JP5233130B2 - 圧電アクチュエータ、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、画像形成装置 - Google Patents
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Description
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を設け、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
構成とした。
複数の圧電素子がスリットで分けられて形成された少なくとも3個以上の圧電素子部材が、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置され、
前記3個以上の圧電素子部材のうち、両側の圧電素子部材を除く圧電素子部材のうちの少なくとも1つの圧電素子部材の両端部が削られ、
前記削られた部分は前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達していない
構成とした。
ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しないスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する構成とした。
長尺のベース部材13上に3個以上の圧電素子部材12を並べて配置して圧電アクチェータを構成する。圧電素子部材12を並べた後に溝(スリット)加工を施してスリットを形成することにより、複数の圧電素子12aを形成するが、複数の圧電素子12aを等間隔で形成するためには、個々の圧電素子部材12のつなぎ目が問題になる。つまり、スリットの幅内につなぎ目が位置しなければならない。このつなぎ目を正確に位置決めすることによって、長尺圧電アクチェータの製造が可能になる。
先ず、1番目のスリットを形成するまでの工程について図6及び図7を参照して説明する。なお、図6は同工程の説明に供する上面説明図、図7は同じく側面説明図である。
ここでは加工機としてダイシング加工機を用いた例で説明する。このダイシング加工機は、回転刃70を回転軸71で回転させながらワークを研削する。
図8(a)に示すように、図6(c)に示すように回転刃70が通過した状態から、テープル若しくは回転刃70を相対的に矢印F方向に距離Lだけ移動させる。この距離Lは、溝30の幅Bと凸部(圧電素子12a)の幅Cの和、すなわち、L=B+Cである。
ここでは、ベース部材13に圧電素子部材12を配列するときに移動させる、圧電素子部材12が隣り合う位置に対応してスリット30の幅を示す2つの指標50、50を設けた移動体60を備えている。
ここでは、ベース部材13に圧電素子部材12を配列するときに移動させる、スリット30の幅を示す1つの指標51を設けた移動体61を備えている。
ここでは、圧電素子部材12の中央部(真中という意味ではない)に第1の指標55を設け、この圧電素子部材12の第1の指標55とベース部材13若しくはベース部材13の近傍に設けた第2の指標56とを合わせながら、圧電素子部材12を配列する。
ここでは、上記第4実施形態の第2の指標56をベース部材13に沿って移動可能な移動体66に設けている。この移動体66を、正確に、(B+C)・(n+1)移動させて、圧電素子部材12(A1ないしA5)を順次配置することによって、圧電素子部材12のつなぎ目がスリット溝が形成される位置に位置合わせすることができる。
ここでは、前述した回転軸71で回転される回転刃70を備えるダイシング加工機を用いる場合で説明する。
ここでは、圧電素子部材12の所定の位置には線状の第1の指標55を設けている。一方、ベース部材13の近傍には、第2の指標56を設けたスケール64を配置している。第2の指標56は、長い線56aの両側に許容範囲の短い線56b、56bで構成されている。なお、第2の指標56の長い線56a同士のピッチは、前述した指標50と同様に、(B+C)・(n+1)とする。
ここでは、圧電素子部材12を載置固定するベース部材13は、載置物をX−Y方向に高精度に移動可能なステージ72に載置される。一方、ベース部材13上に圧電素子部材12を並べるときに隣り合う圧電素子部材12の間隔に対応する指標70がステージ72上のベース部材13などを撮像するカメラなどの撮像手段の撮像面71に設けられる。
ここでは、上記第7実施形態における撮像面71に、隣り合う圧電素子部材12の間隔に対応し、かつ、圧電素子部材12の並び方向の配置位置に対応するする指標80aと、圧電素子部材12の並び方向と直交する方向の配置位置に対応する指標80bとで構成される指標80を、圧電素子部材12の配置位置に対応して2箇所に設けている。
この画像形成装置は、媒体の印字領域幅以上の長さのノズル列(ノズル5を並べたもの)を有するフルライン型ヘッドからなる記録ヘッドを搭載したライン型画像形成装置である。
この画像形成装置はシリアル型画像形成装置であり、左右の側板221A、221Bに横架したガイド部材である主従のガイドロッド231、232でキャリッジ233を主走査方向に摺動自在に保持し、図示しない主走査モータによってタイミングベルトを介して図20で矢示方向(キャリッジ主走査方向)に移動走査する。
2…振動板
3…ノズル板
5…ノズル
6…加圧液室
12…圧電素子部材
12a…圧電素子
13…ベース部材
30…スリット(溝)
31…隙間
32…切り込み部
50…指標
55…第1の指標
56…第2の指標
60、61、64…移動体
70、80…指標
71…撮像面
101…記録ヘッド(液体吐出ヘッド)
134…記録ヘッド(液体吐出ヘッド)
Claims (13)
- ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を設け、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を移動可能に設け、前記指標を移動させながら、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチェータの製造方法。 - ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材が隣り合う位置に対応し、かつ、前記圧電素子部材の両端に対応して前記スリットの幅以下の幅を示す指標を移動可能に設け、前記指標を移動させながら、隣り合う前記圧電素子部材の端を前記指標の幅内に位置させて前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチェータの製造方法。 - ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材に第1の指標を設け、この圧電素子部材とは別の部材に、複数の圧電素子部材を並べたときに隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削される位置になるように規定する第2の指標を設けて、前記第1の指標と第2の指標を合わせながら、前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 請求項4に記載の圧電アクチュエータの製造方法において、前記第2の指標が前記ベース部材に設けられていることを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
- ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記圧電素子部材に第1の指標を設け、複数の圧電素子部材を並べたときに隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削される位置になるように移動される第2の指標を有し、前記第1の指標と第2の指標を合わせた後前記第2の指標を移動して、前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 請求項4ないし6のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法において、前記圧電素子部材の第1の指標を除去する工程を有することを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。
- ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記スリットの幅以下の幅を示す指標を設け、
前記指標に対し、前記圧電素子部材が並べて配置されるベース部材を移動させて、
隣り合う2つの前記圧電素子部材の間の隙間が、前記指標で規定される範囲内に入るように、
前記圧電素子部材を順次配置することで、前記圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - ベース部材上に、スリット加工で分けられ複数の圧電素子を形成する少なくとも3個以上の圧電素子部材を、隣り合う圧電素子部材の各端部が前記スリット加工で切削されるように、1つのベース部材上に、隣り合う圧電素子部材と隙間を空けて、少なくとも1列に並べて接合配置した後、
前記各圧電素子部材に、前記圧電素子部材と前記ベース部材との接合面に到達しない等間隔のスリット加工を施して前記複数の圧電素子を形成する圧電アクチュエータの製造方法において、
前記スリットの幅以下の幅を示す第1の指標並びに前記圧電素子部材の並び方向と直交する方向の配置位置に対応する第2の指標に対し、
前記圧電素子部材が並べて配置されるベース部材を移動させて、
前記圧電素子部材の並び方向と直交する方向の位置が前記第2の指標で規定される範囲内に入り、
隣り合う2つの前記圧電素子部材の間の間隔が前記第1の指標で規定される範囲内に入るように、
前記圧電素子部材を順次配置することで、圧電素子部材を並べる
ことを特徴とする圧電アクチュエータの製造方法。 - 請求項5ないし9のいずれかに記載の圧電アクチュエータの製造方法で製造されたことを特徴とする圧電アクチュエータ。
- 液体を吐出するノズルと、このノズルが連通する液室と、この液室の少なくとも1つの壁面を形成する振動板と、この振動板を変形させる圧電アクチュエータとを有する液体吐出ヘッドにおいて、前記圧電アクチュエータが請求項10に記載の圧電アクチュエータであることを特徴とする液体吐出ヘッド。
- 液体吐出ヘッドから液滴を吐出する液体吐出装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項11に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする液体吐出装置。
- 液体吐出ヘッドから液滴を吐出させて画像を形成する画像形成装置において、前記液体吐出ヘッドが請求項11に記載の液体吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
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