JP2019087768A - 半導体装置 - Google Patents
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Description
一主面と、前記一主面とは反対側の他の主面と、前記一主面から前記他の主面までを貫通する貫通孔と、を有する半導体基板と、前記他の主面上に形成された第1導電層と、前記貫通孔の内壁に形成されると共に前記第1導電層を露出する第1開口部を有する絶縁層と、前記貫通孔の内壁に形成された絶縁層を被覆すると共に前記第1導電層の前記第1開口部の外縁に対応する領域に形成された凹部に埋設される有機絶縁層と、前記貫通孔の内壁に形成された有機絶縁層上に形成されると共に、前記有機絶縁層の前記貫通孔の底部に形成された第2開口部から露出する前記第1導電層に接続される第2導電層と、を備える半導体装置が提供される。
図1−5(K)を参照すれば、本発明の好ましい第1の実施の形態の半導体装置1は、半導体シリコン基板10と、酸化シリコン膜12と、TiN膜14と、Al膜16と、貫通孔20と、CVD酸化膜22と、有機絶縁膜24と、シードメタル層26と、Cuめっき層30と、ソルダーレジスト32とを備えている。
次に、図9−1〜9−5を参照して比較例の半導体装置3の製造方法を説明する。
シリコン基板10の主面13上ならびに貫通孔20の側面21および底部にCVD酸化膜22(図1−2(D)、図9−2(D)、図11参照)を形成すると、CVDに使用される原料ガスの回り込みの影響等で、貫通孔20の底部に形成されるCVD酸化膜22よりも、シリコン基板10の主面13上に形成されるCVD酸化膜22の方が膜厚が厚くなり、また、貫通孔20の底部の角部に窪み221が生じる(図11参照)。また、CVD酸化膜22を形成する際に、シリコン基板10の主面13上等でパーティクル221がCVD酸化膜22に取り込まれる場合もある(図10参照)。
比較例のように、スパッタによりシードメタル層26を形成すると、貫通孔20の底部の角部に生じたAl膜16の窪み161には、未スパッタ部分261やピンホールが発生する場合がある(図15参照)。
このような場合には、パーティクル221を介してシリコン基板10とCuめっき層30との間でリークが発生する。
図8−5(K)を参照すれば、本発明の好ましい第2の実施の形態の半導体装置2は、半導体シリコン基板10と、酸化シリコン膜12と、TiN膜14と、Al膜16と、貫通孔20と、CVD酸化膜22と、有機絶縁膜24と、シードメタル層26と、Cuめっき層30と、ソルダーレジスト32とを備えている。
電解めっきでは、主面13上の方が貫通孔20内よりも電流が流れやすいので、主面13上のCuめっき層30の膜厚は、貫通孔20の側面21や底部のCuめっき層30の膜厚よりも大きい。
11 主面
12 酸化シリコン膜
13 主面
14 TiN膜
16 Al膜
20 貫通孔
22 CVD酸化膜
24 有機絶縁膜
25 開孔
26 シードメタル層
28 ドライフィルム
30 Cuめっき層
32 ソルダーレジスト
Claims (5)
- 一主面と、前記一主面とは反対側の他の主面と、前記一主面から前記他の主面までを貫通する貫通孔と、を有する半導体基板と、
前記他の主面上に形成された第1導電層と、
前記貫通孔の内壁に形成されると共に前記第1導電層を露出する第1開口部を有する絶縁層と、
前記貫通孔の内壁に形成された絶縁層を被覆すると共に前記第1導電層の前記第1開口部の外縁に対応する領域に形成された凹部に埋設される有機絶縁層と、
前記貫通孔の内壁に形成された有機絶縁層上に形成されると共に、前記有機絶縁層の前記貫通孔の底部に形成された第2開口部から露出する前記第1導電層に接続される第2導電層と、を備える
半導体装置。 - 前記絶縁層は、前記第1導電層と接する第1領域と、前記有機絶縁層を介して前記第1導電層と接する第2領域と、を有することを特徴とする
請求項1に記載の半導体装置。 - 前記絶縁層は、前記一主面を被覆することを特徴とする
請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記第2導電層は、前記有機絶縁層を介して前記一主面上の前記絶縁層と接する
請求項3に記載の半導体装置。 - 前記第2導電層は、平面視において前記第1開口部に内包される領域の前記第1導電層に接続される
請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体装置。
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