JP5090574B1 - オゾン水生成装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】容易に高濃度のオゾン水を生成することができ、触媒電極の小型化を図れるとともに用途に応じて低濃度から高濃度のオゾン水を生成することのできるオゾン水生成装置を提供する。
【解決手段】触媒電極3に原料水を供給するとともに陽極32及び陰極33間に直流電圧を印加することによってオゾン水を生成するオゾン水生成セル100が複数重ねて設けられ、互いに隣接するオゾン水生成セル100のうち一方のオゾン水生成セル100の第2基板2と、他方のオゾン水生成セル100の第1基板1とが隣接している。一方のオゾン水生成セル100の第2基板2に設けられた陽極用排出流路22と、他方のオゾン水生成セル100の第1基板1に設けられた陽極用供給流路12と、が連通し、一方のオゾン水生成セル100の第2基板2に設けられた陰極用排出流路23と、他方のオゾン水生成セル100の第1基板1に設けられた陰極用供給流路13とが連通している。
【選択図】図3

Description

本発明は、オゾン水生成装置に関する。
近年、オゾン水は食品の殺菌や悪臭ガスの脱臭などの用途に広範に使用されており、さらに医療や介護の分野で、数多い知見例が発表され始めている。また、半導体製造領域においても、超微細構造に対するオゾン酸化の特徴が認められ、オゾン水の使用が必須とされている。
このようなオゾン水の製法として、陽イオン交換膜の一方の面に陽極電極を圧接させ、他方の面に陰極電極を圧接してなる触媒電極の電解面に原料水を直接接触させて、水の電気分解によりオゾン水を生成させる直接電解法を利用したものが知られている。
特開平8−134678号公報
しかしながら、上記直接電解法で生成されるオゾン水の濃度は4ppm程度と低濃度であり、40ppmといった高濃度のオゾン水を生成するためには、触媒電極を大型化しなければならないという問題がある。
また、用途に応じて低濃度のオゾン水から高濃度のオゾン水を容易に生成することが望まれている。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、容易に高濃度のオゾン水を生成することができ、また、触媒電極の小型化を図れるとともに、用途に応じて低濃度から高濃度のオゾン水を生成することのできるオゾン水生成装置を提供することを目的としている。
上記課題を解決するため、請求項1の発明によれば、
第1基板と、
前記第1基板に重ね合わされる第2基板と、
前記第1基板及び第2基板を重ね合わせることによって形成された収容室に収容された触媒電極と、を有し、
前記触媒電極が、陽イオン交換膜と、前記陽イオン交換膜の一方の面に設けられた陽極と、前記陽イオン交換膜の他方の面に設けられた陰極と、を備え、
前記触媒電極に原料水を供給するとともに前記陽極及び前記陰極間に直流電圧を印加することによってオゾン水を生成するオゾン水生成セルが、複数重ねて設けられ、
前記複数のオゾン水生成セルは、互いに隣接するオゾン水生成セルのうち、一方のオゾン水生成セルの前記第2基板と、他方のオゾン水生成セルの前記第1基板とが隣接するように、順次重ね合わされており、
前記第1基板には、前記収容室に連通して、原料水を前記陽極に供給する陽極用供給流路と、前記収容室に連通して、原料水を前記陰極に供給する陰極用供給流路と、が設けられ、
前記第2基板には、前記陽極用供給流路及び前記収容室に連通して、前記陽極で生成された生成水を排出する陽極用排出流路と、前記陰極用供給流路及び前記収容室に連通して、前記陰極で生成された生成水を排出する陰極用排出流路と、が設けられており、
前記一方のオゾン水生成セルの前記第2基板に設けられた前記陽極用排出流路と、前記他方のオゾン水生成セルの前記第1基板に設けられた前記陽極用供給流路と、が連通し、
前記一方のオゾン水生成セルの前記第2基板に設けられた前記陰極用排出流路と、前記他方のオゾン水生成セルの前記第1基板に設けられた前記陰極用供給流路と、が連通し
前記第1基板と前記第2基板とは、同一の部材であり、
前記第2基板は、前記第1基板が表裏面反転され、かつ、前記第1基板の前記陽極用供給流路が前記陽極用排出流路として使用され、前記第1基板の前記陰極用供給流路が前記陰極用排出流路として使用されていることを特徴とするオゾン水生成装置が提供される。
本発明によれば、容易に高濃度のオゾン水を生成することができる。また、触媒電極の小型化を図れる。さらに、用途に応じて低濃度から高濃度のオゾン水を生成することができる。
オゾン水生成装置の外観斜視図である。 オゾン水生成装置の分解斜視図である。 図2における切断線I−Iに沿って切断した際の矢視断面図である。 図2における切断線II−IIに沿って切断した際の矢視断面図である。 第1基板を示したものであり、(a)は表面側の平面図、(b)は裏面側の平面図、(c)は切断線III−IIIに沿って切断した際の矢視断面図、(d)は切断線IV−IVに沿って切断した際の矢視断面図である。 第2基板を示したものであり、(a)は表面側の平面図、(b)は裏面側の平面図、(c)は切断線V−Vに沿って切断した際の矢視断面図、(d)は切断線VI−VIに沿って切断した際の矢視断面図である。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図1は、オゾン水生成装置の外観斜視図、図2は、オゾン水生成装置の分解斜視図、図3は、図2における切断線I−Iに沿って切断した際の矢視断面図、図4は、図2における切断線II−IIに沿って切断した際の矢視断面図である。
図1に示すように、本発明に係るオゾン水生成装置200は、複数のオゾン水生成セル100を連結して構成される。
図2〜図4に示すように、オゾン水生成セル100は、第1基板1と、第1基板1に重ね合わされる第2基板2と、これら第1基板1及び第2基板2の重ね合わせ面に形成された収容室11,21に収容される触媒電極3と、を備えている。
触媒電極3は、陽イオン交換膜31と、陽イオン交換膜31の一方の面に設けられた陽極32と、陽イオン交換膜31の他方の面に設けられた陰極33と、を備えている。第1基板1側から、陰極33、陽イオン交換膜31、陽極32、第2基板2の順に配置されている。
オゾン水生成セル100は、陽極32及び陰極33にそれぞれ原料水を供給するとともに陽極32及び陰極33間に直流電圧を印加することによって、陽極32側に微細オゾン気泡を発生させて、微細オゾン気泡を水に溶解させることにより、オゾン水を生成する。なお、陰極33側には、水素が発生し、水素が水に溶解して水素水(陰極水)が生成される。
図5は第1基板を示したものであり、(a)は表面側の平面図、(b)は裏面側の平面図、(c)は切断線III−IIIに沿って切断した際の矢視断面図、(d)は切断線IV−IVに沿って切断した際の矢視断面図である。
図5に示すように、第1基板1は、円板状をなしており、例えば、金属製とすることが好ましい。
第1基板1の裏面中央には、平面視円形状の凹部である収容室11が形成されている。
また、第1基板1の表面で互いに対向する位置には、裏面に貫通する側断面視L字型の陽極用供給流路12が2つ形成されている(図5(c)参照)。これら陽極用供給流路12は、収容室11に連通しないようになっている。
さらに、第1基板1の表面で互いに対向する位置には、裏面に貫通する側断面視コの字型の陰極用供給流路13が2つ形成されている(図5(d)参照)。これら陰極用供給流路13は、収容室11に連通している。
2つの陽極用供給流路12と、2つの陰極用供給流路13とは、互いに90°の間隔で配置されている。
さらに、第1基板1には、表裏面を貫通する複数のボルト貫通穴14が等間隔に形成されている。
なお、第1基板1の収容室11には、触媒電極3の陰極33が配置されるようになっている。
図6は第2基板を示したものであり、(a)は表面側の平面図、(b)は裏面側の平面図、(c)は切断線V−Vに沿って切断した際の矢視断面図、(d)は切断線VI−VIに沿って切断した際の矢視断面図である。
図6に示すように、第2基板2は、第1基板1と同一の部材である。第2基板2は、第1基板1を表裏面反転させて、かつ、90°回転させた状態で第1基板1に対して重ね合わされるようになっている。
すなわち、第2基板2の表面中央には、平面視円形状の凹部である収容室21(第1基板1の収容室11に相当)が形成されている。
また、第2基板2の裏面で互いに対向する位置には、表面に貫通する側断面視L字型の陰極用排出流路23(上述の陽極用供給流路12に相当)が2つ形成されている(図6(d)参照)。これら陰極用排出流路23は、収容室21に連通しないようになっている。
さらに、第2基板2の裏面で互いに対向する位置には、表面に貫通する側断面視コの字型の陽極用排出流路22(上述の陰極用供給流路13に相当)が2つ形成されている(図6(c)参照)。これら陽極用排出流路22は、収容室用凹部21に連通している。
2つの陽極用排出流路22と、2つの陰極用排出流路23とは、互いに90°の間隔で配置されている。
さらに、第2基板2には、表裏面を貫通する複数のボルト貫通穴24が等間隔に形成されている。
なお、第2基板2の収容室21には、触媒電極3の陽極32が配置されるようになっている。
第1基板1と第2基板2とは、上述のように同一の部材であり、第1基板1を表裏面反転させて、90°回転させた状態で第2基板2として使用する。すなわち、第1基板1の陽極用供給流路12を第2基板2の陰極用排出流路23として使用し、第1基板1の陰極用供給流路13を第2基板2の陽極用排出流路22として使用する。
図3及び図4に示すように、第1基板1と第2基板2とを互いに重ね合わせた状態では、第1基板1及び第2基板2の各収容室11,21が互いに対向して配置され、収容室11には陰極33が収容され、収容室21には陽極32が収容される。
また、第1基板1と第2基板2とを互いに重ね合わせた状態では、第1基板1の1つの陽極用供給流路12と、収容室21と、第2基板2の1つの陽極用排出流路22とが連通する(図2、図3参照)。さらに、第1基板1の一つの陰極用供給流路13と、収容室11と、第2基板2の一つの陰極用排出流路23とが連通する(図2、図4参照)。
触媒電極3は、陽極32、陽イオン交換膜31及び陰極33を有している。
陽極32は、平面視円形状をなしており、第2基板2の収容室21よりも小さく形成されている。
陽極32は、陽イオン交換膜31を全面的に覆い隠すように密着するものではなく、多数の通孔を設けて、陽イオン交換膜31に接触部と非接触部とを有して重ねられることが好ましい。例えば、陽極32は、エキスパンドメタル状またはパンチングメタル状とすることが好ましい。なお、エキスパンドメタル状とは、金属板を千鳥状に切れ目を入れながら押し広げ、その切れ目を菱形や亀甲形に成形したメッシュ状の金属であり、パンチングメタル状とは金属板に多数の通孔を形成した多孔板状のことである。図2では、エキスパンドメタル状の陽極32を使用している。
このように陽極32をエキスパンドメタル状またはパンチングメタル状とすることによって、供給された原料水の水流と接触して渦流を生じ、陽極32で発生したオゾンの微泡を巻き込んで溶解を早めることができる。
また、陽極32としては、オゾン発生触媒機能を有する金属を使用する。具体的には、安定性が良い点で白金、金またはその被覆金属を使用することが好ましく、特にチタンに白金を被覆した金属を使用すると製造コストを安価に抑えることができる。被覆処理としては、例えばメッキや熱着等により行うことができる。
陽イオン交換膜31は、平面視円形状をなしており、第1基板1及び第2基板2と平面視の大きさが同じとなっている。
陽イオン交換膜31には、第1基板1の陽極用供給流路12と第2基板2の陽極用排出流路22に連通する流路用貫通穴311と、第1基板1の陰極用供給流路13と第2基板2の陰極用排出流路23に連通する流路用貫通穴312と、が形成されている。
さらに、陽イオン交換膜31の外周には、複数のボルト貫通穴313が等間隔に形成されている。
陽イオン交換膜31としては、従来公知のものを使用することができ、発生するオゾンに耐久性の強いフッ素系陽イオン交換膜を使用することができる。また、厚さは、100〜300μm程度が好ましい。
陰極33は、平面視円形状をなしており、第1基板1の収容室11よりも小さく形成されている。
陰極33としては、オゾン発生触媒機能を有する金属を使用する。具体的には、上述の陽極32と同様に、安定性が良い点で、白金、金又はその被覆金属を使用することが好ましく、特にチタンに白金を被覆した金属を使用すると製造コストを安価に抑えることができる。また、陰極33も陽極32と同様に、エキスパンドメタル状またはパンチングメタル状とすることが好ましい。特に、陰極33は陽極32よりも目の粗さが細かくなるように形成することが好ましい。
なお、陽極32の外側(第2基板2側)及び陰極33の外側(第1基板1側)には、陽極32及び陰極33と同じ大きさのチタン製のエキスパンドメタル34,35がそれぞれ設けられている。
また、陽極32と陰極33との間には、電源装置(図示しない)の出力端が電気的に連結され、直流電圧が印加されるように構成されている。すなわち、陽極32及び陰極33は、各電極32,33に導線を介して電源装置に連結されている。印加する直流電圧は、例えば6〜24ボルトの範囲内が好ましい。
このように、陽イオン交換膜31の一方の面に陽極32及びエキスパンドメタル34、他方の面に陰極33及びエキスパンドメタル35が接触するように配置されて触媒電極3が構成されている。
陽イオン交換膜31と第2基板2との間には、第1パッキン材5が配置されている。
第1パッキン材5は、リング状をなしている。リング状の内側に、陽極32及びエキスパンドメタル34が配置されるようになっている。
第1パッキン材5は、例えば、シリコン製とすることが好ましい。
また、第1パッキン材5には、陽イオン交換膜31の2つの流路用貫通穴311,312に対応する位置にそれぞれ流路用貫通穴51,52が形成されている。
さらに、第1パッキン材5の外周には、複数のボルト貫通穴53が等間隔に形成されている。
以上のように、第1基板1、触媒電極3(エキスパンドメタル35、陰極33、陽イオン交換膜31、陽極32、エキスパンドメタル34)、第1パッキン材5及び第2基板2がこの順に重ね合わされてオゾン水生成セル100が構成されている。
次に、上記オゾン水生成セル100が複数重ね合わされてなるオゾン水生成装置200について説明する。
図2〜図4に示すように、互いに隣接するオゾン水生成セル100のうち、一方のオゾン水生成セル100の第2基板2と、他方のオゾン水生成セル100の第1基板1とが、第2パッキン材6を介して重ね合わされている。
第2パッキン材6は、平面視円形状をなし、第1基板1及び第2基板2の平面視の大きさと同じとなっている。
第2パッキン材6は、例えば、シリコン製とすることが好ましい。
第2パッキン材6には、第2基板2の陽極用排出流路22、第1基板1の陽極用供給流路12、第2基板2の陰極用排出流路23及び第1基板1の陰極用供給流路13に、それぞれ連通する連通用貫通穴61が4つ形成されている。
また、最も外側(図2〜図4中、表面側)のオゾン水生成セル100の第1基板1の外側(表面側)には、第3パッキン材7を介して、第1狭持板8が重ね合わされている。
一方、最も外側(図2〜図4中、裏面側)のオゾン水生成セル100の第2基板2の外側(裏面側)には、第3パッキン材7を介して、第2狭持板9が重ね合わされている。
第1狭持板8は、円板状をなしており、第1基板1及び第2基板2の平面視の大きさと同じとなっている。
第1狭持板8は、例えば、プラスチック製とすることが好ましい。
第1狭持板8には、第1基板1の陽極用供給流路12及び陰極用供給流路13に対応する位置に流路用貫通穴81,82がそれぞれ形成されている。
流路用貫通穴81,82には、外部から陽極32に原料水を供給するための陽極用供給管84及び外部から陰極33に原料水を供給するための陰極用供給管85が嵌め込まれるようになっている(図1参照)。
また、これら流路用貫通穴81,82の周囲に複数のボルト貫通穴83が等間隔に形成されている。
なお、陽極用供給管84及び陰極用供給管85は、図示しないが、例えば、原料水が貯留されたタンクに接続されたり、水道管に接続されている。
また、陽極用供給管84に供給する原料水としては、水道水、精製水などが挙げられる。陰極用供給管85に供給する原料水としては、水道水、精製水などが挙げられる。
第2狭持板9は、円板状をなしており、第1基板1及び第2基板2の平面視の大きさと同じとなっている。
第2狭持板9は、例えば、プラスチック製とすることが好ましい。
第2狭持板9には、第2基板2の陽極用排出流路22及び陰極用排出流路23に対応する位置に流路用貫通穴91,92がそれぞれ形成されている。
これら流路用貫通穴91,92には、生成されたオゾン水を外部に排出するための陽極用排出管94及び生成された陰極水を外部に排出するための陰極用排出管95が嵌め込まれるようになっている(図1参照)。
また、これら流路用貫通穴91,92の周囲に複数のボルト貫通穴93が等間隔に形成されている。
なお、陽極用排出管94は、図示しないが、生成されたオゾン水を貯留するためのタンクや、オゾン水を吐出させるノズル等に接続されている。陰極用排出管95は、生成された陰極水を貯留するためのタンク等に接続されている。
第3パッキン材7は、平面視円形状をなし、第1基板1及び第2基板2の平面視の大きさと同じとなっている。
第3パッキン材7には、第1狭持板8や第2狭持板9と同様に、第1基板1の陽極用供給流路12(第2基板2の陽極用排出流路22)及び第1基板1の陰極用供給流路13(第2基板2の陰極用排出流路23)に対応する位置に流路用貫通穴71,72がそれぞれ形成されている。
また、これら流路用貫通穴71,72の周囲に複数のボルト貫通穴73が等間隔に形成されている。
第3パッキン材7は、例えば、シリコン製とすることが好ましい。
以上、図4及び図5に示すように、オゾン水生成装置200は、第1狭持板8、第3パッキン材7、1段目のオゾン水生成セル100、第2パッキン材6、2段目のオゾン水生成セル100、第2パッキン材6、3段目のオゾン水生成セル100、第2パッキン材6、4段目のオゾン水生成セル100、第3パッキン材7及び第2狭持板9がこの順に重ね合わされることによって構成される。
そして、各部材のボルト用貫通穴にボルトM(図1参照)が挿入されて締結されることによって、オゾン水生成装置200が組み立てられる。
組み立てられたオゾン水生成装置200では、図2及び図3の点線で示した矢印のように、陽極用供給管84、1段目のオゾン水生成セル100の陽極用供給流路12及び陽極用排出流路22、2段目のオゾン水セル100の陽極用供給流路12及び陽極用排出流路22、3段目のオゾン水セル100の陽極用供給流路12及び陽極用排出流路22、4段目のオゾン水セル100の陽極用供給流路12及び陽極用排出流路22、陽極用排出管94(流路用貫通穴91)が互いに連通している。
また、図2及び図4の一点鎖線で示した矢印のように、陰極用供給管85、1段目のオゾン水生成セル100の陰極用供給流路13及び陰極用排出流路23、2段目のオゾン水セル100の陰極用供給流路13及び陰極用排出流路23、3段目のオゾン水セル100の陰極用供給流路13及び陰極用排出流路23、4段目のオゾン水セルの陰極用供給流路13及び排出流路23、陰極用排出管95(流路用貫通穴92)が互いに連通している。
なお、陽極用排出管94には、図示しないが、濃度検出センサが設けられている。濃度検出センサは、検出電極(図示しない)と電位測定の基準となる比較電極(図示しない)、これら検出電極及び比較電極の一方の端部に結線して電位を測定する電位差計(図示しない)等から構成されている。検出電極及び比較電極は、陽極用排出管94を流れるオゾン水に接触するようになっている。そして、検出電極及び比較電極がオゾン水に接触することで、検出電極のオゾン濃度変化による検出電極と比較電極との電位差を検出して濃度を測定する。
検出電極としては、例えば白金や金等からなる電極を使用し、比較電極としては銀や塩化銀を使用することが好ましい。
このようにして検出されたオゾン濃度に基づいて、オゾン水生成装置200内の制御部(図示しない)が予め設定されたオゾン濃度と一致するように、電源装置に陽極32及び陰極33間に印加する電力量を制御している。
次に、上述のオゾン水生成装置200の動作について説明する。
陽極用供給管84及び陰極用供給管85から原料水を供給すると同時に、電源装置を駆動させることによって、各オゾン水生成セル100の陽極32及び陰極33の間に所定の電圧を印加する。この通電により水が電気分解されて、陽極側にはオゾン気泡及び酸素気泡が発生し、陰極側には水素気泡が発生する。
詳細に説明すると、陽極用供給管84から原料水を供給すると、図2及び図3の点線で示した矢印のように、原料水は、1段目のオゾン水生成セル100の陽極用供給路12から陽極32を介して陽極用排出流路22を流れる。1段目のオゾン水生成セル100で生成されたオゾン水は、その後、2段目のオゾン水生成セル100の陽極用供給流路12から陽極32を介して陽極用排出流路22を流れる。その結果、高濃度のオゾン水が生成される。2段目のオゾン水生成セル100で生成されたオゾン水は、さらに3段目のオゾン水生成セル100及び4段目のオゾン水生成セル100においても同様の順番で流れ、最終的に生成されたオゾン水はより高濃度となり、陽極用排出管94から排出される。
一方、陰極用供給管85から原料水を供給すると、図2及び図4の一点鎖線で示した矢印のように、原料水は、1段目のオゾン水生成セル100の陰極用供給路13から陰極33を介して陰極用排出流路23を流れる。1段目のオゾン水生成セル100で生成された陰極水(水素水)は、その後、2段目のオゾン水生成セル100の陰極用供給流路13から陰極33を介して陰極用排出流路23を流れ、生成された陰極水は、さらに3段目のオゾン水生成セル100及び4段目のオゾン水生成セル100においても同様の順番で流れ、最終的に生成された陰極水は、陰極用排出管95から排出される。このように1段目のオゾン水生成セル100で生成された陰極水を、2段目〜4段目のオゾン水生成セル100においても再利用することができ、コスト削減を図ることができる。
なお、通電中に、同時に濃度検出センサによって、陽極用排出管94内のオゾン水濃度が測定され、制御部は予め設定されたオゾン濃度となるように電源装置の出力調整を行うことによって、各オゾン水生成セル100の陽極32及び陰極33間の電力量が制御される。以上のようにして、設定濃度のオゾン水が生成される。
以上、本実施形態によれば、複数のオゾン水生成セル100が、互いに隣接するオゾン水生成セル100のうち、一方のオゾン水生成セル100の第2基板2と、他方のオゾン水生成セル100の第1基板1とが隣接するように、順次重ね合わされている。そして、一方のオゾン水生成セル100の第2基板2に設けられた陽極用排出流路22と、他方のオゾン水生成セル100の第1基板1に設けられた陽極用供給流路12と、が連通し、一方のオゾン水生成セル100の第2基板2に設けられた陰極用排出流路23と、他方のオゾン水生成セル100の第1基板1に設けられた陰極用供給流路13と、が連通している。
このように複数のオゾン水生成セル100の供給流路及び排出流路が互いに連通して1本となっているので、最も上流側のオゾン水生成セル100に供給された原料水は、各オゾン水生成セル100を流れる毎に高濃度のオゾン水となり、容易に高濃度のオゾン水を生成することができる。また、従来のように大型の触媒電極を使用する必要もなく、小型の触媒電極で対応することができる。
また、複数のオゾン水生成セル100のうち、いずれかのオゾン水生成セル100が故障した場合であっても、他のオゾン水生成セル100によってオゾン水を生成することができる。また、故障したオゾン水生成セル100のみ、交換することで、簡単に修理することができる。
また、オゾン水生成セル100の数を適宜変更することによって、用途に応じて低濃度のオゾン水から高濃度のオゾン水を容易に生成することができる。
また、第1基板1と第2基板2とは同一の部材であり、第2基板2は、第1基板1の表裏面を反転させて、さらに90°回転させることによって兼用することができるので、コスト削減を図ることができる。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、上記実施形態では、オゾン水生成セル100を4つ重ね合わせるとしたが、複数重ね合わせれば良く、2つであっても3つであっても5つ以上であっても良い。
1 第1基板
11 収容室
12 陽極用供給流路
13 陰極用供給流路
2 第2基板
21 収容室
22 陽極用排出流路
23 陰極用排出流路
3 触媒電極
31 陽イオン交換膜
32 陽極
33 陰極
100 オゾン水生成セル
200 オゾン水生成装置

Claims (1)

  1. 第1基板と、
    前記第1基板に重ね合わされる第2基板と、
    前記第1基板及び第2基板を重ね合わせることによって形成された収容室に収容された触媒電極と、を有し、
    前記触媒電極が、陽イオン交換膜と、前記陽イオン交換膜の一方の面に設けられた陽極と、前記陽イオン交換膜の他方の面に設けられた陰極と、を備え、
    前記触媒電極に原料水を供給するとともに前記陽極及び前記陰極間に直流電圧を印加することによってオゾン水を生成するオゾン水生成セルが、複数重ねて設けられ、
    前記複数のオゾン水生成セルは、互いに隣接するオゾン水生成セルのうち、一方のオゾン水生成セルの前記第2基板と、他方のオゾン水生成セルの前記第1基板とが隣接するように、順次重ね合わされており、
    前記第1基板には、前記収容室に連通して、原料水を前記陽極に供給する陽極用供給流路と、前記収容室に連通して、原料水を前記陰極に供給する陰極用供給流路と、が設けられ、
    前記第2基板には、前記陽極用供給流路及び前記収容室に連通して、前記陽極で生成された生成水を排出する陽極用排出流路と、前記陰極用供給流路及び前記収容室に連通して、前記陰極で生成された生成水を排出する陰極用排出流路と、が設けられており、
    前記一方のオゾン水生成セルの前記第2基板に設けられた前記陽極用排出流路と、前記他方のオゾン水生成セルの前記第1基板に設けられた前記陽極用供給流路と、が連通し、
    前記一方のオゾン水生成セルの前記第2基板に設けられた前記陰極用排出流路と、前記他方のオゾン水生成セルの前記第1基板に設けられた前記陰極用供給流路と、が連通しており、
    前記複数のオゾン水生成セルのうち、最上流側のオゾン水生成セルの陽極用供給流路から、最下流側のオゾン水生成セルの陽極用排出流路までが直列に連通するとともに、最上流側のオゾン水生成セルの陰極用供給流路から、最下流側のオゾン水生成セルの陰極用排出流路までが直列に連通し
    前記第1基板と前記第2基板とは、同一の部材であり、
    前記第2基板は、前記第1基板が表裏面反転され、かつ、前記第1基板の前記陽極用供給流路が前記陽極用排出流路として使用され、前記第1基板の前記陰極用供給流路が前記陰極用排出流路として使用されていること特徴とするオゾン水生成装置。
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