JP5188846B2 - 走査型透過電子顕微鏡の収差補正装置及び収差補正方法 - Google Patents
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Description
〔外1〕
2:走査型透過電子顕微鏡(STEM)
11:CPU
12:記憶手段
13:入力部
14:表示部
15:電源制御部
16:画像処理部
17:収差補正処理部
20:光軸
21:電子線
22:電子銃
23:収差補正器
24:偏向器
25:対物レンズ
26:試料ステージ
27:中間レンズ
28:投影レンズ
29:検出器
30:試料
31:電源部
40:自己相関関数算出手段
41:収差係数算出手段
42:フィードバック制御手段
Claims (8)
- 収差補正器を含む電子光学系を備える走査型透過電子顕微鏡の収差補正装置において、
フォーカスを変えることによって得られる少なくとも2枚の画像のそれぞれに対する自己相関関数を算出する自己相関関数算出手段と、
各前記自己相関関数の等強度線に収差関数をフィッティングし、得られた各前記収差関数に基づいて収差係数を算出する収差係数算出手段と、
前記収差係数に基づいて前記電子光学系へのフィードバック制御を行うフィードバック制御手段と、
を備えることを特徴とする収差補正装置。 - 前記収差係数はデフォーカス及び二回非点収差を表す係数であることを特徴とする請求項1に記載の収差補正装置。
- 前記フィードバック制御手段は、前記電子光学系に含まれる対物レンズを制御することを特徴とする請求項1乃至2の何れか一項に記載の収差補正装置。
- 前記フィードバック制御手段は、前記電子光学系に含まれる収差補正器を制御することを特徴とする請求項1乃至2の何れか一項に記載の収差補正装置。
- 前記収差補正器は二回非点収差を補正する収差補正器であることを特徴とする請求項4に記載の収差補正装置。
- 収差補正器を含む電子光学系を備える走査型透過電子顕微鏡の収差補正方法において、
フォーカスを変えることによって少なくとも2枚の画像を取得し、
前記画像のそれぞれに対する自己相関関数を算出し、
各前記自己相関関数の等強度線に収差関数をフィッティングし、
得られた各前記収差関数に基づいて収差係数を算出し、
前記収差係数に基づいて前記電子光学系へのフィードバック制御を行う
ことを特徴とする収差補正方法。 - 収差補正器を含む電子光学系を有する走査型透過電子顕微鏡の収差補正方法において、
入射電子線を傾斜したことに相当する、異なる角度領域の設定によって少なくとも2枚の画像を取得し、
前記画像のそれぞれに対する自己相関関数を算出し、
各前記自己相関関数の等強度線に収差関数をフィッティングし、
得られた各前記収差関数に基づいて収差係数を算出し、
前記収差係数に基づいて前記電子光学系へのフィードバック制御を行う
ことを特徴とする収差補正方法。 - 前記収差係数はデフォーカス及び二回非点収差を表す係数であることを特徴とする請求項6乃至7の何れか一項に記載の収差補正方法。
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