JP7047423B2 - 液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置 - Google Patents
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しかしながら、長尺化した圧電素子部材では、圧電素子柱の変位特性をいずれの部位においても等しくすることは困難であり、特に、両端部の変位量が、それ以外の領域とは異なる傾向がみられる。その結果、液滴の吐出特性がばらついてしまうおそれがある。
このような現象は、特許文献1のように両端もしくは両端付近の圧電素子の幅を幅広に形成することのみによっては解決されない。
図1は液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図2は図1のX-X線に沿うノズル配列方向と直交する方向(液室長手方向)の断面説明図、図3は図1のY-Y線に沿うノズル配列方向(液室短手方向)の断面説明図である。
圧電素子部材12は、個別液室6のそれぞれに対応する圧電素子柱である第1の圧電素子柱12Aと、第1の圧電素子柱に溝部12Cを介して隣接する第2の圧電素子柱12Bとを有する。
また、電極15を有する給電部材を備え、電極15がいずれかの圧電素子柱に接続される。本実施形態においては、電極15は第1の圧電素子柱12Aに接続されている。
ノズル板1の材料としては、金属部材、樹脂部材、樹脂層と金属層の積層部材などを用いることができ、例えば、ニッケル(Ni)の金属プレートからエレクトロフォーミング法(電鋳)で製造したものや、ステンレス材をプレス加工により形成したもの等が挙げられる。
ノズル4はテーパ形状とすることができ、ピッチを150dpiとなるように形成することができる。
また、このノズル板1の液滴吐出側面(吐出方向の表面)には撥水層を設けてもよい。
流路板2の材料としては、金属板や単結晶シリコン基板が挙げられる。
例えば、ステンレス材にプレスまたはエッチング(例えば、酸性エッチング液によるエッチング)等の加工を行うことにより、または単結晶シリコン基板をエッチングすることにより、個別液室6、液体供給路7、液体導入部8などを構成する溝部を形成することができる。加工で残された部分が、個別液室6を画成する隔壁5となる。流体抵抗部を兼ねた液体供給路7は打ち抜き幅を狭くすることにより形成することができる。
振動板部材3は、薄膜のダイアフラム部3bと、島状凸部(アイランド部)3aと、梁を含む厚膜部と、インク流入口となるフィルタ部9とを備え、例えば、電鋳工法により形成されたニッケル合金メッキ膜とを2層重ねることにより形成される。
ベース部材13の材料としては、例えば、ステンレス材が挙げられる。
本実施形態においては、電極15が個別液室6のそれぞれに対応した1つおきの圧電素子柱である第1の圧電素子柱12Aに接続されているため、第1の圧電素子柱を駆動圧電素子柱12A、第2の圧電素子柱を被駆動圧電素子柱12Bとして説明するが、圧電素子部材12の構成としてはこれに限定されない。
これにより駆動圧電素子柱12Aへの駆動電圧印加が制御される。
フレーム部材20としては、例えば、エポキシ系樹脂あるいは熱可塑性樹脂であるポリフェニレンサルファイト等で射出成形により形成されたものであってもよく、ステンレス材の切削加工によって形成されたものであってもよい。
ステンレス材からなるフレーム部材20と振動板部材3とは、ギャップ材を含んだ接着層をパターニングして接着することで接合される。
図8のグラフの横軸はノズル配列方向における位置を示しており、一方の端部のノズルN1の位置を「1」、他方の端部のノズルNnの位置を「n」で表している。縦軸は、ノズルから吐出される液滴の吐出速度を表している。
図示されているように、ノズル位置が両端側から中央へ向かうに従って、なだらかに吐出速度が低下する減少がみられる。
また、ノズル配列方向における中央部に位置する第1の圧電素子柱12Aの幅は、端部に位置する第1の圧電素子柱12Aの幅よりも大きい構成となっている。
よって、第1の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12Aの幅を、ノズル配列方向の中央部で最も広く(太く)、両端部で最も狭く(細く)し、端部から中央部へ向けてノズル位置に応じて大きくする(太くする)構成とすることにより、中央部に向かうに従ってノズルからの液滴吐出速度を向上させることができ、図8に示すような吐出速度の低下を相殺し、吐出速度の均一化を実現することができる。
図1に示したように、ノズル列における一方の端部のノズルをN1(1番目のノズル)、他方の端部のノズルをNn(n番目のノズル)として表したとき、一方の端部のノズルN1に対応する第1の圧電素子柱12Aの幅をW1、他方の端部のノズルNnに対応する第1の圧電素子柱12Aの幅をWnとして表す。
nの値は、特に限定されず、目的(例えば、要求される解像度等)に応じて適宜選択することができる。例えば、n=320とすることができる。
W1<W2<W3<…<Wa 式(1)
Wa≒Wa+1 式(2)
Wa+1>…>Wn-2>Wn-1>Wn 式(3)
一方nが奇数の場合、中央に位置するノズルの番号は(n+1)/2であり、これをaで表すと、中央ノズルに対応する第1の圧電素子柱12Aの幅はWaとして表され、幅の値は以下の式(4)及び式(5)関係を満たす。
W1<W2<W3<…<Wa 式(4)
Wa>…>Wn-2>Wn-1>Wn 式(5)
圧電素子部材12は、個別液室6に対応する第1の圧電素子柱12Aと、第1の圧電素子柱に溝部12Cを介して隣接する第2の圧電素子柱12Bとを有する。
第一の態様では、溝部12Cのノズル配列方向における溝幅Gは、その位置がノズル配列方向の端部から中央部へ向かうに従って小さくなる。
また、ノズル配列方向における中央部に位置する溝部12Cの幅Gは、端部に位置する溝部12Cの幅Gよりも小さい。
図4(A)は一方の端部側(図1の1番目側)、図4(B)は中央(図1のa番目を含む領域)、図4(C)は他方の端部側(図1のn番目側)におけるノズル配列方向(図1のY-Y線に沿う方向)の断面図である。
また、図4(D)は、ノズル配列方向における第1の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12Aの幅Wと、溝部12Cの幅Gとの関係を示したグラフである。
また、一方の端部側の溝部12Cの幅G1、他方の端部側の溝部12Cの幅をGn、中央の溝部12Cの幅Gaは、図4に示すようにG1>G2>Ga、Gn>Gn-1>Gaとなっている。
溝部12Cの加工方法としては、例えば、ダイシング加工やワイヤーカット加工などが挙げられる。
圧電素子部材12は、個別液室6に対応する第1の圧電素子柱12Aと、第1の圧電素子柱に溝部12Cを介して隣接する第2の圧電素子柱12Bとを有する。
第二の態様では、溝部12Cのノズル配列方向における溝幅Gが一定である。ノズル配列方向において、第1の圧電素子柱12Aを画成する一対の溝部12Cの間隔が、ノズル配列方向の端部から中央部へ向かうに従って大きくなっている。
図5(A)は一方の端部側(図1の1番目側)、図5(B)は中央(図1のa番目を含む領域)、図5(C)は他方の端部側(図1のn番目側)におけるノズル配列方向(図1のY-Y線に沿う方向)の断面図である。
また、図5(D)は、ノズル配列方向における第1の圧電素子柱(駆動圧電素子柱)12Aの幅Wと、溝部12Cの幅Gとの関係を示したグラフである。
一方の端部側の溝部12Cの幅G1、他方の端部側の溝部12Cの幅をGn、中央の溝部12Cの幅Gaは、図6に示す様に一定(G1=Ga=Gn)であるが、第1の圧電素子柱12Aを画成する一対の溝部12Cのノズル配列方向における間隔(ピッチ)が異なっている。
本実施態様では溝部12Cの幅Gを調整する加工が不要となるため、第1の圧電素子柱12Aの幅Wが中央部へ向かうに従って大きくなった圧電素子部材12を容易に製造することができる。
なお、本実施形態は、個別液室内のインクを循環させる循環型液体吐出ヘッドにも適応可能である。
本願において、吐出される液体は、ヘッドから吐出可能な粘度や表面張力を有するものであればよく、特に限定されないが、常温、常圧下において、または加熱、冷却により粘度が30mPa・s以下となるものであることが好ましい。より具体的には、水や有機溶媒等の溶媒、染料や顔料等の着色剤、重合性化合物、樹脂、界面活性剤等の機能性付与材料、DNA、アミノ酸やたんぱく質、カルシウム等の生体適合材料、天然色素等の可食材料、などを含む溶液、懸濁液、エマルジョンなどであり、これらは例えば、インクジェット用インク、表面処理液、電子素子や発光素子の構成要素や電子回路レジストパターンの形成用液、3次元造形用材料液等の用途で用いることができる。
2 流路板(液室基板)
3 振動板部材
3a アイランド部
3b ダイアフラム部
4 ノズル
5 隔壁
6 個別液室
7 液体供給路
8 液体導入部
9 フィルタ部
10 共通液室
11 インク供給口
12 圧電素子部材(積層圧電素子)
12A 第1の圧電素子柱(駆動圧電素子柱、駆動部)
12B 第2の圧電素子柱(非駆動圧電素子柱、非駆動部)
12C 溝部
13 ベース部材
15 電極(FPC)
20 フレーム部材
30 振動領域
Claims (8)
- 液滴を吐出する複数のノズルと、
前記ノズルが連通する複数の個別液室と、
前記個別液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板部材と、
前記振動板部材と接続され、前記複数の個別液室のそれぞれに対応する複数の圧電素子柱を有する圧電素子部材と、を備え、
複数の前記圧電素子柱のノズル配列方向における幅は、その位置が前記ノズル配列方向の端部から中央部に向かうに従って大きくなることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 液滴を吐出する複数のノズルと、
前記ノズルが連通する複数の個別液室と、
前記個別液室の少なくとも一部の壁面を形成する振動板部材と、
前記振動板部材と接続され、前記複数の個別液室のそれぞれに対応する複数の圧電素子柱を有する圧電素子部材と、を備え、
ノズル配列方向における中央部に位置する前記圧電素子柱の幅は、端部に位置する前記圧電素子柱の幅よりも大きいことを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記圧電素子部材は、前記個別液室に対応する第1の圧電素子柱と、前記第1の圧電素子柱に溝部を介して隣接する第2の圧電素子柱とを有し、
前記溝部の前記ノズル配列方向における溝幅は、その位置が前記ノズル配列方向の端部から中央部へ向かうに従って小さくなることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記圧電素子部材は、前記個別液室に対応する第1の圧電素子柱と、前記第1の圧電素子柱に溝部を介して隣接する第2の圧電素子柱とを有し、
ノズル配列方向における中央部に位置する前記溝部の幅は、端部に位置する前記溝部の幅よりも小さいことを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記圧電素子部材は、前記個別液室に対応する第1の圧電素子柱と、前記第1の圧電素子柱に溝部を介して隣接する第2の圧電素子柱とを有し、
前記溝部の前記ノズル配列方向における溝幅が一定であることを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記ノズル配列方向において、前記第1の圧電素子柱を画成する一対の前記溝部の間隔が、前記ノズル配列方向の端部から中央部へ向かうに従って大きくなっていることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出ヘッド。
- 請求項1から6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体吐出ユニット。
- 請求項1から6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えることを特徴とする液体を吐出する装置。
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