JP5096864B2 - 流体機器ユニット構造 - Google Patents
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Description
また、たとえば半導体製造装置のように複数の薬液用流体機器を使用する場合、配管を用いることなく薬液用流体機器どうしの連結を可能とする集積構造が提案されており、配管が不要になるため装置全体のコンパクト化が可能になるとされる。(たとえば、特許文献1参照)
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、液体主流路のバルブとリターン流路の分岐部との間に形成される薬液滞留部を最小限とし、薬液の凝固が生じにくい流体機器ユニット構造を提供することにある。
本発明の請求項1は、流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体化され、前記ベース部材に形成された流体主流路及びリターン流路にそれぞれ流路切替用の第1バルブ及び第2バルブが設けられている流体機器ユニット構造において、お椀形状とした弁室の最も低い底面中心部分に前記流体主流路の鉛直流路部を開口させるとともに前記鉛直流路部の上端部に前記第1バルブを配置し、前記リターン流路が前記流体主流路から分岐する位置を前記鉛直流路部の前記第1バルブの上流側近傍とし、かつ、前記リターン流路が前記流体主流路から分岐する前記第1バルブの上流側近傍は、前記第1バルブがプラグ型の弁体を上下動させて前記流体主流路の上向き開口部分を開閉するタイプとされ、前記第1バルブの弁座となる前記ベース部材の肉厚に弁座剛性を確保した位置としたことを特徴とするものである。
また、弁体が弁座に押圧される全閉状態において、第1バルブに充分なシール性を確保しながら薬液滞留部を最小とすることができる。
図1から図3に示す流体機器ユニット構造は、流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材10に集積して一体化したものである。図示の構成例では、流体として薬液を流すことから、流体機器ユニットFUの主要部(接液部等)が耐薬品性のフッ素樹脂製とされる。そして、この流体機器ユニットFUは、流体機器類として二つの空気圧操作弁20,40を使用し、これらの流体機器類をベース部材10に集積して一体化したものである。
以下の説明では、ベース部材10に形成された流体主流路11の空気圧操作弁を第1バルブ20と呼び、同じくベース部材10に形成されたリターン流路12の空気圧操作弁を第2バルブ40と呼ぶが、第1バルブ20及び第2バルブ40が空気圧操作弁に限定されることはない。なお、図中の符号13はベース固定板である。
リターン流路12は、流体主流路11の途中から分岐して設けられ、薬液を流体機器ユニットFUの外部(たとえば薬液供給源)へ戻すための流路である。このリターン流路12は、分岐入口12aで液体主流路11から分岐してリターン出口接続口12bに至り、その途中にはノーマルオープンタイプの第2バルブ40が設けられている。
一方、第2バルブ40を開とし、かつ、第1バルブ20を閉とした状態では、薬液供給源から入口接続口11aに導入された薬液が流体主流路11を通り、第1バルブ20の上流側からリターン流路12へ流入することにより、リターン出口接続口12bから薬液供給源に戻される。このとき、流体主流路11の第1バルブ20が閉じているので、薬液の全量が薬液供給源へ流れて出口接続口11b側から流出することはない。以下では、このようなバルブの開閉状態を選択して形成された流路を「薬液リターンモード」と呼ぶことにする。
流体主流路11は、ベース部材10の側面に設けられた入口接続口11aから水平流路部11cが横向きに延び、さらに、水平流路部11cの端部から鉛直流路部11dが鉛直方向上向きに延びている。鉛直流路部11dの上端部には、第1バルブ20の弁体21が配設されて上下方向に開閉動作する弁室22を設けてある。この弁室22は、底面に液溜まりを生じないようにするため、鉛直流路部11が開口する底面中心部分を最も低くしたお椀形状とされる。
リターン流路12が流体主流路11から分岐する位置を第1バルブ20の上流側近傍としたことにより、リターン流路12の分岐入口12aから第1バルブ20までの間に形成され、薬液が滞留する空間容積(薬液滞留部)となる鉛直流路部11dの長さを最小とすることができる。
また、上述した弁室22の内部は、薬液の流れる流路部分がダイヤフラム24により分離されている。さらに、弁室22の底面をお椀形状にしたので、弁室22内に液溜まりが生じないため薬液の置換性は良好である。なお、図中の符号25は弁体21と一体の軸部であり、空気圧操作部26や付勢手段の押圧力により弁体21を上下動させる。
ところで、上述した第2バルブ40は、弁体42の先端部側径が軸部45まで一定の略円柱形状とされる。そして、第2バルブ40を閉じた薬液供給モードでは、リターン流路12の傾斜流路部12cを介して、液体主流路11を流れる薬液からダイヤフラム44に対して開弁方向となる上向きの圧力が作用する。このような薬液(液体)の圧力は背圧と呼ばれ、ダイヤフラム44の面積が大きいほど大きな力となる。このため、背圧に対抗して弁体42が開となるのを阻止するためには、弁体42を閉状態に維持する空気圧操作部46の空気圧も大きくする必要がある。
このような空気圧操作弁50は、弁体51の根元側径d2が小さくなった分だけダイヤフラム54の小径化が可能となる。このため、ダイヤフラム54の受圧面積を小さくすることができるようになり、空気圧操作部56の空気圧を低減可能な高背圧対応型のバルブとなる。
さらに、空気圧操作弁50の外形寸法を略同じにすれば、ダイヤフラム54を小径化した分だけケーシング部分の肉厚を増すことができるので、流量特性に影響する弁座ポート径(鉛直流路部12dの入口径)を維持しながら、使用圧力(弁の耐圧)を高めることも可能になる。
なお、上述した説明では、空気圧操作部56により弁体51を閉じるノーマルオープン型の高圧対応型バルブとしたが、弁体51の径を変化させる構造は、空気圧操作部56に代えて電磁石等の開閉操作機構を採用したものにも適用可能である。
10 ベース部材
11 流体主流路
11d 鉛直流路部
12 リターン流路
12c 分岐入口
20 第1バルブ(空気圧操作弁)
21,41,51 弁体
22,42,52 弁室
23,43,53 弁座
24,44,54 ダイヤフラム
40 第2バルブ(空気圧操作弁)
50 空気圧操作弁(高背圧対応型バルブ)
Claims (2)
- 流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体化され、前記ベース部材に形成された流体主流路及びリターン流路にそれぞれ流路切替用の第1バルブ及び第2バルブが設けられている流体機器ユニット構造において、
お椀形状とした弁室の最も低い底面中心部分に前記流体主流路の鉛直流路部を開口させるとともに前記鉛直流路部の上端部に前記第1バルブを配置し、
前記リターン流路が前記流体主流路から分岐する位置を前記鉛直流路部の前記第1バルブの上流側近傍とし、かつ、
前記リターン流路が前記流体主流路から分岐する前記第1バルブの上流側近傍は、前記第1バルブがプラグ型の弁体を上下動させて前記流体主流路の上向き開口部分を開閉するタイプとされ、前記第1バルブの弁座となる前記ベース部材の肉厚に弁座剛性を確保した位置としたことを特徴とする流体機器ユニット構造。 - 前記第2バルブは、ダイヤフラムに液体圧力を受けるとともに開閉操作機構によりプラグ型の弁体を上下動させて前記リターン流路を開閉し、前記弁体の先端部側径に対して根元側径を小さくしたことを特徴とする請求項1に記載の流体機器ユニット構造。
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