JP5155389B2 - 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体 - Google Patents
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Description
LCD等の分野においても、TFT液晶、STN液晶といった技術の進展に伴い画像の線幅が細くなり、ますます微細化の傾向が強まっている。例えば、従来のTN、STN液晶を利用した素子では、200μmないし数百μm程度の画像設計寸法であるのに対し、最近では、新技術の開発により画像の最小設計寸法が100μm以下となっている。また、応答性又は画像性の良好なTFT表示素子では、画像設計寸法が数μmレベルまで向上している。
上述の課題のうち、フォトレジストの面内における膜厚均一性を更に改善し、フォトレジスト原料の省液化を達成するために、そのコーティング方式の検討が続けられてきた。その結果、従来一般的であったスピンコーティングの代替として、新たなスリットコーティングが開発されている。これらの技術は、550mm×680mm以下のサイズの基板について対応の見通しが得られつつある。しかしながら、更なる大型基板を目指す場合は、これらの技術の適用は困難であると予想される。
ネガ型ドライフィルムフォトレジストを用いたプリント配線板の作成を簡単に説明する。まず、ネガ型ドライフィルムフォトレジストに保護フィルムがある場合にはこれを取り除いて、プリント配線板作成用基材にネガ型感光性樹脂組成物が接するようにラミネートし、支持体を通して活性光を露光し、感光性樹脂組成物を硬化させる。次いで、一般的に、濃度1質量%の炭酸ソーダ水溶液に代表される弱アルカリ水溶液を用いて未露光の感光性樹脂組成物を分散除去して現像する。その後、基材上の銅を塩化第二銅水溶液でエッチングする。そして、濃度2〜3%の苛性ソーダ水溶液や苛性カリ水溶液により、硬化した感光性樹脂組成物を全て剥離除去する。
脆い膜質のポジ型感光性樹脂組成物を有するドライフィルムフォトレジストを用いた場合には、上記スリットの際に該ポジ型感光性樹脂組成物の切り屑(以下、単に切り屑という。)が発生してしまうという問題が発生する。また、ラミネート時に基板の長手方向の所定長さにドライフィルムフォトレジストが切断される際にも、切断面から切り屑が発生しやすくなる。これらの切り屑は粉塵となって、基板やラミネータの稼働環境を汚染し、基板上に積層された支持体上に付着する。その結果、画像パターンには欠陥が生じやすくなる。
本発明は、以下の通りである。
[8]前記[7]に記載の感光性樹脂積層体をロール状にしたレジストロール。
(A)アルカリ可溶性フェノール樹脂
((A)アルカリ可溶性フェノール樹脂は、例えば、フェノール化合物と、アルデヒド及び/又はケトンとを原料として、縮重合反応により得られる。
上記アルデヒド及び/又はケトンとしては、例えば、ホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、フルフラール、ベンズアルデヒド、ヒドロキシベンズアルデヒド、メトキシベンズアルデヒド、ヒドロキシフェニルアセトアルデヒド、メトキシフェニルアセトアルデヒド、クロトンアルデヒド、クロロアセトアルデヒド、クロロフェニルアセトアルデヒド、アセトン及びグリセルアルデヒドが挙げられる。また、アルデヒド及び/又はケトンとしては、例えば、グリオキシル酸、グリオキシル酸メチル、グリオキシル酸フェニル、グリオキシル酸ヒドロキシフェニル、ホルミル酢酸、ホルミル酢酸メチル、2−ホルミルプロピオン酸、2−ホルミルプロピオン酸メチル、ピルビン酸、レプリン酸、4−アセチルブチル酸、アセトンジカルボン酸、及び3,3’−4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸も挙げられる。また、パラホルムアルデヒド、トリオキサン等のホルムアルデヒドの前駆体が用いられてもよい。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。
アルカリ可溶性フェノール樹脂を得るための原料中におけるアルデヒド及び/又はケトンの含有量は、上記フェノール化合物1モルに対し、0.7〜1モルであることが好ましい。この場合、上記縮重合反応をより迅速に進行させることができる。
また、(A)アルカリ可溶性フェノール樹脂は、上述のフェノール化合物とm−キシレンのようなフェノール以外の化合物との縮重合生成物であってもよい。この場合、縮重合に用いられるフェノール化合物に対するフェノール以外の化合物のモル比は、0.5未満であると好ましい。
また、上記フェノール樹脂の重量平均分子量が小さい場合は、鎖延長剤を用いてフェノール樹脂の多量体化を行い、上記重量平均分子量の範囲となるように分子量を増大させてもよい。鎖延長剤としては、例えば、カルボキシル基と反応可能なジエポキシ化合物やジオキサゾリン化合物、及び水酸基と反応可能なジイソシアネート化合物が挙げられる。
(A)アルカリ可溶性フェノール樹脂の感光性樹脂組成物中の配合割合は、感光性樹脂組成物全体の量に対して20〜90質量%であることが好ましく、25〜85質量%であることがより好ましく、30〜80質量%であることが特に好ましい。この配合割合は、パターン形成性を向上させるという観点から20質量%以上が好ましく、またレジスト膜の脆さを防ぐという観点から90質量%以下が好ましい。
(B)1,2−ナフトキノンジアジド基を含む感光剤は、水酸基又はアミノ基を有する有機化合物(以下単に「有機化合物」という。)に、スルホ基及び/又はスルホニルクロリド基を有する1,2−ナフトキノンジアジド化合物を反応させて得られる化合物である。このとき、有機化合物の水酸基又はアミノ基と、1,2−キノンジアジド化合物のスルホ基又はスルホニルクロリド基とが結合する。なお、この結合は、得られる1,2−キノンジアジド化合物の分子内に少なくとも一つあればよい。
上記スルホ基及び/又はスルホニルクロリド基を有する1,2−キノンジアジド化合物としては、例えば、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−4−スルホン酸、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホン酸、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−4−スルホニルクロリド、及び1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホニルクロリドが挙げられる。上記スルホ基及び/又はスルホニルクロリド基を有する1,2−キノンジアジド化合物の中でも、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−4−スルホン酸、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホン酸、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−4−スルホニルクロリド、及び1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホニルクロリドからなる群より選ばれる1種以上の化合物が好ましい。これらのスルホ基及び/又はスルホニルクロリド基を有する1,2−キノンジアジド化合物は、溶剤によく溶解することから、有機化合物との反応効率を高めることができる。
なお、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−スルホニルクロリドとしては、1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−4−スルホニルクロリド、又は1,2−ナフトキノン−2−ジアジド−5−スルホニルクロリドが好適である。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
(C)側鎖に芳香族ヒドロキシ化合物に由来する基を有するアルカリ可溶性樹脂としては、例えば、(i)ポリヒドロキシスチレン系樹脂、(ii)フェノール基含有ポリ(メタ)アクリル酸エステル樹脂、(iii)フェノール基含有ポリアクリルアミド樹脂及びそれらの変性体が挙げられる。
変性ポリヒドロキシスチレンとしては、ポリヒドロキシスチレンに、例えば、ベンゼンスルホニルクロリド誘導体、ナフタレンスルホニルクロリド誘導体、ベンゼンカルボニルクロリド誘導体、ナフタレンカルボニルクロリド誘導体などを、塩基性触媒の存在下に反応させたものなどが挙げられる。
上記スルホニルクロリド誘導体やカルボニルクロリド誘導体の具体例としては、p−アセトアミノベンゼンスルホニルクロリド、ベンゼンスルホニルクロリド、p−クロロベンゼンスルホニルクロリド、ナフチルベンゼンスルホニルクロリド、p−アセトアミノベンゼンカルボニルクロリド、ベンゼンカルボニルクロリド、p−クロロベンゼンカルボニルクロリド、ナフチルベンゼンカルボニルクロリドなどが挙げられる。この場合、ポリヒドロキシスチレン100重量部に対して、前記スルホニルクロリド誘導体や前記カルボニルクロリド誘導体は、通常10〜30重量部、好ましくは15〜25重量部の割合で用いられる。このような変性ポリヒドロキシスチレンは、重量平均分子量が3,000〜50,000、好ましくは5,000〜30,000の範囲であることができる。
(iii)フェノール基含有ポリアクリルアミド樹脂としては、3,5−ジメチル−4−ヒドロキシベンジルアクリルアミドなどフェノール基含有アクリルアミドモノマーの重合体、共重合体およびその変性体が挙げられる。フェノール基含有ポリアクリルアミド樹脂の重量平均分子量は、1,000〜1,000,000、好ましくは5,000〜100,000である。
感光性樹脂組成物に、(D)可塑剤を含有することは、切り屑を低減できるという観点から好ましい。
(D)可塑剤としては、相溶可能な低分子量成分で有ればよく、例えば、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリオキシプロピレンポリオキシエチレンエーテル、ポリオキシエチレンモノメチルエーテル、ポリオキシプロピレンモノメチルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンモノメチルエーテル、ポリオキシエチレンモノエチルエーテル、ポリオキシプロピレンモノエチルエーテル、ポリオキシエチレンポリオキシプロピレンモノエチルエーテル等のグリコール・エステル類、ジエチルフタレート等のフタル酸エステル類、o−トルエンスルフォン酸アミド、p−トルエンスルフォン酸アミド、クエン酸トリブチル、クエン酸トリエチル、アセチルクエン酸トリエチル、アセチルクエン酸トリ−n−プロピル、アセチルクエン酸トリ−n−ブチルなどが挙げられる。
上記化合物のなかでもビスフェノールAまたはそれに水素添加した化合物から誘導された化合物であることがレジスト膜の柔軟性の点から好ましい。
また、フィルム切断時の切り屑が発生しにくい点から、上記一般式(VII)で示される化合物がプロピレンオキシドの繰り返し単位を有することが好ましく、特にその右辺及び/又は左辺のqが1以上10以下であることが好ましく、より好ましくは1以上6以下である。
上記一般式(VII)の化合物の構造の右辺及び/又は左辺に含まれるエチレンオキシド、プロピレンオキシド、及び炭素数4〜6のアルキレンオキシドの繰り返し単位は、その繰り返し単位の合計が1〜20であればランダムに入っていてもよいし、ブロックとして入っていてもよい。
感光性樹脂組成物には、必要に応じて、塗布性、消泡性、レベリング性等を向上させる目的で界面活性剤を含有させてもよい。かかる界面活性剤としては、特に限定されないが、フッ素系界面活性剤であることが好ましい。このようなフッ素系界面活性剤としては、例えば、BM−1000、BM−1100(以上、BMケミー社製);メガファック(登録商標)F142D、メガファック(登録商標)F172、メガファック(登録商標)F173、メガファック(登録商標)F183、メガファック(登録商標)R−08、メガファック(登録商標)R−30、メガファック(登録商標)R−90PM−20、メガファック(登録商標)BL−20(以上、大日本インキ化学工業社製);フロラードFC−135、フロラードFC−170C、フロラードFC−430、フロラードFC−431、フロラードFC−4430(以上、住友スリーエム社製);サーフロン(登録商標)S−112、サーフロン(登録商標)S−113、サーフロン(登録商標)S−131、サーフロン(登録商標)S−141、サーフロン(登録商標)S−145(以上、旭硝子社製);SH−28PA、SH−190、SH−193、SZ−6032、SF−8428(以上、東レシリコーン社製)等の市販品を用いることができる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。
感光性樹脂組成物には、基材等との接着性を向上させるために接着助剤を含有させてもよい。かかる接着助剤としては、官能性シランカップリング剤が好ましい。ここで、官能性シランカップリング剤とは、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基等の反応性置換基を有するシランカップリング剤を意味する。官能性シランカップリング剤としては、例えば、トリメトキシシリル安息香酸、Y−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、Y−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、トリメトキシシリルプロピルイソシアネート及び1,3,5−N−トリス(トリメトキシシリルプロピル)イソシアネートが挙げられる。これらは1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いられる。
上記接着助剤の配合割合は、感光性樹脂組成物全体の量に対して20質量%以下であると好ましい。この配合割合が20質量%を超えると、配合割合が上記範囲にある場合と比較して、現像残渣が発生しやすくなる傾向にある。
さらに、本実施形態の感光性樹脂組成物には、必要に応じて、増感剤、吸光剤(染料)、架橋剤、可塑剤、顔料、充填材、難燃剤、安定剤、密着性付与剤、剥離促進剤、酸化防止剤、香料、イメージング剤、熱架橋剤等の添加剤を含有させてもよい。これらの添加剤は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
これらの添加剤の配合割合は、感光性樹脂組成物の特性を損なわない範囲であれば特に限定されるものではないが、感光性樹脂組成物全量に対して50質量%以下であることが好ましい。
上述の各成分は、それぞれにおいて例示されたもののいずれを組み合わせてもよい。
支持体としては、例えば、銅、銅系合金、鉄、鉄系合金等の金属プレートや、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の重合体フィルム等を用いることができる。支持体の厚みは、1〜150μmであることが好ましい。
感光性樹脂層は、上記本実施形態の感光性樹脂組成物を液状にして支持体上に塗布することで形成することができる。
このようにして形成された感光性樹脂層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する観点から、2質量%以下であることが好ましい。
また、感光性樹脂層の厚みは、用途により異なるが、溶剤を除去した後の厚みが0.5〜100μm程度であることが好ましい。
支持体と感光性樹脂層おいては、必要に応じて、感光性樹脂層の支持体側と反対側の面を保護フィルムで被覆していてもよい。
また支持体と感光性樹脂層との間、及び/又は、感光性樹脂層と保護フィルムとの間に、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層又は保護層を更に備えていてもよい。
レジストパターンの形成方法は、基材上に、上記感光性樹脂積層体の感光性樹脂層が密着するようにして積層し、活性光線を画像状に照射して露光部を現像により除去するものである。活性光線が照射されていない部分は、1,2−ナフトキノンジアジド基を含む感光剤がアルカリ可溶性フェノール樹脂と相互作用を起こして溶解禁止剤として働いているのでアルカリに溶けない。しかしながら、活性光線が照射された部分では、1,2−ナフトキノンジアジド基を含む感光剤が光分解して、溶解禁止効果を失う。これにより、活性光線が照射された露光部分がアルカリ可溶となる。
このようにして基材上に積層された感光性樹脂層に対して、ネガ又はポジマスクパターンを通して活性光線を画像状に照射して露光部を形成させる。この際、感光性樹脂層上に存在する支持体が活性光線に対して透明である場合には、支持体を通して活性光線を照射することができ、支持体が活性光線に対して遮光性を示す場合には、支持体を除去した後に感光性樹脂層に活性光線を照射する。活性光線の光源としては、従来公知の光源、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光等を有効に放射するものが用いられる。また、レーザー直接描画露光法等を用いてもよい。
このようにしてレジストパターンが得られる。この際、切り屑の発生が十分に防止された感光性樹脂層を用いているため、切り屑による基材やラミネータの稼働環境の汚染も十分に防止され、その結果、欠陥の十分に少ないレジストパターンを形成することができる。またレジスト膜の露光部分が弱アルカリに容易に溶解して基材から剥離し、弱アルカリ現像性が極めて良好な本発明の感光性樹脂組成物を用いることによって、レジストパターンを得ることが可能となる。
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形が可能である。
本発明のプリント配線板の製造方法は、基板として銅張り積層板やフレキシブル基板を用いた上述のレジストパターン形成方法に続いて、以下の工程を経ることで行われる。
まず現像により露出した基板の銅面をエッチング法又はめっき法等の既知の方法を用いて導体パターンを形成する。
その後、レジストパターンを再度露光・現像液することにより除去して所望のプリント配線板を得る。
本発明のリードフレームの製造方法は、基板として銅、銅合金、鉄系合金等の金属板を用いた上述のレジストパターンの形成方法に続いて、以下の工程を経ることで行われる。
まず、現像により露出した基板をエッチングして導体パターンを形成する。
その後、残ったレジストパターンを上述のプリント配線板の製造方法と同様の方法で除去して、所望のリードフレームを得る。
本発明の半導体パッケージを製造方法は、基板としてLSIとしての回路形成が終了したウェハを用いた上述のレジストパターンの形成方法に続いて、以下の工程を経ることで行われる。
現像により露出した開口部に銅、はんだ等の柱状のめっきを施して、導体パターンを形成する。
その後、残ったレジストパターンを上述のプリント配線板の製造方法と同様の方法で除去し、更に、柱状めっき以外の部分の薄い金属層をエッチングにより除去することにより、所望の半導体パッケージを得る。
薄膜トランジスタの製造方法は、例えば、シリコン、ガラス、樹脂シートなどの基板上に、マスクを用い所定形状のゲート電極を形成した後、上述のレジストパターン形成方法及び除去方法によってゲート絶縁膜を形成し、さらに、該絶縁膜全面に半導体薄膜層を形成し、当該薄膜層上にマスクを用いて所定形状のソース電極及びドレイン電極を形成することにより得ることができる。
[実施例1〜9、比較例1、実施例10〜23、比較例2、3]
<1.感光性樹脂組成物の調製>
表1及び表2に示す化合物を混合し、感光性樹脂組成物を調製した。表1及び表2中の値は、固形分量である。
表中の記号は以下に示すとおりである。
A−1:クレゾールノボラック樹脂、重量平均分子量10,000、分子量分布約10、m体:p体=6:4、(旭有機材(株)製、EP4020G(商品名))
A−2:フェノールノボラック樹脂、重量平均分子量7, 000、分子量分布約6、(旭有機材(株)製、PAPS−PN70(商品名))
B−2:2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノンの6−ジアゾ−5,6−ジヒドロ−5−オキソ−1−ナフタレンスルホン酸モノ、ジ、トリ又はテトラエステル(ダイトーケミックス(株)製DTEP−250(商品名))
C−2:パラビニルフェノールとメタクリル酸メチルの1:1(モル比)共重合体、重量平均分子量10,000、(ケミウェイ(株)製、マルカリンカーCMM(商品名))
D−3:上記一般式(I)で両辺のp=0、q=3、r=0の化合物 PC−903(日本乳化剤製)
D−4:上記一般式(I)で両辺のp=3、q=2、r=0の化合物 ユニオールDAB−800(日本油脂製)
D−5:上記一般式(I)で両辺のp=15、q=2、r=0の化合物 BAP4−30(日本乳化剤製)
D−6:ビスフェノールE化合物の両端に3モルずつのプロピレングリコールを有する化合物 サンプルE(東邦化学製)
D−7:ビスフェノールF化合物の両端に3モルずつのプロピレングリコールを有する化合物 サンプルF(東邦化学製)
D−8:ビスフェノールS化合物の両端に3モルずつのプロピレングリコールを有する化合物 サンプルS(東邦化学製)
D−9:ポリオキシエチレンーポリオキシプロピレン縮合物、((株)ADEKA製アデカプルロニックL−44(商品名))
表1及び表2に示す組成の感光性樹脂組成物に溶媒メチルエチルケトンを固形分が50質量%となるまで添加し、よく攪拌、混合し、感光性樹脂組成物の溶液を厚さ25μmのポリエチレンテレフタレートフィルムにバーコーターを用いて均一に塗布し、90℃の乾燥機中で2分間乾燥して10μm厚みの感光性樹脂層を形成した。次に、感光性樹脂層の表面上に30μm厚みのポリエチレンフィルムを張り合わせて感光性樹脂積層体を得た。
基板整面:
評価用基板は、35μm圧延銅箔を積層した0.4mm厚の銅張積層板を用い、表面をスプレー圧0.20MPaでジェットスクラブ研磨(日本カーリット(株)製、サクランダムR(登録商標)#220)したものを用意した。
ラミネート:
感光性樹脂積層体のポリエチレンフィルムを剥がしながら、整面して60℃に予熱した銅張積層板にホットロールラミネーター(旭化成エレクトロニクス(株)製、AL−70)により、ロール温度105℃でラミネートした。エアー圧力は0.35MPaとし、ラミネート速度は1.5m/minとした。
支持体を剥離し、クロムガラスフォトマスクを用いて、超高圧水銀ランプを有する露光機(プロジェクション露光装置UX2003SM−MS04:ウシオ電機株式会社製)により、評価基板を投影露光した。
現像:
得られた評価基板を、2.38質量%テトオラメチルアンモニウム水溶液をアルカリ現像液として、温度20℃、ディップ法により現像した。その後、温度20℃の条件において、純水で約20秒間ディップ法により水洗し、ドライヤーで乾燥した。
切り屑評価:
支持体側を上面にした上記感光性樹脂積層体を、NTカッターを用いて直線に10センチメートル切断し、その際に切断部分およびその周辺を目視観察した。切り屑試験の評価結果を次のようにランク分けした。
A:切り屑の発生なし
B:切り屑の発生あり
感度の評価:
200mJ/cm2から100mJ/cm2おきに、上記「露光」工程を経て、更に上記「現像」工程を経た結果、最も良好なパターンを形成可能な露光量を「感度」と称した。
感光性樹脂積層体の感光性樹脂層がラミネートされた基板に1,500mJ/cm2の露光量で露光し、現像した。完全に露光した部分の感光性樹脂層が除去された状態を目視で確認し、その状態になるまでにかかった時間を最小現像時間とした。
パターン形成性の評価:
ラインとスペースが1:1であるパターンを有するクロムガラスフォトマスクを通して露光し、現像した。上記最小現像時間の1.2倍の時間で現像した際に、ライン部分とスペース部分がはっきりと分かれているかどうかを目視観察し、以下のようにランク分けした。
A:ライン部分とスペース部分がはっきりと分かれている
B:ライン部分とスペース部分が分かれていない
実施例及び比較例の評価結果は表1と表2に示す。
表1から分かるように、実施例1〜9は、切り屑評価、感度、最小現像時間、パターン形成性の全てにおいて優れていたが、比較例1は、本発明に用いられる(C)側鎖に芳香族ヒドロキシ化合物に由来する基を有するアルカリ可溶性樹脂を含まないため、切り屑が出ると共に、感光性樹脂層が非常に脆く、他の評価ができない。
表2から分かるように、実施例10〜22の感光性樹脂組成物は、切り屑の発生が十分に抑制されるとともに、感度、現像時間、パターン形成性においてバランスに優れているのに対し、比較例2及び3の感光性樹脂組成物は、(D)成分を含まないため、切り屑が発生し、また現像が不可能な為パターン形成ができない。
Claims (13)
- (A)アルカリ可溶性フェノール樹脂、(B)1,2−ナフトキノンジアジド基を含む感光剤、(C)側鎖に芳香族ヒドロキシ化合物に由来する基を有するアルカリ可溶性樹脂、及び(D)可塑剤を含有してなる感光性樹脂組成物。
- 前記(C)成分が、共重合成分としてヒドロキシスチレンを有するアルカリ可溶性樹脂である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記感光性樹脂組成物全体の量に対して、前記(A)成分を20〜90質量%、上前記(B)成分を1〜75質量%、そして前記(C)成分を1〜75質量%含む、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(D)成分が、ビスフェノールA、ビスフェノールE、ビスフェノールF及びビスフェノールS、並びにこれらを水素添加して得られる化合物からなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物から誘導され、且つ末端に水酸基を少なくとも1つ有する化合物である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性樹脂組成物。
- 支持体と、請求項1〜5のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物からなる感光性樹脂層とを少なくとも含む感光性樹脂積層体。
- 請求項6に記載の感光性樹脂積層体をロール状にしたレジストロール。
- 請求項6に記載の感光性樹脂積層体の感光性樹脂層を基板上に積層する積層工程、感光性樹脂層を露光する露光工程、感光した感光性樹脂層を除去する現像工程を順番に含むレジストパターンの形成方法。
- 前記露光工程において、直接描画して露光する、請求項8に記載のレジストパターンの形成方法。
- 請求項8又は9に記載の方法によってレジストパターンを形成した基板を、エッチングするか又はめっきする工程をさらに含むプリント配線板の製造方法。
- 請求項8又は9に記載の方法によってレジストパターンを形成した基板を、エッチングする工程を含むリードフレームの製造方法。
- 請求項8又は9に記載の方法によってレジストパターンを形成した基板を、エッチングするか又はめっきする工程をさらに含む半導体パターンの製造方法。
- 請求項8又は9に記載の方法によってレジストパターンを形成した基板を、エッチングするか又はめっきする工程を含む薄膜トランジスタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010507240A JP5155389B2 (ja) | 2008-04-10 | 2009-04-06 | 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体 |
Applications Claiming Priority (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008102036 | 2008-04-10 | ||
JP2008102038 | 2008-04-10 | ||
JP2008102038 | 2008-04-10 | ||
JP2008102036 | 2008-04-10 | ||
PCT/JP2009/057081 WO2009125752A1 (ja) | 2008-04-10 | 2009-04-06 | 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体 |
JP2010507240A JP5155389B2 (ja) | 2008-04-10 | 2009-04-06 | 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012224261A Division JP2013054363A (ja) | 2008-04-10 | 2012-10-09 | 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009125752A1 JPWO2009125752A1 (ja) | 2011-08-04 |
JP5155389B2 true JP5155389B2 (ja) | 2013-03-06 |
Family
ID=41161884
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010507240A Active JP5155389B2 (ja) | 2008-04-10 | 2009-04-06 | 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体 |
JP2012224261A Pending JP2013054363A (ja) | 2008-04-10 | 2012-10-09 | 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012224261A Pending JP2013054363A (ja) | 2008-04-10 | 2012-10-09 | 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5155389B2 (ja) |
TW (1) | TWI398725B (ja) |
WO (1) | WO2009125752A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI485521B (zh) * | 2010-06-28 | 2015-05-21 | Everlight Chem Ind Corp | 正型感光樹脂組成物 |
KR102375653B1 (ko) | 2014-02-12 | 2022-03-16 | 쇼와덴코머티리얼즈가부시끼가이샤 | 감광성 엘리먼트 |
JP6641217B2 (ja) * | 2016-03-30 | 2020-02-05 | 東京応化工業株式会社 | 金属酸化物膜形成用塗布剤及び金属酸化物膜を有する基体の製造方法 |
CN110088680B (zh) * | 2016-12-20 | 2022-12-30 | 旭化成株式会社 | 双层感光层卷 |
WO2019088268A1 (ja) | 2017-11-06 | 2019-05-09 | 旭化成株式会社 | 感光性樹脂積層体及びレジストパターンの製造方法 |
KR101920783B1 (ko) * | 2018-03-14 | 2018-11-21 | 동우 화인켐 주식회사 | 감광성 수지 조성물 및 이를 사용한 패턴 형성 방법 |
JP7076329B2 (ja) * | 2018-08-01 | 2022-05-27 | 旭化成株式会社 | 感光性樹脂組成物及びそれを用いた感光性樹脂積層体 |
JP7338142B2 (ja) * | 2018-10-30 | 2023-09-05 | 住友ベークライト株式会社 | 感光性樹脂組成物および電子デバイスの製造方法 |
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JP2005215137A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性樹脂組成物、感光性転写材料、液晶配向制御用突起及びその製造方法、並びに液晶表示装置 |
JP2005221726A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性転写材料、液晶配向制御用突起及びその形成方法、並びに、液晶表示装置 |
JP2006154780A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-06-15 | Jsr Corp | ポジ型感光性絶縁樹脂組成物およびその硬化物 |
JP2007017987A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Samsung Electronics Co Ltd | フォトレジスト組成物、前記フォトレジスト組成物を利用したパターンの形成方法、及びこれを利用した薄膜トランジスタ表示板の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002341525A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-27 | Fuji Photo Film Co Ltd | ポジ型フォトレジスト転写材料およびそれを用いた基板表面の加工方法 |
-
2009
- 2009-04-06 JP JP2010507240A patent/JP5155389B2/ja active Active
- 2009-04-06 WO PCT/JP2009/057081 patent/WO2009125752A1/ja active Application Filing
- 2009-04-09 TW TW98111861A patent/TWI398725B/zh active
-
2012
- 2012-10-09 JP JP2012224261A patent/JP2013054363A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2004170953A (ja) * | 2002-11-01 | 2004-06-17 | Sumitomo Chem Co Ltd | 着色感光性樹脂組成物およびそれを用いたカラーフィルタ |
JP2005215137A (ja) * | 2004-01-28 | 2005-08-11 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性樹脂組成物、感光性転写材料、液晶配向制御用突起及びその製造方法、並びに液晶表示装置 |
JP2005221726A (ja) * | 2004-02-05 | 2005-08-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性転写材料、液晶配向制御用突起及びその形成方法、並びに、液晶表示装置 |
JP2006154780A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-06-15 | Jsr Corp | ポジ型感光性絶縁樹脂組成物およびその硬化物 |
JP2007017987A (ja) * | 2005-07-08 | 2007-01-25 | Samsung Electronics Co Ltd | フォトレジスト組成物、前記フォトレジスト組成物を利用したパターンの形成方法、及びこれを利用した薄膜トランジスタ表示板の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009125752A1 (ja) | 2009-10-15 |
JPWO2009125752A1 (ja) | 2011-08-04 |
TWI398725B (zh) | 2013-06-11 |
TW201001066A (en) | 2010-01-01 |
JP2013054363A (ja) | 2013-03-21 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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