JP5210584B2 - 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態に係る磁気ディスク用ガラス基板の一部を示す図である。また、図2は、図1に示すガラス基板の主表面を拡大した図である。図1に示すように、ガラス基板1は、主表面11及び端面12を有する。この主表面11と端面12との間には面取り面13が形成されている。また、このガラス基板1は、略円環状を有する外形形状を備えている。また、ガラス基板1は、化学強化した後に主表面11を鏡面研磨してなるものである。
(実施例1)
まず、溶融させたアルミノシリケートガラスを上型、下型、胴型を用いたダイレクトプレスによりディスク形状に成型し、アモルファスの板状ガラスを得た。次に、この板状ガラスの両主表面をラッピング加工し、ディスク状のガラス母材とした。次いで、ダイヤモンドカッタを用いてガラス母材を切断し、このガラス母材から、直径29mmのガラス基板を切り出した。ガラス母材の直径は96mmであり、1枚のガラス母材から、6枚のガラス基板を採取することができた。次に、円筒状のコアドリルを用いて、このガラス基板の中心部に穴部を形成し、円環状のガラス基板とした(コアリング)。
化学強化において、硝酸カリウム(60%)と硝酸ナトリウム(40%)を混合した化学強化溶液を用い、この化学強化溶液を400°Cに加熱し、その中に洗浄済みのガラス基板を約6時間浸漬することによって行うこと、及び化学強化で形成された強化応力層を厚さ1μmで除去したこと以外は実施例1と同様にしてガラス基板を作製した。このとき、強化応力層の厚さは150μmであった。すなわち、(B/A)×100=0.7%であった。
実施例1と同様にして、ガラス基板に対してラッピング工程までの処理を行った。次いで、主表面研磨工程として、ガラス基板の両主表面に対して実施例1と同様にして第1研磨工程を施した。これにより、ガラス基板の主表面の表面粗さRaは約1.0μmとなった。
化学強化において、硝酸カリウム(60%)と硝酸ナトリウム(40%)を混合した化学強化溶液を用い、この化学強化溶液を400°Cに加熱し、その中に洗浄済みのガラス基板を約6時間浸漬することによって行うこと、及び化学強化で形成された強化応力層を厚さ0.05μmで除去したこと以外は比較例1と同様にしてガラス基板を作製した。このとき、強化応力層の厚さは50μmであった。すなわち、(B/A)×100=0.1%であった。
11 主表面
12 端面
13 面取り面
14 強化応力層
14a 除去される強化応力層
Claims (1)
- ガラスブランク材を用いて少なくとも主表面及び端面を有し、略円環状を有するガラス基板を得る工程と、前記ガラス基板に対してイオン交換を施すことにより化学強化を行う工程と、前記化学強化後のガラス基板の少なくとも前記主表面に鏡面研磨を行って前記化学強化後に形成された強化応力層を除去する工程と、を具備し、
前記強化応力層の厚さ(A)を100μm以上に形成し、前記強化応力層の厚さ(A)に対する前記強化応力層を除去する厚さ(B)の割合(B/A)と除去した後の基板表面を表面欠陥検出装置で検出される欠陥数との間の第1相関を求め、前記強化応力層の厚さ(A)に対する前記強化応力層を除去する厚さ(B)の割合(B/A)と除去した後の基板の強度との間の第2相関を求め、前記第1及び第2相関に基づいて、前記強化応力層の除去量を決定し、前記割合(B/A)×100が0.7%〜2%となるように前記主表面に鏡面研磨を行い、
前記化学強化を行う工程及び前記強化応力層を除去する工程により、前記ガラス基板の基板強度を10kgf以上且つ表面粗さ(Ra)を0.18nm以下とし、前記ガラス基板を、ロード/アンロード方式のHDD装置に搭載され、磁気記録ヘッドの浮上量が8nm以下となる垂直磁気記録方式の磁気ディスクに対応できるガラス基板とすることを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
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