JP5122601B2 - リソグラフィ装置、制御システム、マルチコアプロセッサ、およびマルチコアプロセッサにおいてタスクを開始する方法 - Google Patents
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- 2つ以上のコアと、
前記2つ以上のコアによって共用され、一度に前記2つ以上のコアのうちの1つと通信可能な外部通信機器と、
前記2つ以上のコアのそれぞれと同時に通信可能な内部通信機器と、を備え、
前記内部通信機器はタイマを含み、
前記外部通信機器は、外部のデバイスによって送信された第1の信号を受け取り、
前記外部通信機器は、前記2つ以上のコアのうちの1つに前記第1の信号を中継し、
前記2つ以上のコアのうちの前記1つは、前記第1の信号を処理することにより前記タイマを開始させ、
前記内部通信機器は、前記タイマが終了すると前記第2の信号を生成し、
前記内部通信機器は、前記2つ以上のコアのそれぞれに前記第2の信号を同時に伝送し、
前記2つ以上のコアのそれぞれは、前記第2の信号の受信に応じてタスクを開始する、マルチコアプロセッサ。 - リソグラフィ装置におけるプロセスを制御するための制御システムであって、
前記制御システムは、デバイス入力に基づき前記制御システムの出力を計算するマルチコアプロセッサを備え、
前記マルチコアプロセッサは、
2つ以上のコアと、
前記2つ以上のコアによって共用され、一度に前記2つ以上のコアのうちの1つと通信可能な外部通信機器と、
前記2つ以上のコアのそれぞれと同時に通信可能な内部通信機器と、を備え、
前記内部通信機器はタイマを含み、
前記外部通信機器は、前記デバイス入力に関連する第1の信号を受け取り、
前記外部通信機器は、前記2つ以上のコアのうちの1つに前記第1の信号を中継し、
前記2つ以上のコアのうちの前記1つは、前記第1の信号を処理することにより前記タイマを開始させ、
前記内部通信機器は、前記タイマが終了すると前記第2の信号を生成し、
前記内部通信機器は、前記2つ以上のコアのそれぞれに前記第2の信号を同時に伝送し、
前記2つ以上のコアのそれぞれは、前記第2の信号の受信に応じてタスクを開始する、制御システム。 - リソグラフィ装置であって、
前記リソグラフィ装置におけるプロセスを制御するための制御システムと、
前記プロセスに基づいて前記制御システムに入力を提供するセンサと、を備え、
前記制御システムは、前記センサの入力に基づき前記制御システムの出力を計算するマルチコアプロセッサを備え、
前記マルチコアプロセッサは、
2つ以上のコアと、
前記2つ以上のコアによって共用され、一度に前記2つ以上のコアのうちの1つと通信可能な外部通信機器と、
前記2つ以上のコアのそれぞれと同時に通信可能な内部通信機器と、を備え、
前記内部通信機器はタイマを含み、
前記外部通信機器は、前記センサによって送信された第1の信号を受け取り、
前記外部通信機器は、前記2つ以上のコアのうちの1つに前記第1の信号を中継し、
前記2つ以上のコアのうちの前記1つは、前記第1の信号を処理することにより前記タイマを開始させ、
前記内部通信機器は、前記タイマが終了すると前記第2の信号を生成し、
前記内部通信機器は、前記2つ以上のコアのそれぞれに前記第2の信号を同時に伝送し、
前記2つ以上のコアのそれぞれは、前記第2の信号の受信に応じてタスクを開始する、リソグラフィ装置。 - マルチコアプロセッサの複数のコアにおいてタスクを開始する方法であって、
前記マルチコアプロセッサは、
前記複数のコアによって共用され、一度に1つのコアと通信可能な外部通信機器と、
前記複数のコアのそれぞれと同時に通信可能な内部通信機器と、を備え、
前記内部通信機器はタイマを含み、
前記方法は、
前記外部通信機器が、外部のデバイスによって送信された第1の信号を受け取ることと、
前記外部通信機器が、前記複数のコアのうちの1つに前記第1の信号を中継することと、
前記複数のコアのうちの前記1つが、前記第1の信号を処理することにより前記タイマを開始させることと、
前記内部通信機器が、前記タイマが終了すると前記第2の信号を生成することと、
前記内部通信機器が、前記複数のコアのそれぞれに前記第2の信号を同時に伝送することと、
前記複数のコアのそれぞれが、前記第2の信号の受信に応じてタスクを開始することと、を含む、方法。
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