続するような製造装置に設置されるＶＯＣの燃焼処理装置の場合は、２重化したプロセス制御が故障したときに、制御が人手に渡るだけでは緊急事態に即応できるとは限らないという課題があり、よ
り信頼性の高いＶＯＣの脱臭装置およびその安全停止方法が要求されている。

本発明は上記の課題に鑑み想到されたものであり、ＶＯＣの処理装置若しくは処理システムにおいて、２重化したプロセス制御が故障した場合に、人手に頼ることなく信頼性を高めて自動的に運転制御できる脱臭装置およびその安全停止方法を提供するものである。

すなわち、本発明は、
揮発性化合物含有ガスを排気する排気ダクトと、
前記排気ダクトに設けられた静圧調節器と、
前記静圧調節器の下流に設けられた第１のダンパと、
前記第１のダンパに並設された第２のダンパと、
前記第１のダンパの下流側に設けられた第１の送風ファンと、
前記第２のダンパの下流に設けられた第２の送風ファンと、
前記第１の送風ファンの下流に接続された脱臭手段と、
前記第２の送風ファンの下流に接続された大気解放口と、
前記静圧調節器と前記第１及び第２のダンパと前記第１および第２の送風ファンと前記脱臭手段に電気的に接続された制御装置を有し、
前記制御装置は、
前記静圧調節器に接続された入力回路と、
前記第１及び第２のダンパと前記第１および第２の送風ファンと前記脱臭手段に接続された出力回路と、
自己診断機能を有し故障が生じた場合は故障信号を出力する第１および第２の制御部と、前記第１および第２の制御部のどちらかを前記入力回路と前記出力回路に接続し、前記第１および第２の制御部の両方から故障信号を受信した際は制御装置２重化故障信号を出力する２重化切換回路と、
前記出力回路と前記制御２重化切換回路に接続され、
故障信号を受信していない正常時には前記静圧調節器による静圧に基づいて前記第１の送風ファンを運転し、前記第１のダンパを開き、前記脱臭手段を運転し、
前記制御装置２重化故障信号を受信したら、
前記出力回路の出力を切断し、
前記第１のダンパを閉じ、
前記第１の送風ファンと前記脱臭手段を停止させ、
前記第２のダンパを開き、
前記第２の送風ファンを固定周波数で運転させる制御２重化故障判定回路を有する脱臭装置を提供する。

また、本発明の脱臭装置の安全停止方法は、
静圧調節器による静圧に基づき、主送風ファンと、前記主送風ファンに接続された脱臭手段と、処理前ガスを大気に放出する大気放出口に接続された予備送風ファンを自己診断機能を有し故障が生じた場合は故障信号を出力する第１の制御部および第２の制御部で運転する脱臭装置の安全停止方法であって、
前記第１の制御部および第２の制御部の両方が故障信号を発信したことを確認する工程と、
前記第１の制御部および第２の制御部の両方が故障信号を発信したことを確認したら、
前記第１の制御部および第２の制御部の制御を切断する工程と、
前記主送風ファンと前記脱臭手段を停止する工程と、
前記予備送風ファンを固定周波数で運転させる工程を有する脱臭装置の安全停止方法を提供する。

本発明の脱臭装置は、２重化した制御装置が共に故障した場合に、所定の状態で主送風ファンを停止するとともに予備送風ファンを運転することとしたので、両方の制御装置が故障したとしても、故障に対応して自動的に脱臭手段を停止するとともに、大気開放口からＶＯＣを排気し続けることができ、安全を確保できるという効果がある。

図１には、本発明の処理システムの構成を示す。本発明の脱臭装置１は、脱臭手段としての燃焼炉１４と、大気放出口３７、３８と、外気取り入れ口３６と、燃焼炉１４への送風ファン１８、大気への送風ファン１６、排気ダクト４０の静圧を測定する静圧調節器１２、装置全体を管理する制御装置１０および各所に設けられたダンパ３０乃至３５から構成される。

ＶＯＣの発生源７０は、揮発性溶剤を使用する場所であれば、特に限定されるものではない。例えば高温乾燥工程となる処理装置が設置してある場所には有効に利用することができる。一般的に燃焼処理で大部分のＶＯＣは分解することができる。なお、ＶＯＣ含有ガスを揮発性化合物含有ガスまたは単にＶＯＣとも呼ぶ。

ＶＯＣの発生源７０からは排気ダクト４０によってＶＯＣを本発明の装置内に吸入する。排気ダクトの数も特に限定されるものではなく、いくつ設置されていてもよい。図では、まとめてダクト４０として表した。ダクト４０はダンパ３０が直列に接続され、本発明の脱臭装置内にＶＯＣを導入するか否かが選択される。

ダンパ３０の下流には静圧調節器１２が配置されている。なお、本明細書においては、気流の起源に近い方が上流であり、逆方向を下流と呼ぶ。静圧調節器１２は排気ダクト４０を流れるＶＯＣの流速をダクト４０内の圧力と大気との間の圧力差で検出するものである。排気ダクト４０は脱臭装置側へＶＯＣを送るダクト４１と、大気へＶＯＣを放出する側のダクト４２に分かれて、ダンパ３１、３２を介して送風ファン１６、１８と連結される。

送風ファン１８は、燃焼炉１４へＶＯＣを送る送風機であり、主送風ファンと呼ぶ。主送風ファン１８は、ダクト４４を介して、ダンパ３３ａとダンパ３４ａと連結されている。それぞれのダンパからは、燃焼炉１４中を通過する燃焼ダクト２３、２４を介して、ダンパ３３ｂ、３４ｂに連結される。ダンパ３３ｂ、３４ｂはダクト４５を介して大気放出口３８と連結される。

なお、ダンパ３２と送風ファン１８の間は、ダンパ３５を介して外気取り入れ口３６が連結される。

一方、ＶＯＣを外気に放出する側のダクト４２にはダンパ３１が接続される。ダンパ３１の下流側には、送風ファン１６が接続される。送風ファン１６はダクト４６を介して大気放出口３７へ接続されている送風機であり、予備送風ファンと呼ぶ。主送風ファンと予備送風ファンを合わせて送風ファンと呼ぶ。

制御装置１０は、少なくとも静圧調節器１２と、送風ファン１６、１８と、燃焼炉１４と、各ダンパ３０〜３５とに電気的に接続されている。

次に各要素について詳細に説明する。静圧調節器１２は、設置された場所若しくは接続されたセンサの箇所の静圧を測定する。また、制御装置１０と電気的に接続され、ダクト４０の静圧を静圧信号Ｓｐにより通知する。また、静圧調節器１２は、デュアルシステムになっており、同じ構造の静圧調節器が対になって配置される。また、それぞれの静圧調節器は、自己診断機能を有しており、故障を検知すると、制御装置１０に故障信号Ｓｓを送信する。

送風ファンは処理したいＶＯＣの量で設計時に最大出力を決めてよい。きめ細かい制御
を行うためには、インバータ回路を搭載した送風ファンがよい。運転状態を周波数で制御できるからである。しかし、特に限定されるものではない。送風ファンは制御装置１０と電気的に接続され、制御装置１０からの駆動信号で運転制御できることが好ましい。

送風ファンには、主送風ファン１８と予備送風ファン１６がある。主送風ファン１８は、ダクト４０からＶＯＣを燃焼炉１４に送る送風ファンである。予備送風ファン１６は、故障などの緊急時や脱臭装置１の保守点検時にＶＯＣを大気に放出させるための送風ファンである。従って、主送風ファン１８と予備送風ファン１６は性能的に同じ出力のものを用いてよい。

また、主送風ファン１８への駆動信号Ｃｄｍと予備送風ファン１６への駆動信号Ｃｄｓも同じ種類の信号を用意することができる。本発明の脱臭装置では、主送風ファン１８と予備送風ファン１６のそれぞれについて、少なくとも、ファン運転指示、ファン周波数指示、ファン固定周波数指示の３種の指示が含まれる。

燃焼炉１４は、燃焼室２０と、蓄熱室２２ａ、２２ｂと、燃焼ダクト２３、２４を有する。燃焼室２０は、燃料を燃焼させるバーナー２１を有する空間である。蓄熱室２２ａ、２２ｂはセラミックなどの多孔質材料で形成され、熱を保持することができる。燃焼ダクトは２系列有し、ＶＯＣをそれぞれのダクトに逆向きに流す。これによって燃焼ダクト２３からのＶＯＣは燃焼室２０中で、加熱分解され処理ガスとなって蓄熱室２２ａに入る。そして、蓄熱室２２ａで熱交換され蓄熱室２２ａの温度を上昇させる。

燃焼ダクト２４から燃焼炉１４に入るＶＯＣは蓄熱室２２ａで加熱され高い温度になってから燃焼室２０を通過する。このように、燃焼処理後の排気ガスの熱量で、未処理のガスを暖めて燃焼効率を高くする。

燃焼炉１４は、制御部１０からの指示Ｃｂによって燃焼動作を行い、制御部１０には、燃焼室２０内の温度や、消費燃料レート、蓄熱室の温度などの情報を状態信号Ｓｂとして返す。なお、本明細書では、燃焼炉１４を蓄熱型直燃炉として説明するが、他の燃焼炉であってもよい。

各種ダンパはそれぞれのダクトの間に配置され、制御部１０からの指示Ｃｄによってダクトを開通状態若しくは閉状態にする。

制御装置１０は、メモリ（図示せず）を有し、メモリに記録された制御ソフトウェアで動作するコンピュータである。接続されている要素に対する接続ポートを有する。また、制御装置１０は、ハード的に組み上げたシーケンシャル制御装置であってもよい。

図２に制御装置１０と各部の結線関係を示す。本発明では、制御部１０は２重化されており、第１制御部１０２と第２制御部１０４を有する。また、２重化切換回路１０６と、入力回路１０８と出力回路１０９と制御２重化故障判定回路１１０を有する。第１制御部１０２と、第２制御部１０４と、２重化切換回路１０６と、入力回路１０８と出力回路１０９は、共通のバスライン１１２で接続されている。また、２重化切換回路１０６は、制御２重化故障判定回路１１０と直接結線されている。制御２重化故障判定回路１１０は、出力回路１０９と各要素の間に配置されている。

また、図２では、静圧調節器１２は２つの静圧調節器が搭載されていることを示す。１つの静圧調節器は、静圧センサ（１２２，１２４）と静圧調節器（１２１，１２３）によって構成されている。それぞれの故障信号Ｓｓと静圧信号Ｓｐは、それぞれの静圧調節器から得られる。

送風ファン１６、１８には、インバータドライブ回路５０、５１が接続されている。制御部１０からは、運転指令（Ｃｄｍ１、Ｃｄｓ１）、回転数指令（Ｃｄｍ２、Ｃｄｓ１）および周波数固定指令（Ｃｄｍ３、Ｃｄｓ３）が送信される。なお、運転指令には、同時にダンパ３０〜３５を制御する命令が含まれてよい。これによって、運転指令（Ｃｄｍ１またはＣｄｓ１）が送信されたときは、それぞれの送風路が確保されるように各ダンパに開閉の指示Ｃｄが送信される。

具体的には、主送風ファン１８を回転させるときは、運転指令（Ｃｄｍ１）によって、ダンパ３０、３２〜３４は開き、それ以外のダンパは閉じる。また、予備送風ファン１６を回転させるときは、運転指令（Ｃｄｓ１）によってダンパ３０、３１が開き、それ以外は閉じる指示Ｃｄが制御装置１０から出力される。

次に制御装置１０をさらに詳しく説明する。通常、脱臭装置１を制御する際には、第１制御部１０２が制御を行う。制御部は、静圧調節部１２からの静圧信号Ｓｐを受信し、それに基づいて送風ファン１６、１８や燃焼炉１４を制御する。第１制御部１０２と第２制御部１０４はそれぞれ自己診断機能（故障判定回路）を有しており、定期的に自分自身の機能に異常をきたしていないかどうかを確認する。

第１制御部１０２は、自己診断機能によって自身の制御処理機能に異常があると判断した場合は、２重化切換回路１０６に故障通知を行う。２重化切換回路１０６は、制御を第１制御部１０２から第２制御部１０４に制御を切り替える。

具体的には、静圧調節器１２からの２組の信号を受信する入力回路１０８の出力先を、選択された第２制御部に変更する。また、主送風ファン１８、予備送風ファン１６、各ダンプ、燃焼炉１４への指示や指令を第２制御部１０４からの出力とするようにする。

なお、第１制御部１０２および第２制御部１０４が共に故障した場合、すなわち、どちらの制御部からも故障通知が発信された場合は、２重化切換回路１０６は、制御２重化故障判定回路１１０に緊急信号Ｃｅｇを伝送する。制御２重化故障判定回路１１０は、出力回路１０９の直後に接続されており、出力回路１０９からの出力信号に割り込める。また、制御２重化信号判定回路１０９自体が内部にソフトウエアを有しており、緊急時には自身に組み込まれたソフトウェアを実行させることができる。

そして、緊急信号Ｃｅｇが発せられた場合は、出力回路１０９からの出力信号関係を遮断し、自らのソフトウェアに従って送風ファン１６、１８や燃焼炉１４などを制御運転する。

再び図１を参照して、装置の通常運転状態を説明する。制御部１０は、燃焼炉１４からの状態信号Ｓｂによって、燃焼室２０および蓄熱室２２ａ、２２ｂの温度を検知し、それぞれが所定の温度になるように指示Ｃｂおよび主送風ファン１８への駆動信号Ｃｄｍと各ダンパの指示Ｃｄによって制御する。燃焼室２０の温度は、バーナー２１によって直接制御できるが、蓄熱室２２ａ、２２ｂの温度は、燃焼ダクト２３、２４にＶＯＣが流れないと上下しないからである。

従って、排気ダクト４０から主送風ファン１８を経て、燃焼炉１４、大気放出口３８までの送風路が確保されるように、各ダンパも制御する。具体的には、ダンパ３０、３２、３３ａ、３３ｂ、３４ａ、３４ｂを開き、ダンパ３１、３５を閉じる。また、開閉度も制御してよい。また、排気ダクト４０内の圧力が所定の圧力になるように主送風ファン１８を制御する。

脱臭装置が定常運転になっている場合は、上記のように各部が設定され、ＶＯＣ発生源７０からのＶＯＣは、吸引ダクト４０、ダンパ３０、ダンパ３２、送風機１８、ダクト４４を通って、燃焼炉１４に至る。そして、ＶＯＣは、燃焼炉１４の手前で、ダンパ３４ａと３３ａに分岐して、燃焼炉１４に供給される。

そして、燃焼ダクト２４を通るＶＯＣは蓄熱室２２ａで加熱され、さらに燃焼室２０で加熱され無害な炭素、水素、酸素に分解する。そして、処理後のガスは蓄熱室２２ｂを加熱し、ダンパ３３ｂから排出される。燃焼ダクト２３を通るＶＯＣは、蓄熱室２２ｂで加熱され、燃焼室２０で分解された後、蓄熱室２２ａの温度を上げて、ダンパ３４ｂから排出される。これらの処理後のガスはダクト４５を通って、大気放出口３８から放出される。

次に２重化された制御装置が共に故障した場合の処理について説明する。それぞれの制御部は自己診断機能を有する。そして、自己診断機能によって自身の制御機能に異常をきたしていると判断した場合は、２重化切換回路１０６に自身の故障通知を送る。制御部の異常とは、静圧調節器１２からの静圧信号Ｓｐもしくは静圧調節器の異常信号Ｓｓに対して、予定されている反応ができなくなる状態をいう。従って、そのまま制御部が脱臭装置１全体を制御すると、排気ダクト４０からのＶＯＣの吸い込み量が低下し、ＶＯＣ発生源７０にＶＯＣが逆流して充満するなどの異常事態が起こる虞がある。

従って、２重化切換回路１０６は、第１制御部から故障信号が発信された場合は、第２制御部に制御を移し、脱臭装置の運転を継続させる。

ここで、第２制御部も自己診断機能によって自身の制御機能に異常をきたしていると判断し２重化切換回路１０６に故障を通知する場合がある。上述したように、静圧調節器１２の静圧の値を受信し、それに基づいて正しい制御ができない場合は、ＶＯＣ発生源７０である作業環境中にＶＯＣが逆流する虞が生じる。

そこで、２重化された制御部がいずれも故障した場合は、作業環境中に少なくともＶＯＣが蓄積しないような固定運転状態を行う。

固定運転は具体的に次のようである。２重化切換回路１０６は、第１および第２の制御部からの故障通知を受信したら、制御２重化故障信号Ｃｅｇを制御２重化故障判定回路１１０に出力する。制御２重化故障判定回路１１０は、出力回路１０９からの出力信号をカットし、以下のように送風ファンとダンパおよび燃焼炉１４を運転する。

まず、主送風ファン１８を停止し、主送風ファン側のダンパ（３０、３２〜３４）を閉鎖する。それと同時に燃焼炉１４を強制的に停止させる。燃焼炉の制御は複雑であり、制御２重化故障判定回路１１０では、継続的に運転はできない。しかも、燃焼炉１４は１０００℃近い熱になっており、制御を誤ると、過加熱状態にもなるからである。

なお、燃焼炉１４の冷却を促進させたい場合は、次のように制御することもできる。まず、ダンパ３２を閉じて燃焼炉側のダクトを独立させる。次にダンパ３５を開く。そして主送風ファン１８を固定周波数で運転する。ダンパ３３、３４は開いておく。このようにすると、外気からのエアが燃焼ダクト２３、２４を通るので、燃焼炉１４の冷却が促進される。

同時に予備送風ファン１６を固定周波数で運転し、予備送風ファン側のダンパ３０、３１を開く。ＶＯＣ発生源７０である製造装置からＶＯＣを屋外に排出させるためである。

次にこれらの処理をフローを用いて説明する。図３は２重化切換回路１０６の処理フローの一例を示す。制御装置１０がスタートすると、２重化切換回路１０６も動作をスタートする（Ｓ１００）。そして、まず第１制御部を選択する（Ｓ１０２）。２重化切換回路１０６が第１制御部１０２を選択するとは、入力回路１０８および出力回路１０９を第１制御部１０２に接続するということである。

次に第１制御部１０２からの故障通知の有無を調べる（Ｓ１０６）。故障通知がない場合は、２重化切換回路１０６の処理を終了するか否かを判断する（Ｓ１１２）。この終了判定は、制御部１０が終了するか否かで判断してよい。終了でない場合（Ｓ１１２のＮ分岐）は、第１制御部１０２からの故障通知の有無の検出であるステップＳ１０６まで戻る。

故障通知があった場合は、その故障通知は第２制御部１０４からの故障通知であるか否かを判断する（Ｓ１０８）。第２制御部１０４からの故障通知であったかなかったか、の判断方法は、特に限定されるものではない。具体的には、第１及び第２の制御部からの故障通知に対する記録をつけておき、それを参照する方法がある。第２制御部１０４からの故障通知でなかった場合（Ｓ１０８のＮ分岐）は、制御装置１０での制御を第２制御部１０４へ移す。ここで、第２制御部１０４に制御を移すとは、入力回路１０８および出力回路１１０を第２制御部１０４へ接続するということである。

第２制御部１０４からの故障通知であった場合は、制御２重化故障判定回路１１０に制御装置２重化故障信号Ｃｅｇ（以下「緊急信号Ｃｅｇ」ともいう）を送信し（Ｓ１１４）、終了する（Ｓ１１６）。緊急信号Ｃｅｇを送信したということは、第１および第２のどちらの制御部も異常をきたしているので、人為的な復旧作業に委ねるしかないためである。

図４には、緊急信号Ｃｅｇを受信した制御２重化故障判定回路１１０の処理フローを示す。制御２重化故障判定回路１１０は、緊急信号Ｃｅｇを受信すると処理を開始する。故障処理のフローに移ったら（Ｓ２００）、出力回路１０９を遮断する（Ｓ２０２）。第１および第２の制御部からの制御を遮断するためである。次に主送風ファン側のダンパを閉じる（Ｓ２０４）。具体的には、図１を参照して、ダンパ３２を閉じる。

次に主送風ファン１８を停止する（Ｓ２０６）。そして、予備送風ファン側のダンパを開く（Ｓ２０８）。具体的には、ダンパ３１である。次に予備送風ファン１６に対して、固定周波数による運転指示を行う（Ｓ２１０）。これは指示Ｃｄｓにて行う。この固定周波数による運転指示は、固定周波数自身を指示するものであってもよいし、予備送風ファン１６が予め設定された値を持っていて、その周波数で運転することを指示する内容であってもよい。

そして、予備送風ファンが固定運転されているという表示を行う（Ｓ２１２）。この表示は、ランプ、警告音、画面表示など特に限定されるものではない。これら全般を含めて表示手段とする。

次に燃焼炉１４を停止させる（２１４）。燃焼炉１４の停止は、いくつかの手順がある場合があるが、制御２重化故障判定回路１１０には、予めその停止シークエンスが記録されている。そして、停止する（Ｓ２１６）。作業環境中のＶＯＣを予備送風ファンの固定運転によってＶＯＣを状態になったからである。なお、固定運転状態（Ｓ２１０）は、決められた周波数で送風ファンが運転されているか否かを検出し、その周波数を制御するフローに置き換えてもよい。

なお、上記の説明で「固定周波数」は、予め設計時に決めておいた周波数であってもよいし、一定時間内の駆動周波数の加算平均であってもよい。また、脱臭手段として蓄熱式の燃焼炉を用いて説明したが、直接燃焼装置、触媒燃焼装置、活性炭吸着装置、気液接触装置などの他の脱臭装置を用いてもよい。

以上のように、本発明は、２重化した制御装置が共に故障した場合に、所定の状態で送風ファンを運転し続けることとしたので、両方の制御装置が故障したとしても、故障に対応して自動的に燃焼炉を停止するとともに、大気開放口からＶＯＣを排気し続けることができ、安全を確保できる。

本発明は、有機溶媒を連続して使用する塗装工程や洗浄工程におけるＶＯＣ処理についても好適に利用することができる。

本願発明の脱臭装置の構成を示す図である。 本願発明の脱臭装置を運転する制御装置の構成を示す図である。 本願発明の脱臭装置の全体の処理から脱臭う装置からは脱出できた。 本願発明の脱臭装置の２重化された処理装置が共に異常をきたした場合の処理のフローの一例を示す図である。

１ 脱臭装置
１０ 制御装置
１２ 静圧調節器
１４ 燃焼炉（脱臭手段）
２０ 燃焼室
２１ バーナー
２２ａ、２２ｂ 蓄熱室
２３、２４ 燃焼ダクト
３０〜３５ ダンパ
３６ 外気取り入れ口
３７、３８ 大気放出口
４０〜４５ ダクト
５０ 主送風ファン駆動インバータ
５１ 予備送風ファン駆動インバータ
７０ ＶＯＣ発生源
１０２ 第１制御部
１０４ 第２制御部
１０６ ２重化切換回路
１０８ 入力回路
１０９ 出力回路
１１０ 制御２重化故障判定回路
１１２ 共通バス
１２１、１２３ 静圧調節器
１２２、１２４ 静圧センサ

Claims (2)

1. 揮発性化合物含有ガスを排気する排気ダクトと、
   前記排気ダクトに設けられた静圧調節器と、
   前記静圧調節器の下流に設けられた第１のダンパと、
   前記第１のダンパに並設された第２のダンパと、
   前記第１のダンパの下流側に設けられた第１の送風ファンと、
   前記第２のダンパの下流に設けられた第２の送風ファンと、
   前記第１の送風ファンの下流に接続された脱臭手段と、
   前記第２の送風ファンの下流に接続された大気解放口と、
   前記静圧調節器と前記第１及び第２のダンパと前記第１および第２の送風ファンと前記脱臭手段に電気的に接続された制御装置を有し、
   前記制御装置は、
   前記静圧調節器に接続された入力回路と、
   前記第１及び第２のダンパと前記第１および第２の送風ファンと前記脱臭手段に接続された出力回路と、
   自己診断機能を有し故障が生じた場合は故障信号を出力する第１および第２の制御部と、前記第１および第２の制御部のどちらかを前記入力回路と前記出力回路に接続し、前記第１および第２の制御部の両方から故障信号を受信した際は制御装置２重化故障信号を出力する２重化切換回路と、
   前記出力回路と前記制御２重化切換回路に接続され、
   故障信号を受信していない正常時には前記静圧調節器による静圧に基づいて前記第１の送風ファンを運転し、前記第１のダンパを開き、前記脱臭手段を運転し、
   前記制御装置２重化故障信号を受信したら、
   前記出力回路の出力を切断し、
   前記第１のダンパを閉じ、
   前記第１の送風ファンと前記脱臭手段を停止させ、
   前記第２のダンパを開き、
   前記第２の送風ファンを固定周波数で運転させる制御２重化故障判定回路を有する脱臭装置。
2. 静圧調節器による静圧に基づき、主送風ファンと、前記主送風ファンに連結された脱臭手段と、処理前ガスを大気に放出する大気放出口に接続された予備送風ファンを自己診断機能を有し故障が生じた場合は故障信号を出力する第１の制御部および第２の制御部で運転する脱臭装置の安全停止方法であって、
   前記第１の制御部および第２の制御部の両方が故障信号を発信したことを確認する工程と、
   前記第１の制御部および第２の制御部の両方が故障信号を発信したことを確認したら、
   前記第１の制御部および第２の制御部の制御を切断する工程と、
   前記主送風ファンと前記脱臭手段を停止する工程と、
   前記予備送風ファンを固定周波数で運転させる工程を有する脱臭装置の安全停止方法。

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