JP5130939B2 - 半導体用接着組成物およびそれを用いた半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体用接着組成物およびそれを用いた半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5130939B2 JP5130939B2 JP2008031396A JP2008031396A JP5130939B2 JP 5130939 B2 JP5130939 B2 JP 5130939B2 JP 2008031396 A JP2008031396 A JP 2008031396A JP 2008031396 A JP2008031396 A JP 2008031396A JP 5130939 B2 JP5130939 B2 JP 5130939B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor
- adhesive composition
- epoxy compound
- weight
- curing agent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
乾燥窒素気流下、2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(以下、BAHFとする)24.54g(0.067モル)、1,3−ビス(3−アミノプロプル)テトラメチルジシロキサン(以下、SiDAとする)4.97g(0.02モル)、末端封止剤として3−アミノフェノール2.18g(0.02モル)をN−メチル−2−ピロリドン(以下、NMPとする)80gに溶解させた。ここにオキシジフタル酸二無水物(以下、ODPAとする)31.02g(0.1モル)をNMP20gとともに加えて、25℃で1時間反応させ、次いで50℃で4時間撹拌した。その後、180℃で5時間撹拌した。撹拌終了後、溶液を水3Lに投入し、ろ過して沈殿を回収し、水で3回洗浄した後、真空乾燥機を用いて80℃20時間乾燥し、有機溶剤可溶性ポリイミド(PI1)(白色粉体)を得た。得られたポリマー4gにテトラヒドロフラン(以下、THFとする)6gを加え、撹拌したところ溶解した。
乾燥窒素気流下、BAHF24.54g(0.067モル)、SiDA4.97g(0.02モル)をNMP80gに溶解させた。ここにODPA31.02g(0.1モル)をNMP20gとともに加えて、25℃で1時間反応させ、次いで50℃で4時間撹拌した。その後、180℃で5時間撹拌した。撹拌終了後、溶液を水3Lに投入し、ろ過して沈殿を回収し、水で3回洗浄した後、真空乾燥機を用いて80℃20時間乾燥し、有機溶剤可溶性ポリイミド(PI2)(白色粉体)を得た。得られたポリマー4gにテトラヒドロフラン(以下、THFとする)6gを加え、撹拌したところ溶解した。
乾燥窒素気流下、BAHF29.3g(0.08モル)、SiDA4.97g(0.02モル)をNMP130gに溶解した。ここにODPA28.54g(0.092モル)をNMP20gとともに加えて、25℃で1時間反応させ、次いで50℃で4時間撹拌した。その後、180℃で5時間撹拌した。撹拌終了後、溶液を水3Lに投入し、ろ過して沈殿を回収し、水で3回洗浄した後、真空乾燥機を用いて80℃20時間乾燥し、有機溶剤可溶性ポリイミド(PI3)(白色粉体)を得た。得られたポリマー4gにテトラヒドロフラン(以下、THFとする)6gを加え、撹拌したところ溶解した。
乾燥窒素気流下、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン4.82g(0.0165モル)、3,3’−ジアミノ−4,4’−ジヒドロキシジフェニルスルホン3.08g(0.011モル)、SiDA4.97g(0.02モル)、末端封止剤としてアニリン0.47g(0.005モル)をNMP130gに溶解した。ここに2,2−ビス{4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル}プロパン二無水物26.02g(0.05モル)をNMP20gとともに加えて、25℃で1時間反応させ、次いで50℃で4時間撹拌した。その後、180℃で5時間撹拌した。撹拌終了後、溶液を水3Lに投入し、ろ過して沈殿を回収し、水で3回洗浄した後、真空乾燥機を用いて80℃20時間乾燥し、有機溶剤可溶性ポリイミド(PI4)(白色粉体)を得た。得られたポリマー4gにテトラヒドロフラン(以下、THFとする)6gを加え、撹拌したところ溶解した。
(b)固形エポキシ化合物
エピコート157S70(商品名、ジャパンエポキシレジン(株)製)
エピコート1010(商品名、ジャパンエポキシレジン(株)製)
(c)液状エポキシ化合物
エピコートEP828US(商品名、ジャパンエポキシレジン(株)製)
EXA−830VLP(大日本インキ化学(株)製)
HP−7200(大日本インキ化学(株)製)
ノバキュアHX−3941HP、ノバキュアHXA3922HP、ノバキュアHXA3932HP、ノバキュアHXA3042HP(以上商品名、旭化成ケミカルズ(株)製)中に含まれる液状エポキシ化合物。ノバキュアHX−3941HP、ノバキュアHXA3922HP、ノバキュアHXA3932HPは、マイクロカプセル/液状エポキシ化合物が1/2であり、含まれる液状エポキシ化合物において、ビスフェノールF型エポキシ化合物/ビスフェノールA型エポキシ化合物が4/1である。ノバキュアHXA3042HPは、マイクロカプセル/液状エポキシ化合物が1/2であり、含まれる液状エポキシ化合物において、ビスフェノールF型エポキシ化合物/ナフタレン型エポキシ化合物が3/1である。
(d)潜在性硬化剤
ジシアンジアミド型潜在性硬化剤
アミキュアAH−154(商品名、味の素ファインテクノ(株)製)
アミンアダクト型潜在性硬化剤
アミキュアMY−H(商品名、味の素ファインテクノ(株)製)
芳香族スルホニウム塩型潜在性硬化剤
サンエイドSI100(商品名、三新化学工業(株)製)
サンエイドSI150(商品名、三新化学工業(株)製)
マイクロカプセル型潜在性硬化剤
ノバキュアHX−3941HP(商品名、旭化成ケミカルズ(株)製)
ノバキュアHXA3922HP(商品名、旭化成ケミカルズ(株)製)
ノバキュアHXA3932HP(商品名、旭化成ケミカルズ(株)製)
ノバキュアHXA3042HP(商品名、旭化成ケミカルズ(株)製)
その他の配合物
硬化剤
キュアゾール2PZ(商品名、四国化成工業(株)製)
キュアゾール2MZA−PW((商品名、四国化成工業(株)製)
フェノール樹脂
MEH−8000H(昭和化成(株)製)
フェノキシ樹脂
PKHH(商品名、InChem社製)
フェノトートFX−208S(商品名、東都化成(株)製)
ブチラール樹脂
デンカブチラール♯3000−K(商品名、電気化学工業(株)製)
球状シリカフィラー
SE−5101(商品名、アドマテック(株)製)
アクリルゴム
SG−80H(商品名、ナガセケムテックス(株)製)
W−380(商品名、三菱レーヨン(株)製)
シランカップリング剤
KBM−403(商品名、信越化学工業(株)製)
A−1289(商品名、モメンティブパフォーマンスマテリアル社製)
次に、半導体用接着組成物のシート作製、ラミネート、ダイシング、フリップチップボンディングの方法と、各種評価の方法について示す。
半導体接着組成物ワニスを、コンマコーターを用いてシリコーン系の離型処理を行った厚さ38μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(重剥離側プラスチックフィルム)上に塗布し、80℃で4分間乾燥した。乾燥後の半導体用接着組成物上に厚さ8μmのポリプロピレンフィルム(軽剥離側プラスチックフィルム)を加熱ロール温度40℃でラミネートし、直径7.6cmのロールに巻き取り、半導体用接着組成物層の厚さが30μmである半導体用接着用組成物のシートを得た。
貼り合わせ装置ステージ上に固定された平均高さ20μmバンプ電極付き(256バンプ/チップ、ピッチ65μm、金めっきバンプ、液晶ドライバ用)シリコンウェハ(直径150mm、厚さ625μm)のバンプ電極側に軽剥離側プラスチックフィルムを剥離した後の半導体用接着シート材料の半導体用接着組成物面を貼り合わせ装置(テクノビジョン(株)製、モデル900S)を用いて温度85℃、貼り合わせ速度50cm/分でラミネートした。この時、ボイドまたは空隙の有無を半導体用接着組成物面および断面を顕微鏡観察(20倍率)し、バンプ電極周辺および半導体用接着組成物とシリコンウェハ界面のボイドまたは空隙の有無を観察し、3個以上のボイド、空隙がある場合を初期のラミネート性×、1〜2個の空隙、ボイドがある場合を初期のラミネート性△、ない場合を初期のラミネート性○とした。半導体ウェハ周囲の余分な半導体用接着組成物をカッター刃にて切断し、重剥離側プラスチックフィルムを具備したバンプ電極が半導体用接着剤で埋め込まれた半導体ウェハを得た。
前記(2)で得られた半導体用接着剤付き半導体ウェハを80℃で1時間熱処理をしてからダイシングを行った。半導体ウェハのテープフレーム、およびダイシングテープへの固定は、ウェハマウンター装置(テクノビジョン(株)製、FM−1146−DF)を用い、バンプとは反対側のウェハ基板面にダイシングテープ(リンテック(株)製、D−650)を貼り合わせることによって行った。次いで、残りのプラスチックフィルムを除去した。ダイシング装置(DISCO(株)製、DFD−6240)切削ステージ上に、半導体用接着組成物面が上になるようにテープフレームを固定して、ダイシング装置のCCDカメラにてアライメントを行った。アライメントは半導体ウェハに配列するバンプ電極でアライメントした場合と半導体ウェハ面のアライメントマークでアライメントしたときの二通りの方法で実施した。すべてのバンプ電極あるいは半導体ウェハ面のすべてのアライメントマークについて認識できた場合を○、認識できなかった場合を×とした。
ダイシング装置:DFD−6240(DISCO(株)製)
半導体チップサイズ:2.5cm×16.5cm
ブレード:NBC−ZH 127F−SE 27HCCC
スピンドル回転数:25000rpm
切削速度:50mm/s
切削深さ:ダイシングテープの深さ20μmまで切り込む
カット:ワンパスフルカット
カットモード:ダウンカット
切削水量:3.7L/分
切削水および冷却水:温度23℃、電気伝導度0.5MΩ・cm(超純水に炭酸ガスを注入
バンプ電極が半導体用接着組成物で埋め込まれた半導体ウェハをダイシングにより個片チップ化したもの(半導体チップ)について、半導体用接着組成物表面の切削粉の付着の有無、半導体用接着組成物表面の割れ、欠けの有無、ウェハから接着剤層の剥がれの有無を顕微鏡により観察した。切削粉の付着については、半導体接着組成物表面に切削粉の付着のないものを耐汚染性○、1〜2個の付着があるものを耐汚染性△、3個以上の付着のあるものを耐汚染性×とした。また、長さが25mμm以上の割れ、欠け、ウェハからの剥がれがないものを耐傷性○、1〜2個あるものを耐傷性△、3個以上あるものを耐傷性×とした。
前記(3)で作製した半導体チップを40℃で1時間熱処理をしてからフリップチップボンディングを行った。バンプ電極が半導体用接着組成物で埋め込まれた半導体チップの回路基板への接続は、フリップチップボンディング装置(東レエンジニアリング(株)製、FC−2000)を用いた。ITOのパッド電極が付いているガラス基板を回路基板とした。半導体チップのバンプ電極とパッド電極付きガラス基板上のパッド基板が重なるようにアライメントを行った。このとき、すべてのバンプ電極あるいは半導体面のすべてのアライメントマークについて認識できた場合を○、認識できない場合を×とした。
熱衝撃試験は、(4)での室温で3日保存後ボンディングした半導体付き回路基板について評価した。−40℃で5分間維持後、125℃で5分間維持するサイクルを1サイクルとし、これを1000サイクル行った後の半導体付き回路基板の導通性を評価した。初期導通試験の良品20個について評価を行い、1カ所でも導通不良があれば不良とし、半導体付き回路基板20個当たりの良品の個数を示した。良品数は15個以上であることが重要であり、好ましくは18個以上であり、最も好ましくは20個である。
前記(5)の熱衝撃試験評価後の半導体付き回路基板を液晶基板に組み込み半導体装置を作製し、表示テストを行った。表示されたものは○、表示されないもの、またはノイズが発生しているものは×とした。
(a)熱可塑性樹脂として、有機溶剤可溶性ポリイミド(PI1)30g、(b)固形エポキシとして、エピコート157S70(ジャパンエポキシレジン(株)製)35gを酢酸エチル/トルエン(1/1)混合溶媒190gに溶解した。この溶液に(c)潜在性硬化剤として、マイクロカプセル型潜在性硬化剤ノバキュアHX−3941HP(旭化成ケミカルズ(株)製)52.5g(液状エポキシ化合物35gと潜在性硬化剤17.5g)を加え、混合し、半導体用接着組成物ワニスAを得た(表1)。
実施例1と同様にして表1に示す混合比で半導体接着組成物のシートを作製し、ラミネート、ダイシング、フリップチップボンディングを行い、上記の各種評価を行った。結果を表2に示す。
実施例1と同様にして表3〜7に示す混合比で半導体接着組成物のシートを作製し、ラミネート、ダイシング、フリップチップボンディングを行い、上記の各種評価を行った。結果を表3〜7に示す。
Claims (5)
- 半導体ウェハのバンプ電極面に形成される半導体用接着組成物であって、(a)有機溶剤可溶性ポリイミド、(b)エポキシ化合物、(c)潜在性硬化剤を含有し、(b)エポキシ化合物が固形エポキシ化合物と液状エポキシ化合物を含有し、(b)エポキシ化合物において、液状エポキシ化合物が全エポキシ化合物に対し、40重量%以上60重量%以下であり、(b)エポキシ化合物100重量部に対し(c)潜在性硬化剤が23重量部以上30重量部以下であることを特徴とする半導体用接着組成物。
- (c)潜在性硬化剤がアミンアダクト型潜在性硬化剤をイソシアネートで処理したマイクロカプセル型潜在性硬化剤である請求項1記載の半導体用接着組成物。
- (b)エポキシ化合物100重量部に対し(a)有機溶媒可溶性ポリイミドが10重量部以上100重量部以下である請求項1または2記載の半導体用接着組成物。
- バンプ電極が形成された半導体素子を複数個形成した半導体ウェハの上に、請求項1〜3のいずれか記載の半導体用接着組成物を仮接着し、その後ダイシングにより個片化を行い、個片化した半導体用接着組成物付き半導体素子を回路基板に搭載し、半導体素子上に形成された電極と回路基板上の電極を直接接触させることで電気的接続を行う半導体装置の製造方法。
- 請求項1〜3のいずれか記載の半導体用接着組成物の硬化物を有する半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008031396A JP5130939B2 (ja) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | 半導体用接着組成物およびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008031396A JP5130939B2 (ja) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | 半導体用接着組成物およびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009194054A JP2009194054A (ja) | 2009-08-27 |
JP2009194054A5 JP2009194054A5 (ja) | 2011-03-03 |
JP5130939B2 true JP5130939B2 (ja) | 2013-01-30 |
Family
ID=41075843
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008031396A Active JP5130939B2 (ja) | 2008-02-13 | 2008-02-13 | 半導体用接着組成物およびそれを用いた半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5130939B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10703945B2 (en) | 2018-04-25 | 2020-07-07 | Daxin Materials Corporation | Method for temporary bonding workpiece and adhesive |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5444986B2 (ja) * | 2009-09-16 | 2014-03-19 | 東レ株式会社 | 半導体用接着組成物、それを用いた半導体装置 |
JP5887693B2 (ja) * | 2009-10-19 | 2016-03-16 | 東レ株式会社 | 感光性接着剤組成物、感光性接着剤シートおよびこれらを用いた半導体装置 |
JP5630639B2 (ja) * | 2010-07-07 | 2014-11-26 | 住友電気工業株式会社 | フィルム状導電性接着剤 |
JP5779895B2 (ja) * | 2011-02-08 | 2015-09-16 | 東レ株式会社 | 半導体用絶縁性接着剤 |
SG11201401908RA (en) | 2011-11-29 | 2014-09-26 | Toray Industries | Resin composition, resin composition sheet, semiconductor device and method for manufacturing same |
JP6341277B2 (ja) * | 2014-06-04 | 2018-06-13 | 日立化成株式会社 | フィルム状エポキシ樹脂組成物、フィルム状エポキシ樹脂組成物の製造方法、及び半導体装置の製造方法 |
WO2018194156A1 (ja) * | 2017-04-21 | 2018-10-25 | 日立化成株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000319620A (ja) * | 1999-05-06 | 2000-11-21 | Nitto Denko Corp | 液状接着剤組成物 |
JP3894781B2 (ja) * | 2001-12-07 | 2007-03-22 | ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 | 異方性導電膜 |
JP4449325B2 (ja) * | 2003-04-17 | 2010-04-14 | 住友ベークライト株式会社 | 半導体用接着フィルム、半導体装置、及び半導体装置の製造方法。 |
JP4394547B2 (ja) * | 2004-09-13 | 2010-01-06 | ソニーケミカル&インフォメーションデバイス株式会社 | 異方性導電膜を用いた接続方法 |
KR101294647B1 (ko) * | 2005-06-06 | 2013-08-09 | 도레이 카부시키가이샤 | 반도체용 접착 조성물, 그것을 사용한 반도체 장치 및반도체 장치의 제조 방법 |
-
2008
- 2008-02-13 JP JP2008031396A patent/JP5130939B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10703945B2 (en) | 2018-04-25 | 2020-07-07 | Daxin Materials Corporation | Method for temporary bonding workpiece and adhesive |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009194054A (ja) | 2009-08-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3995022B2 (ja) | 半導体用接着組成物、それを用いた半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5130939B2 (ja) | 半導体用接着組成物およびそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP5141366B2 (ja) | 半導体用接着フィルムおよびこれを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP5040247B2 (ja) | 半導体用接着組成物、それを用いた半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5740979B2 (ja) | 接着組成物、接着シート、それらを用いた回路基板および半導体装置ならびにそれらの製造方法 | |
TWI640593B (zh) | 接著劑、接著劑膜、半導體裝置及其製造方法 | |
JP6040935B2 (ja) | 樹脂組成物、樹脂組成物シート、半導体装置およびその製造方法 | |
JP5422878B2 (ja) | 半導体用接着組成物、それを用いた半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
KR20160019474A (ko) | 수지 조성물, 수지 시트 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP5040252B2 (ja) | 半導体用接着組成物、それを用いた半導体装置および半導体装置の製造方法。 | |
JP2017141317A (ja) | 仮貼り樹脂組成物、樹脂層、永久接着剤、仮貼り接着剤、ウエハ加工体およびこれらを用いた半導体装置の製造方法 | |
JP6112013B2 (ja) | バンプ電極付き半導体装置製造用接着剤シートおよび半導体装置の製造方法 | |
JP5103870B2 (ja) | 半導体用接着組成物、それを用いた半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2010006929A (ja) | 接着剤組成物、接着用シート及びダイシング・ダイアタッチフィルム | |
JP5609357B2 (ja) | 組成物およびそれからなる組成物シート | |
JP5292793B2 (ja) | 半導体用接着シート、それを用いた半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2003261834A (ja) | 半導体用接着フィルム、半導体装置、及び半導体装置の製造方法 | |
WO2015107990A1 (ja) | 接着組成物ならびにそれを有する接着フィルム、接着組成物付き基板、半導体装置およびその製造方法 | |
JP2006120725A (ja) | 接着シート及びそれを用いた半導体装置の製造方法、並びに半導体装置 | |
JP6716939B2 (ja) | 接着剤、それからなる接着フィルム、それらの硬化物を含む半導体装置およびその製造方法 | |
JP2009021562A (ja) | 半導体用接着シート、それを用いた半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2009302426A (ja) | 回路基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110114 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110114 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120221 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120522 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120820 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120904 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121009 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121022 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151116 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5130939 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151116 Year of fee payment: 3 |