JP2005235911A - ＧａＮ系化合物半導体受光素子 - Google Patents

Abstract

【課題】
ヘテロＥＬＯ技術を応用した窒化物半導体基板層上に形成することで、火炎センサとして使用可能な高性能なＧａＮ系化合物半導体受光素子を提供する。
【解決手段】
基板１上にＡｌＮ低温堆積バッファ層１１と、ＧａＮの第１半導体層１２と、第１半導体層１２表面を部分的に被覆するマスクパターン層１３と、マスクパターン層１３のエッジ部分に沿った傾斜面を有する山形状に形成されたＧａＮを主とするシード結晶層１４と、シード結晶層１４上に直接に形成されたＡｌＧａＮを主とする第２半導体層１５とを有する下地半導体層１０と、下地半導体層１０上に形成されたＰＩＮ接合型フォトダイオード構造を有するＡｌＧａＮを主とする受光層２０とを備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、紫外線センサ等に応用可能なＧａＮ系化合物半導体受光素子に関する。

ＧａＮ系化合物半導体（一般式：Ａｌ_ｘＧａ_ｙＩｎ_{１−ｘ−ｙ}Ｎ）は直接遷移型のエネルギバンド構造を有し、そのバンドギャップエネルギが室温で１．９ｅＶ〜６．２ｅＶに及ぶワイドバンドギャップであるため、紫外域から可視光域をカバーする発光ダイオード、レーザダイオード、及び、紫外線センサ等の受光素子として広範な応用が可能である。一般的に、検出対象とする波長範囲の光に対して感度を有する材料であれば受光素子として利用することができる。例えば、炭化水素が燃焼した場合に紫外域に現れる発光を選択的に検出することが要求される紫外線受光素子（火炎センサ）の場合には、紫外域に感度を有する材料として、ＡｌＧａＮ等のＧａＮ系化合物半導体が用いられる。ここで、受光領域のデバイス構造としては、ＰＮ接合型やＰＩＮ接合型のフォトダイオード構造、ショットキーダイオード構造、フォトトランジスタ構造等が考えられる。しかし、火炎センサに応用する場合、受光素子の性能として幾つかの要求を満たさなければならない。

先ず、室内光や太陽光等の外乱光と区別して火炎光のみを選択的に受光するために、外乱光スペクトルの短波長端をカットオフ波長（感度域の長波長端）として設定すべく、受光領域を形成するＡｌ_ｘＧａ_１−ｘＮのバンドギャップエネルギ、つまり、ＡｌＮ組成比ｘ（ＡｌＮモル分率ともいう）を調整しなければいけない。しかし、欠陥準位や三元混晶による組成ずれによりバンドギャップ内に準位が形成され、これがカットオフ波長の長波長側でも感度を生じさせ、当該波長に対して光吸収が行われることで感度差が小さくなり、つまり、選択性が低下する。特に、ＡｌＮ組成比が大きくなる程に顕著となり、火炎センサとしての応用において、特に重要な課題となる。

また、受光素子に照射される火炎光が微弱である場合には、発生するキャリアの数と、膜中の欠陥準位にトラップされるキャリアの数とが競合するような関係になり、光照射に対する応答速度が非常に遅くなる場合がある。更に、トラップ準位からのキャリアの放出が温度に対して非常に敏感であるため、温度上昇に伴って急激にキャリアの放出が行われて暗電流が増加する場合がある。暗電流が大きいと、微弱な火炎光を吸収して発生した光電流が暗電流に埋もれてしまうため、この暗電流を非常に低いレベルにまで低減することが必要となる。

従って、紫外域の微弱な照射光を高温条件下で測定する必要がある火炎センサにとっては、受光領域のＡｌＧａＮのＡｌＮ組成比を所定のカットオフ波長となるように設定するとともに、当該ＡｌＮ組成比に対して、結晶品質が良好であり、キャリアをトラップする再結合中心となり得る貫通転位等の少ない半導体層をデバイス層（受光層）として得ることが必須の要件となる。

従来、デバイス層中の貫通転位密度をできるだけ低いレベルに低減するために、サファイア等の平坦性の高い基板上に、数１０ｎｍの厚さで低温堆積されたバッファ層（例えば、約１０５０℃以下の基板表面温度で成長）を設け、その上に受光領域を含むデバイス層を形成して受光素子を作製する方法がある。ここで、低温堆積されたバッファ層を設ける理由は、サファイア基板の結晶成長面の格子間隔（約０．２７５ｎｍ）と、受光領域のＡｌＧａＮの格子間隔（約０．３１〜約０．３２ｎｍ）との間の格子不整合を緩和し、格子不整合により発生し得る受光領域中の貫通転位を少なくさせることにある。

また、サファイア基板とデバイス層との間に単層のバッファ層ではなく、複数のバッファ層を設ける方法もある。例えば、サファイア基板上に、ＡｌＮからなる低温堆積バッファ層と、ＧａＮからなる結晶改善層と、ＡｌＮからなる低温堆積中間層という多層の窒化物半導体基板層（下地構造）を設け、その上にデバイス層を設けることで、単層のバッファ層を設けた場合以上に、基板と受光領域との間の格子不整合を緩和することが可能となる。

しかし、後者の多層の窒化物半導体基板層の場合でも、ＡｌＮ組成比が２０％以上では、貫通転位密度が１０^９ｃｍ^−２オーダーとなり、火炎センサとして使用するには、貫通転位が十分に低いレベルとはなっていなかった。

そこで、かかるデバイス層の下地構造となる窒化物半導体基板層を更に低貫通転位密度に形成することで、デバイス層の性能を向上させ、火炎センサとしての使用に耐え得る受光素子の実現が期待される。

このような低貫通転位密度の窒化物半導体基板層の作製技術として、ヘテロＥＬＯ（ｅｐｉｔａｘｉａｌ ｌａｔｅｒａｌ ｏｖｅｒｇｒｏｗｔｈ）技術が注目されている。ヘテロＥＬＯは、従来のＥＬＯを高いＡｌＮ組成比のＡｌＧａＮの低貫通転位化へ応用するために開発されたもので、ヘテロＥＬＯ窒化物半導体基板層を紫外線ＬＥＤに応用した研究発表が、例えば、下記の非特許文献１に開示されている。

この非特許文献１には、サファイア基板上に第１の低温ＡｌＮバッファ層を形成し、その上に第１のＧａＮ層をエピタキシャル成長させ、その上にＳｉＯ_２のストライプ状のマスクパターンを形成し、該マスクパターンの開口部から第２のＧａＮ層を断面山形になるように選択的に成長させシード結晶層を形成し、更に、シード結晶層上に第２の低温ＡｌＮバッファ層を形成し、その上にＡｌＧａＮ層を表面が平坦になるように成長させて窒化物半導体基板層を形成とした例が開示されている。このヘテロＥＬＯ窒化物半導体基板の場合、ＡｌＮ組成比が２２％のＡｌＧａＮ層の貫通転位密度として１０^７ｃｍ^−２が得られている。また、第２の低温ＡｌＮバッファ層を採用したことで、ＡｌＧａＮ層にクラックが発生していない。
Ｓ． Ｋａｍｉｙａｍａ，他，"ＵＶ Ｌｉｇｈｔ−Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ Ｆａｂｒｉｃａｔｅｄ ｏｎ Ｈｅｔｅｒｏ−ＥＬＯ−Ｇｒｏｗｎ Ａｌ０．２２Ｇａ０．７８Ｎ ｗｉｔｈ Ｌｏｗ Ｄｉｓｌｏｃａｔｉｏｎ Ｄｅｎｓｉｔｙ"，ｐｈｙｓｉｃａ ｓｔａｔｕｓ ｓｏｌｉｄｉ（ａ） １９２， Ｎｏ．２，２９６−３００，２００２年

しかしながら、非特許文献１に開示されたヘテロＥＬＯ窒化物半導体基板層の場合、ＡｌＧａＮを主とする受光素子を構成するデバイス層をその上部に形成する場合、窒化物半導体基板層内にＧａＮ層を有するため、基板側から光を入射させると、ＡｌＧａＮよりバンドギャップエネルギの小さいＧａＮ層内で検出対象波長の入射光が吸収されてしまうため、入射光は上部からの入射に制限される。

また、デバイス層（受光層）が上部入射に制限されるとすれば、如何なる具体的な構造とすれば、低貫通転位密度の下地構造上に火炎センサとしての使用に耐え得るデバイス層が実現できるかを解決しなければいけない。

更に、非特許文献１に開示されたヘテロＥＬＯ窒化物半導体基板層は、２層の低温バッファ層、２層のＧａＮ層、ＳｉＯ_２のストライプ状のマスクパターン等を備え、その構造及び作製方法は複雑である。

本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、上記問題点を解消し、ヘテロＥＬＯ技術を応用した窒化物半導体基板層上に形成することで、火炎センサとして使用可能な受光素子を提供することにある。

この目的を達成するための本発明に係るＧａＮ系化合物半導体受光素子の第一の特徴構成は、基板上に３００℃〜８００℃の温度範囲内の低温成長により形成されたＡｌＮまたはＡｌＧａＮを主とするバッファ層と、前記バッファ層の上に形成されたＧａＮまたはＡｌＧａＮを主とする第１半導体層と、前記第１半導体層の上に形成された前記第１半導体層表面を部分的に被覆するマスクパターン層と、前記マスクパターン層によって被覆されずに露出している前記第１半導体層の露出表面と前記マスクパターン層上に、前記第１半導体層表面と平行な方向に前記マスクパターン層から前記露出表面中央に向けて離間するほど厚くなるように、前記マスクパターン層のエッジ部分に沿った傾斜面を有する山形状に形成されたＧａＮまたはＡｌＧａＮを主とするシード結晶層と、前記シード結晶層の上に直接に表面が平坦に形成されたＡｌＧａＮを主とする第２半導体層とを有する下地半導体層と、前記下地半導体層上に形成されたＰＩＮ接合型フォトダイオード構造を有するＡｌＧａＮを主とする受光層と、を備えてなり、前記受光層が、前記下地半導体層側にｐ型ＡｌＧａＮ層を有し、上部のｎ型ＡｌＧａＮ層側から入射光を受光する点にある。

同第二の特徴構成は、基板上に３００℃〜８００℃の温度範囲内の低温成長により形成されたＡｌＮまたはＡｌＧａＮを主とするバッファ層と、前記バッファ層の上に形成されたＧａＮまたはＡｌＧａＮを主とする第１半導体層と、前記第１半導体層の上に形成された前記第１半導体層表面を部分的に被覆するマスクパターン層と、前記マスクパターン層によって被覆されずに露出している前記第１半導体層の露出表面と前記マスクパターン層上に、前記第１半導体層表面と平行な方向に前記マスクパターン層から前記露出表面中央に向けて離間するほど厚くなるように、前記マスクパターン層のエッジ部分に沿った傾斜面を有する山形状に形成されたＧａＮまたはＡｌＧａＮを主とするシード結晶層と、前記シード結晶層の上に直接に表面が平坦に形成されたＡｌＧａＮを主とする第２半導体層とを有する下地半導体層と、前記下地半導体層上に形成されたＰＩＮ接合型フォトダイオード構造を有するＡｌＧａＮを主とする受光層と、を備えてなり、前記受光層が、前記下地半導体層側にｎ型ＡｌＧａＮ層を有し、上部のｐ型ＡｌＧａＮ層側から入射光を受光する点にある。

上記第一または第二の特徴構成によれば、ヘテロＥＬＯ技術を応用して作製された下地半導体層上に、ＰＩＮ接合型フォトダイオード構造を有するＡｌＧａＮを主とする受光層を設けたことにより、低貫通転位密度の下地半導体層上に、高品位の受光層が得られ、火炎センサとして使用し得る受光素子を実現することができる。

従来技術で参照したヘテロＥＬＯ窒化物半導体基板層と、本特徴構成の下地半導体層相違点は、シード結晶層上に低温バッファ層を有していない点で、その分、製造工程の簡略化が図れる。シード結晶層を山形状に形成し、その上に直接に第２半導体層を形成しても、クラックの無い低貫通転位密度の下地半導体層が得られることを見出し、これを受光素子として応用するものである。

受光層として、ＰＩＮ接合型フォトダイオード構造を採用することで、受光層のｐ型ＡｌＧａＮ層またはｎ型ＡｌＧａＮ層を、下地半導体層のＡｌＧａＮを主とする第２半導体層上に直接形成することができる。

第一の特徴構成の場合は、下地半導体層側にｐ型ＡｌＧａＮのコンタクト層が配置するが、当該ｐ型ＡｌＧａＮ層のＡｌＮ組成比は２０％以下に抑えて十分なｐ型活性化を確保して低抵抗化を図る必要がある。そこで、第２半導体層のＡｌＧａＮのＡｌＮ組成比として２０％程度が可能であるため、両層の格子間隔に大きな差が発生せず、ｐ型ＡｌＧａＮ層の膜厚をある程度確保することが可能となり低抵抗化が図れて高性能な受光素子が得られる。第一の特徴構成の場合は、上部の入射側にｎ型ＡｌＧａＮ層を配置することになるが、ｎ型ＡｌＧａＮ層は、入射光の吸収を抑えるため、ＡｌＮ組成比をｉ型ＡｌＧａＮ層より大きくするのが好ましいが、ＡｌＮ組成比が大きくても十分にｎ型化（低抵抗化）するので、光電流の取り出しにおいて寄生抵抗の影響を少なくできる。

第二の特徴構成の場合は、下地半導体層側にｎ型ＡｌＧａＮ層が配置するが、当該ｎ型ＡｌＧａＮ層のＡｌＮ組成比は、ｉ型ＡｌＧａＮ層と同じであればよい。ｉ型ＡｌＧａＮ層のＡｌＮ組成比は、検出対象光の波長域に依存して決定されるが、ＡｌＮ組成比を３５％〜４０％程度に設定すると、バンドギャップエネルギが４．４ｅＶ以上となり、検出波長域の長波長端が約２８０ｎｍとなり、火炎光に対して外来光となる太陽光に感度を有しない火炎センサが実現できる。この場合、ｎ型ＡｌＧａＮ層のＡｌＮ組成比も３５％〜４０％程度となるが、下地半導体層の第２半導体層のＡｌＧａＮのＡｌＮ組成比として２０％程度が可能であるため、両層のＡｌＮ組成比の差はせいぜい２０％であり、両層の格子間隔の差に起因するｎ型ＡｌＧａＮ層の臨界膜厚として２００ｎｍ程度を確保できるので、ｎ型ＡｌＧａＮ層の低抵抗化が図れて高性能な受光素子が得られる。第二の特徴構成の場合は、上部の入射側にｐ型ＡｌＧａＮ層を配置することになるが、ｐ型ＡｌＧａＮ層の最上層にＡｌＮ組成比２０％以下のｐ型ＡｌＧａＮコンタクト層を設け、ｐ型電極とのオーミック接触を確保し、且つ、ｐ型ＡｌＧａＮコンタクト層の膜厚を最小限に薄くして当該コンタクト層での入射光の吸収を防止することで、火炎センサとして使用し得る受光素子が実現できる。

同第三の特徴構成は、上記第一または第二の特徴構成に加えて、前記受光層が、ｐ型ＡｌＧａＮ層とｉ型ＡｌＧａＮ層の間に、超格子構造によりＡｌＮ組成比が前記ｉ型ＡｌＧａＮ層と同じ或いはより大きくなるように形成されたｐ型ＡｌＧａＮ超格子層を有する点にある。

上記第三の特徴構成によれば、受光素子として更に高感度化が図れる。第一の特徴構成に適用する場合、ｉ型ＡｌＧａＮ層のＡｌＮ組成比を３５％〜４０％程度に設定すると、ｉ型ＡｌＧａＮ層に隣接するｐ型ＡｌＧａＮ層をバルク結晶で形成すると、ＡｌＮ組成比２０％以下のｐ型ＡｌＧａＮのコンタクト層との間で格子不整合が生じるが、これを超格子構造で実現すると応力緩和がなされ、格子不整合による性能劣化を防止できる。ｉ型ＡｌＧａＮ層の下層側でのキャリアの拡散を防止できる。

また、第二の特徴構成に適用する場合、ｉ型ＡｌＧａＮ層のＡｌＮ組成比を３５％〜４０％程度に設定すると、ｉ型ＡｌＧａＮ層に隣接するｐ型ＡｌＧａＮ層をバルク結晶で形成すると、ＡｌＮ組成比として３５〜４０％のものを十分にｐ型活性化させる必要が生じる。ここで、バルクｐ型ＡｌＧａＮの場合、ＡｌＮ組成比が高くなるとｐ型活性化が困難になる傾向があるが、超格子構造であれば、等価的に３５〜４０％のＡｌＮ組成比のｐ型ＡｌＧａＮが実現可能である。これにより、入射光の吸収、キャリアの拡散を防止できる。

同第四の特徴構成は、ＧａＮ系化合物半導体層上に、ＰＩＮ接合型フォトダイオード構造を有するＡｌＧａＮを主とする受光層を備えてなるＧａＮ系化合物半導体受光素子であって、前記受光層が、ｐ型ＡｌＧａＮ層とｉ型ＡｌＧａＮ層の間に、超格子構造によりＡｌＮ組成比が前記ｉ型ＡｌＧａＮ層のＡｌＮ組成比以上となるように形成されたｐ型ＡｌＧａＮ超格子層を有する点にある。

上記第四の特徴構成によれば、ＧａＮ系化合物半導体層として第一または第二の特徴構成と同等の低貫通転位密度のものを使用すれば、上記第三の特徴構成と同様に受光素子として高感度化が図れる。

同第五の特徴構成は、上記何れかの特徴構成に加えて、前記受光層が、ｐ型ＡｌＧａＮ層とｉ型ＡｌＧａＮ層の間に、超格子構造により前記ｐ型ＡｌＧａＮ層より大きいＡｌＮ組成比となるように形成されたｐ型ＡｌＧａＮ超格子層を有する点にある。

上記第五の特徴構成によれば、ｐ型ＡｌＧａＮ層を、ＡｌＮ組成比２０％以下のｐ型ＡｌＧａＮのコンタクト層とｉ型ＡｌＧａＮ層のＡｌＮ組成比と同じか、より大きいＡｌＮ組成比のｐ型ＡｌＧａＮ層の２層に分離して構成する場合に、後者のｐ型ＡｌＧａＮ層をバルク結晶で形成するのに比べて、応力緩和やキャリア拡散を抑制できる高性能、高品質なｐ型ＡｌＧａＮ層が得られる。

同第六の特徴構成は、上記第三乃至第五の特徴構成に加えて、前記ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層は、ｉ型ＡｌＮ層とｐ型ＧａＮ層を夫々所定の膜厚で交互に積層してなる多重量子井戸構造を有する点にある。

上記第六の特徴構成によれば、ｉ型ＡｌＮ層とｐ型ＧａＮ層を夫々所定の膜厚を調整することで、所定のＡｌＮ組成比のｐ型ＡｌＧａＮ層を得ることができる。ここで、ＧａＮ層に対してｐ型化を施しているので、十分なｐ型活性化が実現できる。

同第七の特徴構成は、上記何れかの特徴構成に加えて、前記受光層のｉ型ＡｌＧａＮ層のバンドギャップエネルギが３．６ｅＶ以上である点にある。

上記第七の特徴構成によれば、バンドギャップエネルギが３．６ｅＶ以上のＡｌＧａＮを主とする受光領域を備えることにより、３．６ｅＶ以上のエネルギを有する光が吸収されることで、波長約３４４ｎｍ（３．６ｅＶ）以下の紫外線を選択的に検出することができる。

更に、バンドギャップエネルギが４．１ｅＶ、４．３ｅＶ、或は、４．６ｅＶ以上のＡｌＧａＮを主とする受光領域を備えるとすれば、上記受光領域において夫々４．１ｅＶ、４．３ｅＶ、或は、４．６ｅＶ以上のエネルギを有する光が吸収されることで、波長約３００ｎｍ（４．１ｅＶ）以下、約２９０ｎｍ（４．３ｅＶ）以下、或は、約２８０ｎｍ（４．６ｅＶ）以下の波長の紫外線を上記受光領域によって検出することができる。

同第八の特徴構成は、上記第一乃至第六の特徴構成に加えて、前記受光層のｉ型ＡｌＧａＮ層のバンドギャップエネルギが４．１ｅＶ以上である点にある。

上記第八の特徴構成によれば、バンドギャップエネルギが４．１ｅＶ以上のＡｌＧａＮを主とする受光領域を備えることにより、４．１ｅＶ以上のエネルギを有する光が吸収されることで、波長約３００ｎｍを超える波長の光、即ち、各種照明機器などからの室内光に対しては感度を有さないので、波長約３００ｎｍ（４．１ｅＶ）以下の紫外線を含む例えば火炎光に対して選択的に感度を有する火炎センサとして使用可能な受光素子が得られる。

また、バンドギャップエネルギが４．３ｅＶ以上のＡｌＧａＮを主とする受光領域を備えるとすれば、４．３ｅＶ以上（波長約２９０ｎｍ以下）のエネルギを有する光が吸収されることで、紫外線受光素子に照射される光に太陽光等の外乱光が含まれていたとしても、波長約２９０ｎｍ以下ではそれらの外乱光の光強度が非常に小さくなり、波長約２９０ｎｍ以下の紫外線を含む例えば火炎光に対して選択的に感度を有する、太陽光等の外乱光の影響を極めて受けにくい紫外線受光素子（火炎センサ）を得ることができる。

同第九の特徴構成は、上記第一乃至第六の特徴構成に加えて、前記受光層のｉ型ＡｌＧａＮ層のバンドギャップエネルギが４．４ｅＶ以上である点にある。

上記第九の特徴構成によれば、バンドギャップエネルギが４．４ｅＶ以上のＡｌＧａＮを主とする受光領域を備えることにより、４．４ｅＶ以上のエネルギを有する光が吸収されることで、波長約２８０ｎｍを超える波長の光、即ち、各種照明機器などからの室内光及び太陽光（自然光）に対しては感度を有さないので、波長約２８０ｎｍ（４．４ｅＶ）以下の紫外線を含む例えば火炎光に対して選択的に感度を有する火炎センサとして使用可能な受光素子が得られる。

本発明に係るＧａＮ系化合物半導体受光素子（以下、適宜「本発明素子」という。）の実施の形態につき、図面に基づいて説明する。

〈第１実施形態〉
図１に第１実施形態に係る本発明素子２の断面構造を示す。本発明素子２は、基板１上に、下地半導体層１０と受光層２０とを順次積層して形成される。

図１及び図２に示すように、下地半導体層１０は、先ず、（０００１）サファイア基板１上に、３００℃〜８００℃の温度範囲内、例えば５００℃の低温でＡｌＮの低温堆積緩衝層（バッファ層）１１と、約１０００℃でＧａＮの第１半導体層１２が、トリメチルアルミニウム（Ａｌ源）、トリメチルガリウム（Ｇａ源）、アンモニア（窒素源）などの各原料ガスを使用したＭＯＣＶＤ法（有機金属化合物気相成長法）を用いて順次形成される（図２（Ａ））。ここで、一旦、ＭＯＣＶＤ装置から作製途中の本発明素子２を取り出し、第１半導体層１２の表面を部分的に被覆する例えば、マスク幅及び開口幅が夫々５μｍの周期的ストライプ状のＳｉＯ_２からなるマスクパターン層１３を結晶方位〈１１／２０〉（／２は上線付きの２を意味する）に沿って形成する（図２（Ｂ））。引き続き、ＭＯＣＶＤ法で、マスクパターン層１３の開口部からＧａＮの選択成長（ＥＬＯ成長）を約１０００℃で行い、マスクパターン層１３のエッジ部分に沿った、即ち、ストライプの長手方向と平行に延伸する傾斜面を有する垂直断面形状が山形状のシード結晶層１４が形成される（図２（Ｃ））。引き続き、ＭＯＣＶＤ法で、シード結晶層１４上に、直接、ＡｌＧａＮの第２半導体層１５が約１０００℃で形成される（図２（Ｄ））。本実施形態では、第２半導体層１５のＡｌＮ組成比は、直接その上層に形成される受光層２０の最下層に当たるｐ型ＡｌＧａＮ層２１のＡｌＮ組成比と同じ２０％とし、格子不整合を防いでいる。

図１に示すように、上記要領で形成された下地半導体層１０上に、ｐ型ＡｌＧａＮ層２１、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３、及び、ｎ型ＡｌＧａＮ層２４を順次積層して受光層２０を形成する。

ｐ型ＡｌＧａＮ層２１は、ＭＯＣＶＤ法を用い、Ａｌ、Ｇａ、Ｎの原料として上記の各原料ガスを使用し、ｐ型不純物の原料ガスとして、Ｃｐ_２Ｍｇ（ビスシクロペンタジエニルマグネシウム）ガスを流しながら、Ｍｇ（マグネシウム）を注入（ドープ）したｐ型ＡｌＧａＮ層２１を成長させる。ここで、ｐ型ＡｌＧａＮ層２１は、後述するｐ型電極２５とのオーミック接触を確実にし、十分なｐ型活性化を行って低抵抗化するために、ＡｌＮ組成比を２０％以下とする。尚、ｐ型ＡｌＧａＮ層２１と下地半導体層１０の第２半導体層１５のＡｌＮ組成比を共に２０％とすることで、両層間の格子不整合をなくし、ｐ型ＡｌＧａＮ層２１の膜厚を厚く（約１μｍ）成長させることができ、ｐ型ＡｌＧａＮ層２１の横方向の寄生抵抗成分を低減することができる。

ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２は、膜厚２ｎｍのｐ型ＧａＮ層（井戸層）と膜厚３ｎｍのＡｌＮ層（バリア層）を順次積層したもの（膜厚５ｎｍ）を２０層繰り返し積層した多重量子井戸として形成される。この結果、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２は、ＡｌＮ組成比が実行的に４０％となるｐ型ＡｌＧａＮ層と等価な膜厚１００ｎｍの半導体層となる。ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２のｐ型ＧａＮ層とＡｌＮ層は、夫々ＭＯＣＶＤ法を用いて作成され、ｐ型ＧａＮ層のｐ型不純物のドーピングは、ｐ型ＡｌＧａＮ層２１と同じ要領で行われる。ここで、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２のＡｌＮ組成比は、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３のＡｌＮ組成比以上とし、本実施形態では、両層ともに４０％とする。尚、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２のＡｌＮ組成比は、ｐ型ＧａＮ層とＡｌＮ層の膜厚比を調整することで変更できる。引き続き、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３が、ＭＯＣＶＤ法を用いて膜厚約１００ｎｍ〜２００ｎｍで形成される。

ｎ型ＡｌＧａＮ層２４は、Ａｌ、Ｇａ、Ｎの原料として上記の各原料ガスを使用し、ｎ型不純物の原料ガスとして、ＳｉＨ_４（モノシラン）ガスを流しながら、Ｓｉ（シリコン）を注入（ドープ）したｎ型ＡｌＧａＮ層２４を成長させる。ここで、ｎ型ＡｌＧａＮ層２４は、ｎ型ＡｌＧａＮ層２４の上部から入射する検出対象波長の入射光を受光領域のｉ型ＡｌＧａＮ層２３まで吸収されずに到達させるために、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３のＡｌＮ組成比より大きなＡｌＮ組成比に設定される。ｎ型ＡｌＧａＮの場合は、ｐ型ＡｌＧａＮと異なり、ＡｌＮ組成比が８０％程度でも十分な低抵抗化が図れるため、本実施形態では、ｎ型ＡｌＧａＮ層２４のＡｌＮ組成比を７０％とする。

ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２を、超格子構造（多重量子井戸構造）を用いて形成することで、バルクｐ型ＡｌＧａＮ中に生成される欠陥によるバンドギャップ内のトラップ準位によって、受光感度域より長波長側、２８０ｎｍ〜３６０ｎｍ程度の波長範囲に感度が発生し、キャリアが拡散するのを抑制し、更に、バルクｐ型ＡｌＧａＮとｐ型ＡｌＧａＮ層２１との間の格子不整合による応力が緩和される。

上記要領で、受光層２０が積層形成された後、ｐ型ＡｌＧａＮ層２１が部分的に露出するように受光層２０をエッチング除去し、その露出部位にｐ型電極２５が形成され、ｎ型ＡｌＧａＮ層２４上にはｎ型電極２６が形成される。尚、ｐ型電極２５及びｎ型電極２６は、それぞれｐ型ＡｌＧａＮ層２１及びｎ型ＡｌＧａＮ層２４との間の電気的な特性がオーミックなものとなるオーミック電極である。ここで、ｐ型電極２５及びｎ型電極２６は、夫々の極性に応じてＡｌ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｔｉ等の公知の材料を公知の方法で作製すればよい。例えば、ｐ型電極２５として、第１層にＰｄ（パラジウム）、第２層にＡｕ（金）を夫々１０ｎｍずつ蒸着し所定の平面形状にパターニングする。また、ｐ型電極２５またはｎ型電極２６として、ＺｒＢ₂を電極材料として用いてもよい。尚、ｎ型電極２６は、ｎ型電極２６を通して入射光を受光層２０へ導く必要があるため、光を透過させるために、メッシュ状または受光領域へ光を透過させる他の形状または素材で形成される。

尚、上記下地半導体層１０の目的は、受光層２０の結晶品質を良好なものとすることである。サファイア基板１の結晶成長表面における格子間隔と、受光層２０を構成するＡｌ_xＧａ_1-xＮ（０≦ｘ≦１）の格子定数との間には大きな差が存在するが、下地半導体層１０によってその格子不整合を緩和し、ＡｌＧａＮ層を成長させる際に加わる格子不整合による応力を小さくすることができる。その結果、受光層２０のＡｌＧａＮ層の結晶品質を良好にすることができる。

具体的には、低温堆積緩衝層１１によって第１半導体層１２中の貫通転位を減少させるとともに、第１半導体層１２表面に達して貫通転位の一部を、マスクパターン層１３でブロックするとともに、ＥＬＯ成長によるシード結晶層１４によって更に上方に向って成長する転位の一部が横方向に結合して消滅する。本実施形態では、シード結晶層１４上のＡｌＮ低温堆積緩衝層（バッファ層）を省略しているが、Ａｌ_ｘＧａ_１−ｘＮ（ｘ≦０．２５）の第２半導体層１５の表面での貫通転位密度は、従来技術で例示したものと同等の１０^７ｃｍ^−２が得られ、下地半導体層１０の作製工程の簡素化が図れる。この結果、受光層２０における受光特性の高性能化が図れる。

図１に示した本発明素子２に対して外部から光が照射された場合、その光はメッシュ状のｎ型電極２６とｎ型ＡｌＧａＮ層２４とを透過して受光領域であるｉ型ＡｌＧａＮ層２３に入射して吸収され、光キャリアが発生する。ｐ型電極２５及びｎ型電極２６の間には所定の逆バイアス電界が印加されており、発生された光キャリアは光電流として外部に出力される。

受光層２０を構成する各Ａｌ_xＧａ_1-xＮ層（０≦ｘ≦１）のバンドギャップエネルギはＡｌＮ組成比ｘを変えることで調整され、ＡｌＮ組成比ｘとバンドギャップエネルギとは図３に示すような関係で示される。図３から読み取れるように、ＡｌＮ組成比ｘを変えることで、Ａｌ_xＧａ_1-xＮのバンドギャップエネルギを３．４２ｅＶから６．２ｅＶにまで調整することができる。従って、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３で吸収可能な光の波長範囲（感度域）の長波長端は約３６０ｎｍ〜約２００ｎｍの間で調整可能である。

また、本発明素子２において火炎の光を検出する場合には、図４の発光スペクトルに示すような火炎の発光を吸収できるだけのバンドギャップエネルギを有する受光領域を形成すればよい。尚、図４に示す火炎の発光スペクトルは、ガス（炭化水素）を燃焼させた際に発生する火炎のスペクトルである。また、太陽光のスペクトルと、各種照明機器からの光による室内光のスペクトルも同時に示す。

以下は、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３のバンドギャップエネルギとＡｌＮ組成比の関係について説明する。他のｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２とｎ型ＡｌＧａＮ層２４のＡｌＮ組成比は、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３のＡｌＮ組成比との相対的な関係で決定される。本発明素子２に波長選択性を持たせるためには、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３におけるＡｌＮ組成比を調整して、そのバンドギャップエネルギを所望の値に設定することが行われる。例えば、波長約３４４ｎｍ以下の波長域に比較的大きい強度で現れる火炎の光を選択的に受光することのできる火炎センサを作製したい場合には、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３のバンドギャップエネルギが３．６ｅＶ以上となるようにＡｌＮ組成比ｘ＝０．０５（５％）、或いはそれ以上とすればよい。或いは、約３００ｎｍ以上の波長域に含まれる、各種照明機器からの光（室内光）を受光せずに、検出対象波長範囲にある火炎の光を受光するような火炎センサを作製したい場合には、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３のバンドギャップエネルギが４．１ｅＶ以上となるようにＡｌＮ組成比ｘ＝０．２５（２５％）、或いはそれ以上とすればよい。また、約２８０ｎｍ以上の波長域に含まれる、太陽光からの光を受光せずに、検出対象波長範囲にある火炎の光のみを受光するような火炎センサを作製したい場合には、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３のバンドギャップエネルギが４．４ｅＶ以上となるようにＡｌＮ組成比ｘ＝０．３５（３５％）、或いはそれ以上とすればよい。本実施形態では、ＡｌＮ組成比を４０％としている。

更に、弱い光強度であれば太陽光などの外乱光がｉ型ＡｌＧａＮ層２３において吸収されても構わない場合には、受光領域のバンドギャップエネルギが４．３ｅＶ以上（波長約２９０ｎｍ以下）となるようにＡｌＮ組成比ｘ＝０．３１（３１％）、或いはそれ以上とすればよい。波長約２９０ｎｍ以下では図４に示すようにそれらの外乱光の光強度が非常に小さくなり、他方で火炎の光は大きいので、結果として火炎の光が存在することを検出することができる。

更に、本発明素子２がエンジン内部などの閉鎖空間に設置され、そこで燃焼される燃料の発光を検出したい場合には、上述した室内光や太陽光が存在しないため、それらを排除するような大きいバンドギャップエネルギを設定する必要はない。そのため、検出対象波長範囲にある火炎の光の中でも特に炭化水素を含む化合物（エンジンで燃焼される燃料）を燃焼させた場合に観測されるＯＨラジカルの発光に起因する発光ピーク（波長約３１０ｎｍ（３１０ｎｍ±１０ｎｍ）：４．０ｅＶ）の光（波長３１０ｎｍ以上３４４ｎｍ以下の火炎の光）を選択的に受光することのできる受光素子を作製した場合には、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３のバンドギャップエネルギが３．６ｅＶ以上４．０ｅＶ以下となるように、ＡｌＮ組成比ｘを０．０５（５％）以上０．２３（２３％）以下とすればよい。

尚、上述したＡｌＮ組成比ｘとバンドギャップエネルギとの関係は理論値に基づいて説明したものであり、ＡｌＮ組成比ｘが同じになるように成膜を行ったとしても実際に得られるＡｌＧａＮ層のバンドギャップエネルギが異なる可能性もある。例えば、三元混晶化合物であるＡｌＧａＮの場合には、二元化合物であるＧａＮが生成され易く、その結果、バンドギャップエネルギが低エネルギ側（長波長側）にシフトする傾向にある。従って、理論値通りのバンドギャップエネルギを得たい場合には、ＡｌＮ組成比を予め大きく設定した上で成膜することが行われることもある。

〈第２実施形態〉
図５に第２実施形態に係る本発明素子３の断面構造を示す。本発明素子３は、基板１上に、下地半導体層１０と受光層３０とを順次積層して形成される。下地半導体層１０は基本的に、第１実施形態と同じであるので、重複する説明は割愛するが、第２実施形態では、第２半導体層１５（１５ａ，１５ｂ）のＡｌＮ組成比は２５％（１５ａ）と４０％（１５ｂ）の２層構造としている。上部の第２半導体層１５ｂのＡｌＮ組成比は、直接その上層に形成される受光層３０の最下層に当たるｎ型ＡｌＧａＮ層３１のＡｌＮ組成比と同じ４０％とし、著しい格子不整合を防いでいる。

図５に示すように、第１実施形態と同じ要領で形成された下地半導体層１０上に、ｎ型ＡｌＧａＮ超格子層３１ａ、ｎ型ＡｌＧａＮ層３１ｂ、ｉ型ＡｌＧａＮ層３２、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層３３、及び、ｐ型ＡｌＧａＮ層３４を順次積層して受光層３０を形成する。従って、ｎ型ＡｌＧａＮ層３１は下地半導体層１０側に超格子層３１ａを備えて構成される。これは、下地半導体層１０の第２半導体層１５（１５ａ，１５ｂ）のＡｌＮ組成比が２５％（１５ａ）と４０％（１５ｂ）で１５％の差があるため、その上部に積層するｎ型ＡｌＧａＮ層３１の膜厚を確保するためである。従って、第２半導体層１５（１５ａ，１５ｂ）のＡｌＮ組成比の差が小さければ、格子不整合が緩和されるため、超格子層３１ａは不要となる。

ｎ型ＡｌＧａＮ超格子層３１ａは、膜厚６ｎｍのｎ型ＧａＮ層（井戸層）と膜厚４ｎｍのＡｌＮ層（バリア層）を順次積層したもの（膜厚１０ｎｍ）を２０層繰り返し積層した多重量子井戸として形成される。この結果、ｎ型ＡｌＧａＮ超格子層３１ａは、ＡｌＮ組成比が実質的に４０％となるｎ型ＡｌＧａＮ層と等価な膜厚２００ｎｍの半導体層となる。ｎ型ＡｌＧａＮ超格子層３１ａのｎ型ＧａＮ層とＡｌＮ層は、夫々ＭＯＣＶＤ法を用いて作成され、ｎ型ＧａＮ層のｎ型不純物のドーピングは、以下のｎ型ＡｌＧａＮ層３１ｂと同じ要領で行われる。

ｎ型ＡｌＧａＮ層３１ｂは、Ａｌ、Ｇａ、Ｎの原料として上記の各原料ガスを使用し、ｎ型不純物の原料ガスとして、ＳｉＨ_４ガスを流しながら、Ｓｉを注入したｎ型ＡｌＧａＮ層３１を成長させる。ここで、ｎ型ＡｌＧａＮ層３１のＡｌＮ組成比は、ｉ型ＡｌＧａＮ層３２のＡｌＮ組成比以上とし、本実施形態では、両層ともに４０％とする。引き続き、ｉ型ＡｌＧａＮ層３２が、ＭＯＣＶＤ法を用いて膜厚約１００ｎｍ〜２００ｎｍで形成される。

次に、ｉ型ＡｌＧａＮ層３２の上に、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層３３を形成する。ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層３３は、膜厚２ｎｍのｐ型ＧａＮ層（井戸層）と膜厚３ｎｍのＡｌＮ層（バリア層）を順次積層したもの（膜厚５ｎｍ）を２０層繰り返し積層した多重量子井戸として形成される。この結果、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層３３は、ＡｌＮ組成比が実行的に４０％となるｐ型ＡｌＧａＮ層と等価な膜厚１００ｎｍの半導体層となる。ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層３３のｐ型ＧａＮ層とＡｌＮ層は、夫々ＭＯＣＶＤ法を用いて作成され、ｐ型ＧａＮ層のｐ型不純物のドーピングは、第１実施形態のｐ型ＡｌＧａＮ層２１と同じ要領で行われる。ここで、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層３３のＡｌＮ組成比は、ｉ型ＡｌＧａＮ層３２のＡｌＮ組成比以上とし、本実施形態では、両層ともに４０％とする。尚、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層３３のＡｌＮ組成比は、ｐ型ＧａＮ層とＡｌＮ層の膜厚比を調整することで変更できる。尚、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層３３の膜厚は入射光の吸収を抑制するためにも薄い方が好ましい。また、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層３３は第１実施形態のｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２と同様の効果（キャリア拡散防止）を有する。

引き続き、ＭＯＣＶＤ法を用い、Ａｌ、Ｇａ、Ｎの原料として上記の各原料ガスを使用し、ｐ型不純物の原料ガスとして、Ｃｐ_２Ｍｇガスを流しながら、Ｍｇを注入したｐ型ＡｌＧａＮ層３４を成長させる。ここで、ｐ型ＡｌＧａＮ層３４は、後述するｐ型電極３６とのオーミック接触を確実にし、十分なｐ型活性化を行って低抵抗化するために、ＡｌＮ組成比を２０％以下とする。但し、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層３３と同様に、入射光の吸収を低減するために膜厚は約２０ｎｍとする。

上記要領で、受光層３０が積層形成された後、ｎ型ＡｌＧａＮ層３１が部分的に露出するように受光層３０をエッチング除去し、その露出部位にｎ型電極３５が形成され、ｐ型ＡｌＧａＮ層３４上にはｐ型電極３６が形成される。ここで、ｐ型電極３６及びｎ型電極３５は、第１実施形態と同様に夫々の極性に応じてＡｌ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ｔｉ等の公知の材料を公知の方法で作製すればよい。尚、ｐ型電極３６は、第１実施形態のｎ型電極２６と同様に、ｐ型電極３６を通して入射光を受光層３０へ導く必要があるため、光を透過させるために、メッシュ状または受光領域へ光を透過させる他の形状または素材で形成される。ところで、ｐ型電極３６とオーミック接触するｐ型ＡｌＧａＮ層３４は、第１実施形態のｎ型ＡｌＧａＮ層２４と比べて低抵抗化が困難で膜厚も薄いため、メッシュ間隔を第１実施形態のｎ型電極２６と比較して狭くする必要がある。

本発明素子３の動作原理、及び、火炎センサへ適用した場合の感度域とｉ型ＡｌＧａＮ層３２のＡｌＮ組成比の関係は、第１実施形態の本発明素子２と同様であるので、重複する説明は割愛する。

以下に、別の実施形態につき説明する。

〈１〉上記各実施形態では、ｐ型ＡｌＧａＮ層２１，３４及びｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２，３３の成長に係るｐ型不純物としてＭｇを用いたが、ｐ型ＡｌＧａＮ層のＡｌＮ組成比が２０％以上の場合においても十分なｐ型活性化を得ようとすれば、ｐ型不純物としてＭｇに代えてＢｅ（ベリリウム）を用いるのも好ましい実施形態である。

この場合、各ｐ型ＡｌＧａＮ層は、ＭＯＣＶＤ法を用いて、Ａｌ、Ｇａ、Ｎの原料として上記実施形態と同様に、トリメチルアルミニウム（Ａｌ源）、トリメチルガリウム（Ｇａ源）、アンモニア（窒素源）等の各原料ガスを使用し、ｐ型不純物の原料ガスとして、Ｃｐ_２Ｂｅ（ビスシクロペンタジエニルベリリウム）ガスを流しながら、Ｂｅを注入したｐ型ＡｌＧａＮ層を成長させる。

更に、ｐ型不純物の原料ガスとして、（Ｒ−Ｃｐ）_２Ｂｅガス［ビス（Ｒ−シクロペンタジエニル）ベリリウム］ガス（Ｒは１〜４価のアルキル基）を用いるのも更に好ましい。特に、Ｒが２〜４価のアルキル基の（Ｒ−Ｃｐ）_２Ｂｅガスを用いるのがより好ましい。当該原料ガスを用いることにより、有機金属化合物気相成長法を用いてｐ型、ｎ型及びｉ型半導体を所定の順序で段階的に形成するにあたり、各型に対応する不純物原料を結晶成長させる反応室内に配管を通して供給する場合に、各半導体層の成長を切り換えるときに、不純物原料の供給も切り換えるが、同じ配管を使用する場合に、配管内壁に残留した残留不純物による影響（メモリ効果）が無視できずに各半導体層間の界面近傍において所期の不純物濃度が達成できないという問題に対して、改善効果を発揮するからである。つまり、当該原料ガスの分子サイズが、Ｃｐ_２Ｂｅより大きく、分極による分子間力が弱まるため、配管内壁への残留が少なくなるため、上記メモリ効果を抑制することができ、より効果的にｐ型活性化が促進される。

〈２〉上記実施形態では、受光層２０，３０は、夫々ＰＩＮ構造で構成され、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３，３２に隣接するｐ型ＡｌＧａＮ層として超格子構造によりｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２，３３として形成したが、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３，３２のＡｌＮ組成比が小さい場合等において、超格子構造を採用せず、バルク単結晶で形成しても構わない。

〈３〉上記各実施形態では、受光層２０，３０は、夫々ＰＩＮ構造で構成され、ｉ型ＡｌＧａＮ層２３，３２に隣接するｐ型ＡｌＧａＮ層として超格子構造によりｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２，３３として形成したが、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層２２，３３を採用する効果は、下地半導体層１０の構造に拘わらず発揮される。従って、ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層を備えたＰＩＮ構造の受光層２０，３０に対して、上記各実施形態の下地半導体層１０とは別の構造を用いても構わない。

〈４〉上記各実施形態では、基板１として、（０００１）サファイア基板を用いたが、基板１はこれに限定されるものではなく、他の面方位のサファイア基板、或いは、ＳｉＣ、Ｓｉ、ＺｒＢ_２等の他の単結晶基板を用いても同様の効果は得られる。

〈５〉上記各実施形態の下地半導体層１０では、第１半導体層１２とシード結晶層１４はＧａＮであったが、ＡｌＧａＮでも構わない。但し、ＡｌＮ組成比を大きくすると多結晶の析出が顕著となるので、ＡｌＮ組成比はあまり大きくできない。特に、第２実施形態で、第２半導体層１５のＡｌＮ組成比を１段で大きくする場合は、シード結晶層１４をその中間的なＡｌＮ組成比（例えば２０％以下）のＡｌＧａＮとするのも好ましい。

また、低温堆積緩衝層１１もＡｌＮではなくＡｌＧａＮであっても構わない。更に、マスクパターン層１３はＳｉＯ_２の他、ＳｉＮ_ｘ等であってもよく、その形状もストライプ状に限定されるものではなく、例えば、格子状パターンであっても構わない。

〈６〉上記各実施形態において例示した、各層の膜厚、成長温度、使用原料、材料は、あくまでも一例であり、本発明の技術思想の範囲内において適宜変更可能である。また、各半導体層は、ＭＯＣＶＤ法を用いたが、一部または全部を他の成膜方法を用いて形成しても構わない。例えば、受光層２０，３０或いは受光層２０，３０の内のｉ型ＡｌＧａＮ層２３，３２をＭＢＥ（分子線エピタキシ）法を用いて形成しても構わない。

本発明に係るＧａＮ系化合物半導体受光素子の第１実施形態の概略構成を示す素子断面図 本発明に係るＧａＮ系化合物半導体受光素子の下地半導体層の作製過程を示す素子断面図 ＡｌＧａＮのバンドギャップエネルギを示すグラフ 火炎の光、太陽光、および室内光のスペクトルを示すグラフ 本発明に係るＧａＮ系化合物半導体受光素子の第２実施形態の概略構成を示す素子断面図

符号の説明

１ 基板
２，３ 本発明に係るＧａＮ系化合物半導体受光素子
１０ 下地半導体層
１１ 低温堆積緩衝層（ＡｌＮまたはＡｌＧａＮのバッファ層）
１２ 第１半導体層（ＧａＮまたはＡｌＧａＮ）
１３ マスクパターン層
１４ シード結晶層（ＧａＮまたはＡｌＧａＮ）
１５ 第２半導体層（ＡｌＧａＮ）
２０，３０ 受光層
２１，３４ ｐ型ＡｌＧａＮ層
２２，３３ ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層
２３，３２ ｉ型ＡｌＧａＮ層
２４，３１ ｎ型ＡｌＧａＮ層
２５，３６ ｐ型電極
２６，３５ ｎ型電極

Claims (9)

1. 基板上に３００℃〜８００℃の温度範囲内の低温成長により形成されたＡｌＮまたはＡｌＧａＮを主とするバッファ層と、前記バッファ層の上に形成されたＧａＮまたはＡｌＧａＮを主とする第１半導体層と、前記第１半導体層の上に形成された前記第１半導体層表面を部分的に被覆するマスクパターン層と、前記マスクパターン層によって被覆されずに露出している前記第１半導体層の露出表面と前記マスクパターン層上に、前記第１半導体層表面と平行な方向に前記マスクパターン層から前記露出表面中央に向けて離間するほど厚くなるように、前記マスクパターン層のエッジ部分に沿った傾斜面を有する山形状に形成されたＧａＮまたはＡｌＧａＮを主とするシード結晶層と、前記シード結晶層の上に直接に表面が平坦に形成されたＡｌＧａＮを主とする第２半導体層とを有する下地半導体層と、
   前記下地半導体層上に形成されたＰＩＮ接合型フォトダイオード構造を有するＡｌＧａＮを主とする受光層と、を備えてなり、
   前記受光層が、前記下地半導体層側にｐ型ＡｌＧａＮ層を有し、上部のｎ型ＡｌＧａＮ層側から入射光を受光することを特徴とするＧａＮ系化合物半導体受光素子。
2. 基板上に３００℃〜８００℃の温度範囲内の低温成長により形成されたＡｌＮまたはＡｌＧａＮを主とするバッファ層と、前記バッファ層の上に形成されたＧａＮまたはＡｌＧａＮを主とする第１半導体層と、前記第１半導体層の上に形成された前記第１半導体層表面を部分的に被覆するマスクパターン層と、前記マスクパターン層によって被覆されずに露出している前記第１半導体層の露出表面と前記マスクパターン層上に、前記第１半導体層表面と平行な方向に前記マスクパターン層から前記露出表面中央に向けて離間するほど厚くなるように、前記マスクパターン層のエッジ部分に沿った傾斜面を有する山形状に形成されたＧａＮまたはＡｌＧａＮを主とするシード結晶層と、前記シード結晶層の上に直接に表面が平坦に形成されたＡｌＧａＮを主とする第２半導体層とを有する下地半導体層と、
   前記下地半導体層上に形成されたＰＩＮ接合型フォトダイオード構造を有するＡｌＧａＮを主とする受光層と、を備えてなり、
   前記受光層が、前記下地半導体層側にｎ型ＡｌＧａＮ層を有し、上部のｐ型ＡｌＧａＮ層側から入射光を受光することを特徴とするＧａＮ系化合物半導体受光素子。
3. 前記受光層が、ｐ型ＡｌＧａＮ層とｉ型ＡｌＧａＮ層の間に、超格子構造によりＡｌＮ組成比が前記ｉ型ＡｌＧａＮ層と同じ或いはより大きくなるように形成されたｐ型ＡｌＧａＮ超格子層を有することを特徴とする請求項１または２に記載のＧａＮ系化合物半導体受光素子。
4. ＧａＮ系化合物半導体層上に、ＰＩＮ接合型フォトダイオード構造を有するＡｌＧａＮを主とする受光層を備えてなるＧａＮ系化合物半導体受光素子であって、
   前記受光層が、ｐ型ＡｌＧａＮ層とｉ型ＡｌＧａＮ層の間に、超格子構造によりＡｌＮ組成比が前記ｉ型ＡｌＧａＮ層のＡｌＮ組成比以上となるように形成されたｐ型ＡｌＧａＮ超格子層を有することを特徴とするＧａＮ系化合物半導体受光素子。
5. 前記受光層が、ｐ型ＡｌＧａＮ層とｉ型ＡｌＧａＮ層の間に、超格子構造により前記ｐ型ＡｌＧａＮ層より大きいＡｌＮ組成比となるように形成されたｐ型ＡｌＧａＮ超格子層を有することを特徴とする請求項１〜４の何れか１項に記載のＧａＮ系化合物半導体受光素子。
6. 前記ｐ型ＡｌＧａＮ超格子層は、ｉ型ＡｌＮ層とｐ型ＧａＮ層を夫々所定の膜厚で交互に積層してなる多重量子井戸構造を有することを特徴とする請求項３〜５の何れか１項に記載のＧａＮ系化合物半導体受光素子。
7. 前記受光層のｉ型ＡｌＧａＮ層のバンドギャップエネルギが３．６ｅＶ以上であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のＧａＮ系化合物半導体受光素子。
8. 前記受光層のｉ型ＡｌＧａＮ層のバンドギャップエネルギが４．１ｅＶ以上であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のＧａＮ系化合物半導体受光素子。
9. 前記受光層のｉ型ＡｌＧａＮ層のバンドギャップエネルギが４．４ｅＶ以上であることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載のＧａＮ系化合物半導体受光素子。

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