JP5218646B2 - 可変容量モジュールおよび整合回路モジュール - Google Patents
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Description
また、この発明の可変容量モジュールの第1固定容量素子と第2固定容量素子とは、第1固定容量素子と第2固定容量素子との双方に共通な内層平板電極を用いて形成されている。
この構成では、第1固定容量素子および第2固定容量素子のそれぞれを個別に形成するよりも、これらの素子同士が接続する接続端側となる内層平板電極を共通化することで、小型化が可能になる。また、第1固定容量素子と第2固定容量素子との間の接続電極パターンが無いので、当該接続電極パターンが積層基板内の他の電極と高周波的に不要に結合する等の不具合が発生せず、特性の劣化を防止できる。
が、所定形状の平板電極パターンで形成されている。この際、固定容量素子Ce4の一方電極Ce4aは、積層方向に見て最上層である第17層におけるMEMS素子の実装領域と同じである第3領域A103内に配置されるように形成されている。
例えば、図5(A)に示す整合回路モジュール1’の構成であれば、LC回路網10の第1入出力ポートP1側にオープンスタブStub1がスイッチ素子SWを介して接続され、第2入出力ポートP2側にオープンスタブStub2が接続されている。これらオープンスタブStub1,Stub2の電気長は同じであっても異なっていても良く、所望とするインピーダンスマッチング範囲に応じて適宜設定すればよい。なお、オープンスタブStub1,Stub2の電気長を異ならせることで、二つのスイッチSWの制御の組み合わせにより、より広範囲なインピーダンスマッチング範囲を実現できる。
Claims (10)
- MEMS素子により形成された所定の可変容量幅を有する可変容量素子と、
該可変容量素子に直列接続され、該可変容量素子が実装される積層基板の内層平板電極により形成された第1固定容量素子と、
前記可変容量素子と前記第1固定容量素子との直列回路に並列接続され、前記可変容量素子が実装される積層基板の内層平板電極により形成された第2固定容量素子と、を備え、
前記第1固定容量素子と前記第2固定容量素子とは、前記第1固定容量素子と前記第2固定容量素子との双方に共通な内層平板電極を用いて形成されている、可変容量モジュール。 - 請求項1に記載の可変容量モジュールであって、
前記可変容量素子は、前記可変容量幅が固定されており、
前記第2固定容量素子は、モジュールとして所望される可変容量範囲の基準となる容量値に設定されており、
前記第1固定容量素子は、前記モジュールとして所望される可変容量ピッチを決定する容量値に設定されている、可変容量モジュール。 - 請求項1または請求項2に記載の可変容量モジュールであって、
前記第1固定容量素子と前記第2固定容量素子とは、前記積層基板における前記可変容量素子が実装される領域の下層に形成されている、可変容量モジュール。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の可変容量モジュールを備えるとともに、
前記積層基板に形成もしくは実装されたインダクタを備え、
前記可変容量モジュールと前記インダクタとを前記積層基板に形成された電極パターンにより接続することでLC回路網を構成してなる、整合回路モジュール。 - 請求項4に記載の整合回路モジュールであって、
前記積層基板に形成されたスタブ用電極により形成された前記LC回路網に接続するオープンスタブを備えた、整合回路モジュール。 - 請求項5に記載の整合回路モジュールであって、
前記オープンスタブは、それぞれに前記スタブ用電極の電極長が異なる複数のオープンスタブからなる、整合回路モジュール。 - 請求項5または請求項6に記載の整合回路モジュールであって、
前記LC回路網と前記オープンスタブとの間にスイッチ素子を備えた、整合回路モジュール。 - 請求項7に記載の整合回路モジュールであって、
前記オープンスタブによって切り替えられるインピーダンス整合範囲が重ならないように、前記スタブ用電極の電極長が設定されている、整合回路モジュール。 - 請求項4乃至請求項8のいずれかに記載の整合回路モジュールであって、
前記インダクタは前記積層基板に形成されたインダクタ用電極により形成され、
該インダクタ用電極と前記スタブ用電極とは、前記積層基板を平面視して重ならないように形成されている、整合回路モジュール。 - 請求項4乃至請求項9のいずれかに記載の整合回路モジュールであって、
前記スタブ用電極と前記第1固定容量素子および前記第2固定容量素子を形成する前記内層平板電極とは、前記積層基板を平面視して重ならないように形成されている、整合回路モジュール。
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