JP5121128B2 - 半導体研磨用組成物 - Google Patents
半導体研磨用組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5121128B2 JP5121128B2 JP2005179763A JP2005179763A JP5121128B2 JP 5121128 B2 JP5121128 B2 JP 5121128B2 JP 2005179763 A JP2005179763 A JP 2005179763A JP 2005179763 A JP2005179763 A JP 2005179763A JP 5121128 B2 JP5121128 B2 JP 5121128B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- water
- soluble polymer
- semiconductor
- polymer compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
前記水溶性高分子化合物は、
窒素含有基を含むカチオン性水溶性高分子化合物としてポリアルキレンイミンと、
窒素含有基を含まない水溶性高分子化合物とを含み、
前記塩基性低分子化合物として水酸化テトラメチルアンモニウムを含み、
シリコンウエハに対する複数段階の研磨において仕上げ段階より前の段階で用いることを特徴とする半導体研磨用組成物である。
Permeation Chromatography)装置(島津社製:(LC−6A)、示差屈折(RI)検出器(東ソー製、RI−8020 温度40℃)を用い、カラムはTSKgel α―M (温度40℃)を用い溶離液にメタノールを用いた。
Defect)のサイズが大きくなったり、発生数が多くなったりする。
実施例1〜3および比較例1,2である半導体研磨用組成物は、以下に示す組成である。半導体研磨用組成物は、ウエハを研磨する際に、40倍に希釈して使用するのが一般的であり、以下の組成は、希釈後の組成であり、残部は純水である。また、HECの重量平均分子量は800000である。
砥粒 :コロイダルシリカ粒子 0.45重量%(4500ppm)
塩基性低分子化合物 :アンモニア 0.025重量%(250ppm)
塩基性低分子化合物 :TMAH 0.001重量%(10ppm)
水溶性高分子化合物 :HEC 0.012重量%(120ppm)
窒素基含有ポリマー :ポリエチレンイミン(数平均分子量:250)
0.010重量%(100ppm)
砥粒 :コロイダルシリカ粒子 0.45重量%(4500ppm)
塩基性低分子化合物 :アンモニア 0.025重量%(250ppm)
塩基性低分子化合物 :TMAH 0.001重量%(10ppm)
水溶性高分子化合物 :HEC 0.012重量%(120ppm)
窒素基含有ポリマー :ポリエチレンイミン(数平均分子量:250)
0.020重量%(200ppm)
砥粒 :コロイダルシリカ粒子 0.45重量%(4500ppm)
塩基性低分子化合物 :アンモニア 0.025重量%(250ppm)
塩基性低分子化合物 :TMAH 0.001重量%(10ppm)
水溶性高分子化合物 :HEC 0.012重量%(120ppm)
窒素基含有ポリマー :ポリエチレンイミン(数平均分子量:10000)
0.010重量%(100ppm)
砥粒 :コロイダルシリカ粒子 0.45重量%(4500ppm)
塩基性低分子化合物 :アンモニア 0.025重量%(250ppm)
水溶性高分子化合物 :HEC 0.012重量%(120ppm)
砥粒 :コロイダルシリカ粒子 0.45重量%(4500ppm)
塩基性低分子化合物 :アンモニア 0.025重量%(250ppm)
塩基性低分子化合物 :TMAH 0.001重量%(10ppm)
水溶性高分子化合物 :HEC 0.012重量%(120ppm)
研磨評価は、以下の研磨条件でウエハの研磨を行った後、ウエハの洗浄を行い、ヘイズレベルおよび研磨レートを測定した。ヘイズレベルは、ウエハ表面検査装置(LS6600、日立電子エンジニアリング株式会社製)を用いて測定し、研磨レートは、ウエハの重量変化から測定した。
研磨パッド:商品名Whitex100、ニッタ・ハース株式会社製
研磨装置:枚葉式研磨装置、商品名Strasbaugh20、Strasbaugh社製
研磨定盤回転速度:115rpm
加圧ヘッド回転速度:100rpm
半導体研磨用組成物の流量:300ml/分
研磨荷重面圧:約10kPa(100gf/cm2)
研磨時間:5分間
ウエハ:8インチシリコンウエハ
Claims (7)
- 砥粒、塩基性低分子化合物および2種以上の水溶性高分子化合物を含み、
前記水溶性高分子化合物は、
窒素含有基を含むカチオン性水溶性高分子化合物としてポリアルキレンイミンと、
窒素含有基を含まない水溶性高分子化合物とを含み、
前記塩基性低分子化合物として水酸化テトラメチルアンモニウムを含み、
シリコンウエハに対する複数段階の研磨において仕上げ段階より前の段階で用いることを特徴とする半導体研磨用組成物。 - 前記ポリアルキレンイミンは、ポリエチレンイミンであることを特徴とする請求項1記載の半導体研磨用組成物。
- 前記ポリアルキレンイミンの数平均分子量は、200以上2000000以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体研磨用組成物。
- 前記ポリアルキレンイミンの含有量は、半導体研磨用組成物全量の10ppm以上1000ppm以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体研磨用組成物。
- 前記窒素含有基を含まない水溶性高分子化合物は、少なくとも非イオン性水溶性多糖類またはポリビニルアルコール類を含むことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体研磨用組成物。
- 前記非イオン性水溶性多糖類は、ヒドロキシメチルセルロースまたはヒドロキシエチルセルロースであることを特徴とする請求項5記載の半導体研磨用組成物。
- 前記塩基性低分子化合物は、アンモニアと水酸化テトラメチルアンモニウムとからなることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体研磨用組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005179763A JP5121128B2 (ja) | 2005-06-20 | 2005-06-20 | 半導体研磨用組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005179763A JP5121128B2 (ja) | 2005-06-20 | 2005-06-20 | 半導体研磨用組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006352042A JP2006352042A (ja) | 2006-12-28 |
JP5121128B2 true JP5121128B2 (ja) | 2013-01-16 |
Family
ID=37647528
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005179763A Active JP5121128B2 (ja) | 2005-06-20 | 2005-06-20 | 半導体研磨用組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5121128B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5196819B2 (ja) * | 2007-03-19 | 2013-05-15 | ニッタ・ハース株式会社 | 研磨用組成物 |
JPWO2008117593A1 (ja) * | 2007-03-26 | 2010-07-15 | Jsr株式会社 | 化学機械研磨用水系分散体および半導体装置の化学機械研磨方法 |
JP5474400B2 (ja) | 2008-07-03 | 2014-04-16 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 半導体用濡れ剤、それを用いた研磨用組成物および研磨方法 |
CN102224577B (zh) | 2009-05-29 | 2013-12-04 | 三井化学株式会社 | 半导体用密封组合物、半导体装置及半导体装置的制造方法 |
US8932952B2 (en) | 2010-04-30 | 2015-01-13 | Sumco Corporation | Method for polishing silicon wafer and polishing liquid therefor |
US8956977B2 (en) | 2010-09-10 | 2015-02-17 | Mitsu Chemicals, Inc. | Semiconductor device production method and rinse |
KR20140034231A (ko) | 2011-05-24 | 2014-03-19 | 가부시키가이샤 구라레 | 화학 기계 연마용 부식 방지제, 화학 기계 연마용 슬러리, 및 화학 기계 연마 방법 |
KR101638717B1 (ko) | 2012-01-17 | 2016-07-11 | 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤 | 반도체용 시일 조성물, 반도체 장치 및 그의 제조 방법, 및 폴리머 및 그의 제조 방법 |
DE112013004295T5 (de) * | 2012-08-31 | 2015-05-13 | Fujimi Incorporated | Polierzusammensetzung und Verfahren zur Herstellung eines Substrats |
CN105073941B (zh) * | 2013-02-21 | 2018-01-30 | 福吉米株式会社 | 研磨用组合物及研磨物制造方法 |
JP6259723B2 (ja) * | 2014-06-18 | 2018-01-10 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | シリコンウェーハの研磨方法、研磨用組成物および研磨用組成物セット |
JP6796978B2 (ja) * | 2016-09-23 | 2020-12-09 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 半導体装置の製造方法 |
WO2019116833A1 (ja) * | 2017-12-15 | 2019-06-20 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物および研磨方法 |
KR20230082605A (ko) * | 2020-10-09 | 2023-06-08 | 카오카부시키가이샤 | 실리콘 기판의 연마 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10309660A (ja) * | 1997-05-07 | 1998-11-24 | Tokuyama Corp | 仕上げ研磨剤 |
JP4151179B2 (ja) * | 1999-11-22 | 2008-09-17 | Jsr株式会社 | 複合粒子の製造方法及びこの方法により製造される複合粒子並びに複合粒子を含有する化学機械研磨用水系分散体 |
JP2001271058A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-02 | Rodel Nitta Co | 研磨スラリーの製造方法 |
JP2002164307A (ja) * | 2000-11-24 | 2002-06-07 | Fujimi Inc | 研磨用組成物およびそれを用いた研磨方法 |
US6676718B2 (en) * | 2001-01-12 | 2004-01-13 | Rodel Holdings, Inc. | Polishing of semiconductor substrates |
JP2003100672A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-04 | Rodel Nitta Co | 研磨用スラリー |
JP4593064B2 (ja) * | 2002-09-30 | 2010-12-08 | 株式会社フジミインコーポレーテッド | 研磨用組成物及びそれを用いた研磨方法 |
CN100440445C (zh) * | 2002-11-08 | 2008-12-03 | 福吉米株式会社 | 抛光组合物和清洗组合物 |
JP2004335978A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Jsr Corp | 化学機械研磨方法 |
JP2005158867A (ja) * | 2003-11-21 | 2005-06-16 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体を調製するためのセット |
-
2005
- 2005-06-20 JP JP2005179763A patent/JP5121128B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006352042A (ja) | 2006-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5121128B2 (ja) | 半導体研磨用組成物 | |
KR102137293B1 (ko) | 연마제, 연마제 세트 및 기체의 연마 방법 | |
KR101243423B1 (ko) | 산화규소용 연마제, 첨가액 및 연마 방법 | |
WO2016006553A1 (ja) | Cmp用研磨液及び研磨方法 | |
TWI679272B (zh) | 研磨用組成物及使用其之研磨方法 | |
JP2007019093A (ja) | 半導体研磨用組成物 | |
KR20100015627A (ko) | 연마제 조성물 및 반도체 집적 회로 장치의 제조 방법 | |
KR102322420B1 (ko) | 저결점의 화학적 기계적 폴리싱 조성물 | |
JP5196819B2 (ja) | 研磨用組成物 | |
TWI793158B (zh) | 用於淺溝槽隔離之水性二氧化矽漿料及胺羧酸組合物及其使用方法 | |
KR101427883B1 (ko) | 표면 개질된 연마입자, 그의 제조 방법 및 그를 포함하는 슬러리 조성물 | |
TWI667199B (zh) | Tantalum gum and semiconductor wafer polishing composition containing the same | |
JP2006352043A (ja) | 半導体研磨用組成物 | |
JP2020010029A (ja) | タングステンのための中性からアルカリ性のケミカルメカニカルポリッシング組成物及び方法 | |
TWI760494B (zh) | 用於淺溝槽隔離的水性二氧化矽漿料組合物及其使用方法 | |
US9293339B1 (en) | Method of polishing semiconductor substrate | |
TWI807853B (zh) | 用於減少表面缺陷數量和霧度的矽晶圓最終拋光用的漿料組成物及使用該漿料組成物的最終拋光方法 | |
KR20140125049A (ko) | 표면 개질된 연마입자 및 그를 포함하는 슬러리 조성물 | |
KR100645307B1 (ko) | 실리콘 웨이퍼용 경면 연마 슬러리 조성물 | |
TWI812633B (zh) | 用於淺溝槽隔離之水性矽石漿料組合物及其使用方法 | |
KR100636994B1 (ko) | 표면이하 결함을 개선하는 실리콘 웨이퍼 경면연마용슬러리 조성물 | |
JP4918223B2 (ja) | シリコンウエハ研磨用組成物およびシリコンウエハの研磨方法 | |
KR100558259B1 (ko) | 실리콘 웨이퍼 경면연마용 슬러리 조성물 | |
KR102577164B1 (ko) | 반도체 공정용 연마 조성물 및 연마 조성물을 적용한 기판의 연마방법 | |
TW202116968A (zh) | 高氧化物移除速率的淺溝隔離化學機械平坦化組合物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080620 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20090909 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110302 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110405 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110524 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110830 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111031 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120410 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120709 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120726 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120813 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121009 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121023 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151102 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5121128 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |