JP5330930B2 - 磁気式回転検出装置およびその製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、回転体の角度位置や回転速度などを検出するための磁気式回転検出装置およびその製造方法に関するものである。

回転検出装置のうち、非接触式のものとしては、光学式のものと磁気式のものがあり、磁気式回転検出装置は、光学式の回転検出装置に比して、塵埃や水分が多く存在する環境下や液中での使用が可能であるなどの利点がある。すなわち、磁気式回転検出装置は、一般に、Ｓ極とＮ極からなる磁極対が形成された磁石体と、この磁石体が回転した際の角度位置や回転速度を検出する感磁素子とを備えており、磁石体に塵埃や水分が付着しても、感度が低下することはない。かかる磁気式回転検出装置は、例えば、磁石体の外周面にＳ極とＮ極からなる磁極対が複数、形成されており、かかる磁石体の外周面に対向する位置に感磁素子が配置されている（特許文献１参照）。

特開２００８−１５１７７４号公報

このような、磁気式回転検出装置では、磁石体と感磁素子との間に高い位置精度が求められる。このため、従来は、磁気式回転検出装置を搭載する機器側に各種の加工を行い、かかる加工によって、磁石体と感磁素子との位置合わせを行なっていたため、多大な手間がかかるという問題点がある。

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、手間のかかる加工を行なわなくても、磁石体と感磁素子とを高い精度で位置を合わせることのできる磁気式回転検出装置およびその製造方法を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明では、Ｓ極とＮ極からなる磁極対が形成され、回転体側に設けられる磁石体と、該磁石体に対して前記回転体の回転中心軸線方向で対向する感磁素子と、を有する磁気式回転検出装置において、さらに、前記磁石体と前記感磁素子との間に介在する仕切り部材と、該仕切り部材において前記磁石体が位置する側の面に固定されたリングと、を備え、前記感磁素子の中心は前記リングの中心軸線上に位置し、前記磁石体は、前記リングの内側に当該リングに対して非接触状態で配置され、かつ、当該磁石体の中心は、前記リングの中心軸線上に位置していることを特徴とする。

本発明では、磁石体と感磁素子との間に仕切り部材を配置し、かかる仕切り部材に固定したリングを基準に感磁素子および磁石体の位置を調整してあるため、リングを基準に感磁素子および磁石体を高い位置精度をもって配置することができる。

本発明において、前記磁石体には、Ｓ極とＮ極とが一対形成されていることが好ましい。すなわち、本発明では、磁石体に形成する磁極対を減らし、その代わり、感磁素子で得られた信号に対して、例えば、補間処理を行なってゼロクロス点を求めるなどの演算処理を行なって分解能を確保する。かかる構成によれば、磁石体に形成する磁極対を、最小で一対まで減らすため、磁石体と感磁素子とが多少、離間していても十分な感度を有する。それ故、磁石体と感磁素子の間に仕切り部材を設け、かかる仕切り部材にリングを固定することができる。仕切り部材によって、感磁素子を塵埃や水分から保護することができる。

本発明において、前記感磁素子は、前記仕切り部材において前記磁石体が位置する側に向けて凹んだ凹部内に配置されていることが好ましい。仕切り部材全体を薄くするには限界があるが、仕切り部材に凹部を設け、かかる凹部内に感磁素子を配置すれば、感磁素子と磁石体との間に仕切り部材を設けた場合でも、感磁素子と磁石体とを接近させることができる。

本発明において、前記感磁素子は、基板上に実装され、当該基板は、前記仕切り部材において前記凹部の周りに形成された基板受け部に重ねて配置され、前記感磁素子は、前記凹部の底部との間に隙間を隔てていることが好ましい。感磁素子は応力に弱いという欠点があるが、かかる構成を採用すると、感磁素子を凹部の底部に非接触状態で配置することができる。従って、感磁素子と磁石体とを接近させた場合でも、感磁素子に応力が加わらないので、感磁素子は、高い感度を発揮する。

本発明において、前記感磁素子は、該感磁素子の外周端部が前記凹部の内周側面に当接して当該凹部に位置決めされていることが好ましい。かかる構成によれば、感磁素子と凹部との間の位置精度を向上することができ、その結果、リングを基準に仕切り部材と磁石体とを位置合わせした後、仕切り部材に感磁素子に固定した場合、あるいはリングを基準に感磁素子と磁石体とを位置合わせした後、仕切り部材に感磁素子に固定した場合のいずれにおいても、感磁素子と磁石体との位置精度を向上することができる。

本発明において、前記感磁素子は、表面に保護層を備え、当該保護層の外周端部が前記凹部の内周側面に接している構成を採用することができる。このように構成すると、感磁素子の外周端部を凹部の内周側面と接触させても感磁素子に余計な応力が加わらない。

本発明において、前記凹部は、底部と４つの内周側面とを備えており、前記保護層の外周端部のうち、周方向で隣接する２つの辺部は、前記４つの内周側面のうち、隣接する２つの内周側面に当接し、前記感磁素子は、前記２つの内周側面によって前記凹部に位置決めされていることが好ましい。凹部が４つの内周側面を備えている場合、４つの内周側面に保護層の外周端部を当接させる場合、凹部と保護層との間に高い寸法精度が求められる。従って、寸法誤差が生じた場合、例えば保護層の形状が大きいと傾いた状態で凹部内に配置される可能性があり、また小さい場合は位置決めがなされない。しかるに本発明によれば、隣接する２つの内周側面にのみに保護層の外周端部を当接させるので、凹部と保護層との間に高い寸法精度を確保しなくても、感磁素子の面内方向の位置決めを行なうことができる。

本発明において、前記凹部は、大径の第１凹部と、該第１凹部の底部の略中央位置で凹む第２凹部とを備え、前記保護層の外周端部は、前記第２凹部の内周側面に当接して当該第２凹部に位置決めされていることが好ましい。

本発明では、前記仕切り部材において前記磁石体が位置する面側には前記凹部を囲む環状溝が形成され、当該環状溝内に前記リングにおいて前記感磁素子が位置する側の端部が嵌っていることが好ましい。このように構成すれば、リングを仕切り部材の所定位置に確実に固定することができる。

本発明において、前記リングは、磁性材料からなる磁気シールド部材であることが好ましい。このように構成すると、専用のシールド部材を用いなくても、位置決めに用いたリングによって磁気シールドを行なうことができる。

本発明において、さらに、前記磁気式回転検出装置が搭載される機器の静止体側に固定されるスペーサを有し、当該スペーサは、前記磁石体が内側に配置される貫通穴を備えるとともに、当該貫通穴の内径寸法は前記リングの外径寸法と同一であり、前記貫通穴内には、該貫通穴の内壁と前記磁石体の外周面との間に位置するように前記リングが嵌っていることが好ましい。このように構成すると、静止体上の所定位置に感磁素子を配置することができる。

本発明では、Ｓ極とＮ極からなる磁極対が形成され、回転体側に設けられる磁石体と、該磁石体に対して前記回転体の回転中心軸線方向で対向する感磁素子と、を有する磁気式回転検出装置の製造方法において、前記磁石体と前記感磁素子との間に配置される仕切り部材において前記仕切り部材において前記磁石体が位置する側の面にリングを固定しておき、当該リングの中心軸線上に前記感磁素子の中心が位置するように前記リングと前記感磁素子との位置合わせを行なった後、前記仕切り部材に前記感磁素子を固定する第１位置合わせ工程と、該第１位置合わせ工程の後、前記リングの中心軸線上に前記磁石体の中心が位置するように前記リングと前記磁石体との位置合わせを行なう第２位置合わせ工程と、を有することを特徴とする。

本発明では、磁石体と感磁素子との間に仕切り部材を配置し、かかる仕切り部材に固定したリングを基準に感磁素子および磁石体の位置を調整してあるため、リングを基準に感磁素子および磁石体を高い位置精度をもって配置することができる。

本発明では、前記仕切り部材に、前記感磁素子の外周端部が当接する内周側面をもって前記磁石体が位置する側に向けて凹んだ凹部を設けておき、前記第１位置合わせ工程において前記仕切り部材に前記感磁素子を固定するにあたっては、前記感磁素子の外周端部を前記凹部の内周側面に当接させて当該感磁素子の位置決めを行なうことが好ましい。かかる構成によれば、感磁素子と凹部との間の位置精度を向上することができ、その結果、リングを基準に感磁素子と磁石体とを位置合わせした際の感磁素子と磁石体とを位置精度を向上することができる。

かかる構成の場合でも、前記仕切り部材に前記感磁素子を固定した状態で前記感磁素子と前記凹部の底部との間には隙間が空いていることが好ましい。かかる構成を採用すると、感磁素子を凹部の底部に非接触状態で配置することができるので、感磁素子に余計な応力が加わらない。

本発明において、前記第２位置合わせ工程では、前記リングの外径寸法と同一の内径寸法を備えた貫通穴を有するスペーサを、前記貫通穴内に前記磁石体が位置するように配置する第１操作と、前記貫通穴の内壁と前記磁石体の外周面との間に冶具の筒部を挿入して当該冶具を介して前記スペーサと前記磁石体との位置合わせを行なう第２操作と、前記磁気式回転検出装置が搭載される機器の静止体側に前記スペーサを固定した後、前記冶具を取り外す第３操作と、前記貫通穴の内壁と前記磁石体の外周面との間に位置するように前記リングを前記貫通穴内に嵌める第４操作と、を行なうことが好ましい。このように構成すると、リングを基準に感磁素子および磁石体を高い位置精度をもって容易に配置することができる。

本発明では、磁石体と感磁素子との間に仕切り部材を配置し、かかる仕切り部材に固定したリングを基準に感磁素子および磁石体の位置を調整してあるため、リングを基準に感磁素子および磁石体を高い位置精度をもって配置することができる。

（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の外観図、およびその分解斜視図である。 （ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の要部の構成を模式的に示す断面図、およびその検出原理を示す説明図である。 （ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の要部の斜視図、および磁石体と回路ユニットを分離させた状態の斜視図である。 本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の回路ユニットを分解した様子を第１ケース体の側からみた説明図である。 本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の回路ユニットを分解した様子を第２ケース体の側からみた説明図である。 本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の製造方法を示す説明図である。 本発明の実施の形態２に係る磁気式回転検出装置に用いた回路ユニットの外観図である。 （ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態２に係る磁気式回転検出装置に用いた回路ユニットの平面図、および回路ユニットをＡ−Ａ′線で切断したときの拡大断面図である。 本発明の実施の形態２に係る磁気式回転検出装置の回路ユニットを分解した様子を第１ケース体の側からみた説明図である。 本発明の実施の形態２に係る磁気式回転検出装置の回路ユニットを分解した様子を第２ケース体の側からみた説明図である。 （ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態２に係る磁気式回転検出装置に用いた第１ケース体に形成した凹部の説明図、および感磁素子の断面図である。

以下に、図面を参照して、本発明の磁気式回転検出装置およびその製造方法を説明する。

［実施の形態１］
（磁気式回転検出装置の全体構成）
図１（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の外観図、およびその分解斜視図である。図２（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の要部の構成を模式的に示す断面図、およびその検出原理を示す説明図である。図３（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の要部の斜視図、および磁石体と回路ユニットを分離させた状態の斜視図である。図４および図５は、本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の回路ユニットを分解した様子を第１ケース体の側からみた説明図、および第２ケース体の側からみた説明図である。

図１（ａ）、（ｂ）、および図２（ａ）に示す磁気式回転検出装置１０は、回転体の回転位置、回転方向や回転速度を磁気的に検出する装置であり、本形態では、モータ２の回転軸２２の回転を検出する。本形態では、モータケース２７を基準に回転軸２２の回転が検出される。ここで、磁気式回転検出装置１０はモータ２と一体に構成されており、エンコーダ付きモータ１を構成している。なお、回転軸２２は、モータ２の出力軸２８の反出力側端部に相当する。

磁気式回転検出装置１０は、モータ２の回転軸２２に固定された磁石体２０と、感磁素子４２および半導体ＩＣ４６が搭載された基板４０をケース３３内に内蔵する回路ユニット３０とを備えており、感磁素子４２は、磁石体２０に対して回転軸２２の回転中心軸線Ｌ方向で対向している。本形態において、感磁素子４２は、ＭＲ素子からなり、磁気抵抗膜４２１が所定のパターンで配置されている。

磁石体２０は、回転軸２２に固定された金属製の磁石ホルダ２１と、円盤状の永久磁石２５とを備えており、永久磁石２５は、磁石ホルダ２１の先端部で拡径するフランジ部２１３の上面に接着剤により固定されている。ここで、永久磁石２５は、図１（ｂ）および図２（ｂ）に示すように感磁素子４２と対向する面にＳ極とＮ極が一対、周方向で着磁されている。

回路ユニット３０の半導体ＩＣ４６により構成された回転検出回路は、図２（ｂ）に示すように、感磁素子４２から信号出力される一対の増幅回路４８１と、これらの増幅回路４８１から出力される正弦波信号ｓｉｎ、ｃｏｓに補間処理などを行なってゼロクロス点などを求める演算回路４８２（補間回路）と、出力インターフェース４８３とを備えており、回転検出回路から外部への信号出力は、基板４０上に搭載された雌コネクタ４８を介して行なわれる。

（回路ユニットの構成）
図１（ａ）、（ｂ）、図２（ａ）、図３（ａ）、（ｂ）、図４、および図５に示すように、本形態の磁気式回転検出装置１０において、回路ユニット３０のケース３３は、基板４０に対して磁石体２０側に位置する樹脂製の第１ケース体３１と、基板４０に対して磁石体２０側とは反対側に位置する樹脂製の第２ケース体３２とを備えており、第１ケース体３１は、磁石体２０と感磁素子４２との間に介在する仕切り部材を構成している。

第１ケース体３１は、略矩形の板状部３１５と、板状部３１５の３辺に相当する位置で第２ケース体３２に向けて起立する３つの側板部３１６とを備えており、板状部３１５には、板状部３１５側から磁石体２０が位置する外面側に向けて凹む円形の凹部３１８が形成されている。第１ケース体３１は樹脂成形品であり、凹部３１８の底部３１８ａは、板状部３１５において凹部３１８以外を構成する部分に比較して肉薄になっている。板状部３１５の内面において、凹部３１８を囲む部分に、小突起からなる基板受け部３１５ａが形成されている。このため、基板４０は、基板受け部３１５ａによって凹部３１８の底部３１８ａに対向する状態で固定されている。

基板４０は、磁石体２０と対向する表面側の略中央に感磁素子４２が実装されている（図４よび図５参照）。基板４０において、その裏面側には、回転検出回路を構成する半導体ＩＣ４６や雌コネクタ４８が実装されており、雌コネクタ４８は、板状部３１５のうち、側板部３１６が形成されていない辺付近に実装されている。

このように構成した第１ケース体３１において、基板４０を基板受け部３１５ａに支持された状態とすると、感磁素子４２は凹部３１８内に配置され、凹部３１８の底部３１８ａは、感磁素子４２と磁石体２０との間に介在する隔壁部として機能する。この状態で、感磁素子４２と凹部３１８の底部３１８ａ（内底部）との間には隙間が介在し、感磁素子４２と凹部３１８の底部３１８ａとは非接触状態にある（図２（ａ）参照）。

第１ケース体３１では、板状部３１５において磁石体２０が位置する外面側には、図４（ｂ）に示すように凹部３１８の底部３１８ａを囲むように円形の環状溝３１９が形成されており、かかる環状溝３１９には、円環状のリング１５の端部が嵌められて接着などの方法で固定されている。リング１５は、磁石体２０が位置する側とは反対側（感磁素子４２が位置する側）の端部のみが環状溝３１９内に嵌められており、反対側端部は、凹部３１８の底部３１８ａよりも磁石体２０が位置する側に突出している（図３参照）。しかも、リング１５の内径寸法は、磁石体２０の外径寸法よりもわずかに大きい。このように構成したリング１５の内側には、磁石体２０の永久磁石２５およびフランジ部２１３が位置し、この状態で、リング１５は、磁石体２０の外周面に隙間を介して半径方向外側で対向する状態にある。

かかるリング１５は、磁性材料から構成されており、磁石体２０に対して磁気シールドを行なう機能を担っている。また、本形態の磁気式回転検出装置１０では、製造方法を後述するように、リング１５を基準に磁石体２０および感磁素子４２の中心が合わせられている。このため、感磁素子４２の中心はリング１５の中心軸線上に位置し、磁石体２０の中心は、リング１５の中心軸線上に位置している。

第２ケース体３２は、第１ケース体３１の板状部３１５と対向する略矩形の板状部３２５と、板状部３２５の３辺に相当する位置で第１ケース体３１の側板部３１６に向けて起立する３つの側板部３２６とを備えており、第１ケース体３１および第２ケース体３２とでは、それぞれの側板部３１６、３２６が形成されている辺が一致している。このため、第１ケース体３１に対して第２ケース体３２を被せると、側板部３１６、３２６同士が重なるが、４辺のうちの１辺に相当する位置は、外側に向けて開口した状態となる。従って、雌コネクタ４８は、外部に対して露出した状態となるので、雌コネクタ４８に対して雄コネクタ４９を結合することができる。なお、第２ケース体３２において、板状部３２５には基板４０を基板受け部３１５ａに対して押える突起３２５ｃが形成されている。

（感磁素子４２に対する防水構造）
このように構成した第１ケース体３１と第２ケース体３２とを重ねると、第１ケース体３１の側板部３１６は、第２ケース体３２の側板部３２６の外面に被さる。かかる重なりを利用して側板部３１６、３２６同士を接合するにあたって、第２ケース体３２の側板部３２６には、その根元部分からなる肉厚部分３２６ｃの内周側から第１ケース体３１に向けて肉薄部分３２６ｄが延びており、かかる肉薄部分３２６ｄの幅寸法は、第１ケース体３１の側板部３１６との重なる部分よりもわずかに幅広である。このため、第１ケース体３１と第２ケース体３２とを重ねると、第１ケース体３１の側板部３１６と第２ケース体３２の側板部３２６との間には、肉厚部分３２６ｃと肉薄部分３２６ｄとの段部３２６ａと第１ケース体３１の側板部３１６の先端縁との間には第１溝部３６が形成される。かかる第１溝部３６は、第１ケース体３１および第２ケース体３２の３つの側板部３１６、３２６の全てにわたって連続した状態に形成される。そこで、本形態では、３つの側板部３１６、３２６にわたって形成された第１溝部３６の全体にシール剤３５を塗布後、固化させて、ケース３３内への水の侵入を防止している。なお、雌コネクタ４８が位置する部分では、第１ケース体３１と第２ケース体３２との間が大きく開口しているが、雌コネクタ４８に雄コネクタ４９を結合する前、あるいは結合の後、かかる部分にもシール剤３５を塗布、固化させれば、ケース３３内への水の侵入を防止することができる。シール剤３５の材質については限定はないが、シリコーン樹脂などを用いることができる。

なお、第２ケース体３２の側板部３２６には、固定用の小突起３２６ｅ（図４参照）が形成されている一方、第１ケース体３１の板状部３１５には小突起３２６ｅが嵌る有底の小穴３１５ｅ（図５参照）が形成されている。従って、第２ケース体３２の小突起３２６ｅを第１ケース体３１の小穴３１５ｅに嵌めれば、第１ケース体３１と第２ケース体３２とを結合することができる。

（スペーサによる位置決め構造）
このように構成した磁気式回転検出装置１０において、回路ユニット３０のケース３３は、外形が直方体形状のスペーサ５０を介してモータケース２７に固定されている。すなわち、モータケース２７の端面に対してスペーサ５０が対角位置で締結部材としての２本のボルト５９により固定され、ケース３３は、対角位置で２本のボルト３９によりスペーサ５０の端面に固定されている。かかる締結を行なうにあたって、第１ケース体３１および第２ケース体３２の双方にボルト５９を通す円筒部を形成すると、接合部分でのシール性が低下する。そこで、本形態では、第１ケース体３１および第２ケース体３２のうち、第２ケース体３２のみに、ボルト３９の軸部を通す２つの円筒部３２８が側板部３２６から連続して形成されている。また、本形態では、円筒部３２８の周りからケース３３内に水が侵入することを防止することを目的に、第１ケース体３１の板状部３１５には、円筒部３２８を避けるように円弧状の切り欠き３１７が形成されている。また、第１ケース体３１と第２ケース体３２とを重ねると、円筒部３２８の外周面と切り欠き３１７の内周面との間には、回転中心軸線Ｌ方向のうち、磁石体２０が位置する側に向けて開口する第２溝部３７が形成される。そこで、本形態では、第１溝部３６にシール剤３５を塗布する際、第２溝部３７内にもシール剤３５を塗布している。ここで、第１溝部３６と第２溝部３７は、繋がって連続した溝部を構成している。このため、ケース３３では、雌コネクタ４８が配置されている部分を除く全周がシール剤３５で封止されている。

本形態で用いたスペーサ５０は、外形が直方体形状であるが、回転軸２２の回転中心軸線Ｌ方向に開口する円形の貫通穴５１が形成されており、かかる貫通穴５１内に磁石体２０が位置する。貫通穴５１の内径寸法は、磁石体２０のフランジ部２１３の外径寸法よりも大きく、貫通穴５１の内周面と磁石体２０の外周面との間には、全周にわたって環状の隙間が形成されている。かかる隙間内にはリング１５の端部が挿入されている。リング１５の外径寸法は、貫通穴５１の内径寸法と実質同一であり、リング１５は、貫通穴５１内に嵌った状態にある。この状態で、磁石体２０のフランジ部２１３の外周面と、リング１５の内周面との間には隙間が介在する。このようにして、リング１５は、スペーサ５０に対して径方向に位置決めされる。

（磁気式回転検出装置１０の製造方法）
図６は、本形態の磁気式回転検出装置１０の製造方法を示す説明図である。本形態の磁気式回転検出装置１０を製造するには、まず、第１位置合わせ工程において、第２ケース体３２と結合する前の第１ケース体３１にリング１５を固定しておき、リング１５の中心軸線上に感磁素子４２の中心が位置するようにリング１５と感磁素子４２との位置合わせを行なった後、基板４０を第１ケース体３１に固定する。より具体的には、例えば、２つのロボットハンドの各々にリング１５、および基板４０を保持させ、その位置を調整した後、基板４０を第１ケース体３１に固定する。その際、基板４０を第１ケース体３１にＵＶ接着剤など速乾性の接着剤を用いて仮接着した後、熱硬化性樹脂からなる接着剤を用いて基板４０を第１ケース体３１に本接着する。しかる後に、第１ケース体３１に第２ケース体３２を被せ、第２ケース体３２の小突起３２６ｅを第１ケース体３１の小穴３１５ｅに嵌めて固定した状態で、第１溝部３６および第２溝部３７にシール剤３５を塗布した後、固化させ、ケース３３を封止する。

次に、第２位置合わせ工程において、リング１５の中心軸線上に磁石体２０の中心が位置するようにリング１５と磁石体２０との位置合わせを行なう。それには、まず、図６（ａ）、（ｅ）に示すように、モータ２の回転軸２２を磁石ホルダ２１の軸部２１１の端部に形成された穴内に嵌めた後、軸部２１１の周面に形成された穴に側方からセットビス２１９を嵌めて回転方向の移動を規制して回転軸２２に磁石体２０を固定する。次に、図６（ｂ）、（ｅ）に示すように、スペーサ５０の貫通穴５１内に磁石体２０が入るようにスペーサ５０をモータケース２７の端面に配置する（第１操作）。

次に、図６（ｃ）、（ｅ）に示すように、スペーサ５０の貫通穴５１の内壁と磁石体２０の外周面との間に冶具６０の円筒部６１を挿入して冶具６０を介してスペーサ５０と磁石体２０との位置合わせを行なう（第２操作）。すなわち、冶具６０は、周方向に肉厚が一定の円筒部６１を備えており、かかる円筒部６１の内径寸法は、磁石体２０のフランジ部２１３および永久磁石２５の外形寸法と実質同一で、スペーサ５０の貫通穴５１の内径寸法と実質同一である。従って、図６（ｃ）、（ｅ）に示す状態で、スペーサ５０の貫通穴５１と、磁石体２０のフランジ部２１３および永久磁石２５とは同芯状に配置される。

次に、図６（ｄ）に示すように、ボルト５９によりモータケース２７にスペーサ５０を固定した後、冶具６０を取り外す（第３操作）。

しかる後には、図３（ｂ）に示す状態に組み立てられた回路ユニット３０のリング１５をスペーサ５０の貫通穴５１に差し込んだ後、ボルト３９により、回路ユニット３０のケース３３をスペーサ５０に固定する（第４操作）。その結果、リング１５の中心軸線上に磁石体２０の中心が位置するようにリング１５と磁石体２０とが位置合わせされた状態で、磁気式回転検出装置１０が組み立てられる。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の磁気式回転検出装置１０では、磁石体２０と感磁素子４２との間に仕切り部材として介在する第１ケース体３１の板状部３１５にリング１５が固定され、かかるリング１５を基準に磁石体２０および感磁素子４２の位置が決められている。すなわち、磁気式回転検出装置１０の製造方法においては、リング１５を基準に第１ケース体３１上における感磁素子４２の位置を決め、スペーサ５０および冶具６０を利用して、リング１５を基準に感磁素子４２および磁石体２０の位置を決めている。それ故、感磁素子４２と磁石体２０との間の位置精度が高い。

また、第１ケース体３１にリング１５を固定するにあたって、凹部３１８を囲む環状溝３１９にリング１５を嵌めた構造になっているので、リング１５を第１ケース体３１の所定位置に確実に固定することができる。

さらに、リング１５は、磁石体２０に対する磁気シールド部として機能するため、専用のシールド部材を用いなくても、磁気シールドを行なうことができる。

また、本形態の磁気式回転検出装置１０では、磁石体２０に形成する磁極対を減らし、その代わり、感磁素子４２で得られた信号に対して、例えば、補間処理を行なってゼロクロス点を求めるなどの演算処理を行なって分解能を確保する。かかる構成によれば、磁石体２０に形成する磁極対を、最少で一対まで減らすため、磁石体２０と感磁素子４２とが多少、離間していても十分な感度を有する。しかも、磁石体２０と感磁素子４２とは、回転軸２２の回転中心軸線Ｌ方向で対向しているので、磁石体２０と感磁素子４２とが多少、離間していても、感磁素子４２を介して波形歪の少ない正弦波信号を得ることができる。それ故、磁石体２０と感磁素子４２の間に隔壁部（第１ケース体３１の凹部３１８の底部３１８ａ）を設けることができる。また、本発明では、第１ケース体３１と、第２ケース体３２とによって感磁素子４２を覆い、かつ、第１ケース体３１と第２ケース体３２とを感磁素子４２の周りを囲むように接合し、接合部分にシール剤３５を塗布する。このため、ケース３３を防水構造とすることができ、感磁素子４２を水から確実に保護することができる。

また、隔壁部は、板状部において磁石体２０が位置する側に向けて凹んだ凹部３１８の底部３１８ａであり、かかる凹部３１８内に感磁素子４２が配置されている。このため、第１ケース体３１において板状部３１５全体を薄くするには限界があるが、感磁素子４２と磁石体２０とを接近させることができる。また、感磁素子４２が実装された基板４０は、板状部３１５において凹部３１８の周りに形成された基板受け部３１５ａに重ねて配置され、感磁素子４２は、凹部３１８の底部３１８ａとの間に隙間を隔てている。このため、感磁素子４２を隔壁（凹部３１８の底部３１８ａ）に非接触状態で配置することができる。従って、感磁素子４２と磁石体２０とを接近させた場合でも、感磁素子４２に余計な応力が加わらないので、感磁素子４２は、高い感度を発揮する。

また、第１ケース体３１と第２ケース体３２との間は、それらの間に塗布したシール剤３５で封止されているため、第１ケース体３１と第２ケース体３２の側板部３１６、３２６からの水が侵入することを効果的に阻止することができる。しかも、シール剤３５は、第１溝部３６および第２溝部３７の内部に塗布されている。また、第１溝部３６と第２溝部３７は、繋がって連続した溝部を構成している。このため、ケース３３では、雌コネクタ４８が配置されている部分を除く全周がシール剤３５で封止されているので、水の侵入を確実に阻止することができる。

［実施の形態１の変形例］
上記実施の形態１では、第１ケース体３１の側板部３１６が第２ケース体３２の側板部３２６の外面に重なるため、第２ケース体３２の側板部３２６に段部３２６ａを設けて第１溝部３６を形成したが、第２ケース体３２の側板部３２６が第１ケース体３１の側板部３１６の外面に重なる場合、第１ケース体３１の側板部３１６に段部を設けて第１溝部３６を形成してもよい。

［実施の形態２］
（磁気式回転検出装置の構成）
図７は、本発明の実施の形態２に係る磁気式回転検出装置に用いた回路ユニットの外観図である。図８（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態２に係る磁気式回転検出装置に用いた回路ユニットの平面図、および回路ユニットをＡ−Ａ′線で切断したときの拡大断面図である。図９および図１０は、本発明の実施の形態１に係る磁気式回転検出装置の回路ユニットを分解した様子を第１ケース体の側からみた説明図、および第２ケース体の側からみた説明図である。図１１（ａ）、（ｂ）は、本発明の実施の形態２に係る磁気式回転検出装置に用いた第１ケース体に形成した凹部の説明図、および感磁素子の断面図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態１と略同様であるため、共通する機能を有する部分には同一の符号を付してそれらの説明を省略する。また、磁気式回転検出装置全体の構成については、図１を参照して説明する。

図１（ａ）、（ｂ）、および図２（ａ）に示すように、本形態の磁気式回転検出装置１０も、実施の形態１同様、モータ２の回転軸２２に固定された磁石体２０と、感磁素子４２および半導体ＩＣ４６が搭載された基板４０をケース３３内に内蔵する回路ユニット３０とを備えており、感磁素子４２は、磁石体２０に対して回転軸２２の回転中心軸線Ｌ方向で対向している。本形態において、感磁素子４２は、ＭＲ素子からなり、磁気抵抗膜４２１が所定のパターンで配置されている。磁石体２０は、円盤状の永久磁石２５を備えており、永久磁石２５は、感磁素子４２と対向する面にＳ極とＮ極が一対、周方向で着磁されている。

図７、図８（ａ）、（ｂ）、図９、および図１０に示すように、本形態の磁気式回転検出装置１０も、実施の形態１と同様、回路ユニット３０のケース３３は、基板４０に対して磁石体２０側に位置する第１ケース体３１と、基板４０に対して磁石体２０側とは反対側に位置する第２ケース体３２とを備えており、第１ケース体３１は、磁石体２０と感磁素子４２との間に介在する仕切り部材を構成している。

第１ケース体３１は、略五角形の板状部３１５と、板状部３１５の外周端部から第２ケース体３２に向けて起立する４つの側板部３１６とを備えており、側板部３１６の一部は、板状部３１５の外周端部から内側の位置で起立している。また、板状部３１５には、板状部３１５の側から磁石体２０が位置する外面側に向けて凹む円形の凹部３１８が形成されている。凹部３１８の底部３１８ａは、板状部３１５において凹部３１８以外を構成する部分に比較して肉薄になっている。また、凹部３１８の環状の内周壁部３１８ｇは、凹部３１８の開口縁３１８ｈから底部３１８ａに向けて凹部３１８の内径を小さくするように傾いた錐面になっている。本形態では、側板部３１６で囲まれた領域が基板４０の配置空間になっており、基板４０は、板状部３１５の内面のうち、側板部３１６で囲まれた部分に配置される。本形態において、基板４０は、板状部３１５に形成された複数の突起３１５ｓ（基板受け部）によって板状部３１５に対して対向する姿勢で支持される。なお、板状部３１５には、対角に位置する２箇所に、図１に示すボルト３９を通す穴３１５ｋが形成されている。また、板状部３１５において側板部３１６と連接する角部分には半円柱状の突起３１５ｐが形成されており、かかる突起３１５ｐは、基板４０を配置すべき位置を示している。

本形態において、第１ケース体３１は実施の形態１と同様、ＰＰＳなどの樹脂成形品である。但し、本形態において、第１ケース体３１は導電性フィラーが充填された導電性の樹脂成形品からなる。

基板４０は、磁石体２０と対向する表面側の略中央に感磁素子４２が実装されている。また、基板４０において、その裏面側には、回転検出回路を構成する半導体ＩＣ４６や雌コネクタ４８が実装されており、雌コネクタ４８は、板状部３１５のうち、側板部３１６が形成されていない辺付近に実装されている。

このように構成した磁気式回転検出装置１０においては、図８（ｂ）および図１１（ａ）に示すように、第１ケース体３１の板状部３１５において、凹部３１８は、大径の第１凹部３１８ｐと、第１凹部３１８ｐの底部３１８ａの略中央位置で略四角形の平面形状をもって凹む第２凹部３１８ｒとからなり、第２凹部３１８ｒは、底部３１８ｓと４つの内周側面３１８ｔ、３１８ｕ、３１８ｖ、３１８ｗとを備えている。

また、感磁素子４２は、図１１（ｂ）に示すように、磁気抵抗パターンからなる素子本体４２４と、素子本体４２４を覆う保護層４２２とを備えている。本形態において、感磁素子４２は、ガラス等の非磁性基板の一方の面に、素子本体４２４としての磁気抵抗パターン、磁気抵抗パターンを覆う表面保護層（図示せず）、端子４２６などが形成された構造を有しており、非磁性基板によって保護層４２２が構成されている。ここで、感磁素子４２の平面形状は、保護層４２２としての非磁性基板の形状によって規定され、略四角形である。また、感磁素子４２の平面サイズは、図８（ｂ）および図１１（ａ）に示す第２凹部３１８ｒよりわずかに小さく、感磁素子４２は、第２凹部３１８ｒの内側に嵌った状態にある。また、感磁素子４２の外周端部４２０（保護層４２２の外周端部）のうち、周方向で隣接する２つの辺部は、第２凹部３１８ｒの４つの内周側面３１８ｔ、３１８ｕ、３１８ｖ、３１８ｗのうち、隣接する２つの内周側面３１８ｔ、３１８ｕに当接している。このため、感磁素子４２は、第２凹部３１８ｒ内において内周側面３１８ｔ、３１８ｕによって面内方向で位置決めされている。

このように構成した基板４０は、第１ケース体３１内に配置した際、板状部３１５の突起３１５ｓで支持される。この状態で、感磁素子４２の保護層４２２と凹部３１８の底部３１８ａ（第２凹部３１８ｒの底部３１８ｓ）との間には隙間が空いており、感磁素子４２と凹部３１８の底部３１８ａ（第２凹部３１８ｒの底部３１８ｓ）とは非接触状態にある。

第１ケース体３１では、板状部３１５において磁石体２０が位置する外面側には、凹部３１８の底部３１８ａを囲むように円形の環状溝３１９が形成されており、かかる環状溝３１９には、円環状のリング１５の端部が嵌められて接着などの方法で固定されている。本形態でも、実施の形態１と同様、リング１５は、磁石体２０が位置する側とは反対側（感磁素子４２が位置する側）の端部のみが環状溝３１９内に嵌められており、反対側端部は、凹部３１８の底部３１８ａよりも磁石体２０が位置する側に突出している。

また、リング１５の内径寸法は、図１に示す磁石体２０の外径寸法よりもわずかに大きい。このように構成したリング１５の内側には、磁石体２０の永久磁石２５およびフランジ部２１３が位置し、この状態で、リング１５は、磁石体２０の外周面に隙間を介して半径方向外側で対向する状態にある。かかるリング１５は、磁性材料から構成されており、磁石体２０に対して磁気シールドを行なう機能を担っている。また、本形態の磁気式回転検出装置１０では、製造方法を後述するように、リング１５を基準に磁石体２０、第１ケース体３１および基板４０の位置が合わせられている。また、第２凹部３１８ｒは、環状溝３１９の中心に感磁素子４２の中心が位置するように形成されている。このため、後述する製造方法によれば、感磁素子４２の中心はリング１５の中心軸線上に位置し、磁石体２０の中心は、リング１５の中心軸線上に位置することになる。

第２ケース体３２は、第１ケース体３１の板状部３１５と対向する板状部３２５を備えており、板状部３２５の外形形状は、第１ケース体３１の側板部３１６と略重なる形状を備えている。第２ケース体３２において、板状部３２５の外周端部からは第１ケース体３１の側板部３１６に向けて側板部３２６が起立しており、第１ケース体３１に対して第２ケース体３２を被せると、側板部３１６と側板部３２６とは、側板部３１６が側板部３２６の外側に位置するように内外方向で重なる。ここで、板状部３２５からの側板部３２６の突出寸法（高さ寸法）は、板状部３１５からの側板部３１６の突出寸法（高さ寸法）よりも短い。このため、第１ケース体３１に対して第２ケース体３２を被せた状態において、第２ケース体３２の側板部３２６は、第１ケース体３１の板状部３１５に届かず、側板部３２６の下端部と板状部３１５との間には隙間が空いている。

第２ケース体３２の板状部３２５において、側板部３２６の端部が途切れる部分には突起３２５ｔが形成されており、第１ケース体３１に対して第２ケース体３２を被せた際、突起３２５ｔは、側板部３２６の上端部に乗るようにして側板部３２６に引っ掛かる。従って、第１ケース体３１の内側に第２ケース体３２を落とし込むような構造を採用した場合でも、第２ケース体３２の高さ位置が規定される。このようにして、第１ケース体３１に対して第２ケース体３２を被せた際、第１ケース体３１と第２ケース体３２との間では、一部が側方に向けて開口した状態となる。従って、雌コネクタ４８は、外部に対して露出した状態となる。なお、第２ケース体３２では、雌コネクタ４８が配置される側以外の部分でも側板部３２６が途切れているが、かかる側板部３２６の途切れ部分は、第１ケース体３１の側板部３１６で塞がれることになる。

ここで、第１ケース体３１の側板部３１６の内周面には、高さ方向の途中位置から上端縁まで浅い凹み３１６ｃが複数個所に形成されている一方、第２ケース体３２の側板部３２６の外面は平坦である。このため、第１ケース体３１に対して第２ケース体３２を被せると、側板部３１６と側板部３２６との間に狭い隙間３３ｇが形成されるとともに、凹み３１６ｃによって上方で開口する広めの隙間が形成される。従って、側板部３１６と側板部３２６との間の狭い隙間にシール用の接着剤３３ｆを流し込むと、凹み３１６ｃは接着剤３３ｆの溜まり部として機能する。従って、接着剤３３ｆを固化させれば、第１ケース体３１と第２ケース体３２とを結合させてケース３３を構成することができるとともに、側板部３１６と側板部３２６との間を接着剤３３ｆによって確実に塞ぐことができる。従って、ケース３３は防水性能を有することになる。その際、第２ケース体３２の側板部３２６の下端部も第１ケース体３１の側板部３１６に接着剤３３ｆで固定されるが、側板部３２６の下端部と第１ケース体３１の板状部３１５との間には隙間が空いている。このため、側板部３２６の下端部と板状部３１５との間に入り込んだ接着剤３３ｆによって第２ケース体３２が浮き上がることがないので、第２ケース体３２は正確に所定の高さ位置に固定される。なお、側板部３２６の途切れ部分は、側板部３１６のみで塞がれるが、かかる部分では、側板部３１６の上端縁と第２ケース体３２の板状部３２５の端部との間にシール材を塗布すれば、ケース３３の防水性能を確保することができる。

本形態において、第２ケース体３２は、全体が鉄系の磁性材料からなる金属製であり、導電性も有している。また、第１ケース体３１も導電性を有している。このため、第１ケース体３１と第２ケース体３２とをいずれか一部で接触させれば、第１ケース体３１と第２ケース体３２とは導通している状態となる。すなわち、本形態では、第１ケース体３１あるいは第２ケース体３２から基板４０、モータケース２７（図１参照）、あるいはモータケース２７に固定されるモータフレーム（図示省略）に配線材などを接続して導通させることでグランドに導通させることができる。このため、外部からケース３３内に侵入しようとする電気ノイズは、第１ケース体３１と第２ケース体３２を伝って配線材を介してグランドに流れる。それ故、図２（ｂ）を参照して説明した回転検出回路を構成する半導体ＩＣ４６および感磁素子４２を電気ノイズから保護することができ、ケース３３内では、感磁素子４２から出力された信号が周囲からの電気ノイズの影響を受けにくい。それ故、磁気式回転検出装置１０は、外乱ノイズの影響を受けずに所望の検出が可能となる。また、感磁素子４２は、基板４０が位置する側は、第２ケース体３２の板状部３２５によって覆われ、磁気シールドされている。

また、本形態において、第２ケース体３２の板状部３２５には、長円形状や真円形状の穴３２５ｈが形成されている。かかる穴３２５ｈは、ケース３３の内部に連通し、基板４０に実装された半導体ＩＣ４６や基板４０の配線パターンなどと重なる位置で開口している。このため、穴３２５ｈからは、基板４０に実装された半導体ＩＣ４６の端子や基板４０の配線などが見える。従って、本形態の回路ユニット３０では、図１（ａ）に示すように、磁気式回転検出装置１０をモータ２に搭載した後であっても、穴３２５ｈからピン状端子を差し込めば、半導体ＩＣ４６に対して、オフセット調整などのためのパラメータ入力やパラメータ変更を行なうことができる。すなわち、本形態の磁気式回転検出装置１０の場合、回路ユニット３０や磁石体２０をモータ２に搭載した状態で完成するため、回路ユニット３０や磁石体２０をモータ２に搭載した以降でしか特性チェックを行なうことができないが、本形態の磁気式回転検出装置１０では、第２ケース体３２の板状部３２５に穴３２５ｈが形成されているので、第２ケース体３２を外さなくても、半導体ＩＣ４６に対してパラメータの入力や変更などを行なうことができる。それ故、第２ケース体３２を備えた状態のまま、磁気式回転検出装置１０をモータ２に搭載した状態でモニターしながら、半導体ＩＣ４６に対するパラメータの入力や変更などを行なうことができるので、磁性体からなる第２ケース体３２の影響が存在する完成品の状態で調整を行なうことができる。

なお、特性チェックや半導体ＩＣ４６に対するパラメータの入力や変更などを行なった後は、図４（ａ）に一点鎖線Ｌ９９で示すように、シール等のシート９９を貼付し、穴３２５ｈを塞ぐため、ケース３３の内部に異物が侵入することはない。その他は、実施の形態１と同様であるため、説明を省略する。

（磁気式回転検出装置１０を製造方法）
本形態の磁気式回転検出装置１０を製造する場合にも、実施の形態１と同様、まず、第１位置合わせ工程において、第２ケース体３２と結合する前の第１ケース体３１にリング１５を固定しておき、リング１５の中心軸線上に感磁素子４２の中心が位置するようにリング１５と感磁素子４２との位置合わせを行なった後、基板４０を第１ケース体３１に固定する。より具体的には、例えば、２つのロボットハンドの各々にリング１５、および基板４０を保持させ、その位置を調整した後、基板４０を第１ケース体３１に固定する。その際、感磁素子４２を第２凹部３１８ｒに嵌めて位置決めする。この状態で、感磁素子４２と第２凹部３１８ｒの底部３１８ｓとの間には隙間が介在しており、感磁素子４２と第２凹部３１８ｒの底部３１８ｓは非接触状態にある。また、基板４０を第１ケース体３１にＵＶ接着剤など速乾性の接着剤を用いて仮接着した後、熱硬化性樹脂からなる接着剤を用いて基板４０を第１ケース体３１に本接着する。しかる後に、第１ケース体３１に第２ケース体３２を被せ、この状態で、側板部３１６と側板部３２６との間の隙間３３ｇにシール用の接着剤３３ｆを流し込んで第１ケース体３１と第２ケース体３２とを結合させ、ケース３３を構成する。

次に、第２位置合わせ工程において、リング１５の中心軸線上に磁石体２０の中心が位置するようにリング１５と磁石体２０との位置合わせを行なう。それには、実施の形態１と同様、図６（ａ）、（ｅ）に示すように、モータ２の回転軸２２を磁石ホルダ２１の軸部２１１の端部に形成された穴内に嵌めた後、軸部２１１の周面に形成された穴に側方からセットビス２１９を嵌めて回転方向の移動を規制して回転軸２２に磁石体２０を固定する。次に、図６（ｂ）、（ｅ）に示すように、スペーサ５０の貫通穴５１内に磁石体２０が入るようにスペーサ５０をモータケース２７の端面に配置する（第１操作）。

次に、図６（ｃ）、（ｅ）に示すように、スペーサ５０の貫通穴５１の内壁と磁石体２０の外周面との間に冶具６０の円筒部６１を挿入して冶具６０を介してスペーサ５０と磁石体２０との位置合わせを行なう（第２操作）。

次に、図６（ｄ）に示すように、ボルト５９によりモータケース２７にスペーサ５０を固定した後、冶具６０を取り外す（第３操作）。

しかる後には、図３（ｂ）に示す状態に組み立てられた回路ユニット３０のリング１５をスペーサ５０の貫通穴５１に差し込んだ後、ボルト３９により、回路ユニット３０のケース３３をスペーサ５０に固定する（第４操作）。その結果、リング１５の中心軸線上に磁石体２０の中心が位置するようにリング１５と磁石体２０とが位置合わせされた状態で、磁気式回転検出装置１０が組み立てられる。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態の磁気式回転検出装置１０では、磁石体２０と感磁素子４２との間に仕切り部材として介在する第１ケース体３１の板状部３１５にリング１５が固定され、かかるリング１５を基準に磁石体２０、第１ケース体３１および基板４０の位置が合わせられている。また、第１ケース体３１の第２凹部３１８ｒに感磁素子４２を位置決めすることにより、第１ケース体３１と基板４０との位置合わせが行なわれている。このため、感磁素子４２と磁石体２０との位置精度を向上することができる。

また、平面形状が四角形の第２凹部３１８ｒと感磁素子４２とを隣合う２つの辺部分で当接させているため、第２凹部３１８ｒ内で感磁素子４２を直交する２方向で確実に位置決めすることができる。すなわち、第２凹部３１８ｒが４つの内周側面３１８ｔ、３１８ｕ、３１８ｖ、３１８ｗを備えている場合、４つの内周側面３１８ｔ、３１８ｕ、３１８ｖ、３１８ｗに保護層４２２の外周端部４２０を当接させる場合、第２凹部３１８ｒと保護層４２２との間に高い寸法精度が求められる。従って、寸法誤差が生じた場合、例えば保護層４２２の形状が大きいと傾いた状態で第２凹部３１８ｒ内に配置される可能性があり、また小さい場合は位置決めがなされない。しかるに本形態では、隣接する２つの内周側面３１８ｔ、３１８ｕにのみに保護層４２２の外周端部４２０を当接させるので、第２凹部３１８ｒと保護層４２２との間に高い寸法精度を確保しなくても、感磁素子４２の面内方向の位置決めを行なうことができる。

また、本形態では、かかる構成を採用した場合でも、感磁素子４２と第２凹部３１８ｒの底部３１８ｓとの間には隙間が空いている。このため、感磁素子４２を第２凹部３１８ｒの底部３１８ｓに非接触状態で配置することができるので、感磁素子４２の素子本体４２４に余計な応力が加わらない。しかも、感磁素子４２は保護層４２２を備え、保護層４２２の外周端部４２０（感磁素子４２の外周端部４２０）が凹部３１８の内周側面３１８ｔ，３１８ｕに接している。このため、感磁素子４２を凹部３１８と接触させても、素子本体４２４に余計な応力が加わらない。

また、リング１５は、磁性材料からなるため、磁石体２０に対する磁気シールド部として機能する。また、第２ケース体３２も磁性材料からなるため、感磁素子４２に対する磁気シールド部として機能する。しかも、第２ケース体３２は、板状部３２５と側板部３２６とを備えているため、感磁素子４２は周りの略全体が磁気シールドされた状態にある。それ故、ケース３３内では、周囲からの磁気ノイズの影響を受けにくいので、専用のシールド部材を用いなくても、回転検出回路を構成する半導体ＩＣ４６および感磁素子４２を磁気ノイズから保護することができる。特に感磁素子４２は磁石体２０から発生する回転磁場を検出するものである。それ故、第２ケース体３２によって感磁素子４２を磁気シールドすれば、磁石体２０から発生する回転磁場に乱れが生じにくいので、感磁素子４２は乱れのない回転磁場を検出することが可能となる。

また、第１ケース体３１の方は非磁性であるため、磁石体２０と感磁素子４２との間に第１ケース体３１の隔壁部（凹部３１８の底部３１８ａ）が介在しても、磁石体２０から感磁素子４２に磁力線が向かうのを第１ケース体３１が妨げることはなく、回転検出に支障がない。さらに、感磁素子４２に対して磁石体２０が位置する側とは反対側の第２ケース体３２が磁性材料からなる。このため、磁石体２０の磁力線を第２ケース体３２が位置する側、すなわち、感磁素子４２が位置する側に効率よく導くことができるので、磁気式回転検出装置１０の検出感度を向上させることができるという利点がある。

また、第１ケース体３１および第２ケース体３２はいずれも導電性も有しているため、ケース３３内は、電気的にシールドされている。このため、半導体ＩＣ４６および感磁素子４２を電気ノイズから保護することができる。しかも、第２ケース体３２は、板状部３２５と側板部３２６とを備えているため、半導体ＩＣ４６および感磁素子４２は周りの略全体が電気的にシールドされた状態にある。このため、感磁素子４２から出力された信号は電気ノイズの影響を受けにくい。また、第１ケース体３１は、磁石体２０と感磁素子４２との間に介在する隔壁部（凹部３１８の底部３１８ａ）を備えているため、半導体ＩＣ４６および感磁素子４２は、周りが完全に電気的にシールドされた状態にある。それ故、感磁素子４２から出力された信号は、電気ノイズの影響を受けにくいので、検出感度が高い。

さらに、第２ケース体３２には、ケース３３内に連通する穴３２５ｈが形成されている。このため、磁気式回転検出装置１０から第２ケース体３２を外さなくても、第２ケース体３２の穴からピン状端子を差し込めば、ケース３３内に設けた半導体ＩＣ４６に対して、ソフトのダウンロードを行なうことができ、オフセット調整などのためのパラメータ入力やパラメータ変更を行なうことができる。また、磁性材料からなる第２ケース体３２が存在する状態で磁気式回転検出装置１０の特性チェックおよび調整を行なうことができるので、第２ケース体３２の磁気的な影響も含めての調整を行なうことができる。

［他の実施の形態］
上記実施の形態では、回転体がモータ２の回転軸２２で、静止体がモータケース２７であったが、他の回転機構の回転体に磁石体２０を形成し、かかる回転体を支持する静止体にスペーサ５０を介して回路ユニット３０を取り付けてもよい。なお、静止体における「静止」とは、回転軸２２の「回転」に対峙する意味であり、静止体自身が、回転軸２２とともに移動する場合も含む意味である。また、静止体については、モータケース２７以外の部材、例えば、モータ２が搭載される機器の一部であってもよい。

上記実施の形態では、永久磁石２５では、Ｓ極とＮ極が一対形成されていたが、Ｓ極とＮ極が複数対形成されている場合に本発明を適用してもよい。

上記実施の形態では、リング１５を利用した位置決めを２つのケース体からなる場合に適用したが、リング１５を利用した位置決めについては、感磁素子４２を実装した基板４０を、応力の小さな樹脂、例えば、不飽和ポリエステル樹脂を主成分とする熱硬化性樹脂に短いガラス繊維を補強剤や充填剤などと一緒に混連したＢＭＣ樹脂で一体にモールドした構造に適用してもよい。この場合には、モールド樹脂において、感磁素子４２を覆う部分によって仕切り部材が形成されることになる。

なお、実施の形態１、２では、感磁素子４２と凹部３１８の底部３１８や第２凹部３１８ｒの底部３１８ｓとの間に隙間を確保したが、実施の形態２のように、感磁素子４２において、凹部の底部に向く側が保護層からなる場合には、感磁素子４２の保護層と凹部の底部とを接触させてもよい。

また、実施の形態２では、平面形状が四角形の第２凹部３１８ｒと感磁素子４２との間で位置決めを行なったが、第２凹部３１８ｒと感磁素子４２とを当接させて位置決めを行なう構成については、第２凹部３１８ｒおよび感磁素子４２の一方が円形であるなど、一方あるいは双方が四角形以外の場合に適用してもよい。

１ エンコーダ付きモータ
２ モータ
１０ 磁気式回転検出装置
１５ リング
２０ 磁石体
２２ モータの回転軸（回転体）
２７ モータケース（静止体）
４０ 基板
４２ 感磁素子
３３ ケース
２１ 磁石ホルダ
２５ 永久磁石
３０ 回路ユニット
３１ 第１ケース体（仕切り部材）
３２ 第２ケース体
３５ シール剤
３６ 第１溝部
３７ 第２溝部
５０ スペーサ
５１ スペーサの貫通穴
６０ 冶具
６１ 冶具の筒部
３１５、３２５ ケース体の板状部
３１６、３２６ ケース体の側板部
３１８ 第１ケース体の凹部
３１８ａ 第１ケース体の凹部の底部（隔壁部）
３１８ｐ 第１凹部
３１８ｒ 第２凹部
３１８ｔ、３１８ｕ、３１８ｖ、３１８ｗ 第２凹部の内周側面
３１９ 環状溝
３２６ａ 側板部の段部
４１１ 素子本体
４１２ 保護層
４２０ 感磁素子の外周端部（保護層の外周端部）

Claims (18)

1. Ｓ極とＮ極からなる磁極対が形成され、回転体側に設けられる磁石体と、
   該磁石体に対して前記回転体の回転中心軸線方向で対向する感磁素子と、
   を有する磁気式回転検出装置において、
   さらに、前記磁石体と前記感磁素子との間に介在する仕切り部材と、該仕切り部材において前記磁石体が位置する側の面に固定されたリングと、を備え、
   前記感磁素子の中心は前記リングの中心軸線上に位置し、
   前記磁石体は、前記リングの内側に当該リングに対して非接触状態で配置され、かつ、当該磁石体の中心は、前記リングの中心軸線上に位置していることを特徴とする磁気式回転検出装置。
2. 前記磁石体には、Ｓ極とＮ極とが一対形成されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気式回転検出装置。
3. 前記感磁素子は、前記仕切り部材において前記磁石体が位置する側に向けて凹んだ凹部内に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気式回転検出装置。
4. 前記感磁素子は、基板上に実装され、
   当該基板は、前記仕切り部材において前記凹部の周りに形成された基板受け部に重ねて配置され、
   前記感磁素子は、前記凹部の底部との間に隙間を隔てていることを特徴とする請求項３に記載の磁気式回転検出装置。
5. 前記感磁素子は、該感磁素子の外周端部が前記凹部の内周側面に当接して当該凹部に位置決めされていることを特徴とする請求項３または４に記載の磁気式回転検出装置。
6. 前記感磁素子は、表面に保護層を備え、
   当該保護層の外周端部が前記凹部の内周側面に接していることを特徴とする請求項５に記載の磁気式回転検出装置。
7. 前記凹部は、底部と４つの内周側面とを備えており、
   前記保護層の外周端部のうち、周方向で隣接する２つの辺部は、前記４つの内周側面のうち、隣接する２つの内周側面に当接し、
   前記感磁素子は、前記２つの内周側面によって前記凹部に位置決めされていることを特徴とする請求項６に記載の磁気式回転検出装置。
8. 前記凹部は、大径の第１凹部と、該第１凹部の底部の略中央位置で凹む第２凹部とを備え、
   前記保護層の外周端部は、前記第２凹部の内周側面に当接して前記感磁素子を前記第２凹部に位置決めしていることを特徴とする請求項７に記載の磁気式回転検出装置。
9. 前記仕切り部材において前記磁石体が位置する面側には前記凹部を囲む環状溝が形成され、
   当該環状溝内に前記リングにおいて前記感磁素子が位置する側の端部が嵌っていることを特徴とする請求項３乃至８の何れか一項に記載の磁気式回転検出装置。
10. 前記リングは、磁性材料からなる磁気シールド部材であることを特徴とする請求項１乃至９の何れか一項に記載の磁気式回転検出装置。
11. 前記磁気式回転検出装置が搭載される機器の静止体側に固定されるスペーサを有し、
    当該スペーサは、前記磁石体が内側に配置される貫通穴を備えるとともに、当該貫通穴の内径寸法は前記リングの外径寸法と同一であり、
    前記貫通穴内には、該貫通穴の内壁と前記磁石体の外周面との間に位置するように前記リングが嵌っていることを特徴とする請求項１乃至１０の何れか一項に記載の磁気式回転検出装置。
12. Ｓ極とＮ極からなる磁極対が形成され、回転体側に設けられる磁石体と、
    該磁石体に対して前記回転体の回転中心軸線方向で対向する感磁素子と、
    を有する磁気式回転検出装置の製造方法において、
    前記磁石体と前記感磁素子との間に配置される仕切り部材において前記仕切り部材において前記磁石体が位置する側の面にリングを固定しておき、
    当該リングの中心軸線上に前記感磁素子の中心が位置するように前記リングと前記感磁素子との位置合わせを行なった後、前記仕切り部材に前記感磁素子を固定する第１位置合わせ工程と、
    該第１位置合わせ工程の後、前記リングの中心軸線上に前記磁石体の中心が位置するように前記リングと前記磁石体との位置合わせを行なう第２位置合わせ工程と、
    を有することを特徴とする磁気式回転検出装置の製造方法。
13. 前記仕切り部材に、前記感磁素子の外周端部が当接する内周側面をもって前記磁石体が位置する側に向けて凹んだ凹部を設けておき、
    前記第１位置合わせ工程において前記仕切り部材に前記感磁素子を固定するにあたっては、前記感磁素子の外周端部を前記凹部の内周側面に当接させて当該感磁素子の位置決めを行なうことを特徴とする請求項１２に記載の磁気式回転検出装置の製造方法。
14. 前記仕切り部材に前記感磁素子を固定した状態で前記感磁素子と前記凹部の底部との間には隙間が空いていることを特徴とする請求項１３に記載の磁気式回転検出装置の製造方法。
15. 前記感磁素子は、表面に保護層を備え、
    当該保護層の外周端部が前記凹部の内周側面に接していることを特徴とする請求項１３または１４に記載の磁気式回転検出装置の製造方法。
16. 前記凹部は、底部と４つの内周側面とを備えており、
    前記保護層の外周端部のうち、周方向で隣接する２つの辺部を、前記４つの内周側面のうち、隣接する２つの内周側面に当接させ、
    前記感磁素子を、前記２つの内周側面によって前記凹部に位置決めすることを特徴とする請求項１５に記載の磁気式回転検出装置の製造方法。
17. 前記凹部は、大径の第１凹部と、該第１凹部の底部の略中央位置で凹む第２凹部とを備え、
    前記保護層の外周端部を前記第２凹部の内周側面に当接させて前記感磁素子を当該第２凹部に位置決めすることを特徴とする請求項１６に記載の磁気式回転検出装置の製造方法。
18. 前記第２位置合わせ工程では、
    前記リングの外径寸法と同一の内径寸法を備えた貫通穴を有するスペーサを、前記貫通穴内に前記磁石体が位置するように配置する第１操作と、
    前記貫通穴の内壁と前記磁石体の外周面との間に冶具の筒部を挿入して当該冶具を介して前記スペーサと前記磁石体との位置合わせを行なう第２操作と、
    前記磁気式回転検出装置が搭載される機器の静止体側に前記スペーサを固定した後、前記冶具を取り外す第３操作と、
    前記貫通穴の内壁と前記磁石体の外周面との間に位置するように前記リングを前記貫通穴内に嵌める第４操作と、
    を行なうことを特徴とする請求項１２乃至１７の何れか一項に記載の磁気式回転検出装置の製造方法。

Images