JP5334057B2 - Iii族窒化物積層基板 - Google Patents
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(1)シリコン基板と、該シリコン基板上に形成した歪超格子積層体と、該歪超格子積層体上に成長したIII族窒化物積層体とを具えるIII族窒化物積層基板であって、
前記歪超格子積層体は、少なくとも前記シリコン基板側から順に第1超格子積層体と第2超格子積層体とを有し、前記第1超格子積層体は、AlN層とGaN層とを交互に積層してなり、前記第2超格子積層体は、AlN層とAlxGa1-xN(0<x<1)層とを交互に積層してなり、かつ前記第1超格子積層体の総厚が1μmを超えることを特徴とするIII族窒化物積層基板。
上記の第1超格子積層体121および第2超格子積層体122の構成により、シリコン基板110とIII族窒化物積層体130との間の格子定数差、熱膨張係数差により積層内に発生する応力を、歪超格子積層体120で緩和し、転位の発生・増殖を抑えることにより、結晶性を向上させことができる。
図2に示すように、4インチのシリコン単結晶基板110(厚さ:625μm)の(111)面上に、MOCVD法を用いて、バッファ層140としてAlN層(厚さ:100nm)およびAl0.3Ga0.7N層(厚さ:3μm)を形成し、歪超格子積層体120として、第1超格子積層体121(AlN層,厚さ:5nmおよびGaN層,厚さ:20nmを120組、総厚:3μm)および第2超格子積層体122(AlN層,厚さ:10nmおよびAl0.15Ga0.85N層,厚さ:30nmを75組、総厚:3μm)を順に形成し、その上に、III族窒化物積層体としてGaN層130(厚さ:1μm)を形成してIII族窒化物積層基板100を作製した。
上記バッファ層140を形成しないこと以外は、実施例1と同様の方法によりIII族窒化物積層基板100を作製した。
歪超格子積層体120として、第2超格子積層体 (AlN層,厚さ:10nmおよびAl0.15Ga0.85N層,厚さ:30nmを75組、総厚:3μm)および第1超格子積層体 (AlN層,厚さ:5nmおよびGaN層,厚さ:20nmを120組、総厚:3μm)を順に形成したこと以外は、実施例1と同様の方法によりIII族窒化物積層基板を作製した。
歪超格子積層体120として、第1超格子積層体121(AlN層,厚さ:5nmおよびGaN層,厚さ:20nmを40組、総厚:1μm)および第2超格子積層体122(AlN層,厚さ:10nmおよびAl0.15Ga0.85N層,厚さ:30nmを125組、総厚:5μm)を順に形成したこと以外は、実施例1と同様の方法によりIII族窒化物積層基板100を作製した。
歪超格子積層体120として、第2超格子積層体122(AlN層,厚さ:10nmおよびAl0.15Ga0.85N層,厚さ:30nmを125組、総厚:5μm)および第1超格子積層体121(AlN層,厚さ:5nmおよびGaN層,厚さ:20nmを40組、総厚:1μm)を順に形成したこと以外は、実施例1と同様の方法によりIII族窒化物積層基板を作製した。
歪超格子積層体120として、第2超格子積層体(AlN層,厚さ:5nmおよびAl0.15Ga0.85N層,厚さ:20nmを240組、総厚:6μm)を形成したこと以外は、実施例1と同様の方法によりIII族窒化物積層基板を作製した。
上記実施例1〜2および比較例1〜4について、X線回折装置(フィリップス社製、X’Peart-MRD)を用い、歪超格子積層体上に形成したGaN層の(0004)面および(20-24)面のX線ロッキングカーブを測定した。結果を表1に示す。
図3および図4にそれぞれ示すように、上記実施例1および実施例2について、歪超格子積層体220上に、n型GaN層231、活性層232、p型AlGaN層233およびp型GaN層234を形成し、これらを一対の電極250a,250bで挟んだ発光素子を作製し、垂直方向の電流-電圧特性を調べた。
110 シリコン基板
120 歪超格子積層体
121 第1超格子積層体
122 第2超格子積層体
130 III族窒化物半導体
Claims (6)
- シリコン基板と、該シリコン基板上に形成した歪超格子積層体と、該歪超格子積層体上に成長したIII族窒化物積層体とを具えるIII族窒化物積層基板であって、
前記歪超格子積層体は、少なくとも前記シリコン基板側から順に第1超格子積層体と第2超格子積層体とを有し、
前記第1超格子積層体は、AlN層とGaN層とを交互に積層してなり、
前記第2超格子積層体は、AlN層とAlxGa1-xN(0<x<1)層とを交互に積層してなり、かつ
前記第1超格子積層体の総厚が1μmを超えることを特徴とするIII族窒化物積層基板。 - 前記歪超格子積層体は、前記シリコン基板上に、バッファ層を介して形成される請求項1に記載のIII族窒化物積層基板。
- 前記歪超格子積層体は、前記シリコン基板上に、直接形成される請求項1に記載のIII族窒化物積層基板。
- 前記第1超格子積層体のAlN層およびGaN層の組数は、50〜120の範囲である請求項1、2または3に記載のIII族窒化物積層基板。
- 前記第2超格子積層体のAl組成比xは、0<x<0.4の範囲である請求項1〜4のいずれか一項に記載のIII族窒化物積層基板。
- 前記第2超格子積層体のAlN層およびAlxGa1-xN(0<x<1)層の組数は、50〜120の範囲である請求項1〜5のいずれか一項に記載のIII族窒化物積層基板。
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