JP6962979B2 - 暗視野像の取得方法 - Google Patents
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Description
試料において所定の角度範囲に散乱された電子を検出可能な円環状の検出領域を有する暗視野検出器と、
対物レンズと、
前記対物レンズの後段に配置された結像レンズ群と、
を含む走査透過電子顕微鏡における暗視野像の取得方法であって、
前記所定の角度範囲に散乱された電子の幾何収差の影響を、前記結像レンズ群の焦点を前記対物レンズの回折面からずらすことによって低減する工程を含む。
まず、本実施形態に係る暗視野像の取得方法で用いられる走査透過電子顕微鏡について図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る暗視野像の取得方法で用いられる走査透過電子顕微鏡100の構成を示す図である。
デスキャンコイル18は、試料Sを透過した電子線EBを偏向させる。
次に、本実施形態に係る暗視野像の取得方法について説明する。図2は、本実施形態に係る暗視野像の取得方法の一例を示すフローチャートである。
走査透過電子顕微鏡100では、試料Sで50mrad以上200mrad以下の範囲で散乱された電子の幾何収差の影響を、結像レンズ群4の焦点を対物レンズ13の回折面からずらすことによって低減する。
d以下の範囲に散乱された電子を、暗視野検出器20で正確に検出することができる。
ここで、図5および図8に示すように、結像レンズ群4の焦点が対物レンズ13の回折面F2からずれている場合、回折面F2と検出面F4とは共役にならない。そのため、試料S上で電子線EBを走査すると、検出面F4において電子の入射位置が、電子線EBの走査に伴って動いてしまう。
本実施形態に係る暗視野像の取得方法は、例えば、以下の効果を有する。
4で電子線EBが移動することを防ぐことができる。
Claims (5)
- 試料において所定の角度範囲に散乱された電子を検出可能な円環状の検出領域を有する暗視野検出器と、
対物レンズと、
前記対物レンズの後段に配置された結像レンズ群と、
を含む走査透過電子顕微鏡における暗視野像の取得方法であって、
前記所定の角度範囲に散乱された電子の幾何収差の影響を、前記結像レンズ群の焦点を前記対物レンズの回折面からずらすことによって低減する工程を含む、暗視野像の取得方法。 - 請求項1において、
前記走査透過電子顕微鏡は、前記試料を透過した電子線を偏向する結像系偏向器を含み、
前記結像レンズ群の焦点を前記対物レンズの回折面からずらすことによって生じる電子線の光軸からのずれを、前記結像系偏向器を用いて補正する工程を含む、暗視野像の取得方法。 - 請求項1または2において、
前記結像レンズ群は、前記対物レンズの後段に配置された、中間レンズおよび投影レンズである。暗視野像の取得方法。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記所定の角度範囲は、50mrad以上200mrad以下である、暗視野像の取得方法。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記幾何収差の影響を低減する工程では、前記所定の角度範囲に散乱された電子間の幾何収差による角度に依存するフォーカス位置の差を、前記結像レンズ群の焦点を前記対物レンズの回折面からずらすことによって生じるデフォーカスによって補正する、暗視野像の取得方法。
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