JP5309486B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の製造方法について図面を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態2に係る半導体装置の製造方法について図面を用いて説明する。図1〜14と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
以下、本発明の実施の形態3に係る半導体装置の製造方法について図面を用いて説明する。図1〜14と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
以下、本発明の実施の形態43に係る半導体装置の製造方法について図面を用いて説明する。図1〜14と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
以下、本発明の実施の形態5に係る半導体装置の製造方法について図面を用いて説明する。図1〜14と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
以下、本発明の実施の形態6に係る半導体装置の製造方法について図面を用いて説明する。図1〜14と同様の構成要素には同じ番号を付し、説明を省略する。
14 凹部
15 絶縁膜
16 レジスト
17 開口
21 WSiN膜(導体膜)
22 Au膜(導体膜)
23 ゲート電極
24 ソース電極
25 ドレイン電極
31,33,35,38 レジスト(保護層)
32 層間絶縁膜(保護層)
27,34,37 配線電極
36 キャパシタの下層電極
Claims (1)
- 半導体基板上に複数の凹部を形成する工程と、
前記複数の凹部の内壁を覆うように前記半導体基板上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上にレジストを形成し、露光及び現像により前記レジストに、前記複数の凹部上において、対応する凹部よりも幅が狭い複数の開口をそれぞれ形成する工程と、
前記レジストをマスクとして前記絶縁膜を異方性エッチングして前記凹部の底面の一部を露出させ、前記レジストを除去する工程と、
露出した前記凹部の底面及び前記絶縁膜上に導体膜を形成する工程と、
前記複数の凹部以外の領域において前記導体膜を除去して、それぞれの凹部内に残された前記導体膜によりゲート電極を形成する工程と、
前記ゲート電極を形成した領域の近傍において前記半導体基板上にソース電極及びドレイン電極を形成する工程とを有し、
前記ゲート電極を形成する工程において、前記導体膜を全面的に異方性エッチングして、前記複数の凹部以外の領域において前記導体膜を除去して前記凹部の底面に前記導体膜を残すことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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