JP5141683B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、特許文献1に開示されたような方法でCu拡散バリア層を形成する場合、Cu配線の抵抗を低く抑えるために、Cu配線中に残存するMn等の添加金属の濃度を低くする必要がある。
上記の課題を解決するために、本発明では、以下の手段を採用する。
このような構成にすることにより、本発明によれば、Cu拡散バリア膜を形成するために添加した金属元素を、Cu配線中から効率的に除去することが可能となる。
20…配線溝部
21A…銅配線
21B…バリアメタル膜
22、24…エッチングストッパ膜(層間絶縁膜)
22A、23A、24A、25A…開口部
26…Cu−Mn合金層
30、31、32、33、34…銅層
30A、32A、34A…配線部
30B、32B、34B…拡散バリア膜
34M…高濃度領域
・実施例2では、電解めっきによって配線溝部に第1のCu層を形成した後、前記第1のCu層上に、CO、CO2、N2等のガスを導入したCuスパッタを行うことにより、酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)が第1のCu層よりも多く添加された第2のCu層を形成する例を説明する。
・実施例3では、電解めっきによって配線溝内部及び当該溝部外側にCu層を形成した後、前記Cu層の表面に、酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)を導入する例を説明する。
次に、実施例1におけるCu配線構造を形成する方法について説明する。実施例1では、上述したように、電解めっきによってCuを堆積させ、配線溝部に第1のCu層を形成した後、電解めっきを行う条件である電流密度を変化させることによって、前記第1のCu層上に、酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)が第1のCu層よりも多く添加された第2のCu層を形成する例について説明する。なお、第2のCu層を、CVD法を用いて形成した例も併せて説明する。図5〜8は、実施例1によるCu配線の形成方法を工程毎に示した断面図である。
本工程では、図示しない基板上に層間絶縁膜19(層間絶縁膜21〜25)を形成する。なお、基板は、例えばシリコンウェハ等のシリコン基板である。図5Aは、本実施例1の工程1及び工程2により形成された半導体装置を示した断面図である。具体的には、先ず、基板上に層間絶縁膜21を形成する。層間絶縁膜21中にはタンタル(Ta)或いは窒化タンタル(TaN)等からなるバリアメタル膜21Bを介して、Cu配線21Aが埋設されている。Cu配線21Aの幅は、例えば500nmである。
本工程では、工程2において基板上に形成された層間絶縁膜19(エッチングストッパ22,24及び層間絶縁膜23,25)に、配線溝部20を形成する(工程3−1)。図5B〜図6Eは、実施例1の工程3により形成された半導体装置を示した断面図である。
本工程では、工程3で形成された配線溝部20(配線溝25A及び開口部22A〜24A)を覆うCu−Mn合金層26を形成する。Cu−Mn合金層26は、銅とマンガンとを含む合金層である。図7Fは、実施例1の工程4により形成された半導体装置を示した断面図である。ここで、Cu−Mn合金層26は配線溝部20の底面及び側壁を覆い、シード層としても機能する。なお、Cu−Mn合金層26は、例えば、Mnを0.1〜10原子%含んだ合金層であり、配線溝25Aにおける底面及び側壁と、開口部22A〜24Aおける底面及び側壁とを連続的に覆う膜である。Cu−Mn合金層26の膜厚は、例えば10〜80nmであり、例えばスパッタリングにより形成される。また、スパッタリング以外にも、CVDや原子層堆積(ALD:Atomic Layer Deposition)法により形成することができる。
本工程では、電解めっきにより、Cu−Mn合金層26が形成された基板上に、配線溝部20を充填するようにCu層30(第1の銅層)及びCu層31(第2の銅層)を形成する。図7G及び図7Hは、実施例3の工程5により形成された半導体装置を示す断面図である。なお、ここで、Cu層30及びCu層31は、いずれも銅(Cu)を主成分とする材料からなる層である。
・接液時に電流密度がほぼ一定になるように電流を制御しながら基板を浸漬するポテンシオ・スタティックエントリー(Potentiostatic Entry)。
・基板とアノード間へ微小の電圧(例えば0.25V)を印加して浸漬し、その浸漬時の電圧降下後から一定時間保持した後に、所定の電流密度になるように電圧を印加するトリガードエントリー(Triggered Entry)。
・基板とアノード間へ微小の電圧(例えば0.25V)を印加して浸漬し、その浸漬時の電圧降下後から一定時間保持した後に、所定の電流密度まで、直線的に電圧を印加するランプドエントリー(Ramped Entry)。
等の元素を、Cu層30よりも多く取り込むことができる。勿論、Cuの原料として他の有機原料を用いてもよい。
本工程では、Cu層30及びCu層31が形成された基板に熱処理を施す。図8Iは、実施例1の工程6により形成された半導体装置を示した断面図である。具体的には、Cu層30及びCu層31が形成された基板を、例えば250℃以上400℃以下の温度で、約30分間加熱する。このとき、Cu層30及びCu層31が形成された基板を、水素ガス、或いは、窒素,アルゴン等の不活性ガスの雰囲気中で加熱する。また、当該加熱を行う際に使用するガスとして、蟻酸等の強酸性ガスを用いてもよい。
本工程では、例えば、CMPを用いて、Cu層30及びCu層31のうち、層間絶縁膜25上に堆積した余剰部分を除去する。図8Jは、実施例3の工程7により形成された半導体装置を示した断面図である。図8Jに示されるように、本工程では、上記Cu層30及びCu層31に加えて、拡散バリア膜30Bのうち、層間絶縁膜25上に堆積している部分も併せて研磨し、層間絶縁膜25の表面を露出させる。
次に、実施例2におけるCu配線構造を形成する方法を説明する。実施例2では、上述したように、電解めっきによって配線溝部に第1のCu層を形成した後、前記第1のCu層上に、CO、CO2、N2等のガスを導入したCuスパッタを行うことにより、酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)が第1のCu層よりも多く添加された第2のCu層を形成する。図9及び図10は、実施例2によるCu配線の形成方法を工程毎に示した断面図である。なお、本実施例における工程1〜4は実施例1と同様であるため、その説明を省略する。
本工程では、電解めっきにより、Cu−Mn合金層26が形成された基板上に、配線溝部20を充填するようにCu層32(第1の銅層)を形成した後、スパッタ法にて、Cu層33(第2の銅層)を形成する。図9G及び図9Hは、実施例2の工程5により形成された半導体装置を示した断面図である。
1.スパッタリング装置内に導入するガスの組成を変えることにより、Cu中に取り込む元素の種類を制御できる。
2.スパッタリング装置内に導入するガスの流量を調節することにより、Cu中に取り込む元素の導入量を制御できる。
本工程では、図10Iに示すように、実施例1と同様の方法で、Cu層32及びCu層33が形成された基板に熱処理を施す。
本工程では、図10Jに示すように、実施例1と同様の方法で、Cu層32及びCu層33のうち、層間絶縁膜25上に堆積した余剰部分を除去する。
次に、実施例3におけるCu配線構造を形成する方法を説明する。実施例3は、上述したように、電解めっきによって配線溝内部及び当該溝部外側にCu層を形成した後、前記Cu層の表面に、酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)をイオン注入する場合、或いは、Cu層の表面に酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)を含むガスに晒して、Cu層の表面に酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)を導入する場合である。図11及び図12は、実施例3によるCu配線の形成方法を工程毎に示した断面図である。なお、本実施例の工程1〜4は実施例1と同様であるため、その説明を省略する。
本工程では、電解めっきにより、Cu−Mn合金層26が形成された基板上に、配線溝部20を充填するようにCu層34(第1の銅層)を形成する。ここで、Cu層34は、電解めっきにより形成する。このときの電解めっきは、電流密度を、例えば49.7mA/cm2に設定して行なう。そして、Cu層34表面から、酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)を導入する。図11G及び図11Hは、実施例3の工程5により形成された半導体装置を示した断面図である。
1.Cu層34の表面を、CO、CO2、O2、N2、NO2等のガスに晒した状態で、或いは、大気(空気)中で、熱処理を行い、例えば表面より100nm程度の深さに、酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)を導入する。
2.イオン注入法により、Cuの表面に、酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)のイオンを打ち込み、例えば表面より100nm程度の深さに、酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)を導入する。
このような方法を用いて、Cu層34の表層部分に、酸素(O)、炭素(C)又は窒素(N)が導入された高濃度領域34Mを形成する。
本工程では、図12Iに示すように、実施例1と同様の方法で、高濃度領域34Mが形成された基板に熱処理を施す。
本工程では、図12Jに示すように、実施例1と同様の方法で、Cu層34のうち、高濃度領域34MをCMPにて除去する。
Claims (16)
- 基板上に層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜に開口部を形成する工程と、
前記開口部の内面を覆うように、マンガンと銅を含む合金層を形成する工程と、
前記合金層上に、銅を主成分とする材料からなる第1の銅層を、前記開口部を埋めるように形成する工程と、
前記第1の銅層上に、銅を主成分とする材料からなり、且つ、酸素、炭素又は窒素のいずれかの濃度が前記第1の銅層よりも高い第2の銅層を形成する工程と、
前記第2の銅層が形成された基板を加熱して、前記第2の銅層中の前記マンガンの濃度を前記第1の銅層中の前記マンガンの濃度より高くする工程と、
前記加熱工程の後に、前記第2の銅層を除去する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1の銅層が、前記合金層をシード層とした電解めっきにより形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第1の銅層及び前記第2の銅層が電解めっきにより形成され、
前記第2の銅層の形成は、電解めっきの電流密度が、前記第1の銅層の形成における電解めっきの電流密度よりも低い条件で行われる
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の銅層が、銅の有機化合物を使用した化学気相堆積により形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の銅層が、ヘキサフルオロアセチルアセトネート銅を原料とした化学気相堆積により形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の銅層がスパッタリングにより形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記スパッタリングを、酸素、炭素又は窒素を含んだガスを導入した状態で行う
ことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記層間絶縁膜にはシリコン及び酸素が含まれ、
前記基板を加熱する工程において、前記開口部内にMnSiXOYを主成分とするバリア膜が形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記基板を加熱する工程において、前記基板を250℃以上400℃以下の温度で加熱する
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記基板を加熱する工程において、前記基板を、水素ガス、窒素ガス又はアルゴンガスの雰囲気中で加熱する
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記合金層が、スパッタリングにより形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記合金層が、0.1〜10原子%のマンガンを含んでいる
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記開口部が、配線上に形成される
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線が銅を主成分とする材料からなり、前記合金層を形成する前に、前記配線の表面酸化物を除去する
ことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記配線と前記層間絶縁膜との間に、タンタル或いは窒化タンタルを主成分とする材料からなるバリア膜が形成されている
ことを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。 - 基板上に層間絶縁膜を形成する工程と、
前記層間絶縁膜に開口部を形成する工程と、
前記開口部の内面を覆うように、マンガンと銅を含む合金層を形成する工程と、
前記合金層上に、銅を主成分とする材料からなる第1の銅層を、前記開口部を埋めるように形成する工程と、
前記第1の銅層に酸素、炭素又は窒素のイオンを注入し、前記第1の銅層に注入層を形成する工程と、
前記注入層を形成する工程の後、前記第1の銅層が形成された基板を加熱して、前記注入層中の前記マンガンの濃度を前記第1の銅層中の前記マンガンの濃度より高くする工程と、
前記加熱工程の後、前記注入層を除去する工程と
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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