JP5109924B2 - 電子部品実装装置 - Google Patents
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Description
ェハシートホルダ2と、ウェハシートホルダ2に保持されたウェハシート3からチップ4(電子部品)を取り出すピックアップヘッド5と、ウェハシート3から取り出したチップ4を仮置きするチップ中継テーブル6と、ウェハシート3から取り出したチップ4をピックアップヘッド5もしくはチップ中継テーブル6から受け取る実装ヘッド7と、基板8を支持する基板支持テーブル9と、ペースト貯留部10と、ペースト貯留部10に貯留されたペースト接着剤を基板8に転写して供給する転写ヘッド11と、転写ヘッド11に装着する転写ツール12を保管する転写ツール保管部13と、ウェハシート3に貼着されたチップ4の位置や向きを確認するための第1カメラ14と、チップ中継テーブル6に仮置きされたチップ4の位置や向きを確認するための第2カメラ15と、基板8に設定されたペースト接着剤の塗布位置を確認するための第3カメラ16と、実装ヘッド7が受け取ったチップ4の位置や向きを確認するための第4カメラ17を備えている。
させることで転写ツール12の先端部に付着しているペースト接着剤を基板8に転写する。このときダイアフラム30には低圧の圧縮空気が供給されており、転写ツール保持部21には弱い荷重しか付与されていないので、転写ツール12が基板8に接触したときに生じる衝撃荷重は大幅に緩和される。これにより転写ツール12や基板8の変形や破損等の発生を防止することができ、転写ツール12の寿命が延びるとともに転写の品質も向上する。
4 チップ
11 転写ヘッド
12 転写ツール
13 転写ツール保管部
21 転写ツール保持部
30 ダイアフラム
Claims (2)
- 電子部品を接着するためのペーストを基板に転写する転写ツールと、転写ツール保持部を下部に備えた転写ヘッドと、転写ツール保持部の下部に装着する転写ツールを保管する転写ツール保管部を備え、
前記転写ヘッドが、下方に向けて作用する荷重を前記転写ツール保持部に付与する手段を備え、ペースト転写時には弱い荷重を付与し、転写ツール交換時には強い荷重を付与することを特徴とする電子部品実装装置。 - 前記転写ツール保持部の上方にダイアフラムを配置し、前記ダイアフラムの内圧の変更によって前記ツール保持部に付与する荷重の強弱を調整することを特徴とする請求項1に記載の電子部品実装装置。
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JP2008269417A JP5109924B2 (ja) | 2008-10-20 | 2008-10-20 | 電子部品実装装置 |
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