JP5098964B2 - ウエハの洗浄方法及び記憶媒体 - Google Patents
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Description
基板保持部に水平に保持したウエハの下方領域を囲むように内カップが設けられ、前記ウエハの表面にスピンコーティングにより塗布膜を形成する塗布膜形成装置にて、塗布膜形成後のウエハに塗布膜を溶解する洗浄液を吐出して洗浄する方法において、
前記ウエハを基板保持部により回転させながら、上ノズルによりウエハ表面側のベベル部にその上方から洗浄液を吐出する工程(a)と、
この工程と同時に、前記内カップに設けられたノズル装着用の切り欠き部に着脱自在に嵌合された下ノズルからウエハ裏面側に対して洗浄液を吐出することにより、ウエハのベベル部の洗浄を行う工程(b)と、を含み、
前記内カップは、頂部に周方向に沿って突起部が形成されると共にこの突起部の下端から外方に伸び出す傾斜面が周方向に沿って形成され、
前記下ノズルは、擬似的に前記内カップの一部を構成するように、前記突起部に相当する部分と前記傾斜面に相当する部分とを備え、前記突起部に相当する部分に吐出口が形成されていることを特徴としている。
本発明のウエハ洗浄方法を実施するための基板洗浄装置について説明する。この基板洗浄装置は、例えば後述のように塗布、現像装置のインターフェィスブロックB3に設けられる。従ってウエハは、後述する露光装置B4に搬入される前に洗浄されることになる。基板洗浄装置は、図13、図14に示すように、例えば清浄空気のダウンフローが形成された図示しない筐体の内部に、第1の実施形態の塗布装置と同じくカップ体203、スピンチャック211、軸部212、円形板218、上ノズル293等を備えている。また基板洗浄装置は、第1の実施形態の塗布装置と同様に、基板洗浄装置の各部材を制御する制御部206を備えている。また図13中213はスピンチャックモータ、217は底板、219は裏面洗浄ノズル、231は外カップ、232はドレインポート、233は排気ポート、234は内カップ、251は洗浄液タンク、252及び296は洗浄液供給管、253及び297は流量コントローラを夫々示している。なおこの基板洗浄装置では、下ノズル240と上ノズル293以外の部材については、第1の実施形態の塗布装置と略同じ構成であるため、以下の説明では下ノズル240及び上ノズル293に関連する部材についてのみ説明する。また第2の実施形態では、上ノズル293、下ノズル240及び裏面洗浄ノズル219にはシンナー等の洗浄液の代わりに、例えば純水が洗浄液として供給される。
6 制御部
11 スピンチャック
12 軸部
13 スピンチャックモータ(駆動機構)
31 外カップ
34 内カップ
35 端板
36 突起部
37 切り欠き部
40 下ノズル
42 切り込み部
45 窪み部
45a、45b 傾斜面
46 洗浄液吐出口
70 表面
71 裏面
72 ベベル部
80 レジスト膜
93 上ノズル
100 レジストパターン形成システム
B1 キャリア載置ブロック
B2 処理ブロック
B3 インターフェイスブロック
B4 露光装置
SRS 基板洗浄装置
W、W1 ウエハ
Claims (4)
- 基板保持部に水平に保持したウエハの下方領域を囲むように内カップが設けられ、前記ウエハの表面にスピンコーティングにより塗布膜を形成する塗布膜形成装置にて、塗布膜形成後のウエハに塗布膜を溶解する洗浄液を吐出して洗浄する方法において、
前記ウエハを基板保持部により回転させながら、上ノズルによりウエハ表面側のベベル部にその上方から洗浄液を吐出する工程(a)と、
この工程と同時に、前記内カップに設けられたノズル装着用の切り欠き部に着脱自在に嵌合された下ノズルからウエハ裏面側に対して洗浄液を吐出することにより、ウエハのベベル部の洗浄を行う工程(b)と、を含み、
前記内カップは、頂部に周方向に沿って突起部が形成されると共にこの突起部の下端から外方に伸び出す傾斜面が周方向に沿って形成され、
前記下ノズルは、擬似的に前記内カップの一部を構成するように、前記突起部に相当する部分と前記傾斜面に相当する部分とを備え、前記突起部に相当する部分に吐出口が形成されていることを特徴とするウエハの洗浄方法。 - 前記工程(b)を行う前に、前記下ノズルよりもウエハの中心側に寄った部位に設けられた裏面洗浄ノズルからウエハの裏面に洗浄液を吐出する工程を行うことを特徴とする請求項1に記載のウエハの洗浄方法。
- 前記工程(b)を行う前に、前記上ノズルからウエハの周縁部の塗布膜を所定の幅で除去するために洗浄液を吐出する工程を行うことを特徴とする請求項1または2に記載のウエハの洗浄方法。
- ウエハを基板保持部に保持して、回転させながらウエハの表面及び裏面のベベル部に洗浄液を供給してウエハを洗浄する洗浄装置に用いられるコンピュータプログラムを格納した記憶媒体であって、
前記コンピュータプログラムは、請求項1ないし3の何れか一項に記載のウエハの洗浄方法を実行するようにステップ群が構成されていることを特徴とする記憶媒体。
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