JP5143688B2 - 圧電デバイスの製造方法 - Google Patents
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Description
61はシリコン基板であり、前記キャビティー62の形成にはフォトリソグラフィー手法、エッチング手法を用いる。不図示ではあるが、前記シリコン基板61の表面にレジストをスピンコート法やスプレーコート法等で塗布した後、フォトマスクを前記シリコン基板61に被せて紫外線露光を行い、現像液によって不要な部分を取り除いてパターンを形成後、エッチングプロセスによって、基板表面が露出した部分をエッチングし、その後、前記レジストをアセトンなどの有機溶剤等を用いて剥離してキャビティー62を形成する。本工程で使用するフォトレジストは、ポジ型・ネガ型両者とも同様に用いることができる。
前記シリコン基板61および前記キャビティー62上部にレジストを成膜した後、フォトマスクを被せ、露光・現像を行ってレジストマスク64を形成する。
少なくとも、平板基板に前記圧電振動素子を収納するためのキャビティーを形成する工程と、前記平板基板のキャビティー形成面との対向面にレジスト膜を形成する工程と、前記レジスト膜をパターニングして、貫通孔形成用のレジストマスクを形成する工程と、前記レジストマスクをエッチングマスクとしてキャビティー形成面との対向面からドライエッチングによって貫通孔を形成する工程と、前記平板基板表面や前記キャビティー内面および前記貫通孔内面に絶縁膜を形成する工程と、前記貫通孔に導電性部材を充填して貫通電極を形成する工程と、圧電振動素子搭載パッドと、該圧電振動素子搭載パッドと前記貫通電極とを接続する接続配線部を形成する工程と、前記キャビティーと対向面の前記絶縁膜上に有機絶縁膜を形成する工程と、前記貫通電極直下および前記有機絶縁膜上に前記貫通電極と接続される外部端子を形成する工程と、前記圧電振動素子を前記圧電振動素子搭載パッドに固定する工程と、前記キャビティーの上方に蓋部材を接合して前記圧電振動素子をパッケージ内に気密封止する工程と、を有することを特徴とする。
不図示ではあるが、前記共通電極膜26上に電解メッキ用レジスト膜を塗布し、フォトマスクを被せ、紫外線露光を行い、現像液によって光の照射された部分の除去を行い、前記圧電振動素子搭載パッド部27および前記貫通孔24内および両者を結ぶ接続配線部28に成膜されている前記電解メッキ用レジスト膜を除去し、パターンを形成する。本工程で使用するフォトレジストは、ポジ型であってもネガ型であっても同様に形成可能である。その後、電解メッキを行い貫通孔24内に導電性部材30を充填して貫通電極部29を形成し、前記圧電振動素子搭載パッド27および接続配線部28上に電解メッキ膜を堆積させる。ここで前記導電性部材30は前記共通電極と同様に金(Au)や銅(Cu)である。
尚、この場合には感光性の有機材料を用いたが、非感光性の有機材料の場合においても、前記非感光性の有機絶縁膜を形成した後、フォトリソグラフィーによって前記貫通電極部29の直下以外にレジスト膜を形成し、酸素プラズマによるアッシングによって前記有機絶縁膜の開口を行ってもよい。
2 圧電振動素子
3 圧電振動素子搭載パッド
4 貫通電極
5 外部端子
6 圧電デバイスパッケージ
7 蓋
8 圧電デバイスパッケージ内部
9 貫通孔
10 絶縁膜
11 有機絶縁膜
21 シリコン基板
22 キャビティー
23 レジストマスク
24 貫通孔
25 絶縁膜
26 共通電極膜
27 圧電振動素子搭載パッド
28 接続配線部
29 貫通電極
30 導電性部材
31 有機絶縁膜
32 外部端子
33 圧電振動素子
34 蓋
35 開口部
41 圧電デバイス
42 圧電振動素子
43 圧電振動素子搭載パッド
44 貫通電極
45 外部端子
46 圧電デバイスパッケージ
47 蓋
48 圧電デバイスパッケージ内部
49 貫通孔
50 絶縁膜
51 絶縁膜
52 有機絶縁膜
53 導電性部材
61 シリコン基板
62 キャビティー
63 絶縁膜
64 レジストマスク
65 貫通孔
66 絶縁膜
67 共通電極膜
68 圧電振動素子搭載パッド
69 接続配線部
70 貫通電極
71 導電性部材
72 有機絶縁膜
73 開口部
74 外部端子
75 圧電振動素子
76 蓋
Claims (3)
- 圧電振動素子をパッケージ内に収納して成る圧電デバイスの製造方法であって、
少なくとも、平板基板に前記圧電振動素子を収納するためのキャビティーを形成する工程と、
前記平板基板のキャビティー形成面との対向面にレジスト膜を形成する工程と、
前記レジスト膜をパターニングして、貫通孔形成用のレジストマスクを形成する工程と、
前記レジストマスクをエッチングマスクとしてキャビティー形成面との対向面からドライエッチングによって貫通孔を形成する工程と、
前記平板基板表面、前記キャビティー内面および前記貫通孔内面に絶縁膜を形成する工程と、
前記貫通孔に導電性部材を充填して貫通電極を形成する工程と、
圧電振動素子搭載パッドと、該圧電振動素子搭載パッドと前記貫通電極とを接続する接続配線部を形成する工程と、
前記キャビティーと対向面の前記絶縁膜上に有機絶縁膜を形成する工程と、
前記貫通電極直下および前記有機絶縁膜上に前記貫通電極と接続される外部端子を形成する工程と、
前記圧電振動素子を前記圧電振動素子搭載パッドに固定する工程と、
前記キャビティーの上方に蓋部材を接合して前記圧電振動素子をパッケージ内に気密封止する工程と、
を有することを特徴とする圧電デバイスの製造方法。 - 前記平板基板表面、前記キャビティー内面および前記貫通孔内面に絶縁膜を形成する工程は、熱酸化法によって各面同時に形成する事を特徴とする請求項1に記載の圧電デバイスの製造方法。
- 前記貫通孔内に導電性部材を充填し、貫通電極を形成する工程と、圧電振動素子搭載パッドと、該圧電振動素子搭載パッドと前記貫通電極とを接続する接続配線部を形成する工程は、電解メッキによって一括で行う事を特徴とする請求項1又は2に記載の圧電デバイスの製造方法。
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