JPH10160008A - 小流量排気弁付開閉弁 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ピストンを１個にして全高を低くし、また構
造を単純化したコストの低い小流量排気弁付開閉弁を提
供すること。 【解決手段】本発明の小流量排気弁付開閉弁１は、大オ
リフィス２３と小オリフィス２４とによる２段階の排気
を行う開閉弁であって、シリンダ１１内を摺動するピス
トン１２によって区切られた第１室及１３び第２室１４
と、第１室１３及び第２室１４にそれぞれ開設された第
１ポート１５及び第２ポート１６と、一端がピストン１
２に他端が第２の弁の第２弁体３４に結合されたピスト
ンロッド１７とを備えたピストンシリンダ２が弁本体２
１に一体に係設され、ピストン１２、第１弁体２７、大
オリフィス２５、及び第２弁体３４が同軸上に配設さ
れ、第１弁体２７がピストン１２から離れる方向へ付勢
され、第２弁体３４が第１弁体２７を貫通したピストン
ロッ１７ドを介してピストン１２側へ付勢されたもので
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は真空処理装置の排気
系における排気ポンプと真空処理槽との間に配置する開
閉弁に関し、さらに詳細には弁体に小流量用のオリフィ
スを設けた小流量排気弁付開閉弁に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工程においては、酸化・拡散
装置、気相成膜装置のように、処理槽の真空排気を要す
る装置がある。かかる真空使用装置においては、真空排
気に要する時間が一回の処理に要する時間を大きく左右
し全体の生産性にも影響する。従って、これら真空使用
装置においては、真空排気時間の短縮のために処理槽の
容積を可能な限り小さくしたり、排気速度の大きな排気
ポンプを採用する等の工夫がなされている。

【０００３】しかし、ここで排気ポンプの排気速度を大
きくすることを選択した場合、真空排気時間の短縮化の
面では有効であるものの、パーティクルの巻き上げを引
き起こすといった問題もあった。すなわち、このパーテ
ィクルは、クリーンルームの環境下においてもなお発生
し、真空処理槽やその配管内のように清掃しにくい部位
の底部などに堆積する。そこで、排気ポンプによって大
気圧状態から速い排気速度で急激に排気が開始される
と、排気に伴う風圧により堆積していたパーティクルが
巻き上げられ、それがウェハに付着することがある。特
に、半導体製造工程中には微細回路加工工程があるた
め、このようなウェハ上へのパーティクルの付着は全工
程を通じて防ぐ必要がある。

【０００４】そのため、処理槽を大気圧から真空排気す
る際、排気開始後しばらくの間は、速い速度での排気を
避ける必要がある。そして、処理槽の圧力がある程度低
下するとパーティクルの巻き上げ等の不都合が起こらな
くなるので、その後は、排気速度を制限する理由はなく
なり、前述した排気時間短縮の観点からなるべく速い排
気速度での排気が望まれる。すなわち、各真空使用装置
は２種類の排気速度が必要とされるのである。ところ
が、通常使用されるロータリーポンプ等の真空ポンプ
は、それ自身では排気速度を加減することができない。
そのため、２種類の排気速度を実現するために大小２種
類のポンプユニットを使い分けることも考えられるが、
ロータリーポンプ等の振動・騒音、メンテナンス、占有
スペース等の観点から当然好ましくない。そこで、この
ような課題を解決するものとして、従来から小流量用の
オリフィスを備えた小流量排気弁付開閉弁が採用されて
いる。ここで、図５は、従来の小流量排気弁付開閉弁を
示した断面図である。

【０００５】本従来例の小流量排気弁付開閉弁（以下、
単に「開閉弁」と記す）１００は、駆動手段としてのシ
リンダ部５１と流量制御を行う弁部７１とがボディ５２
に一体に形成されている。そのシリンダ部５１は、駆動
方向に連設された２個のピストンシリンダから構成さ
れ、ボディ５２上部に形成されたシリンダ室５３に第１
ピストン５４、第２ピストン５５が同軸上に嵌挿されて
いる。このシリンダ室５３は、内壁に摺接して嵌挿され
た第１ピストン５４及び第２ピストン５５によって分割
されている。具体的には、第１ピストン５４によって下
方の圧力室５６と上方の呼吸室５７とに分割され、その
圧力室５６には、操作流体であるエアを供給するための
エアポート５８が穿設され、呼吸室５７には、不図示の
呼吸孔が穿設されている。また、第２ピストン５５によ
っては３室に分割され、その一室は先の呼吸室５７に連
続し、他は第２ピストン５５上方の呼吸室５９と第２ピ
ストン５５上部のフランジ部で画設された円周状の圧力
室６０に分割されている。そして、圧力室６０には、操
作流体であるエアを供給するためのエアポート６１が穿
設され、呼吸室５９には、不図示の呼吸孔が穿設されて
いる。

【０００６】一方、ボディ５２下方に形成された弁室７
２には、入力ポート７３及び出力ポート７４が開設さ
れ、その入力ポート７３には弁室７２に開孔した大オリ
フィス７５が構成されている。そして、弁室７２内には
大オリフィス７５の開閉を行うべく円盤形状の第１弁体
７６が、弁室７２底面との当接部にリングパッキン７７
を装填して配設されている。この第１弁体７６は、中空
円筒の連結管７８によってシリンダ部５１の第１ピスト
ン５４と一体に構成され、大オリフィス７５、弁体７
６、連結管７８及び第１、第２ピストン５４，５５が同
軸上に配設されている。そして、その第１弁体７６の中
心には連結管７８内に連通した中オリフィス７９が穿設
され、その中オリフィス７９の開閉を行うべく連結管７
８内に第２弁体８０が摺動可能に嵌挿されている。この
第２弁体８０下端にも第１弁体７６との当接部にリング
パッキン８１が装填されている。更に、第１弁体７６に
は、リングパッキン８１外周部に開孔した小オリフィス
８２が円周部にかけて穿設されている。

【０００７】このような第１弁体７６は、シリンダ室５
９との仕切壁５２ａとの間に縮設されたスプリング８３
によって大オリフィス７５側へ付勢されている。そし
て、そのスプリング８３の周りには、弁室７２内に流入
した空気がシリンダ室５３へ漏れるのを防止すべく、第
１弁体７６から仕切壁５２ａにかけてベローズ８４が設
けられている。また、連結管７８内では、第２弁体８０
がスプリング８５によって中オリフィス７９側へ付勢さ
れ、そして、その第２弁体８０の周りには、連結管７８
内に流入した空気がシリンダ室５３へ漏れるのを防止す
べく、第２弁体上部のフランジ部から第１弁体７６にか
けてベローズ８６が設けられている。また、連結管７８
内に嵌挿された第２弁体８０には、その軸心部に上方か
らロッド６２が螺合されている。そのロッド６２は上方
に延設され、第１ピストン５４及び第２ピストン５５、
更にボディ５２が貫かれている。

【０００８】そこで、このような構成をなす従来の開閉
弁１００では、シリンダ室５３へのエア供給が行われな
い状態では、スプリング８３に付勢された第１弁体７６
によって大オリフィス７５が遮断され、スプリング８５
に付勢された第２弁体８０によって中オリフィス８２が
遮断される。処理槽を大気圧から真空排気する際には、
先ずエアポート６１から圧力室６０内への圧力負荷によ
って、第２ピストン５５のみへの加圧が行われる。その
ため、上昇する第２ピストン５５がロッド６２のフラン
ジ６２ａに当たってロッド６２が持ち上げられることと
なる。そして、このロッド６２が持ち上げられると、第
２弁体８１がスプリング８５の付勢力に抗して第１弁体
７６から離間される。そのため、中オリフィス７９が開
孔することで、入力ポート７３から流入した空気が小オ
リフィス８２を介して出力ポート７４側へ流れる小流量
の排気が行われる。

【０００９】一方、第１弁体７６はスプリング８３によ
って付勢されているため、大オリフィス７５は遮断され
たままである。そして、処理槽の圧力がある程度低下し
た所定時間の後にエアポート５８から圧力室５６内への
圧力負荷が行われる。そのため、加圧された第１ピスト
ン５４が上昇することにより、連結管７８を介して一体
の第１弁体７６も上昇することとなる。従って、大オリ
フィス７５が開孔することで、流路面積が拡大し排気速
度の大きい大流量の排気が行われることとなる。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、前記従来例
の開閉弁１００は、パーティクルの巻き上げを伴うこと
なく、かつ、迅速に真空排気を行うことをねらった開閉
弁であり、その構成として大小のオリフィスの開閉を行
うための２個の弁をもつものである。しかしながら、本
従来例の開閉弁１００では、２個の弁を操作するために
それぞれのピストンを備えるものであって、シリンダ部
５１全体の容積を多く必要とするものであった。即ち、
図示したように第１ピストン５４及び第２ピストン５５
が上下２段に連設されたものであるため駆動方向の寸法
（全高）が長くなり、開閉弁１００自体が大型化するも
のであった。また、２個のピストン５４，５５を用いる
ため分部品点数が多くなるとともに、その分シリンダ部
５１の構造が複雑なものであった。一方、２個のピスト
ン５４，５５を駆動源として同軸上に配設された第１弁
体７６及び第２弁体８０を操作するため、シリンダ部５
１のみならず弁部７１の構造も複雑なものであった。従
って、従来の開閉弁１００は、全体として部品点数が多
くその構造が複雑で、コストの高いものであった。

【００１１】本発明は、前記従来技術の問題点を解決す
るためになされたものであり、ピストンを１個にして全
高を低くし、また構造を単純化したコストの低い小流量
排気弁付開閉弁を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の小流量排気弁付
開閉弁は、入力ポートと出力ポートとの間を連通する弁
本体に形成された大オリフィスと、前記大オリフィスを
開閉する第１の弁と、前記大オリフィス遮断時に前記入
力ポートと前記出力ポート間を連通する前記第１の弁の
第１弁体に形成された小オリフィスと、前記小オリフィ
スを開閉する第２の弁とを有するものであって、シリン
ダ内を摺動するピストンによって区切られた第１室及び
第２室と、前記第１室及び第２室にそれぞれ開設された
第１ポート及び第２ポートと、一端が前記ピストンに他
端が前記第２の弁の第２弁体に結合されたピストンロッ
ドとを備えたピストンシリンダが前記弁本体に一体に係
設され、前記ピストン、第１弁体、大オリフィス、及び
第２弁体が同軸上に配設され、前記第１弁体が前記ピス
トンから離れる方向へ付勢され、前記第２弁体が前記第
１弁体を貫通した前記ピストンロッドを介して前記ピス
トン側へ付勢されたものであることを特徴とする。

【００１３】また、本発明の小流量排気弁付開閉弁は、
前記第２弁体が、有底円筒形状の開口端部円周上に弁ゴ
ムが貼設されたものであって、底部から前記第１弁体に
かけてはベローズが設けられ、前記小オリフィスの開口
部が前記ベローズと前記弁ゴムとの間に位置するもので
あることが好ましい。

【００１４】このような構成からなる本発明では、シリ
ンダの第１及び第２ポートへの圧力負荷がない状態で
は、第１弁体及び第２弁体は閉弁方向に付勢されていて
大オリフィス及び前記小オリフィスが遮断されている。
そこで、第１ポートへの圧力負荷により第１室内が加圧
され、第２弁体が第１弁体から離間する方向へピストン
が付勢され、小オリフィスが連通されて小流量排気が行
われる。次いで、第１ポートへの圧力を無負荷とする一
方、第２ポートへの圧力負荷により第２室内が加圧さ
れ、第２弁体が第１弁体側へ当接する方向へピストンが
付勢され、第１弁体が第２弁体を介して一体に持ち上げ
られ、大オリフィスが連通されて大流量排気が行われ
る。従って、１個のピストンによって前記第１及び第２
弁体の駆動を操作することができるようなったことで、
ピストンを１個にして全高を低くし、また構造も単純化
されコストの低いものとすることが可能となった。

【００１５】また、有底円筒形状をなす第２弁体の開口
端部円周上の弁ゴムが、その円周内にある小オリフィス
開口部を包むように当接することでその小オリフィスの
連通を遮断するようにし、また、その第２弁体の円筒内
のベローズにより空気の漏れを防止するようにしたの
で、ベローズを簡易に取り付けることができ、その点で
構造を単純化することができた。

【００１６】

【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる小流量排気
弁付開閉弁の一実施の形態について図面を参照して説明
する。図１は、本実施の形態の小流量排気弁付開閉弁を
示した断面図であり、図２乃至図４は、本実施の形態の
小流量排気弁付開閉弁を示した模式図である。本実施の
形態の小流量排気弁付開閉弁（以下、単に「開閉弁」と
記す）１は、前記従来例のものと同様にシリンダ部２と
弁部３とから構成されている。このシリンダ部２は、一
般的なピストンシリンダであり、その構造は単純で、図
２に示すようシリンダ１１内を一つのピストン１２が摺
動可能に嵌装され、そのピストン１２によって分割され
た第１圧力室１３と第２圧力室１４には、操作流体であ
るエアを給排気するための第１ポート１５、第２ポート
１６が開設されている。

【００１７】次に、弁部３の構造について図１に基づい
て詳細に説明する。弁部３は、弁本体２１が接続部２２
を介してシリンダ１１に一体に固設され、その弁本体２
１には、入力ポート２３、出力ポート２４が形成されて
いる。その入力ポート２３と出力ポート２４との間に
は、入力ポート２３の延長上に大オリフィス２５が設け
られ、その大オリフィス２５を流れる空気の流量調節を
行うべく二次圧側開口部に第１弁座２６が形成されてい
る。そして、弁本体２１内には、第１弁座２６に対して
当接・離間する第１弁体２７が配設され、その当接面に
は弁ゴム２７ａが円周状に嵌合されている。

【００１８】一方、前記ピストン１２の中心にはピスト
ンロッド１７が固定され、弁本体２１内に延設されてい
る。そして、そのピストンロッド１７下端部が第１弁体
２７の中心を貫通しているが、第１弁体２７は、そのピ
ストンロッド１７とのわずかかな接触部を設けることで
位置決めされている。この第１弁体２７は、ピストンロ
ッド１７から独立して動作するよう構成されている。そ
して、第１弁体２７は２本のスプリング２８，２９によ
って常に第１弁座２６へ付勢されている。即ち、第１弁
体２７上面には段差の設けられた環状の下バネ受３０が
当接し、外側のバネ力の大きいスプリング２８は、シリ
ンダ１１に当接した上バネ受３１と下バネ受３０との間
に縮設され、内側のバネ力の小さいスプリング２９は、
ピストンロッド１７に形成された段部と下バネ受３０と
の間に縮設されている。また、第１弁体２７には、シリ
ンダ部２側への空気の漏れを防止すべく接続部２２との
間にベローズ３２が掛け渡されている。

【００１９】そして、第１弁体２７を貫通したピストン
ロッド１７の下端部には弁棒３３が連結され、第１弁体
２７の下方で第２弁体３４が固定されている。この第２
弁体３４は、有底円筒形状をなしたものであり、弁棒３
３は底部を貫通して固定され、第１弁体２７に当接する
開口端部の円周上に弁ゴム３４ａが貼設されている。そ
の第２弁体３４内には、底部から第１弁体２７にかけて
は弁棒３３が貫通する円筒形状の支持部材３５ａに固定
されたベローズ３５が装填され、先に示したベローズ３
２内に空気が漏れないように構成されている。また、第
１弁体２７には、第２弁体３４の弁ゴム３４ａ内周に位
置する開口部を有する小オリフィス３６が、出力ポート
２４側の他方の開口部にかけて穿設されている。従っ
て、第１弁体２７の小オリフィス３６外側には、第２弁
体３４の弁ゴム３４ａが当接する第２弁座３７が円周状
に設けられている。

【００２０】このような構成からなる本実施の形態の開
閉弁１は、次に示すようにして開閉動作が行われるが、
開閉動作を真空排気に従って説明する。その動作順序
は、図２乃至図４に示した模式図の順で、図２は弁閉状
態を示し、図３は小流量の弁開状態を示し、そして図４
は大流量の弁開状態を示した図である。先ず、図２で示
した弁閉状態の場合、シリンダ部２では、シリンダ１１
の第１圧力室１３及び第２圧力室１４へはエアによる圧
力負荷がかけられていないため、ピストン１２はいずれ
の方向にも圧力を受けずにフリーな状態である。一方、
弁部３では、第１弁体２７がスプリング２８，２９によ
って図面下方に付勢されて第１弁座２６へ当接されてい
る。そのため、大オリフィス２５は遮断された状態にあ
る。また、スプリング２９によってピストンロッド１７
が上方へ付勢されているため、第２弁体３４も同様に上
方へ付勢されて第１弁体２７に形成された第２弁座へ当
接されている。そのため、小オリフィス３６も遮断され
た状態にある。従って、このときまだ処理槽内は大気圧
の状態である。

【００２１】そこで、処理槽が大気圧である状態から真
空排気を開始する際には、図３に示すようシリンダ部２
において第１ポート１５へ圧力負荷が行われ、第１圧力
室１３内が加圧される。すると、第２圧力室１４よりも
第１圧力室１３内の圧力が上昇し、これによりピストン
１２が下方へ付勢される。そのため、ピストンロッド１
７を介して上方へ加わっているスプリング２９の付勢力
に抗して、そのピストンロッド１７及びそのピストンロ
ッド１７に連結された第２弁体３４が下方へ移動するこ
ととなる。従って、第２弁体３４が第２弁座３７から離
間することで小オリフィス３６が連通し、一方、第１弁
体２７は依然としてスプリング２８，２９のみの付勢力
を受けて第１弁座２６へ当接されているため、大オリフ
ィス２５は遮断した状態にある。よって、処理槽から弁
本体２１内へ流入した排出空気は小オリフィス３６を通
って小流量づつ排気されることとなる。

【００２２】ここで、処理槽が大気圧である状態から真
空排気開始する場合を考えてみる。大気圧のように気体
の圧力が高いときは、気体分子の運動は容器壁と分子と
の衝突よりも分子同士の衝突によって支配されている。
このような状況（気体の粘性流状態という）下で排気を
行うと、排気に伴う圧力変化が気体分子同士の衝突によ
って容器内に伝播し、容器壁等に力を加えることとな
る。 この力は日常我々が感じる「風」に近いもので、
排気速度が速いと圧力変化が激しいのでこの力も強く、
処理槽および配管の底部に堆積しているパーティクルが
巻き上げられたり、処理槽内でウェハの位置ずれおよび
破損が起こったりする。通常、１０^-2Ｔorr 前後以上の
圧力が粘性流状態であると考えられる。

【００２３】従って、この弊害を避けるため、遅い排気
速度にて排気開始しなければならない。このため排気開
始時は、流量容量の大きい大オリフィス２５を開とせ
ず、流量容量の小さい小オリフィス３６のみを開とし、
即ち、図３に示す状態にして排気する。これにより、パ
ーティクルの巻き上げ等の不都合を伴わない、遅い排気
速度にて排気開始することができる。そして、排気する
ことにより処理槽の圧力がある程度低下すると体積当り
の気体分子の個数が減るので、気体分子の運動が、分子
同士の衝突よりも容器壁と分子との衝突により支配され
るようになる。この状況（気体の分子流状態という）下
では、圧力変化は分子同士の衝突によっては伝播でき
ず、熱運動による確率論的な伝播しかできない。したが
ってもはや「風」あるいは「粘性」という概念が存在し
ないので、排気に伴う圧力変化が力として容器壁等に伝
わることはなく、パーティクルの巻き上げ等の現象は起
こり得ない。

【００２４】気体分子運動の平均自由工程が容器サイズ
を大幅に上回るような状況がこの分子流状態であり、通
常１０^-5Ｔorr 前後以下の圧力が分子流状態と考えられ
る（１０^-2Ｔorr 前後〜１０^-5Ｔorr 前後の間の圧力で
は、気体は粘性流と分子流との中間的な性質を示し、中
間流状態と呼ばれる）が、パーティクル巻き上げ現象等
については、これが起こるためには前述の力として有限
の値が必要なので、完全な分子流状態になるまで圧力が
低下するより若干早く、実際には起こらなくなると考え
られる。このように、パーティクルの巻き上げ等の不都
合が起こらない圧力まで処理槽の圧力が低下したら、排
気速度を制限する必要はもはないので、開閉弁１の流量
容量の大きい大オリフィス２５を開口させて連通する。

【００２５】そのため、シリンダ部２において、第１圧
力室１３内へのエアの供給を止めて圧力負荷を停止す
る。すると、第１圧力室１３内のエアが排気されるとと
もにスプリング２９の弾拡力によりピストン１２が上昇
して図１の状態へ戻る。また、それと同時に、第２ポー
ト１６への圧力負荷により第２圧力室１４内を加圧す
る。従って、第２圧力室１４内の圧力が上昇することに
よりピストン１２が上方へ付勢される。ピストン１２が
上昇することにより、ピストンロッド１７を介して一体
となった第２弁体３４も上昇し、第２弁体３４は下方か
ら第１弁体２７へ当接する。そして、ピストン１２の上
昇によって、第２弁体３４が第１弁体２７をそのまま持
ち上げて第１弁座２６から離間させる。従って、大オリ
フィス２５が連通し、大流量の排気によって迅速に処理
槽を目標真空度まで排気が行われる。

【００２６】よって、本実施の形態の開閉弁１によれ
ば、第２弁体３４を第１弁体２７の下方へ配設し、小オ
リフィス３６を連通させる第２弁体３４の移動方向と大
オリフィス２５を連通させる第１弁体２７の移動方向を
逆にしたことにより、一つのピストン１２のみによって
２個の弁体２７，３４を動作させることが可能となっ
た。即ち、シリンダ１１内の上下の圧力室１３，１４へ
のそれぞれの加圧によって大小２つのオリフィス２５，
３６の開口動作が可能となった。従って、第１弁体２７
及び第２弁体３４の開閉動作を一つのピストン１２によ
って操作するよう構成したので、シリンダ部２の全高の
寸法を抑えることができ、開閉弁１自体の小型化を図る
ことができた。

【００２７】あわせて、一つのピストン１２によって構
成したことによってシリンダ部２及び弁部３の部品点数
を減少させることができ、この点で構造を単純化するこ
とができ、コストの低下を図ることが可能となった。ま
た、有底円筒形状をした第２弁体３４の開口端部に貼設
された弁ゴム３４ａによって小オリフィス３６を遮断す
るように、その円周内にベローズ３５を装填する構成と
したので、ベローズを簡易に取り付けることができ、そ
の点で構造を単純化することができた。

【００２８】なお、本発明は、前記実施の形態のものに
限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で
様々な変更が可能である。例えば、前記実施の形態では
シリンダ部２の操作流体としてエア圧を利用したが、油
圧であってもよい。

【００２９】

【発明の効果】本発明は、シリンダ内を摺動するピスト
ンによって区切られた第１室及び第２室と、その第１室
及び第２室にそれぞれ開設された第１ポート及び第２ポ
ートと、一端が前記ピストンに他端が第２の弁の第２弁
体に結合されたピストンロッドとを備えたピストンシリ
ンダが弁本体に一体に係設されたものであり、ピスト
ン、第１弁体、大オリフィス、及び第２弁体が同軸上に
配設され、その第１弁体が、ピストンから離れる方向へ
付勢される一方、第２弁体が、第１弁体を貫通したピス
トンロッドを介してピストン側へ付勢されたものとした
ことにより、ピストンを１個にして全高を低くし、また
構造を単純化したコストの低い小流量排気弁付開閉弁を
提供することが可能となった。

【００３０】また、本発明は、第２弁体が、有底円筒形
状の開口端部円周上に弁ゴムが貼設されたものであっ
て、底部から第１弁体にかけてはベローズが設けられ、
小オリフィスの開口部が前記ベローズと前記弁ゴムとの
間に位置するものとしたことにより、ベローズを簡易に
取り付けることができ、その点で構造を単純化したコス
トの低い小流量排気弁付開閉弁を提供することが可能と
なった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明にかかる小流量排気弁付開閉弁の一実施
の形態を示した断面図である。

【図２】小流量排気弁付開閉弁の弁閉状態を示した模式
図である。

【図３】小流量排気弁付開閉弁の小流量の弁開状態を示
した模式図である。

【図４】小流量排気弁付開閉弁の大流量の弁開状態を示
した模式図である。

【図５】従来の小流量排気弁付開閉弁を示した断面図で
ある。

【符号の説明】

１ 開閉弁 ２ シリンダ部 ３ 弁部 １１ シリンダ １２ ピストン ２１ 弁本体 ２５ 大オリフィス ２７ 第１弁体 ２８，２９ スプリング ３４ 第２弁体 ３６ 小オリフィス

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入力ポートと出力ポートとの間を連通す
   る弁本体に形成された大オリフィスと、前記大オリフィ
   スを開閉する第１の弁と、前記大オリフィス遮断時に前
   記入力ポートと前記出力ポート間を連通する前記第１の
   弁の第１弁体に形成された小オリフィスと、前記小オリ
   フィスを開閉する第２の弁とを有する小流量排気弁付開
   閉弁において、 シリンダ内を摺動するピストンによって区切られた第１
   室及び第２室と、前記第１室及び第２室にそれぞれ開設
   された第１ポート及び第２ポートと、一端が前記ピスト
   ンに他端が前記第２の弁の第２弁体に結合されたピスト
   ンロッドとを備えたピストンシリンダが前記弁本体に一
   体に係設され、 前記ピストン、第１弁体、大オリフィス、及び第２弁体
   が同軸上に配設され、前記第１弁体が前記ピストンから
   離れる方向へ付勢され、前記第２弁体が前記第１弁体を
   貫通した前記ピストンロッドを介して前記ピストン側へ
   付勢されたものであることを特徴とする小流量排気弁付
   開閉弁。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の小流量排気弁付開閉弁
   において、 前記第２弁体が、有底円筒形状の開口端部円周上に弁ゴ
   ムが貼設されたものであって、 底部から前記第１弁体にかけてはベローズが設けられ、
   前記小オリフィスの開口部が前記ベローズと前記弁ゴム
   との間に位置することを特徴とする小流量排気弁付開閉
   弁。