JP5319887B2 - 研磨用スラリー - Google Patents

Description

本発明は、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ：化学的機械的研磨）に用いられる研磨用スラリーに関する。

現在、ＣＭＰは、例えば、層間絶縁膜の平坦化、ビアホール内のプラグの形成、埋め込み金属配線の形成などに欠かせない技術となっている(例えば、特開２００４−１９３４９５号公報参照)。
ＣＭＰを用いた埋め込み金属配線の形成について、図１４に基づいて説明する。
図１４Ａに示すように、半導体基板上に形成された酸化膜等の絶縁膜１０に配線形成用の凹状の溝を形成した後、絶縁膜１０上に全面に亘って窒化チタン(ＴｉＮ)等よりなるバリア金属膜１１を堆積し、その後、バリア金属膜１１上に、溝を埋めるように全面に亘ってタングステン(Ｗ)等よりなる配線用金属膜１２を堆積する。
次に、図１４Ｂに示すように、配線用金属膜１２に対してＣＭＰによって、不要な領域の配線用金属膜１２とその下層のバリア金属膜１１とを研磨して除去し、溝の内部にのみ、配線用金属膜１２を残すことにより、金属配線が形成される。
ところが、かかるＣＭＰを用いた金属配線の形成においては、研磨時間を短縮してスループットの向上を図るために、研磨用スラリーとして、配線用金属膜に対する研磨速度（研磨レート）が高いスラリー、例えば、研磨砥粒としてヒュームドシリカを含有するスラリーを用いて研磨が行われるために、図１５に示すように、溝幅の大きい領域においては、広幅の埋め込み配線１２の中央部を研磨してしまう、いわゆるディッシングが生じたり、溝が密集している領域においては、細幅の埋め込み配線１２と共にその周りの絶縁膜１０を同時に研磨してしまう、いわゆるエロージョンが生じてしまう。
かかるディッシングやエロージョンによる表面段差によって、多層配線の上層の絶縁膜に段差が生じ易く、上層の配線膜の形成時に配線用金属膜の研磨残りに起因した電気的短絡などの問題が発生するという課題がある。

本発明は、上述のような課題に鑑みて為されたものであって、ディッシングやエロージョンを低減できる研磨用スラリーを提供することを目的としている。
本発明では、上記目的を達成するために、次のように構成している。
すなわち、本発明の研磨用スラリーは、化学的機械的研磨に用いる研磨用スラリーであって、酸化剤および２種以上の研磨砥粒を含有し、前記酸化剤が、ヨウ素酸カリウムであるものである。
この研磨砥粒は、シリカ砥粒であるのが好ましく、前記２種以上の研磨砥粒として、ヒュームドシリカおよびコロイダルシリカを含有するのが好ましい。
ここで、ヒュームドシリカは、２次粒子からなり、コロイダルシリカは、１次粒子からなるのが好ましい。
上記構成によると、酸化剤を含有するとともに、２種以上の研磨砥粒、例えば、ヒュームドシリカおよびコロイダルシリカを含有しているので、金属膜に対する研磨レートが高いヒュームドシリカと、絶縁膜（酸化膜）に対する研磨レートが高いコロイダルシリカとの混合比を選択することによって、金属膜および絶縁膜（酸化膜）に対して研磨レート比（選択比）を選択できることになり、これによって、従来例に比べて、ディッシングやエロージョンを低減できることになる。
好ましい実施態様においては、酸を含有し、ｐＨが１以上６以下である。より好ましくは、ｐＨが２以上４以下である。
この実施態様によると、絶縁膜に対するコロイダルシリカの研磨能力を十分に発揮することができる。
他の実施態様においては、前記ヒュームドシリカおよび前記コロイダルシリカの両シリカの総量に対する前記コロイダルシリカの混合比率が、１％以上９９％以下である。好ましくは、前記混合比率が、１０％以上９０％であり、より好ましくは、２０％以上７０％以下である。また、前記混合比率の下限を、５０％以上としてもよい。
この実施態様によると、ヒュームドシリカに対する前記コロイダルシリカの混合比によって、研磨レート比（選択比）を選択できることになり、金属膜や絶縁膜に対する研磨レートを制御することが可能になる。
更に他の実施態様においては、絶縁膜および金属膜が形成された基板の研磨に用いられるものである。
この実施態様によると、絶縁膜および金属膜が形成された基板の研磨に用いることによって、従来例に比べて、ディッシングやエロージョンを低減できることになる。

本発明の目的、特色、および利点は、下記の詳細な説明と図面とからより明確になるであろう。
図１は、本発明の一つの実施の形態に係る化学的機械研磨方法を実施するためのＣＭＰ装置の概略構成図である。
図２は、図１の半導体ウェハの一部拡大断面図である。
図３は、本発明の実施の形態に係る研磨用スラリーの研磨特性を示す図である。
図４は、ｐＨと研磨レートとの関係を示す図である。
図５は、検討例２における各研磨用スラリーを用いたときの研磨レートを示す図である。
図６は、検討例２における各研磨用スラリーを用いてＳｉＯ_２膜を研磨したときに発生するディフェクト（欠陥）のカウント数を示す図である。
図７は、検討例２における各研磨用スラリーを用いてＷ膜を研磨したときのＷ膜の均一性を示す図である。
図８は、研磨レートとウェハの中心からの距離との関係を示す図である。
図９は、実施例および比較例を用いたときの研磨レートを示す図である。
図１０は、実施例および比較例を用いたときの欠陥のカウント数を示す図である。
図１１は、実施例および比較例を用いたときのディッシング量を示す図である。
図１２は、実施例および比較例を用いたときのエロージョン量を示す図である。
図１３は、実施例および比較例を用いたときのリセス量を示す図である。
図１４は、化学的機械研磨方法を用いた埋め込み金属配線の形成を説明するための半導体ウェハの一部拡大断面図である。
図１５は、ディッシングおよびエロージョンを示す図である。

以下図面を参考にして本発明の好適な実施例を詳細に説明する。
以下、図面によって本発明の実施の形態について詳細に説明する。
図１は本発明の実施の形態に係る研磨用スラリーを用いるＣＭＰ研磨装置の概略構成図である。
定盤１の表面に取付けられた研磨パッド２には、本発明に係る研磨用スラリー３がスラリー供給用のノズル４から連続的に供給される。被研磨物としての半導体ウェハ５は、研磨ヘッド６に、バッキングフィルム７を介して保持される。研磨ヘッド６に荷重が加えられることによって、半導体ウェハ５は、研磨パッド２に押し付けられる。
研磨パッド２上に供給される研磨用スラリー３は、研磨パッド２上を広がって半導体ウェハ５に到達する。定盤１と研磨ヘッド６とは、矢符Ａで示すように同方向に回転して相対的に移動し、研磨パッド２と半導体ウェハ５との間に研磨用スラリー３が侵入して研磨が行われる。なお、８は研磨パッド２の表面を目立てするためのドレッサーである。
図２Ａは被研磨物である半導体ウェハ５の一例を示す部分断面図である。この半導体ウェハ５では、ウェハ基板の上に、酸化膜である二酸化シリコンＳｉＯ_２からなる絶縁膜１０を形成し、この絶縁膜１０に溝(またはビアホール）を選択的に形成し、絶縁膜１０上に、チタンＴｉおよび窒化チタンＴｉＮからなるバリア金属膜１１を堆積する。その後、バリア金属膜１１上に、溝を埋め込むようにして配線用金属であるタングステンＷからなる配線金属膜１２を堆積する。
このように形成された半導体ウェハ５を、配線金属膜１２側を下にして図１の研磨ヘッド６に装着して、研磨を行うものである。
ここで、この実施の形態に使用する研磨用スラリーについて、詳細に説明する。
この実施の形態の研磨用スラリーは、酸化剤を含有するとともに、２種以上の研磨砥粒として、ヒュームドシリカおよびコロイダルシリカを含有する水系媒体のスラリーである。
酸化剤としては、過酸化水素や過塩素酸アンモニウムなどの過酸化化合物、ヨウ素酸、ヨウ素酸カリウムやヨウ素酸ナトリウムなどのヨウ素酸塩化合物などを挙げることができる。酸化剤は、研磨用スラリーに対して、０．１重量％以上７重量％以下含有するのが好ましく、より好ましくは、０．５重量％以上４重量％以下である。
この研磨用スラリーは、ｐＨを調整するための酸を含有するのが好ましく、この酸としては、特に制限されず、公知の無機酸および有機酸を使用できる。その中でも、研磨用スラリーの研磨能力を一層向上させるという観点から、塩酸、硝酸、硫酸、フッ酸、炭酸などの無機酸および酢酸、クエン酸、マロン酸、アジピン酸などの有機酸が好ましく、塩酸などが特に好ましい。無機酸および有機酸は、それぞれ１種を単独で使用してもよく、２種以上を併用してもよい。また、無機酸の１種または２種以上と有機酸の１種または２種以上とを併用することもできる。
この研磨用スラリーは、そのｐＨが、好ましくは１〜６、さらに好ましくは２〜４、特に好ましくは、２〜３である。ｐＨが、１〜６の酸性域にあると、コロイダルシリカによる研磨能力が最大限に発揮される。このｐＨ範囲は、酸の含有量を適宜変更することによって、容易に達成できる。
ヒュームドシリカおよびコロイダルシリカは、両者を合わせた研磨砥粒として、研磨用スラリーに対して１重量％以上５０重量％以下含有するのが好ましく、より好ましくは、１重量％以上４０重量％以下、更に好ましくは、２重量％以上１５重量％以下である。
また、ヒュームドシリカおよびコロイダルシリカの両シリカの総量に対する前記コロイダルシリカの混合比率（重量比率）が、１％以上９９％以下であるのが好ましく、より好ましくは、前記混合比率が、１０％以上９０％であり、更に好ましくは、２０％以上７０％以下である。また、前記混合比率の下限を、５０％以上としてもよい。
研磨砥粒として、シリカ以外に、アルミナ、セリア、チタニア、などの他の研磨砥粒を加えてもよい。
また、研磨砥粒の凝集を防ぐために、燐酸カリウムなどの緩衝剤を添加してもよい。
この研磨用スラリーは、その好ましい特性を損なわない範囲で、従来からＣＭＰ加工における研磨用スラリーに常用されている各種の添加剤の１種または２種以上を含んでいてもよい。この添加剤の具体例としては、例えば、ポリカルボン酸アンモニウムなどの分散剤、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、エチレングリコール、グリセリンなどの水溶性アルコール、界面活性剤、粘度調節剤、硝酸鉄などが挙げられる。
この研磨用スラリーは、酸化剤を含有するとともに、研磨砥粒として、ヒュームドシリカを含有しているので、タングステンや銅などの金属膜に対する研磨レートが高い一方、研磨砥粒として、コロイダルシリカを含有しているので、ＳｉＯ_２膜などの絶縁膜（酸化膜）に対する研磨レートが高く、ヒュームドシリカとコロイダルシリカとの混合比を選択することにより、研磨レート比（選択比）を、例えば、略１にすることができ、これによって、配線用の金属膜を、絶縁膜に比べて研磨しすぎて生じるディッシングやエロージョンを低減することができる。

このヒュームドシリカとコロイダルシリカとの混合比が研磨特性に与える影響を次のようにして検討した。
［検討例１］
以下に、酸化剤として、過酸化水素を用いた場合の検討例を示す。
すなわち、固形分５重量％のヒュームドシリカ水溶液と、同じく固形分５重量％のコロイダルシリカ水溶液とを、３：１、２：１、１：１、１：２の比率でそれぞれ混合した研磨用スラリーをそれぞれ調整するとともに、前記水溶液を混合することなく、ヒュームドシリカのみおよびコロイダルシリカのみを研磨砥粒とする研磨用スラリーをそれぞれ調整し、タングステン膜Ｗ、酸化シリコン膜ＳｉＯ_２を表面に形成したウェハの研磨試験をそれぞれ行った。
なお、各研磨用スラリーは、酸化剤として過酸化水素を４重量％、１(ｍｏｌ／Ｌ)の塩酸を１％含有し、ｐＨを２とした。
研磨条件は、荷重３００ｇ／ｃｍ^２、定盤回転数５０ｒｐｍ、研磨ヘッド(キャリア)回転数５０ｒｐｍ、研磨用スラリー流量は３００ｍｌ／ｍｉｎとした。
また、タングステン膜の研磨レートは、比抵抗測定器（ＲＳ３５ｃ，テンコール社製）を用いて複数点測定し、その平均値から、タングステン膜の膜厚を算出し、その膜厚変化から測定した。ＳｉＯ_２膜の研磨レートは、光学式膜厚測定器（Ｎａｎｏ ｓｐｅｃ／ＡＦＴ５１００，ナノメトリクス社製）を用いて複数点測定し、その平均値から、ＳｉＯ_２膜の膜厚を算出し、その膜厚変化から測定した。測定結果を、図３に示す。なお、この図３の横軸は、ヒュームドシリカおよびコロイダルシリカのシリカ砥粒全体に対するコロイダルシリカの混合比率（％）を示し、左の縦軸は、研磨レート（ｎｍ／ｍｉｎ）を示し、右の縦軸は、選択比（Ｗの研磨レート／ＳｉＯ_２の研磨レート）を示している。
この図３に示すように、ヒュームドシリカとコロイダルシリカとを、３：１、すなわち、シリカ砥粒全体に対するコロイダルシリカの混合比率を、２５％としたときには、選択比が４となり、ヒュームドシリカとコロイダルシリカとを、１：２、すなわち、前記混合比率を、６６．７％としたときには、選択比が２となり、このように、シリカ砥粒全体に対するコロイダルシリカの混合比率を、２５％から６６．７％まで変化させることにより、選択比を、４から２まで変化させることができる。
また、下記の表１には、ヒュームドシリカ単独の研磨用スラリーと、ヒュームドシリカとコロイダルシリカとの混合比を、１：２、すなわち、シリカ砥粒全体に対するコロイダルシリカの混合比率を、６７％とした研磨用スラリーを用いて研磨した場合のエロージョンの測定結果を示す。

この表１に示すように、５０ｎｍ以上であったエロージョンを、３０ｎｍ以下まで低減することができる。
これは、図４に示すように、酸性領域、特のｐＨ＝２付近においては、コロイダルシリカは、ヒュームドシリカに比べて、絶縁膜であるＳｉＯ_２膜の研磨レートが高くなるので、タングステンなどの金属膜の削れすぎによる５０ｎｍ以上のエロージョンの段差を、ＳｉＯ_２膜を約３０ｎｍ程度研磨することによって、緩和したものである。
なお、図４は、ｐＨによるヒュームドシリカとコロイダルシリカのＳｉＯ_２膜に対する研磨レートを示すものである。
以上のように、この実施の形態の研磨用スラリーによれば、タングステンなどの金属膜に対する研磨レートと絶縁膜（酸化膜）に対する研磨レートとの比である選択比を制御できるので、絶縁膜に比べて金属膜が削れすぎて生じるディッシングやエロージョンを低減することができ、これによって、上層の配線膜の形成時に配線用金属膜の研磨残りに起因した電気的短絡などが生じるのを有効に防止して高品質な半導体デバイスを得ることが可能となる。
また、シリカ砥粒を用いるので、アルミナ砥粒を用いる場合に生じるスクラッチのない平坦な研磨が可能となる。
［検討例２］
以下に、酸化剤として、ヨウ素酸カリウムを用いた場合の検討例を示す。
（研磨用スラリー）
本検討例に用いる研磨用スラリーは、以下のように調製した。
ヒュームドシリカと水とを混合させて、固形分２０重量％の高分散のヒュームドシリカ分散液を調製し、コロイダルシリカと水とを混合させて、固形分２０重量％の高分散のコロイダルシリカ分散液を調製した。そして、ヒュームドシリカ分散液とコロイダルシリカ分散液とを９：１、８：２、７：３、６：４、５：５、１：３の比率でそれぞれ混合して、シリカ砥粒に対するコロイダルシリカの混合比率（以下、単に「混合比率」と呼ぶ。）が、１０％、２０％、３０％、４０％、５０％、７５％の砥粒分散液を調製した。なお、ヒュームドシリカ分散液は、混合比率が０％の砥粒分散液であり、コロイダルシリカ分散液は、混合比率が１００％の砥粒分散液である。
酸化剤であるヨウ素酸カリウムを水に溶解させて、ヨウ素酸カリウム濃度が４重量％の酸化剤溶液を調製した。また、酸化剤溶液は、溶液調製時に塩酸を添加して、ｐＨ２に調整した。
混合比率が１０％である砥粒分散液と酸化剤溶液とを１：３の比率で混合して、シリカ砥粒５重量％、ヨウ素酸カリウム３重量％、ｐＨ２．２であって、混合比率が１０％である研磨用スラリーを調製した。
また、混合比率が２０％、３０％、４０％、５０％、７５％である研磨用スラリーは、混合比率が１０％である砥粒分散液を用いる代わりに、混合比率が２０％、３０％、４０％、５０％、７５％である砥粒分散液を用いる以外、混合比率が１０％である研磨用スラリーと同様に調製した。シリカ砥粒がヒュームドシリカのみである研磨用スラリー（ヒュームドシリカ単体スラリー）は、混合比率が１０％である砥粒分散液を用いる代わりに、ヒュームドシリカ分散液を用いる以外、混合比率が１０％である研磨用スラリーと同様に調製した。シリカ砥粒がコロイダルシリカのみである研磨用スラリー（コロイダルシリカ単体スラリー）は、混合比率が１０％である砥粒分散液を用いる代わりに、コロイダルシリカ分散液を用いる以外、混合比率が１０％である研磨用スラリーと同様に調製した。
なお、これらの濃度は、研磨時の濃度であるので、砥粒分散液と酸化剤溶液とを混合するタイミングは、あらかじめ混合しておいてもよいし、研磨直前に混合してもよい。
（研磨評価）
上記各研磨用スラリーは、以下のようにして、研磨評価（研磨レート評価、表面状態評価および均一性評価）について検討した。上記各研磨用スラリーを用いて、下記の研磨条件で、表面に金属膜であるタングステン（Ｗ）膜、チタン（Ｔｉ）膜および酸化膜であるＳｉＯ_２膜が形成されたウェハを研磨した。
研磨条件は、研磨装置（ＳＨ−２４，Ｓｐｅｅｄ ＦＡＭ社製）、研磨パッド（ＩＣ１４００，ニッタ・ハース社製）、研磨時間６０秒間、荷重５．０ｐｓｉ（約３４４５０Ｐａ）、定盤回転数６５ｒｐｍ、研磨ヘッド（キャリア）回転数６５ｒｐｍ、研磨用スラリー流量１２５ｍｌ／ｍｉｎとした。被研磨物は、８インチのＳｉＯ_２膜を形成させたウェハおよびそのウェハにＷ膜およびＴｉ膜が形成されたウェハである。
図５は、検討例２における各研磨用スラリーを用いたときの研磨レートを示す図である。グラフの横軸は、混合比率（％）を示し、グラフの縦軸は、研磨レート（Å／ｍｉｎ）を示す。Ｗ膜の研磨レートは、比抵抗測定器（ＲＳ３５ｃ，テンコール社製）を用いて複数点測定し、その平均値から、Ｗ膜の膜厚を算出し、その膜厚変化から測定した。Ｔｉ膜の研磨レートは、比抵抗測定器（ＲＳ３５ｃ，テンコール社製）を用いて複数点測定し、その平均値から、Ｔｉ膜の膜厚を算出し、その膜厚変化から測定した。ＳｉＯ_２膜の研磨レートは、光学式膜厚測定器（Ｎａｎｏ ｓｐｅｃ／ＡＦＴ５１００，ナノメトリクス社製）を用いて複数点測定し、その平均値から、ＳｉＯ_２膜の膜厚を算出し、その膜厚変化から測定した。
図５からわかるように、混合比率が高いほど、酸化膜であるＳｉＯ_２膜およびバリアメタル膜であるＴｉ膜の研磨レートが高いという結果を示した。
また、混合比率が１０％である研磨用スラリーを用いると、Ｗ膜の研磨レートは、ヒュームドシリカ単体スラリーより若干増加する。混合比率が１０％より高い研磨用スラリーを用いると、混合比率が高いほど、Ｗ膜の研磨レートが低くなるという結果を示した。
したがって、混合比率を選択することによって、ＳｉＯ_２膜に対するＷ膜の研磨レートの比である選択比を制御することできる。
図６は、検討例２における各研磨用スラリーを用いてＳｉＯ_２膜を研磨したときに発生するディフェクト（欠陥）のカウント数を示す図である。グラフの横軸は、混合比率（％）を示し、グラフの縦軸は、１枚のウェハあたりの０．２μｍ以上より大きい欠陥のカウント数を示す。欠陥は、ウェハ表面検査装置（ＬＳ６６００，日立ハイテクノロジーズ社製）を用いて測定した。
図６からわかるように、ヒュームドシリカおよびコロイダルシリカを混合した研磨用スラリーを用いてＳｉＯ_２膜を研磨すると、パーティクル（研磨粒子）に基づく欠陥およびスクラッチ（傷）に基づく欠陥の両方とも少ないという結果を示した。
ヒュームドシリカ単体スラリーを用いてＳｉＯ_２膜を研磨した場合、研磨後のＳｉＯ_２膜に多くの傷が残り、スクラッチに基づく欠陥が多いという結果を示した。このことから、ヒュームドシリカ単体スラリーは、傷ばかりが付き、研磨されにくいといえる。
コロイダルシリカ単体スラリーを用いてＳｉＯ_２膜を研磨した場合、研磨後のＳｉＯ_２膜に多くの傷および研磨粒子が残り、スクラッチに基づく欠陥およびパーティクルに基づく欠陥が多いという結果を示した。このことは、コロイダルシリカ単体スラリーは、ゼータ電位が正側にシフトしており、ＳｉＯ_２膜表面に、研磨粒子が吸着されやすくなるので、研磨粒子が残り、また、その研磨粒子によって、傷が発生するからであると考えられる。
また、図６から、混合比率が２０％以上５０％以下である研磨用スラリーは、パーティクルに基づく欠陥およびスクラッチに基づく欠陥が特に少ないので、特に好ましい。
図７は、検討例２における各研磨用スラリーを用いてＷ膜を研磨したときのＷ膜の均一性を示す図である。グラフの横軸は、混合比率（％）を示し、グラフの縦軸は、研磨後のＷ膜の均一性を示す。均一性は、研磨されたシリコンウェハの複数箇所、たとえば４９箇所で厚みを測定して、シリコンウェハの厚みにおける平均値に対する最大値と最小値との差を百分率で表わしたもので、値が小さいほど、被研磨物の厚みの均一性が優れている。
図７からわかるように、ヒュームドシリカおよびコロイダルシリカを混合した研磨用スラリーを用いてＷ膜を研磨すると、研磨後のＷ膜の均一性が高いという結果を示した。
また、図７から、混合比率が２０％の研磨用スラリーを用いてＷ膜を研磨すると、研磨後のＷ膜の均一性が最も高いことがわかる。
次に、均一性が最も高かった混合比率が２０％の研磨用スラリー、ヒュームドシリカ単体スラリーおよびコロイダルシリカ単体スラリーについての研磨レートを検討した。
図８は、研磨レートとウェハの中心からの距離との関係（プロファイル）を示す図である。グラフの横軸は、ウェハの中心からの距離（測定位置）（ｍｍ）を示し、縦軸は研磨レート（Å／ｍｉｎ）を示す。平滑線２１は、混合比率が２０％の研磨用スラリーを用いた場合のプロファイルである。平滑線２２は、ヒュームドシリカ単体スラリーを用いた場合のプロファイルである。平滑線２３は、コロイダルシリカ単体スラリーを用いた場合のプロファイルである。
図８から、混合比率が２０％の研磨用スラリーを用いた場合は、測定位置に関わらず、研磨レートは、ほぼ一定であることがわかる。ヒュームドシリカ単体スラリーを用いた場合、ウェハの中心付近で研磨レートが比較的高く、ウェハのエッジ付近で研磨レートが比較的低いことがわかる。コロイダルシリカ単体スラリーを用いた場合、ウェハの中心付近で研磨レートが比較的低く、ウェハのエッジ付近で研磨レートが比較的高いことがわかる。
これらのことから、ヒュームドシリカおよびコロイダルシリカを混合した研磨用スラリーである混合比率が２０％の研磨用スラリーを用いた場合は、測定位置に関わらず、研磨レートは、ほぼ一定であり、研磨後のウェハの均一性が高くなることがわかる。
以上のように、本実施形態である研磨用スラリーを用いると、ＳｉＯ_２膜の研磨レートに対するＷ膜の研磨レートの比である選択比を制御できる。また、研磨後のパーティクル残りおよびスクラッチ残りを防ぐことができ、均一性の高いウェハを得ることができる。したがって、絶縁膜であるＳｉＯ_２膜に比べて金属膜であるＷ膜が削れすぎて生じるディッシングやエロージョンを低減することができ、これによって、上層の配線膜の形成時に配線用金属膜の研磨残りに起因した電気的短絡などが生じるのを有効に防止して高品質な半導体デバイスを得ることが可能となる。
次に、本実施形態の研磨用スラリー（実施例）と、従来の金属研磨用スラリー（比較例）との比較検討を行った。
（実施例）
検討例２で用いた混合比率が２０％の研磨用スラリーである。
（比較例）
過酸化水素４重量％、鉄触媒（硝酸第二鉄）０．０５重量％およびヒュームドシリカ５重量％である研磨用スラリー（ＳＳＷ２０００、キャボット社製）である。
実施例および比較例は、以下のようにして、研磨評価（研磨レート評価、表面状態評価、ディッシング評価、エロージョン評価およびリセス評価）について検討した。上記各研磨用スラリーを用いて、下記の研磨条件で、表面に金属膜であるタングステン（Ｗ）膜、チタン（Ｔｉ）膜および酸化膜であるＳｉＯ_２膜が形成されたウェハを研磨した。
研磨条件は、研磨装置（ＳＨ−２４，Ｓｐｅｅｄ ＦＡＭ社製）、研磨パッド（ＩＣ１４００，ニッタ・ハース社製）、研磨時間６０秒間、荷重４．５ｐｓｉ（約３１０００Ｐａ）、定盤回転数６５ｒｐｍ、研磨ヘッド（キャリア）回転数６５ｒｐｍ、研磨用スラリー流量１２５ｍｌ／ｍｉｎとした。被研磨物は、８インチのＳｉＯ_２膜を形成させたウェハおよびそのウェハにＷ膜およびＴｉ膜が形成されたウェハである。
図９は、実施例および比較例を用いたときの研磨レートを示す図である。グラフの縦軸は、研磨レート（Å／ｍｉｎ）を示す。研磨レートは、Ｗ膜は比抵抗測定器（ＲＳ３５ｃ，テンコール社製）、Ｔｉ膜は比抵抗測定器（ＲＳ３５ｃ，テンコール社製）、ＳｉＯ_２膜は光学式膜厚測定器（Ｎａｎｏ ｓｐｅｃ／ＡＦＴ５１００，ナノメトリクス社製）を用いて複数点測定し、その平均値を算出した。
図９からわかるように、実施例は、比較例より、Ｗ膜の研磨レートおよびＳｉＯ_２膜の研磨レートが高いことがわかる。
実施例は、エッチングレートの低いヨウ素酸カリウムを含んでいるが、シリカ砥粒として、ヒュームドシリカを含んでいるだけでなく、機械的研磨力に優れているコロイダルシリカを含んでいるので、Ｗ膜の研磨レートおよびＳｉＯ_２膜の研磨レートが高いと考えられる。
図１０は、実施例および比較例を用いたときの欠陥のカウント数を示す図である。グラフの縦軸は、１枚のウェハあたりの欠陥のカウント数を示す。棒３１は、ＳｉＯ_２膜を研磨したときの１枚のウェハあたりの０．５０μｍより大きいパーティクルに基づく欠陥のカウント数を示す。棒３２は、ＳｉＯ_２膜を研磨したときの１枚のウェハあたりの０．３５μｍより大きく０．５０以下のパーティクルに基づく欠陥のカウント数を示す。棒３３は、ＳｉＯ_２膜を研磨したときの１枚のウェハあたりの０．２０μｍより大きく０．３５以下のパーティクルに基づく欠陥のカウント数を示す。棒３４は、ＳｉＯ_２膜を研磨したときの１枚のウェハあたりの０．５０μｍより大きいスクラッチに基づく欠陥のカウント数を示す。棒３５は、ＳｉＯ_２膜を研磨したときの１枚のウェハあたりの０．３５μｍより大きく０．５０以下のスクラッチに基づく欠陥のカウント数を示す。棒３６は、ＳｉＯ_２膜を研磨したときの１枚のウェハあたりの０．２０μｍより大きく０．３５以下のスクラッチに基づく欠陥のカウント数を示す。欠陥は、ウェハ表面検査装置（ＬＳ６６００，日立ハイテクノロジーズ社製）を用いて測定した。
図１０からわかるように、実施例は、比較例より、ＳｉＯ_２膜を研磨したときに発生する欠陥が少ないという結果を示した。さらに、実施例は、０．２０μｍより大きく０．３５以下の欠陥が特に少なくっており、細かい傷や研磨粒子が残ることが少なくなることがわかる。これらのことから、比較例は、傷ばかり付き、ＳｉＯ_２膜をあまり研磨することができないといえる。
図１１は、実施例および比較例を用いたときのディッシング量を示す図である。グラフの縦軸は、ディッシング量（Å）を示す。ディッシング量は、ＳｉＯ_２膜上に、配線幅が１０μｍ、５０μｍおよび１００μｍのＷ膜からなる配線を設けた基板を研磨したときのディッシング量である。ディッシング量は触針式表面測定器（Ｐ−１２，テンコール社製）によって測定する。
図１１から、実施例は、比較例より、Ｗ膜からなる配線の配線幅に関わらず、デッィシング量が少ないことがわかる。このことは、ヨウ素酸カリウムのエッチング作用が低いためであると考えられる。
図１２は、実施例および比較例を用いたときのエロージョン量を示す図である。グラフの縦軸は、エロージョン量（Å）を示す。エロージョン量は、ＳｉＯ_２膜上に、配線密度が５０％、７０％、９０％のＷ膜からなる配線を設けた基板を研磨したときのエロージョン量である。エロージョン量は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ−ＳＰＡ４６５，セイコーインスツルメンツ社製）によって測定する。
図１２から、実施例は、比較例より、Ｗ膜からなる配線の配線密度に関わらず、エロージョン量が少ないことがわかる。このことは、ヨウ素酸カリウムのエッチング作用が低いためであると考えられる。
図１３は、実施例および比較例を用いたときのリセス量を示す図である。グラフの縦軸は、リセス量（Å）を示す。リセス量は、ＳｉＯ_２膜上に、配線密度が１０％、３０％、５０％、７０％、９０％のＷ膜からなる配線を設けた基板を研磨したときのリセス量である。リセス量は、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ−ＳＰＡ４６５，セイコーインスツルメンツ社製）によって測定する。
図１３から、実施例は、比較例より、Ｗ膜からなる配線の配線密度に関わらず、エロージョン量が少ないことがわかる。このことは、ヨウ素酸カリウムのエッチング作用が低いためであると考えられる。
以上のように、酸化剤とシリカ砥粒とを含む研磨用スラリーであって、シリカ砥粒として、コロイダルシリカおよびヒュームドシリカを含むことによって、ディッシング、エロージョンおよびリセスを低減できる。
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施できる。したがって、前述の実施形態はあらゆる点で単なる例示に過ぎず、本発明の範囲は特許請求の範囲に示すものであって、明細書本文には何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲に属する変形や変更は全て本発明の範囲内のものである。

本発明によれば、ヒュームドシリカおよびコロイダルシリカといった２種類以上の研磨砥粒の混合比によって、金属膜や絶縁膜（酸化膜）に応じた研磨レート比（選択比）を選択できることになり、これによって、従来例に比べて、ディッシングやエロージョンを低減できることになる。
本発明は、半導体ウェハや光学部品レンズなどの研磨に有用である。

Claims (1)

1. 基板上に形成された金属膜および絶縁膜を同時に研磨する研磨用スラリーであって、
   ヒュームドシリカと、
   コロイダルシリカと、
   酸化剤とを含み、
   前記ヒュームドシリカおよび前記コロイダルシリカの両シリカの総量に対する前記コロイダルシリカの混合比率が２０％〜５０％であり、ｐＨが１以上６以下であり、
   前記ヒュームドシリカおよび前記コロイダルシリカの両シリカの含有量は、１重量％以上４０重量％以下であり、
   前記酸化剤は、ヨウ素酸カリウムからなる、研磨用スラリー。

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