JP5335186B2 - Cmosイメージセンサ - Google Patents
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Description
TX1、TX2 伝達トランジスタのゲートパターン
DX 駆動トランジスタのゲートパターン
RX リセットトランジスタのゲートパターン
SX 選択トランジスタのゲートパターン
CT1〜CT4 アクティブ領域に接続されるコンタクト
CNT1〜CNT6 ゲートパターンに接続されるコンタクト
M2A〜M2C 金属配線
ACTIVE1、ACTIVE2 アクティブ領域
Claims (14)
- 基板に第1のフォトダイオードを形成するステップと、
前記第1のフォトダイオードと所定間隔離れた領域にフローティングノードを形成するステップと、
前記第1のフォトダイオードと前記フローティングノードとの間に第1の伝達トランジスタのゲートパターンの一部を形成するステップと、
前記フローティングノードの一部に駆動トランジスタのゲートパターンの一部が重なるようにし、駆動トランジスタのゲートパターンの重複部分を形成するステップと、
前記フローティングノードの少なくとも第1の一部分と前記重複部分の少なくとも第1の一部分の上に絶縁膜を形成するステップと、
前記重複部分の前記第1の一部分の一部と前記フローティングノードの前記第1の一部分の一部の上の前記絶縁膜を選択的に除去し、前記重複部分の露出した部分と前記フローティングノードの露出した部分の上の前記絶縁膜を通るコンタクトホールを形成するステップと、
該コンタクトホールに導電性物質を埋め込んで前記重複部分の前記露出部分と前記フローティングノードの前記露出部分との間に第1のコンタクトを形成するステップと、
選択トランジスタのゲートパターンを形成するステップと、
リセットトランジスタのゲートパターンを形成するステップと、
前記リセットトランジスタの前記ゲートパターンに関連する第1のアクティブ領域を形成するステップと、
前記選択トランジスタの前記ゲートパターンと前記駆動トランジスタの前記ゲートパターンにより共有される第2のアクティブ領域を形成するステップと
を含むことを特徴とするCMOSイメージセンサの製造方法。 - 第1フォトダイオードと、
該第1フォトダイオードから所定間隔離れて配置されたフローティングノードと、
前記第1フォトダイオードと前記フローティングノードとの間に配置された第1伝達トランジスタのゲートパターンの一部と、
前記フローティングノードの一部に重なるように配置されて、重複部分を形成する、駆動トランジスタのゲートパターンの一部と、
前記フローティングノードの一部と前記重複部分の一部を露出させるように配置されたコンタクトホールと、
前記コンタクトホール内に埋め込むように配置され前記フローティングノードと前記重複部分とに接続された第1コンタクトと、
ゲートパターンが「コ」の字状に形成された選択トランジスタであって、前記選択トランジスタは前記駆動トランジスタとの共通のアクティブ領域を共有する、選択トランジスタと
を備えることを特徴とするCMOSイメージセンサ。 - 第1フォトダイオード及び第2フォトダイオードと、
該第1フォトダイオード及び第2フォトダイオードの間に配置されたフローティングノードと、
前記第1フォトダイオードと前記フローティングノードとの間に配置された第1伝達トランジスタのゲートパターンと、
前記第2フォトダイオードと前記フローティングノードとの間に配置された第2伝達トランジスタのゲートパターンと、
前記フローティングノードと一定の部分が重なるように配置された駆動トランジスタのゲートパターンと、
前記フローティングノードと前記駆動トランジスタのゲートパターンとの両方に、前記フローティングノードの一部と前記駆動トランジスタのゲートパターンの一部により部分的に共有されるコンタクトホールを介して同時に接するように配置されたコンタクトと、
前記フローティングノードから分離された第1のアクティブ領域を有するリセットトランジスタと、
ゲートパターンが「コ」の字状に形成された選択トランジスタであって、前記選択トランジスタは前記駆動トランジスタとの共通の第2のアクティブ領域を共有する、選択トランジスタと
を備えることを特徴とするCMOSイメージセンサ。 - 前記リセットトランジスタの第1のアクティブ領域は前記駆動トランジスタの前記第2のアクティブ領域から独立して分離されることを特徴とする請求項3に記載のCMOSイメージセンサ。
- 前記駆動トランジスタのゲートパターンの一部は、前記駆動トランジスタの前記第2のアクティブ領域と前記リセットトランジスタの前記第1のアクティブ領域との間に形成されたことを特徴とする請求項4に記載のCMOSイメージセンサ。
- 前記駆動トランジスタの前記第2のアクティブ領域及び前記リセットトランジスタの前記第1のアクティブ領域は、それぞれ前記第1フォトダイオード、前記第2フォトダイオード、及び前記フローティングノードから分離されたことを特徴とする請求項4に記載のCMOSイメージセンサ。
- 前記第1のアクティブ領域は前記第2のアクティブ領域から分離されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第1のアクティブ領域及び前記第2のアクティブ領域は前記第1のフォトダイオード及び前記フローティングノードから分離されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 第2のフォトダイオードと、
前記第2のフォトダイオードと前記フローティングノードの間に配置された第2の伝達トランジスタの前記ゲートパターンの一部と
をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のCMOSイメージセンサ。 - 前記フローティングノードと前記駆動トランジスタのゲートパターンは金属配線で接続されないことを特徴とする請求項2に記載のCMOSイメージセンサ。
- 前記第1の伝達トランジスタの前記ゲートパターン上に第2のコンタクトと、
前記第2のコンタクトに接続される金属配線と
をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のCMOSイメージセンサ。 - リセットトランジスタのゲートパターンと、
前記リセットトランジスタの前記ゲートパターンに関連して配置される第1のアクティブ領域と、
前記選択トランジスタの前記ゲートパターンと前記駆動トランジスタの前記ゲートパターンにより共有されて配置される第2のアクティブ領域と
をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のCMOSイメージセンサ。 - 前記第1のアクティブ領域は前記第2のアクティブ領域から分離されて配置されることを特徴とする請求項12に記載のCMOSイメージセンサ。
- 前記第1のアクティブ領域及び前記第2のアクティブ領域は前記第1のフォトダイオード及び前記フローティングノードから分離されることを特徴とする請求項12に記載のCMOSイメージセンサ。
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