JP5153684B2 - 半導体装置及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以下に、図面を用いて本発明の実施の形態1に係る半導体装置である樹脂モールド型半導体モジュールについて説明する。なお、本発明は以下の記述に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。図1は本発明の実施の形態1に係る半導体装置の概略構成を示す横断面図である。図において、半導体装置2は、主としてヒートシンク4と、半導体素子6と、リードフレーム8と、モールド樹脂(樹脂モールド部)9より構成される。
図6は本発明の実施の形態2に係る半導体装置の概略構成を示す横断面図である。実施の形態1のものと同じ部分については、実施の形態1のものと同じ符号を用い、それらについての説明は省略する。本実施形態にかかる半導体装置52は、放熱フィンがヒートシンクとは別体で形成されていることを特徴とするものである。
図8はこの発明の実施の形態3に係る半導体装置を示す平面図、図9は図8におけるA−A線断面図である。実施の形態1のものと同じ部分については、実施の形態1のものと同じ符号を用い、それらについての説明は省略する。本実施の形態3にかかる半導体装置72は、ヒートシンクの上面の一部(加圧部80)がモールド樹脂に覆われずに露出していることを除けば、上記実施の形態1および実施の形態2と同様に構成されている。
5c 突起部、6 半導体素子、7 間隙、8 リードフレーム、
8a 正極側リードフレーム、8b 負極側リードフレーム、
9 モールド樹脂(樹脂モールド部)、10 フィン部(凹凸部)、18a 上側金型、18b 下側金型、18c 充填空間、18d 密着面、18e 当接面、
61 位置決め部、80 加圧部。
Claims (7)
- リードフレームと、
上記リードフレームの表面に実装された半導体素子と、
上記リードフレームの裏面に接着される接着部を一方面側に有し、他方面側には放熱用の凹凸部を有するヒートシンクと、
上記リードフレーム及び上記半導体素子を一体的にモールドするモールド樹脂とを備えた半導体装置において、
上記凹凸部の周囲に形成されるとともに金型と密着することにより上記モールド樹脂が上記凹凸部に漏れ出ることを防ぐための突起部を上記ヒートシンクに設け、
上記突起部と上記凹凸部との間に、上記突起部における、上記金型に密着する先端面に対して略垂直に形成されるとともに、上記金型の位置決めを可能にする位置決め部を設けたことを特徴とする半導体装置。 - 金属製の薄板部材を折り曲げて形成した放熱フィンを上記凹凸部にはんだを介し、又はかしめによって差し込むことにより接合したことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- ワイヤと上記リードフレームとの接合部の下方位置であって、上記リードフレームの裏面と上記ヒートシンクにおける上記接着部の外側領域との間に間隙が形成されていることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の半導体装置。
- 上記ヒートシンクの上記一方面側における上記接着部の外側領域は、上記接着部から外側に向かうにしたがって上記間隙が広くなるように形成されていることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 上記ヒートシンクにおける上記一方面側の一部が上記モールド樹脂に覆われず露出していることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- リードフレームの表面には半導体素子を実装するとともに、
上記リードフレームの裏面にはヒートシンクの一方面側が接着され、上記ヒートシンクの他方面側には放熱用の凹凸部と上記凹凸部の周囲に形成された突起部を設け、
上記突起部と上記凹凸部との間に、上記突起部における、下側金型に密着する先端面に対して略垂直に形成された位置決め部を形成し、上記位置決め部と上記下側金型に形成された当接面とを当接可能とし、
上記リードフレームを上側金型及び上記下側金型により挟み込むことにより上記半導体素子を含む充填空間を形成すると共に、上記充填空間にモールド樹脂を流し込み、
上記突起部の先端面と上記下側金型の密着面とを密着させることにより上記モールド樹脂が上記凹凸部に漏れ出ることを防ぎ、上記リードフレーム及び上記半導体素子を上記モールド樹脂により一体的にモールドすることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 上記ヒートシンクにおける上記一方面側の一部に上記モールド樹脂に覆われず露出している加圧部を設け、上記上側金型によって上記加圧部を直接加圧するようにしたことを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
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