JP2007146923A - 弁の流路構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、弁本体31の下面に備わり入力ポート32が形成される略円筒形状の入力ポート部材41と、弁本体31の側面に備わり入力ポート32と連通する出力ポート33が形成される出力ポート部材42と、入力ポート部材41の上端面に形成される弁座34と、弁座34と当接および離間するように昇降動作を行なう弁体24とを有する真空弁において、弁座34が出力ポート33の内周面の最下部よりも高い位置にあることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
(1)「弁体のリフト量を長くして連通流路の断面積を大きくし排気量を増大させることにより排気抵抗の影響を小さくすること」とする手段では、アクチュエータとしてシリンダを用いるとストローク量を大きく取る必要がある。そのため、可動軸やピストン周りのシール部材(パッキンやOリングなど)について、1ストロークあたりの摺動量が大きくなってしまい、当該シール部材の寿命が低下して耐久性が得られないおそれがある。また、ベローズ弁を使用する場合には、特にベローズのコストが高くなってしまう。
(1)本発明は、弁本体の下面に備わり第1ポートが形成される略円筒形状の第1ポート部材と、弁本体の側面に備わり第1ポートと連通する第2ポートが形成される第2ポート部材と、第1ポート部材の上端面に形成される弁座と、弁座と当接および離間するようにストローク動作を行なう弁体とを有する真空弁において、弁座が第2ポートの内周面の最下部よりも高い位置にあることを特徴とする。
(1)本発明は、弁本体の下面に備わり第1ポートが形成される略円筒形状の第1ポート部材と、弁本体の側面に備わり第1ポートと連通する第2ポートが形成される第2ポート部材と、第1ポート部材の上端面に形成される弁座と、弁座と当接および離間するようにストローク動作を行なう弁体とを有する真空弁において、弁座が第2ポートの内周面の最下部よりも高い位置にあるので、第1ポートから流入する流体は弁体と弁座の間を通って第2ポート内へ広がるように流出されることから第1ポートから第2ポートへ流体が流れやすくなり排気時間の短縮を図ることができる。
<本発明の真空弁の構成>
まず、本発明の真空弁1の構成について説明する。なお、真空弁1で「上」とはシリンダ部側、「下」とは弁部側を指すものとする。
図1は、本発明の真空弁1の閉弁時における断面図である。また、図2は、本発明の真空弁1の開弁時における断面図である。図1や図2に示すように、本発明の真空弁1は、上下方向で2つの部分に分割された中空部を有し、上下に大きく弁部11とシリンダ部12とに分けられる。上部にあるシリンダ部12の外観はシリンダチューブ21により構成されその中空部はシリンダを構成しており、ピストン22が摺動可能に嵌合されている。ピストン22の中央には、可動軸23が固設され、可動軸23は下部にある弁部11まで貫通し、その下端には、外径をD4とする弁体24が固設されている。また、ピストン22の上側に形成された上シリンダ室27は駆動エアポート25に接続し、ピストン22の下側に形成された下シリンダ室28は駆動エアポート26に接続している。駆動エアポート(25、26)にはエア供給装置(不図示)から駆動エアが供給される。
以上のような構成からなる真空弁1の作用について説明する。まず、図1に示すように、真空弁1は、駆動エアポート25からエアを供給して上シリンダ室27内を加圧し、駆動エアポート26から下シリンダ室28内のエアを排気する。これによりピストン22が下方に押圧され、ピストン22と一体の可動軸23および弁体24が下方に移動して、弁体24が弁座34に当接し閉弁状態になっている。そして、この状態から駆動エアポート26にエアを供給して下シリンダ室28内を加圧し、駆動エアポート25から上シリンダ室27内のエアを排気することによりピストン22が上方に押圧される。すると、ピストン22と一体の可動軸23および弁体24が上方に移動して、弁体24が弁座34から離間し図2に示すように開弁状態になる。
図1や図2に示すように、真空弁1は出力ポート33の内周面の最下部である下面33aに対して弁座34が高い位置にある点に特徴を有している。ここで、前記のように、出力ポート33の内周面の最下部から弁座34までの高さを弁座高さHとする。このような特徴点を有することにより、開弁時において入力ポート32と出力ポート33とが連通する連通流路における弁座34と弁体24の間で形成される部分の出力ポート部材42の出口側から見たときの断面積が広がる。そのため、入力ポート32から出力ポート33へ流体が流れやすくなり、出力ポート33からの排気流量が増大する。
(1)本実施例は、弁本体31の下面に備わり入力ポート32が形成される略円筒形状の入力ポート部材41と、弁本体31の側面に備わり入力ポート32と連通する出力ポート33が形成される出力ポート部材42と、入力ポート部材41の上端面に形成される弁座34と、弁座34と当接および離間するように昇降動作を行なう弁体24とを有する真空弁において、弁座34が出力ポート33の内周面の最下部よりも高い位置にあるので、入力ポート32から流入する流体は弁体24と弁座34の間を通って出力ポート33内へ広がるように流出されることから入力ポート32から出力ポート33へ流体が流れやすくなり排気時間の短縮を図ることができる。
々な変更が可能である。
11 弁部
12 シリンダ部
21 シリンダチューブ
22 ピストン
23 可動軸
24 弁体
25 駆動エアポート
26 駆動エアポート
27 上シリンダ室
28 下シリンダ室
31 弁本体
32 入力ポート
33 出力ポート
34 弁座
35 Oリング
36 ベローズ
C コンダクタンス
D1 入力ポートの内径
D2 出力ポートの内径
D3 ボディ内径
D4 弁体の外径
H 弁座高さ
Claims (5)
- 弁本体の下面に備わり第1ポートが形成される略円筒形状の第1ポート部材と、弁本体の側面に備わり前記第1ポートと連通する第2ポートが形成される第2ポート部材と、前記第1ポート部材の上端面に形成される弁座と、前記弁座と当接および離間するようにストローク動作を行なう弁体と、を有する真空弁において、
前記弁座が前記第2ポートの内周面の最下部よりも高い位置にあること、
を特徴とする真空弁。 - 請求項1に記載する真空弁において、
前記第2ポートの内周面の最下部から前記弁座までの高さである弁座高さをHとし、前記第2ポートの内径をD2とし、前記弁体のストローク量をSTとするときに、H=(D2−ST)×(5%〜95%)との条件を満たすこと、
を特徴とする真空弁。 - 請求項1に記載する真空弁において、
前記第2ポートの内周面の最下部から前記弁座までの高さである弁座高さは、3mm以上15mm以下であること、
を特徴とする真空弁。 - 請求項1乃至請求項3に記載するいずれか一つの真空弁において、
前記第1ポートの内径をD1とし、前記弁体がストローク動作を行なう範囲における弁本体の内径をD3とするときに、(D3/D1)>1.4の条件を満たすこと、
を特徴とする真空弁。 - 請求項1乃至請求項3に記載するいずれか一つの真空弁において、
前記第1ポートの内径をD1とし、前記弁体がストローク動作を行なう範囲における弁本体の内径をD3とし、前記弁体の外径をD4とするときに、(D3/D1)>1.4、かつ(D3/D4)>1.05の条件を満たすこと、
を特徴とする真空弁。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005340423A JP2007146923A (ja) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | 弁の流路構造 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005340423A JP2007146923A (ja) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | 弁の流路構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2007146923A true JP2007146923A (ja) | 2007-06-14 |
Family
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005340423A Pending JP2007146923A (ja) | 2005-11-25 | 2005-11-25 | 弁の流路構造 |
Country Status (1)
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2005
- 2005-11-25 JP JP2005340423A patent/JP2007146923A/ja active Pending
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