JP5324065B2 - 識別記号付ダイシングシートおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は本発明の一実施形態に係るダイシングシートの平面図(a)および底面図(b)であり、図2は同実施形態に係るダイシングシートの断面図である。なお、本実施形態に係るダイシングシートは、ダイシングのみに使用されるものであってもよいし、ダイボンディングにも使用されるダイシング・ダイボンディングシートであってもよい。
リングフレーム用粘着シートを以下のようにして作製した。
ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面にシリコーン剥離層を設けてなる剥離材(厚さ:38μm)の剥離層面に、アクリル系弱粘着剤の粘着剤層(厚さ:10μm)を形成した。
ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面にシリコーン剥離層を設けてなる剥離材(厚さ:38μm)の剥離層面に、エポキシ系加熱硬化型粘接着剤の粘着剤層(厚さ:20μm)を形成した。
印刷の代わりに凹凸型を使用して、ウェハ用粘着シートの基材におけるリングフレーム用粘着シートとの積層部分に打刻を行う以外、実施例1と同様にして、剥離材の長手方向にダイシングシートが複数並んで積層された積層体を製造した。
2…基材
3…粘着剤層
4…環状基材
5…環状粘着剤層
6…リングフレーム貼付部
7…ウェハ貼付部
8…識別記号
Claims (2)
- 基材と粘着剤層とを備えた略円形状のダイシングシートであって、
前記ダイシングシートの外周部はリングフレーム貼付部となっており、
前記基材の前記粘着剤層側の面の反対面における、ウェハ貼付部以外の部分であって、かつ前記リングフレーム貼付部以外の部分から前記リングフレーム貼付部にかけて、当該ダイシングシートの識別記号がインクジェット方式により複数連続的に印字されており、
前記リングフレーム貼付部には、前記基材および粘着剤層とは別の基材および粘着剤層が設けられている
ことを特徴とする識別記号付ダイシングシート。 - 少なくとも基材と粘着剤層とを備え、外周部がリングフレーム貼付部となっている積層体を製造する工程と、
前記基材の前記粘着剤層側の面の反対面における、ウェハ貼付部以外の部分であって、かつ前記リングフレーム貼付部以外の部分から前記リングフレーム貼付部にかけて、ダイシングシートの識別記号をインクジェット方式により複数連続的に印字する工程と、
前記リングフレーム貼付部に、前記基材および粘着剤層とは別の基材および粘着剤層を設ける工程と、
前記積層体をカットして略円形状のダイシングシートを得る工程と
を備えたことを特徴とする識別記号付ダイシングシートの製造方法。
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