JP5233130B2 - 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置 - Google Patents

圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置 Download PDF

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Description

本発明は圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置に関する。

一般に、プリンタ/ファックス/コピア或いはこれらの機能を複合した画像形成装置としては、例えば、記録液(液体)の液滴を吐出する液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッドを含む液体吐出装置を用いて、媒体(以下「用紙」ともいうが材質を限定するものではなく、また、被記録媒体、記録媒体、転写材、記録紙なども同義で使用する。)を搬送しながら、液体としての記録液(以下、インクともいう。)を用紙に付着させて画像形成(記録、印刷、印写、印字も同義語で用いる。)を行なうものがある。

なお、画像形成装置は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与することをも意味する。また、液体とは記録液、インクに限るものではなく、画像形成を行うことができる液体であれば特に限定されるものではない。

液体吐出ヘッドとしては、液室内の液体であるインクを加圧する圧力を発生するための圧力発生手段(アクチュエータ手段)として圧電素子、特に圧電層と内部電極を交互に積層した積層型圧電素子を用いて、積層型圧電素子のd33又はd31方向の変位で液室の壁面を形成する弾性変形可能な振動板を変形させ、液室内容積/圧力を変化させて液滴を吐出させるいわゆる圧電アクチュエータを用いた圧電型ヘッドが知られている。

このような積層型圧電素子を用いた液体吐出ヘッドとしては、例えば、特許文献1に記載されているように、圧電層と内部電極とを交互に積層し、両端面に個別側外部電極及び共通側外部電極を形成した積層型圧電素子(駆動素子ブロック)に、一部を残して溝加工を施すことによって複数の駆動部(駆動チャンネル)と両端の非駆動部とを形成し、積層型圧電素子のd31方向の変位を用いて液室内液体を加圧する圧力を与えるとともに、この積層型圧電素子の共通電極を駆動部の並び方向両端の非駆動部から取出すようにしたものがある。
特開平8−142325号公報

また、積層型圧電素子のd33方向の変位を用いているものとしては、特許文献2に記載されているように、ベース上に接合した圧電素子に溝加工することによってノズルが連通する各液室に対応する圧電素子を形成したものがある。
特開2003−250281号公報

さらに、ライン型インクジェットヘッドとして、特許文献3に記載されているように、1枚の連続したノズルプレート上に複数個のノズル開口部を配列し、圧電素子は複数のバルク状圧電体を加工してノズル開口部に対応するように配置されており、隣接するバルク状圧電体の境目は加工領域であるヘッドが知られている。
特許第3156411号公報

また、特許文献4に記載されているように、複数の液体吐出ヘッドをつなぎ合わせたものもある。
特開2000−351217号公報

近年、画像形成装置としての例えばインクジェット記録装置には高速印字が求められている。そのため、滴吐出周波数を高くする、ノズル数を多くするといった手段があるが、滴吐出周波数を高くすると、それに伴いキャリッジを高速で動かさなければならず、強力なモータを精度よく制御する、高周波で安定して滴吐出をおこなうといった性能に対して、コストが増大する課題がある。

そこで、ヘッドを長くしてノズル数を増やす長尺ヘッド化が検討される。しかしながら、特許文献1や特許文献2に記載の圧電アクチュエータを用いたヘッド構成において、ヘッド全体を長くするには、各部品を長くする必要がある。特に、PZTに代表される圧電素子は非常に細長い部品であるので、さらに長くすることは、圧電素子の製造工程上あるいはハンドリングの面で非常に困難なものとなるという課題がある。

また、特許文献3に記載のヘッドはライン化を図ったものであるが、バルク状圧電体を分割して圧電素子を形成するために、圧電素子の倒れ、チッピング(欠け)などが生じやすく、歩留まりが悪くなってコストが高くなるという課題がある。

また、特許文献4に記載のヘッドのように、液体吐出ヘッドを複数つなぐと、ライン型ヘッドのサイズが大型化してしまうことになり、更にそれに伴って装置自体のサイズの大型化は避けられないという課題がある。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、低コストで長尺化が可能な圧電アクチュエータ、この圧電アクチュエータの製造方法、この圧電アクチュエータを備える液体吐出ヘッド、この液体吐出ヘッドを備える液体吐出装置、画像形成装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の請求項1に係る圧電アクチュエータは、
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を設け、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
構成とした。

本発明に係る圧電アクチュエータは、
複数の圧電素子がスリットで分けられて形成された少なくとも3個以上の圧電素子部材が、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置され、
前記3個以上の圧電素子部材のうち、両側の圧電素子部材を除く圧電素子部材のうちの少なくとも1つの圧電素子部材の両端部が削られ
前記削られた部分は前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達していない
構成とした。

本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法は、
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しないスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する構成とした。

本発明に係る圧電アクチュエータは、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法によって製造されたものである。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、本発明に係る圧電アクチュエータを備えているものである。

本発明に係る液体吐出装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。

本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているものである。

本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法によれば、低コストで長尺の圧電アクチュエータを得ることができる。

本発明に係る圧電アクチュエータによれば、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法によって製造されたものであるので、低コストで長尺化を図れる。

本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、本発明に係る圧電アクチュエータを備えているので、長尺化した液体吐出ヘッドを低コストで得られる。

本発明に係る液体吐出装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、低コスト化を図れる。

本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えているので、低コストで高速記録化を図れる。

以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明に係る圧電アクチュエータを備えた液体吐出ヘッドの第1実施形態について図1ないし図4を参照して説明する。なお、図1は同液体吐出ヘッドの側面説明図、図2は同じく平面説明図、図3は図2のA−A線に沿う液室長手方向の断面説明図、図4は同じく液室短手方向の要部断面説明図である。

この液体吐出ヘッドHは、SUS基板で形成した流路基板(液室基板)1と、この流路基板1の下面に接合した振動板2と、流路基板1の上面に接合したノズル板3とを有し、これらによってインク滴を吐出するノズル5が連通する液室(圧力室、加圧室、加圧液室などとも称する。)6、加圧液室6に液体であるインク(記録液)を供給する供給路を兼ねた流体抵抗部7、後述する共通液室の圧力変動を抑制するためのバッファ室8を形成している。

ここで、流路基板1は、リストリクタプレート1Aとチャンバーブレート1Bとを接着して構成している。この流路基板1は、SUS基板を酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜きなどの機械加工することで、各加圧液室6、流体抵抗部7、バッファ室8などの開口をそれぞれ形成している。なお、流体抵抗部7は、リストリクタプレート1Aの部分を開口し、チャンバーブレート1Bの部分を開口しないことで形成している。

振動板2は、流路基板1を構成するチャンバーブレート1Bに接着接合している。この振動板2は、例えば、ポリイミドなどの樹脂部材11AにSUS基板から形成した凸部11Bを接合して形成している。この他、例えば、ニッケルの金属プレートから形成したものなどを用いることもできる。

ノズル板3は、各加圧液室6に対応して直径10〜30μmのノズル5を形成し、流路基板1のリストリクタプレート1Aに接着剤接合している。このノズル板3としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面(吐出方向の表面:吐出面)には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。

そして、振動板2の面外側(加圧液室6と反対面側)に各加圧液室6に対応して圧力発生手段を構成する積層型圧電素子12aをそれぞれ接合し、これらの積層型圧電素子12aを形成する圧電素子部材12をベース部材13に接合している。これらの圧電素子部材12とベース部材13とによって可動部分である振動板2を変形させる本発明に係る圧電アクチュエータ20を構成している。

このヘッドでは、これら複数の圧電素子12a(1つを個別圧電素子12aともいう。)を溝加工(スリット加工)によって分断することなく形成した複数の圧電素子部材12を、3個以上、圧電素子12aの並び方向(圧電素子部材12の長手方向)に沿って隙間31を置いてベース部材13上に固定配置している。

この場合、後述するように、複数の圧電素子部材12を振動板2との接合面との反対側の面をベース部材(基台)13上に接着剤で接合して固定した後、溝加工によって溝30を形成することで複数の圧電素子12aを形成する。また、圧電素子部材12の一端面には各圧電素子12aに駆動波形を与えるためのFPCケーブル14を接続している。

なお、圧電素子12aの圧電方向としてd33方向の変位を用いて加圧液室6内インクを加圧する構成とすることも、圧電素子12aの圧電方向としてd31方向の変位を用いて加圧液室6内インクを加圧する構成とすることもできる。本実施形態ではd33方向の変位を用いた構成をとっている。

ベース部材13は金属材料で形成することが好ましい。ベース部材13の材質(材料)が金属であれば、圧電素子12a(圧電素子部材12)の自己発熱による蓄熱を防止することができる。圧電素子部材12とベース部材13は接着剤により接着接合しているが、チャンネル数が増えると、圧電素子12aの自己発熱により100℃近くまで温度が上昇し、接合強度が著しく低下することになる。また、自己発熱によりヘッド内部の温度上昇が発生し、インク温度が上昇するが、インクの温度が上昇すると、インク粘度が低下し、噴射特性に大きな影響を与える。したがって、ベース部材13を金属材料で形成して圧電素子12aの自己発熱による蓄熱を防止することで、これらの接合強度の低下、インク粘度の低下による噴射特性の劣化を防止することができる

さらに、ベース部材13の線膨張係数が大きいと、高温または低温でベース部材13と圧電素子部材12の接合界面で接着剤の剥離が発生することがある。すなわち、従前は圧電素子の全長が長くなかったため、環境変動による温度差で圧電素子とベース部材13が剥離するという問題はほとんどなかったが、300dpiで約400ノズル程度を有する全体で30〜40mm以上の長さの圧電素子を用いることでこの問題が顕在化するようになった。

したがって、ベース部材13の材料としては線膨張係数が10E−6/℃以下の材質を用いることが好ましく、この線膨張係数の範囲にすることにより、環境変動による温度差で、圧電素子部材との接合界面が剥離することを防止できる。特に、圧電素子部材12に接着接合される部品の線膨張係数を全て10E−6/℃以下にすると、接合界面の剥離に対し、非常に効果的であることが確認された。

また、FPCケーブル14には各チャンネル(各加圧液室6に対応する)を駆動する駆動波形(電気信号)を印加するための図示しないドライバICを複数搭載している。このように、FPCケーブル14に複数のドライバICを搭載することにより、各ドライバIC毎に電気信号を設定することができ、圧電素子12aの各駆動チャンネルの変位特性のばらつきを容易に補正することができるようになる。

さらに、振動板2の周囲にはフレーム部材17を接着剤で接合している。そして、このフレーム部材17には、ドライバICと少なくともベース部材13を挟んで反対側に配置されるように、加圧液室6に外部からインクを供給するための共通液室18を形成している。この共通液室18は、振動板2の貫通穴9を介して流体抵抗部7及び加圧液室6に連通している。

この液体吐出ヘッドにおける圧電アクチュエータ20は、前述したように複数の圧電素子12aがスリット(溝)30で分けられて形成された3個以上の圧電素子部材12が少なくとも1列(このヘッドでは2列)に並べて配置され、これら3個以上の圧電素子部材12のうち、両側の圧電素子部材12を除き、隣り合う圧電素子部材12の両端部にはスリット30の少なくとも一部が形成されている。つまり、図4に示すように、両端の圧電素子部材12以外の圧電素子部材12の両端部分にはスリット加工によって切り込み部32が形成されている。

このように、3個以上の圧電素子部材を並べて、両端の圧電素子部材以外の圧電素子部材の両端部分はスリットの少なくとも一部を形成するように、並べて配置し、スリット加工によって複数の個別圧電素子を形成することにより、圧電素子間の位置ずれを小さくでき、また、溝加工した壊れやすい積層型圧電素子を単体でハンドリングすることもなく、低コストで容易に長尺の圧電アクチュエータを得ることができる。

また、このように、複数の圧電素子がスリットで分けられて形成された少なくとも3個以上の圧電素子部材が少なくとも1列に並べて配置され、これら3個以上の圧電素子部材のうち、両側の圧電素子部材を除く圧電素子部材のうちの少なくとも1つの圧電素子部材の両端部が削られている構成とすることで、低コストで長尺化を図ることができる。

この場合、すべての圧電素子部材12は隣り合う圧電素子部材12との間に隙間32を空けて並べて配置することにより、圧電素子部材の熱膨張を吸収することができる。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、圧電素子12aに対して選択的に20〜50Vの駆動パルス電圧を印加することによって、パルス電圧が印加された圧電素子12aが積層方向に伸びて振動板2をノズル5方向に変形させ、加圧液室6の容積/体積変化によって加圧液室6内の記録液が加圧され、ノズル5から液滴が吐出(噴射)される。

そして、液滴の吐出に伴って加圧液室6内の液圧力が低下し、このときの液体の流れの慣性によって加圧液室6内には若干の負圧が発生する。この状態の下において、圧電素子12aへの電圧の印加をオフ状態にすることによって、振動板2が元の位置に戻って加圧液室6が元の形状になるため、さらに負圧が発生する。このとき、共通液室18、流体抵抗部(インク供給路)7を経て加圧液室6内にインクが充填される。そこで、ノズル5のインクメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の滴吐出のために圧電素子12aにパルス電圧を印加し、液滴を吐出させる。

なお、ここでは、押し打ちで液滴を吐出させる方式で説明しているが、引き打ち(圧電素子に中間電位を印加した状態から電位を立ち下げた後、電位を中間電位に立ち上げる。)や、引き−押し打ち(圧電素子に中間電位を印加した状態から電位を立ち下げた後、電位を中間電位よりも高い電位まで立ち上げる。)で液滴を吐出させる方式とすることもでき、これらは駆動波形によって設定することができる。

次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第1実施形態について図5を参照して説明する。なお、図5は同実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。
長尺のベース部材13上に3個以上の圧電素子部材12を並べて配置して圧電アクチェータを構成する。圧電素子部材12を並べた後に溝(スリット)加工を施してスリットを形成することにより、複数の圧電素子12aを形成するが、複数の圧電素子12aを等間隔で形成するためには、個々の圧電素子部材12のつなぎ目が問題になる。つまり、スリットの幅内につなぎ目が位置しなければならない。このつなぎ目を正確に位置決めすることによって、長尺圧電アクチェータの製造が可能になる。

そこで、本発明においては、まず、予め高精度に長さを設定した圧電素子部材12を使用する。圧電素子部材12の長さはつなぎ合わせたときに、つなぎ目部分にスリット(溝)が位置するようにしている。

具体的には、例えば、1個の圧電素子部材12に溝(スリット)30をn個(凸部である圧電素子12aはn+1個)切る場合、圧電素子部材12に対する溝加工の幅(スリットの幅)をB、凸部の幅(圧電素子12aの幅)をCとすると、圧電素子部材12の長さPWは、(B+C)・(n+1)≧PW>B×N+C(n+1)とし、長さの精度は±5μm以下としている。

また、ベース部材13に圧電素子部材12を配列するときに、圧電素子部材12が隣り合う位置に対応してスリット30の幅を示す指標50を設け、隣り合う圧電素子部材12の端を指標50の幅内に位置させて圧電素子部材12を並べるようにしている。この指標50は、ベース部材13自体に設けても良いし、或いは、ベース部材13の近傍に別部材で設けても良い。また、指標50は、ダイシングなどによる溝、塗布マーク、フォトリソを用いたレジストなどで形成することができる。

ここでの指標50は、コの字の開口が上(圧電素子部材12側)を向いたもので、指標50の幅(コの字の開口幅)Mは、スリット30の幅(溝加工幅)B以下(M≦B)としている。そして、各指標50の圧電素子部材12の配列方向の中心同士のピッチ(コの字の開口幅Mの中心同士のピッチ)が、(B+C)・(n+1)になるように設定している。

これにより、圧電素子部材12の両端が指標50内(コの字の線内)に位置するように並べるだけで、各圧電素子部材12の端部が、スリット加工を施すときにスリットが形成される位置に配置される。

なお、ベース部材13と圧電素子部材12との接合は、例えばベース部材13の接合面に嫌気性接着剤を塗布しておき、圧電素子部材12を加圧することによって接着するようになっている。接着剤の種類は、UV硬化接着効果剤を混ぜても良いし、種々の種類を選択することができる。また、指標50の形成は、精密機械加工技術、精密度フォト印刷技術、エッチング技術等の応用で可能である。また、指標50の形状は図示した形状に限定されるものでもない。

次に、溝加工(スリット加工)の方法について図6ないし図9を参照して説明する。
先ず、1番目のスリットを形成するまでの工程について図6及び図7を参照して説明する。なお、図6は同工程の説明に供する上面説明図、図7は同じく側面説明図である。
ここでは加工機としてダイシング加工機を用いた例で説明する。このダイシング加工機は、回転刃70を回転軸71で回転させながらワークを研削する。

図6(a)に示すように、ベース部材13上に上述したようにして4個の圧電素子部材12を2列分配列接着した部材(これを、ワークWという。)を、図示しないテーブルに、回転軸71と平行になるように所定位置で固定する。そして、回転刃70を圧電素子部材12のつなぎ目で溝ができるピッチの第一番目の溝位置に設定する。

この状態から、図6(b)に示すように、テープル若しくは回転軸71を相対的に移動させることで、回転刃70がワークWを通過するように矢印Eの方向に移動させる。なお、相対的に移動するとは、テーブルを移動させても良いし、回転軸を移動させても良い、両方を移動させても良いということである。

これによって、図6(c)及び図7に示すように、ワークWの圧電素子部材12には1番目(一つ目)の溝30が形成される。このとき、溝30の深さは、ワークWに対する回転軸71と回転刃70を正確に位置決めすることで、所定の深さで研削できる。回転刃70の厚さをAとしたとき、溝30の幅B=A±αとなる。αは研削条件により異なり、予め条件出しをしておく必要がある。

次に、2番目のスリットを形成するまでの工程について図8及び図9を参照して説明する。なお、図8は同工程の説明に供する上面説明図、図9は同じく側面説明図である。また、図8は図6と対比できるように右から左への順で図示している。
図8(a)に示すように、図6(c)に示すように回転刃70が通過した状態から、テープル若しくは回転刃70を相対的に矢印F方向に距離Lだけ移動させる。この距離Lは、溝30の幅Bと凸部(圧電素子12a)の幅Cの和、すなわち、L=B+Cである。

この状態から、図8(b)に示すように、テーブル若しくは回転軸71を相対的にワークWを通過するように矢印Gの方向(図6(b)の矢印Eと逆方向)に移動させる。これにより、図8(c)及び図9に示すように、圧電素子部材12には2番目の溝30が形成される。

このステップを繰り返して、相対的に回転刃70をワークWの長手方向(圧電素子部材12の配列方向)と直角をなす方向に対し往復運動させながら、相対的に回転刃70をワークWの長手方向に移動させて、図10に示すように、すべての圧電素子部材12に対してすべての溝30を形成する。このとき、圧電素子部材12の端部は溝加工が施される位置に合わせて配列されているので、圧電素子部材12のつなぎ目部分では、必ず、溝30が形成される。

このように、ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工(溝加工)で切削されるように、少なくとも1列に並べて固定配置した後、各圧電素子部材にスリット加工を施して複数の圧電素子を形成することによって、圧電素子部材のつなぎ目部分に必ずスリットを形成することができ、複数の圧電素子部材を並べた長尺の圧電アクチュエータを容易に得ることができる。

この場合、圧電素子部材が隣り合う位置に対応してスリットの幅を示す指標を設け、隣り合う圧電素子部材の端を指標の幅内に位置させて圧電素子部材を並べることによって、容易、かつ、確実に、隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工(溝加工)で切削されるように並べることができる。

次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第2実施形態について図11を参照して説明する。なお、図11は長尺圧電アクチェータの側面説明図である。
ここでは、ベース部材13に圧電素子部材12を配列するときに移動させる、圧電素子部材12が隣り合う位置に対応してスリット30の幅を示す2つの指標50、50を設けた移動体60を備えている。

これら2つの指標50、50の間隔は、コの字の開口幅の中心同士のピッチ(指標50の圧電素子部材に配列方向の幅の中心同士のピッチ)が、前述した、(B+C)・(n+1)になるように設定している。また、移動体60は、ベース部材13近傍で圧電素子部材12の配列方向に移動可能としている。この移動体60は、正確には、(B+C)・(n+1)の移動量で移動する。この移動体60としては、例えば、移動量を最低1μmで測定できる市販のステージを利用しても良い。

そこで、移動体60を(B+C)・(n+1)の移動量で移動させる毎に、圧電素子部材12を指標50、50に合わせて配置する。図11の例では、左側から1番目、2番目の2つの圧電素子部材12(12(A1)、12(A2)と表記)を順次並べた後、移動体60を3番目の圧電素子部材12を並べる位置に移動させた状態であり、3番目の圧電素子部材12(12(A3)と表記)を並べた後、移動体60を移動させて4番目、5番目の圧電素子部材12(12(A4)、12(A5)と表記)を並べる。

このように、圧電素子部材が隣り合う位置に対応してスリットの幅を示す指標を移動可能に設け、指標を移動させながら、隣り合う圧電素子部材の端を指標の幅内に位置させて圧電素子部材を並べることにより、容易、かつ、確実に、隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工(溝加工)で切削されるように並べることができる。

また、圧電素子部材が隣り合う位置に対応し、かつ、圧電素子部材の両端に対応してスリットの幅を示す指標を移動可能に設け、指標を移動させながら、隣り合う圧電素子部材の端を指標の幅内に位置させて圧電素子部材を並べることで、容易、かつ、確実に、隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工(溝加工)で切削されるように並べることができる。

次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第3実施形態について図12を参照して説明する。なお、図12は長尺圧電アクチェータの側面説明図である。
ここでは、ベース部材13に圧電素子部材12を配列するときに移動させる、スリット30の幅を示す1つの指標51を設けた移動体61を備えている。

この場合、移動体61を、正確に、(B+C)・(n+1)移動させて、圧電素子部材12のつなぎ目の位置合わせを行いながら、圧電素子部材12(A1ないしA5)を順次配置する。

このとき、一度に圧電素子部材12の両端で位置合わせを行うわけではないため、移動体60の移動量制御は前記第2実施形態の場合よりも、より正確な位置合わせが必要になる。そのため、指標51の幅(コの字の幅)は、溝30の幅Bに対して狭く設定する。コの字の幅は、溝30の幅Bに対して概略1/2であれば良い。

この実施形態によれば、一箇所での位置合わせで良いため、自動化にした場合、制御が簡単になる。

次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第4実施形態について図13を参照して説明する。なお、図13は長尺圧電アクチェータの側面説明図である。
ここでは、圧電素子部材12の中央部(真中という意味ではない)に第1の指標55を設け、この圧電素子部材12の第1の指標55とベース部材13若しくはベース部材13の近傍に設けた第2の指標56とを合わせながら、圧電素子部材12を配列する。

つまり、圧電素子部材12の所定の位置には線状の第1の指標55を設けている。この第1の指標55は、精密機械加工技術、精密度フォト印刷技術等の応用で形成することができる。ベース部材13に設けた第2の指標56は、長い線56aの両側に許容範囲の短い線56b、56bで構成されている。なお、第2の指標56の長い線56a同士のピッチは、前述した指標50と同様に、(B+C)・(n+1)とする。また、第2の指標56は、ベース部材13に直接設ける必要はなく、他の部材に設けて、圧電素子部材12を配置するときにベース部材13の近傍に配置するようにすることもできる。

そして、圧電素子部材12の第1の指標55をなるべく第2の指標56の長い線56aと合わせ、かつ、短い線56bの間になるよう圧電素子部材12をベース部材13上に配置する。

このように、圧電素子部材に第1の指標を設け、この圧電素子部材とは別の部材に、複数の圧電素子部材を並べたときに隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工で切削される位置になるように規定する第2の指標を設けて、第1の指標と第2の指標を合わせながら、圧電素子部材を並べることで、容易、かつ、確実に、隣り合う圧電素子部材の各端部がスリット加工(溝加工)で切削されるように並べることができる。

次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第5実施形態について図14を参照して説明する。なお、図14は長尺圧電アクチェータの側面説明図である。
ここでは、上記第4実施形態の第2の指標56をベース部材13に沿って移動可能な移動体66に設けている。この移動体66を、正確に、(B+C)・(n+1)移動させて、圧電素子部材12(A1ないしA5)を順次配置することによって、圧電素子部材12のつなぎ目がスリット溝が形成される位置に位置合わせすることができる。

次に、上記第4、第5実施形態のように圧電素子部材の中央部(真中という意味ではない)に第1の指標を設けると共に圧電素子部材の長さを所定の長さに加工する方法について図15を参照して説明する。
ここでは、前述した回転軸71で回転される回転刃70を備えるダイシング加工機を用いる場合で説明する。

図15(a)に示すように、圧電素子部材12を図示しないテーブルに回転軸71と平行になるように所定位置で固定する。このとき、回転刃70の先端の高さ(紙面方向の刃の下面位置)は圧電素子部材12の厚さ(紙面方向)より下に設定している。

そして、テーブルと回転軸71とを相対的に移動させて、図15(b)に示すように、回転刃70が圧電素子部材12を通過するように矢示E方向に移動させ、図15(c)に示すように、圧電素子部材12の一端部を切り落とす。

次いで、図15(d)に示すように、テーブル又は回転刃70を相対的に矢印F方向に所定量だけ移動させ、さらに、回転刃70の高さを圧電素子部材12の上面方向に移動させる。この高さ方向の移動は、回転刃70が僅かに圧電素子部材12の上面に食い込む程度の高さに設定する。

この状態から、テーブルと回転軸71とを相対的に移動させて、図15(e)に示すように、回転刃70が圧電素子部材12を通過するように矢示F方向に移動させ、図15(f)に示すように、圧電素子部材12の所定位置に溝からなる第1の指標55を形成する。

さらに、図15(g)に示すように、テーブル又は回転刃70を相対的に矢印F方向に所定量だけ移動させる(図15(a)の位置から距離(B+C)・(n+1)移動する移動量)。そして、回転刃70の高さを図15(a)と同じ高さに戻す。

この状態から、テーブルと回転軸71とを相対的に移動させて、図15(h)に示すように、回転刃70が圧電素子部材12を通過するように矢示E方向に移動させ、図15(i)に示すように、圧電素子部材12の他端部を切り落とす。

このようにして、同一加工で高精度に圧電素子部材12の長さを規定することができるとともに、第1の指標55を形成できる。なお、圧電素子部材12の第1の指標55が必要ない場合は、指標55を形成するステップを省略すれば良い。

次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第6実施形態について図16及び図17を参照して説明する。なお、各図は長尺圧電アクチェータの側面説明図である。
ここでは、圧電素子部材12の所定の位置には線状の第1の指標55を設けている。一方、ベース部材13の近傍には、第2の指標56を設けたスケール64を配置している。第2の指標56は、長い線56aの両側に許容範囲の短い線56b、56bで構成されている。なお、第2の指標56の長い線56a同士のピッチは、前述した指標50と同様に、(B+C)・(n+1)とする。

そして、ここでも、圧電素子部材12の第1の指標55をなるべく第2の指標56の長い線56aと合わせ、かつ、短い線56bの間になるよう圧電素子部材12をベース部材13上に配置する。

このようにしてベース部材13上に複数の圧電素子部材12を接合配置した後、図17に線J−Jで示すように、第1の指標55よりも下側のカットラインまで、圧電素子部材12の上面部分を研削する。これによって、第1の指標55は取り除かれる。

つまり、圧電素子部材12をベース部材13上に接着固定した場合、圧電素子部材12のベース部材13との接着面と対向する面は、各面同士が、接着剤の厚さの影響や圧電素子部材12自体の厚さの精度により、必ずしも平面度が出ているとは言いがたい。この圧電アクチュエータの圧電素子12aの変位を利用する場合、各圧電素子12aの平面度が必要になるため、圧電素子部材12の上面を平面研削する。この平面研削時に第1の指標55の高さ分だけ平面研削を行うことによって、圧電素子部材12の第1の指標55も取り除くことができる。特に、圧電素子部材12の上面に対して溝を形成することで側面に現れる第1の指標55を設けた場合は、特別な除去ステップを必要としないで第1の指標を除去することができる。

次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第7実施形態について図18を参照して説明する。なお、図18は同実施形態の説明に供する説明図である。
ここでは、圧電素子部材12を載置固定するベース部材13は、載置物をX−Y方向に高精度に移動可能なステージ72に載置される。一方、ベース部材13上に圧電素子部材12を並べるときに隣り合う圧電素子部材12の間隔に対応する指標70がステージ72上のベース部材13などを撮像するカメラなどの撮像手段の撮像面71に設けられる。

そして、ベース部材13上に1つの圧電素子部材12を載置した後、ステージ72を矢示方向に移動させてベース部材13に移動させ、当該圧電素子部材12の端部を撮像手段で撮像しながら撮像面71の指標70内に位置させた状態で、隣り合う次の圧電素子部材12をベース部材13上に固定し、更にステージ72を矢示方向に移動させてベース部材13に移動させ、次の圧電素子部材12の端部を撮像手段で撮像しながら撮像面71の指標70内に位置させた状態で、更に次の圧電素子部材12をベース部材13に固定することを繰り返して、ベース部材13上に圧電素子部材12を並べて固定配置する。

これにより、圧電素子部材12の両端が指標70内に位置するように並べるだけで、各圧電素子部材12の端部が、スリット加工を施すときにスリットが形成される位置に配置される。

このように、隣り合う圧電素子部材の間隔に対応する指標に対し、圧電素子部材を並べて配置するベース部材を移動させて、圧電素子部材を指標で規定される範囲内に順次配置することで圧電素子部材を並べる構成とすることで、簡単な構成で圧電素子部材を端部がスリット加工を施すときにスリットが形成される位置に配置されるようにベース部材上に並べることができる。

次に、本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第8実施形態について図19を参照して説明する。なお、図19は同実施形態の説明に供する平面説明図である。
ここでは、上記第7実施形態における撮像面71に、隣り合う圧電素子部材12の間隔に対応し、かつ、圧電素子部材12の並び方向の配置位置に対応するする指標80aと、圧電素子部材12の並び方向と直交する方向の配置位置に対応する指標80bとで構成される指標80を、圧電素子部材12の配置位置に対応して2箇所に設けている。

そして、図19に示すように、圧電素子部材12を並び方向の両端部が2つの指標80、80の指標80a、80a内に入り、かつ、並び方向と直交する方向の両端部が指標80b、80b内に入るようにベース部材13上に固定し、この状態からベース部材13を高精度に移動させて、固定済みの圧電素子部材12の端部が一方の指標80の指標80a、80b内に入る状態にした後、次の圧電素子部材12を並び方向の両端部が2つの指標80、80の指標80a、80a内に入り、かつ、並び方向と直交する方向の両端部が指標80b、80b内に入るようにベース部材13上に固定することを繰り返して、ベース部材13上の複数の圧電素子部材12を並べて固定配置する。

このとき、隣り合う圧電素子部材12、12間は指標80aによってスリット加工を施すときにスリットが形成される位置に配置されるとともに、圧電素子部材12の並び方向と直交する方向は指標80bによって規定される位置に配置されて、圧電素子部材12の並び方向と直交する方向も高精度に位置決めしながら、ベース部材13上に固定配置することができる。

このように、隣り合う圧電素子部材の間隔に対応する指標並びに圧電素子部材の並び方向及び並び方向と直交する方向の配置位置に対応する指標に対し、圧電素子部材を並べて配置するベース部材を移動させて、圧電素子部材を指標で規定される範囲内に順次配置することで圧電素子部材を並べることで、複数の圧電素子部材を端部がスリット内に位置する状態で並び方向と直交する方向を含めて高精度にベース部材上の固定配置することができる。

なお、上記実施形態で説明した指標の形状は上記形状に限定されるものではなく、位置合わせできる形状であれば良い。また、カメラなどの撮像手段でベース部材及び圧電素子部材を画像で取り込み、画像内に指標を設けることも、ディスプレイで指標を表示することもでき、必ずしも、ベース部材や別部材に指標を設ける場合に限定されるものではない。さらに、カメラ等で画像を取り込んで、圧電素子部材の両端エッジ部を検出し、指標を直接表示せずに、数値で判定する場合も「指標を有する」ことに含まれる。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置の一例について図20を参照して説明する。なお、図20は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図である。
この画像形成装置は、媒体の印字領域幅以上の長さのノズル列(ノズル5を並べたもの)を有するフルライン型ヘッドからなる記録ヘッドを搭載したライン型画像形成装置である。

この画像形成装置は、例えばブラック(K)、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)の各色の液滴を吐出する、フルライン型の4個の本発明に係る液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッド101k、101c、101m、101y(色を区別しないときには「記録ヘッド101)という。)を備え、各記録ヘッド101はノズル5を形成した面を下方に向けて図示しないヘッドホルダに装着している。また、各記録ヘッド101に対応してヘッドの性能を維持回復するための維持回復機構102を備え、パージ処理、ワイピング処理などのヘッドの性能維持動作時には、記録ヘッド101と維持回復機構102とを相対的に移動させて、記録ヘッド101のノズル面に維持回復機構102を構成するキャッピング部材などを対向させる。

なお、ここでは、記録ヘッド101は、用紙搬送方向上流側から、ブラック、シアン、マゼンダ、イエローの順に各色の液滴を吐出する配置としているが、配置及び色数はこれに限るものではない。また、ライン型ヘッドとしては、各色の液滴を吐出する複数のノズル列を所定間隔で設けた1又は複数のヘッドを用いることもできるし、ヘッドとこのヘッドに記録液を供給する記録液カートリッジを一体とすることも別体とすることもできる。

給紙トレイ103は、用紙104を載置する底板105と、用紙104を給送するための給紙コロ(半月コロ)106を備えている。底板105はベース108に取り付けられた回転軸109を中心に回転可能であって、加圧ばね110によって給紙コロ106側に付勢されている。なお、給紙コロ106に対向して、用紙104の重送を防止するため、人工皮、コルク材等の摩擦係数の大きい材質からなる図示しない分離パッドが設けられている。また、底板105と給紙コロ106の当接を解除する図示しないリリースカムが設けられている。

そして、この給紙トレイ103から給紙された用紙104を搬送ローラ112とピンチローラ113との間に送り込むために用紙104を案内するガイド部材110、111を設けている。

搬送ローラ112は、図示しない駆動源によって回転されて、送り込まれる用紙104を記録ヘッド101に対向して配置したプラテン115に向けて搬送する。プラテン115は、記録ヘッド101と用紙104とのギャップを維持することができるものであれば、剛体構造体でもよいし、搬送ベルトなどを用いることもできる。

プラテン115の下流側には、画像が形成された用紙104を排紙するための排紙ローラ116及びこれに対向する拍車117を配置し、排紙ローラ116によって画像が形成された用紙104を排紙トレイ118に排紙する。

また、排紙トレイ118と反対側には、用紙104を手差し給紙するための手差しトレイ121と、手差しトレイ121に載置された用紙104を給紙する給紙コロ122を配置している。この手差しトレイ121から給紙される用紙104はガイド部材111に案内されて搬送ローラ112とピンチローラ113との間に送り込まれる。

この画像形成装置においては、待機状態では、リリースカムが給紙トレイ103底板105を所定位置まで押し下げ、底板105と給紙コロ106との当接を解除している。そして、この状態で、搬送ローラ112が回転されることによって、この回転駆動力が図示しないギア等により給紙コロ106及び図示しないリリースカムに伝達されて、リリースカムが底板105から離れて底板105が上昇し、給紙コロ106と用紙104が当接し、給紙コロ106の回転に伴って用紙104がピックアップされて給紙が開始され、図示しない分離爪によって一枚ずつ分離される。

そして、給送コロ106の回転によって用紙104がガイド部材110、111に案内されて搬送ローラ112とピンチローラ113との間に送り込まれ、搬送ローラ112によって用紙104がプラテン115上に送り出される。その後、用紙104の後端は給紙コロ106のDカット部に対向して当接が解除され、搬送ローラ112によってプラテン115上に搬送される。なお。給紙コロ106と搬送ローラ112との間に、補助的に、搬送回転対を設けることもできる。

このようにしてプラテン115上を搬送される用紙104に対して、記録ヘッド1から液滴を吐出して画像を形成し、画像が形成された用紙104は排紙ローラ116によって排紙トレイ118に排紙される。なお、画像形成時における紙搬送の速度と液滴吐出のタイミングは図示しない制御部によって制御される。

また、プラテン115は、記録ヘッド101と用紙104とのギャップを維持することができるものであれば、剛体構造体でもよいし、搬送ベルトなどを用いることもできる。

このように、本発明に係るライン型の液体吐出ヘッドを備えることによって、高速で高画質画像を形成することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置の他の例について図21及び図22を参照して説明する。なお、図21は同装置の機構部の全体構成を説明する概略構成図、図22は同機構部の要部平面説明図である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板221A、221Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図20で矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。

このキャリッジ33には、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(K)の各色のインク滴を吐出するための本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッド234a、234b(区別しないときは「記録ヘッド234」という。)を複数のノズルからなるノズル列を主走査方向と直交する副走査方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。

記録ヘッド234は、それぞれ2つのノズル列を有し、記録ヘッド234aの一方のノズル列はブラック(K)の液滴を、他方のノズル列はシアン(C)の液滴を、記録ヘッド234bの一方のノズル列はマゼンタ(M)の液滴を、他方のノズル列はイエロー(Y)の液滴を、それぞれ吐出する。

また、キャリッジ233には、記録ヘッド234のノズル列に対応して各色のインクを供給するためのヘッドタンク235a、235b(区別しないときは「ヘッドタンク235」という。)を搭載している。このヘッドタンク235には、カートリッジ装填部204に着脱自在に装着される各色の記録液カートリッジ210y、210m、210c、210kから、供給ポンプユニット205によって各色の供給チューブ236を介して、各色の記録液が補充供給される。

一方、給紙トレイ202の用紙積載部(圧板)241上に積載した用紙242を給紙するための給紙部として、用紙積載部241から用紙242を1枚ずつ分離給送する半月コロ(給紙コロ)243及び給紙コロ243に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド244を備え、この分離パッド244は給紙コロ243側に付勢されている。

そして、この給紙部から給紙された用紙242を記録ヘッド234の下方側に送り込むために、用紙242を案内するガイド部材245と、カウンタローラ246と、搬送ガイド部材247と、先端加圧コロ249を有する押さえ部材248とを備えるとともに、給送された用紙242を静電吸着して記録ヘッド234に対向する位置で搬送するための搬送手段である搬送ベルト251を備えている。

この搬送ベルト251は、無端状ベルトであり、搬送ローラ252とテンションローラ253との間に掛け渡されて、ベルト搬送方向(副走査方向)に周回するように構成している。また、この搬送ベルト251の表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ256を備えている。この帯電ローラ256は、搬送ベルト251の表層に接触し、搬送ベルト251の回動に従動して回転するように配置されている。この搬送ベルト251は、図示しない副走査モータによってタイミングを介して搬送ローラ252が回転駆動されることによってベルト搬送方向に周回移動する。

さらに、記録ヘッド234で記録された用紙242を排紙するための排紙部として、搬送ベルト251から用紙242を分離するための分離爪261と、排紙ローラ262及び排紙コロ263とを備え、排紙ローラ262の下方に排紙トレイ203を備えている。

また、装置本体201の背面部には両面ユニット271が着脱自在に装着されている。この両面ユニット271は搬送ベルト251の逆方向回転で戻される用紙242を取り込んで反転させて再度カウンタローラ246と搬送ベルト251との間に給紙する。また、この両面ユニット271の上面は手差しトレイ272としている。

さらに、キャリッジ233の走査方向一方側の非印字領域には、記録ヘッド234のノズルの状態を維持し、回復するための回復手段を含む維持回復機構281を配置している。

この維持回復機構281には、記録ヘッド234の各ノズル面をキャピングするための各キャップ部材(以下「キャップ」という。)282a、282b(区別しないときは「キャップ282」という。)と、ノズル面をワイピングするためのブレード部材であるワイパーブレード283と、増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける空吐出受け284などを備えている。

また、キャリッジ233の走査方向他方側の非印字領域には、記録中などに増粘した記録液を排出するために記録に寄与しない液滴を吐出させる空吐出を行うときの液滴を受ける液体回収容器であるインク回収ユニット(空吐出受け)288を配置し、このインク回収ユニット288には記録ヘッド234のノズル列方向に沿った開口部289などを備えている。

このように構成したこの画像形成装置においては、給紙トレイ202から用紙242が1枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙242はガイド245で案内され、搬送ベルト251とカウンタローラ246との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド237で案内されて先端加圧コロ249で搬送ベルト251に押し付けられ、略90°搬送方向を転換される。

このとき、帯電ローラ256に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト251が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。このプラス、マイナス交互に帯電した搬送ベルト251上に用紙242が給送されると、用紙242が搬送ベルト251に吸着され、搬送ベルト251の周回移動によって用紙242が副走査方向に搬送される。

そこで、キャリッジ233を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド234を駆動することにより、停止している用紙242にインク滴を吐出して1行分を記録し、用紙242を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙242の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙242を排紙トレイ203に排紙する。

このようなシリアル型画像形成装置であっても、本発明に係る長尺の液体吐出ヘッドを備えることによって、1スキャン(キャリッジの1走査)で印字できる範囲が多くなるので、ライン型ヘッドには及ばなくとも、相対的に、高速で高画質画像を記録できるようになる。

なお、上記実施形態では本発明に係る液体吐出装置をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ/ファックス/コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、インク以外の液体である記録液や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。

本発明に係る圧電アクチュエータを備えた本発明に係る液体吐出ヘッドの側面説明図である。 同じく平面説明図である。 図2のA−A線に沿う液室長手方向の断面説明図である。 同じく液室短手方向の要部断面説明図である。 本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第1実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。 1番目のスリットを形成するまでの工程の説明に供する上面説明図である。 同じく1番目のスリットを形成した状態の側面説明図である。 2番目のスリットを形成するまでの工程の説明に供する上面説明図である。 同じく2番目までのスリットを形成した状態の側面説明図である。 スリット加工を終了した状態の側面説明図である。 本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第2実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。 本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第3実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。 本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第4実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。 本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第5実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。 圧電素子部材に対する長さの規定及び指標形成の工程の説明に供する上面説明図である。 本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第6実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。 同じく圧電素子部材の上面研削の説明に供する側面説明図である。 本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第7実施形態の説明に供するスリット加工前の部材の側面説明図である。 本発明に係る圧電アクチュエータの製造方法の第8実施形態の説明に供する平面説明図である。 本発明に係る液体吐出装置を備えた本発明に係る画像形成装置の一例を示す概略構成図である。 本発明に係る液体吐出装置を含む画像形成装置の他の例を示す概略構成図である。 同じく要部平面説明図である。

符号の説明

1…流路基板
2…振動板
3…ノズル板
5…ノズル
6…加圧液室
12…圧電素子部材
12a…圧電素子
13…ベース部材
30…スリット(溝)
31…隙間
32…切り込み部
50…指標
55…第1の指標
56…第2の指標
60、61、64…移動体
70、80…指標
71…撮像面
101…記録ヘッド(液体吐出ヘッド)
134…記録ヘッド(液体吐出ヘッド)

Claims (13)

  1. ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
    前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
    前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を設け、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
    ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
  2. ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
    前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
    前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を移動可能に設け、前記指標を移動させながら、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
    ことを特徴とする圧電アクチェータの製造方法。
  3. ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
    前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
    前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応し、かつ、前記圧電素子部材の両端に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を移動可能に設け、前記指標を移動させながら、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
    ことを特徴とする圧電アクチェータの製造方法。
  4. ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
    前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
    前記圧電素子部材に第1の指標を設け、この圧電素子部材とは別の部材に、複数の圧電素子部材を並べたときに隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削される位置になるように規定する第2の指標を設けて、前記第1の指標と第2の指標を合わせながら、前記圧電素子部材を並べる
    ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
  5. 請求項に記載の圧電アクチュエータの製造方法において、前記第2の指標が前記ベース部材に設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
  6. ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
    前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
    前記圧電素子部材に第1の指標を設け、複数の圧電素子部材を並べたときに隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削される位置になるように移動される第2の指標を有し、前記第1の指標と第2の指標を合わせた後前記第2の指標を移動して、前記圧電素子部材を並べる
    ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
  7. 請求項4ないし6のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法において、前記圧電素子部材の第1の指標を除去する工程を有することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
  8. ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
    前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
    前記スリットの幅以下の幅を示す指標を設け、
    前記指標に対し、前記圧電素子部材が並べて配置されるベース部材を移動させて、
    隣り合う2つの前記圧電素子部材の間の隙間が、前記指標で規定される範囲内に入るように、
    前記圧電素子部材を順次配置することで、前記圧電素子部材を並べる
    ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
  9. ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
    前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
    前記スリットの幅以下の幅を示す第1の指標並びに前記圧電素子部材の並び方向と直交する方向の配置位置に対応する第2の指標に対し、
    前記圧電素子部材が並べて配置されるベース部材を移動させて、
    前記圧電素子部材の並び方向と直交する方向の位置が前記第2の指標で規定される範囲内に入り、
    隣り合う2つの前記圧電素子部材の間の間隔が前記第1の指標で規定される範囲内に入るように、
    前記圧電素子部材を順次配置することで、圧電素子部材を並べる
    ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
  10. 請求項5ないし9のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法で製造されたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
  11. 液体を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の少なくとも1つの壁面を形成する振動板と、この振動板を変形させる圧電アクチュエータとを有する液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータが請求項10に記載の圧電アクチュエータであることを特徴とする液体吐出ヘッド。
  12. 液体吐出ヘッドから液滴を吐出する液体吐出装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項11に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする液体吐出装置。
  13. 液体吐出ヘッドから液滴を吐出させて画像を形成する画像形成装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項11に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
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