JP2005281095A

JP2005281095A - 高濃度オゾン発生装置及びオゾン発生ユニットの製造法

Info

Publication number: JP2005281095A
Application number: JP2004100300A
Authority: JP
Inventors: Yoshiki Tanigawa; 栄機谷川; Yasuhiro Yamada; 泰弘山田
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2004-03-30
Filing date: 2004-03-30
Publication date: 2005-10-13

Abstract

【要約】
【課題】高濃度オゾン発生装置及びオゾン発生ユニットの製造法を提供する。
【解決手段】外匣と、内面にガス・シーリング壁と多数のペデストラルとを形成した一対のオゾン発生板を合わせて該ガス・シーリング壁同士と多数の該ペデストラル同士とを接触させてガス通路を形成し、間に高電圧電極板を介在させ、上下面にアース側押え板を設けたオゾン発生体と、酸素、窒素等供給部及びオゾン吸引部と、高周波電源ユニットと、オゾン分解用バーナと、オゾン濃度計と、流量調節弁を有し、該オゾン分解用バーナと該オゾン濃度計との中点に設けられ、ガス導入部及びオゾン取出吸入部と、マッチングユニットと、フィルタ及び水冷ユニットと、圧力調整器と流量調節弁及び酸素流量計とを介して該フィルタに接続された酸素ボンベ及び窒素ボンベと、流量、電力及びシーケンス等を制御する制御部とから成るオゾン発生装置である。
【選択図】図２

Description

この発明は、高濃度オゾン発生装置及びオゾン発生ユニットの製造法に関し、更に詳しくは狭いギャップと高耐圧構造の石英板により高濃度、高圧、大流量、低汚染のオゾンを効率的に発生させる高濃度オゾン発生装置及びオゾン発生ユニットの製造法に関する。

オゾンは、強力な酸化作用を有するので、工場廃水に対する水処理や酸化から半導体プロセス用の用途まで使用領域が広がってきており、各種の業界からオゾンの需要が大きくなってきている。

オゾンは、
（１）低濃度大容量（数ｐｐｍ数Ｋｇ．単位のオゾン）、
（２）中濃度中容量（〜５０ｐｐｍ数ｇ．単位のオゾン）、
（３）高濃度中容量（〜２００ｐｐｍ〜１Ｋｇ．単位のオゾン）に大きく分類される。

無声放電タイプのオゾン発生法としては、セラミック沿面放電、石英管タイプ平行平板、セラミック平行平板等があるが、いずれも次の様な問題がある。
（１）高圧でのオゾン発生が極めて不利（石英二重管）、
（２）オゾンガス中の塵埃、材料からの汚染等がある（セラミック沿面放電）。

前記の問題から高濃度のオゾン水を得ようとすると、種々の問題が発生する。
（３）例えば、半導体で使用する場合は、高圧、高濃度、高出力と汚染等の問題から、使用オゾナイザーに制限を受け、結果的に低濃度のオゾン水しか作れないのが現状である。

公知のオゾン発生装置の例としては、閉鎖槽内で高純度水を電離膜電極を使用して高電流で電気分解し、陽極側に高濃度オゾン＋オゾン水を、陰極側に水素水を得る電解法、無声放電オゾン発生装置、円筒形石英２重管を使用する装置、等により酸素又は空気を通じて高電流密度の電気を流して０_２の一部を０_３に変換する方法がある。

前述の通り、オゾンの特徴は、
（ａ）強力な酸化力を有するので、他の方法では酸化あるいは分解が困難であったものへの適用が期待できる、
（ｂ）余分に添加しても自己分解して酸素になるので２次公害の心配がない、
（ｃ）空気と電力のみから得られるので輸送、貯蔵の必要がない、
（ｄ）オゾン発生量は電圧を変えることで制御できるので、自動化、省力化が容易である、
（ｅ）水処理に適用した場合、ｐＨの影響を考慮する必要がない、
（ｆ）水処理に適用した場合、スラッジの発生が殆どない、
等である。

一般的にオゾン発生方法には、大きく分けて高電流水電気分解法と無声放電法が提案されている。
（１）高電流水電気分解法
（２）無声放電法(雷等空気中での現象と同じ）
放電放電
０_２⇒２０* ⇒ ０_３ (オゾン) ３０_２⇒２０_３

公知のオゾン発生装置の例としては、高純度純水を電離膜電極を使用して高電流で電気分解を実施し、陽極側に高濃度オゾン＋オゾン水を、陰極側に水素水を得る電解法（電解水法）、無声放電オゾン発生装置、円筒形の２重管石英を用いた装置等が知られている。

オゾン発生装置としては、例えば、
特許第３４３９１２８号、特許第３４３２５２８号、特許第３４４８５４５号、特許第３４５０４５２号等が挙げられる。

オゾン発生装置の非特許文献としては、例えば、一般用工業オゾン発生装置、半導体プロセス用オゾン発生装置（例えば、株式会社ロキテクノ製ＢＡ、ＢＸ、ＦＡシリーズ）等が挙げられる。

（ａ）更に、純水電解法は、電解膜の寿命が一年以下であるから、電解膜の交換が高コストとなり、しかも活性水素の処理も付随する。

（ｂ）石英管タイプ平行平板法は、電極を空気中で平行に配置する必要があり、正確な平行度が要求され、且つ高度の機械加工精度も要求される（通常の石英加工ではギャップ調整が難しい）。又、金属電極平行平板タイプでは、絶縁層としてセラミック＋石英（Ｓｉ０_２）の二重構造が必要であり、且つ放電中でこれら絶縁材が剥離するから気相中に塵埃が混入することである。

（ｃ）二重円筒石英管法は、石英で二重管を形成するためにギャップ制御が極めて難しく、冷却方法が複雑となり易い。

（ｄ）前述の通り、二重構造のオゾン発生板は、薄いのでその加工とギャップ制御が極めて難しいことである。

次に、従来方式によるオゾン発生装置の問題点を詳細に説明する。
（１）セラミック平行平板加圧容器使用圧力OK 濃度OK 量OK 汚染NO
（２）石英二重管方式圧力NO 濃度− 量NO 汚染NO
（３）沿面放電方式圧力NO 濃度OK 量− 汚染NO
（４）水電解方式圧力− 濃度OK 量− 汚染NO

又、高濃度オゾン水としてみた場合、高濃度、低汚染を得るための方式は、現在の技術的実績から汚染を考えると石英材の使用が最も望ましい。しかし、二重管方式は、圧力、ギャップの問題のため低効率になり易く、結果として大流量高圧は自ずと決まると云う問題があった。

加えて、平行平板によりオゾン発生装置を作る時は、ギャップ調整が極めて難しく、石英材質をいかに薄く作れるかが問題となる。又、セラミックに電極を設け、石英（Ｓｉ０_２）コーティングを塗布する場合の効率、純度共に良い結果が得られるけれども、石英板（Ｓｉ０_２）の厚みが２００ミクロン以上ないと長時間の使用に耐えられず、且つ石英層がなくなれば、汚染が発生する。従って、効率は誘電体層の膜厚とギャップに反比例し、高効率と圧力の問題を解決できなかった。

この発明は、前述の様な公知のオゾン発生装置を改良するもので、その第１要旨は、外匣と、主電源スイッチと、緊急停止用スイッチと、プロパンボンベ又は都市ガス供給部等に接続され、該外匣内に設けられたオゾン分解用バーナと、オゾン濃度計と、流量調節弁を有し、該オゾン分解用バーナと該オゾン濃度計との中点に設けられ、該外匣のガス導入部及びオゾン取出吸入部と、オゾン発生ユニットと、マッチングユニットと、高周波電源ユニットと、該オゾン発生ユニットに接続されたフィルタ及び水冷ユニットと、圧力調整器と流量調節弁及び酸素流量計とを介して該フィルタに接続された酸素ボンベ及び窒素ボンベと、流量、電力及びシーケンス等を制御する制御部とから成るオゾン発生装置である。

その第２要旨は、外匣と、内面にガス・シーリング壁と多数のペデストラルとを形成した一対のオゾン発生板を合わせて該ガス・シーリング壁同士と多数の該ペデストラル同士とを接触させてガス通路を形成し、間に高電圧電極板を介在させ、上下面にアース側押え板を設けたオゾン発生体と、酸素、窒素等供給部及びオゾン吸引部と、高周波電源ユニットと、オゾン分解用バーナと、オゾン濃度計と、流量調節弁を有し、該オゾン分解用バーナと該オゾン濃度計との中点に設けられ、ガス導入部及びオゾン取出吸入部と、マッチングユニットと
、フィルタ及び水冷ユニットと、圧力調整器と流量調節弁及び酸素流量計とを介して該フィルタに接続された酸素ボンベ及び窒素ボンベと、流量、電力及びシーケンス等を制御する制御部とから成るオゾン発生ユニットを有するオゾン発生装置である。

その第３要旨は、オゾン発生ユニットを直列又は並列に接続して設置し、所望の濃度と流量とに調整するオゾン発生装置である。

その第４要旨は、該オゾン発生ユニットの外部電極と加圧板とを冷却させる構成として成るオゾン発生装置である。

その第５要旨は、所要面積と厚みとを有する石英板、耐熱ガラス板等のオゾン発生板の一面にエッチング等により所要幅と高さとを有する円周突起縁と、半径線から該円周突起縁と同心円で他方の半径線近くまで柄杓形第１部分同心円ガス・シーリング壁と、他方の半径線から該柄杓形第１部分同心円ガス・シーリング壁と対偶的に柄杓形第２部分同心円ガス・シーリング壁とを形成する工程と；一対の該オゾン発生板を互いに合わせ、該円周突起縁同士と該両柄杓形部分同心円ガス・シーリング壁同士及び多数の該ペデストラル同士を接触させてガス通路を形成する工程と；両側の該オゾン発生板円周囲縁を溶接してオゾン発生体とする工程と；一対の該オゾン発生体間に高電圧電極板を介在させる工程と；一対の該内側オゾン発生体と該高電圧電極板の円周縁で直径線に沿って形成された凹部に酸素、窒素等供給部及びオゾン吸引部とを夫々嵌合する工程と；該高電圧電極板に高周波電源ユニットを接続する工程と；該内側オゾン発生板の該周囲縁を合わせて溶接する工程と；一対の該オゾン発生体の上下面に夫々円盤状アース側押え板を一体に設ける工程と；該円盤状アース側押え板の周囲縁の貫通孔にボルトを貫通し、該ボルトにナットを螺合する工程とから成るオゾン発生ユニットの製造法である。

（１）前述の通り、この発明のオゾン発生装置によれば、円筒形石英２重管並みの高純度オゾンとセラミック平行平板並みの高効率で高濃度のオゾンを得られる様になる。
ここでオゾンを得る効率の定義は、
効率＝オゾン量 ÷ 使用電力（電圧 × 電流）。
オゾン発生量は、電流に比例する（０_２ ⇒０^＊）。
｛一種のプラズマ状態中で酸素が分解(イオン化)し、単原子化され、これが酸素分子と結合してオゾンとなる。この場合、プラズマ状態中の電子量が問題で電流と比例する｝。

電極間のギャップが大きいほど放電電圧が高くなり、同じ電流を流すには不利となる。
この発明者の実験例によれば、
現在の石英２重管印加電圧 12,000V以上放電ギャップ 1mm
この発明（電流1A/1m²の時）印加電圧 5,000V以上放電ギャップ 0.1mm

（２）又、この発明のオゾン発生装置によれば、狭ギャップで高耐圧の石英板構造とし、高電圧でのオゾン発生、即ち酸素圧力が高ければ、同じ面積でも内部酸素量が同じとなる。
１ｍ^２面積で１ｍｍギャップと、１ｍ^２面積で１ｍｍギャップで内部酸素を同じにするには、０．１ｍｍギャップで１０Ｋｇ／ｃｍ^２、１ｍｍギャップで１Ｋｇ／ｃｍ^２となる（内部容積は、高圧の方が１／１０となる）。
オゾン化は、化学反応であるから、高圧のほうが有利となる（０_２、０^＊の衝突確率の増加）。従って、ギャップを狭くした高耐圧構造がオゾン発生に有利となる。

（３）石英板の溝を１０〜５００ミクロンと所望に応じて形成し、この溝内に酸素を流すので、従来のオゾン発生装置と比較して狭ギャップ形成とそのギャップ調整とが極めて容易であり、且つギャップを一定化できる。

（４）スペーサとしてオゾン発生板の内面に設けたペデストラルを互いに接触させることにより、大面積でも歪まない狭ギャップを実現でき、ギャップ間隔を一定に保持し、外部の押え板により耐圧構造が実現可能となり、その付随的効果として冷却を効率化可能となる（最短距離で放熱が可能）。

（５）このようにして形成されたオゾン発生ユニットのギャップは、石英板のオゾン発生板が変形しても変わらない。

（６）オゾン発生ユニットを直列又は並列に接続して大容量で高濃度のオゾンを発生可能となる。

（７）オゾン発生ユニットは同一品であるから、大量生産が可能であり、生産・組立コスト等を格段に下げることができる。

（８）オゾン発生装置が破損した場合、破損部のユニット交換で対応できるので交換時間が短縮され、長時間運転が可能となり、高濃度オゾンを連続して安価に発生できる。

（９）気体が石英板内でオゾン化されるので極めて高純度のオゾンを効率的に得られる。

（１０）オゾン発生ユニットに水冷ユニットを設けたので電極板の水冷が可能であるから、高濃度オゾンが容易に得られ、２次分解を抑制する副次的効果も得られる。

（１１）オゾン発生板の内面にペデストラルを形成するために、エッチング等の加工法を採用できるので作業を迅速且つ安全に実施できる。

（１２）石英板のギャップが狭いので電力効率が向上し、石英２重管の１／４以下となる。

内面に一対の柄杓形第１、２部分同心円ガス・シーリング壁と多数のペデストラルとを形成した一対のオゾン発生板を一体に合わせ、円周突起縁同士、ガス・シーリング壁同士及び該ペデストラル同士とを互いに接触させてガス通路を形成したオゾン発生体と、一対の該オゾン発生体間に介在された高電圧電極板と、該オゾン発生体周囲で直径線上に形成された凹部に夫々設けられた酸素、窒素等供給部及びオゾン吸引部と、外側の該オゾン発生体に一体に夫々設けられたアース側押え板と該高電圧電極板に接続された高周波電源ユニットとから成るオゾン発生ユニットとを有するオゾン発生装置及びオゾン発生ユニットの製造法である。

請求項１記載のこの発明の第１要旨に係るオゾン発生装置の実施例を示す図１、２に於いて、外匣１０内所要個所に主電源スイッチ１２と緊急停止用スイッチ１４とを設け、プロパンボンベ又は都市ガス供給部(図示せず)等に接続されるオゾン分解用バーナ１６を設け、該オゾン分解用バーナ１６にオゾン濃度計１８を接続し、該オゾン濃度計１８にオゾン発生ユニット５０を接続する。

該オゾン分解用バーナ１６と該オゾン濃度計１８との中点に流量調節弁Ｖ_１とＶ_２とを有するオゾン取出しパイプ２２を接続し、後者の外端２２ａを該外匣１０の外部所要個所に導き、オゾン圧力計３８で表示する。

該オゾン発生ユニット５０に水冷ユニット３０を接続し、該水冷ユニット３０の延長端３０ａを該外匣１０の外部に導いて所要の水道設備等の冷却水供給部（図示せず）に接続可能とする。

該オゾン発生ユニット５０にマッチングユニット２４とフィルタ２８とを接続し、該マッチングユニット２４に高周波電源２６を接続する。

該外匣１０の外部に配置された酸素ボンベ（０_２）４０と窒素ボンベ（Ｎ_２）４２とを圧力調整器３２、逆止弁３４及びガス流量計３６とを介して該フィルタ２８に夫々接続する。

該外匣１０内に設けた制御部４４により該オゾン濃度計１８、該圧力調整器３２及び該マッチングユニット２４を介して流量、電力及びシーケンス等を制御、調節する。

図５、６、８〜１０で、第５要旨の発明に係る該オゾン発生ユニット５０の製造法に於いて、所要の面積（直径３００ｍｍ）と厚み（１ｍｍ）とを有する石英板、耐熱ガラス板（例えば、パイレックス、登録商標）等のオゾン発生板５４ａ、５４ａの一面に、エッチング又はサンドブラスト等により半径線から円周縁５４ｂと同心円で他方の半径線近くで柄杓形第１部分同心円ガス・シーリング壁５４ｃと、他方の半径線からも該部分同心円ガス・シーリング壁５４ｃと対偶的に柄杓形第２部分同心円ガス・シーリング壁５４ｃとを突設する。

該円周縁５４ｂと一対の該第１、２部分同心円ガス・シーリング壁５４ｃ、５４ｃとの間に、それらと同じ高さと所要直径（２ｍｍφ）とを有する多数のペデストラル５４ｄ、５４ｄ・・・をエッチング又はサンドブラスト等により所要間隔（０．１ｍｍ）を置いて突設する。

図５、６に於いて、一対の該オゾン発生板５４ａ、５４ａを合わせ、円周縁５４ｂ同士、該第１、２部分同心円ガス・シーリング壁５４ｃ同士及び該ペデストラル５４ｄ、５４ｄ・・・同士とを接触させ、該円周縁５４ｂ、５４ｂ同士を溶接して一体とし、外部と遮蔽し、ガス通路５４ｈ、５４ｈ・・・を有するオゾン発生体５４とする。

該放電用オゾン発生板５４ａの直径線で該円周縁５４ｂに近接して後述の酸素、窒素等供給部５６の貫通孔５４ｅとオゾン吸引部５８の貫通孔５４ｆとを対偶的に夫々穿設する。

一対の該オゾン発生体５４、５４の周囲で該貫通孔５４ｅと該貫通孔５４ｆとの対応箇所に、所要大きさの凹部５４ｇ、５４ｇを形成する。

図３〜５に於いて、周囲で直径線に該凹部５４ｇ、５４ｇに対応する凹部６０a、６０aを形成した高電圧電極板６０の該凹部６０a、６０aを該凹部５４ｇ、５４ｇに一致させ、一対の該オゾン発生体５４、５４の間に高電圧電極板５６を介在させて一体に設ける。

該円盤状石英板５４ａ、５４ａの周囲で直径線上に酸素、窒素等供給部５６とオゾン吸引部５８とを設ける凹部５６ａと５６ｂとを形成し、該凹部５６ａと５６ｂとに該酸素、窒素等供給部５６と該オゾン吸引部５８とを設け、該円盤状石英板５４ａ、５４ａの周囲にOリング・シール６０を一体に設ける。

一方の該円盤状石英板５４ａに円盤状アース側押え板６２を一体に設け、他方の該円盤状石英板５４ａに円盤状アース側押え板６４を一体に設ける。

該円盤状アース側押え板６２と該円盤状アース側押え板６４の該円周縁近くに所要間隔で穿設された所要直径の貫通孔６２ａ、６２ａ・・・と貫通孔６４ａ、６４ａ・・・を穿設し、該貫通孔６２ａ、６２ａ・・・と該貫通孔６４ａ、６４ａ・・・に連結ボルト６６、６６・・・を貫通し、該連結ボルト６６、６６にナット６６ａ、６６ａを螺合して一体とする。

従って、２枚の該石英板５４ａ、５４ａのギャップを中空で該ペデストラル５４ｄ、５４ｄ・・・により平行で１００ミクロン以下とし、溶接された該石英板５４ａ、５４ａの内部は中空であるが、該内部ペデストラル５４ｄ、５４ｄ・・・により恰も一枚の板の様に機能し、内部を加圧した場合の変形方向は、厚み方向のみで、これに耐える構造が容易に外部からの締め付け構造となる。

この場合横方向の圧力は、ギャップが狭いので厚み方向に比較して１／１００（１００ミクロン）、１／２００（５０ミクロン）であり、極めて小さい力しか加わらないので破損の危険が無くなる該オゾン発生ユニット５０が得られる。

この発明に係るオゾン発生装置によりオゾンを発生させる実施例を説明する。
該酸素ボンベ（０_２）４０と該窒素ボンベ（Ｎ_２）４２とを開き、該制御部４４により圧力を例えば５Ｋｇ／ｃｍ^２、流量を例えば０_２１０Ｌ／ｍｉｎ．Ｎ_２０．１Ｌ／ｍｉｎに調整し、該オゾン分解用バーナ１６をＯＮし、該流量調節弁Ｖ_２をＯＦＦし、該流量調節弁Ｖ_１をＯＮし、該オゾン濃度計１８をＯＮする。

次に該高周波電源２６の該スイッチ２６ａをＯＮし、オゾン濃度が最適化して安定動作まで運転し、該流量調節弁Ｖ_２をＯＮし、該流量調節弁Ｖ_１をＯＦＦし、該オゾン吸引部５８からオゾンを吸引して取出し、所望のボンベ（図示せず）に収納後、該オゾン分解用バーナ１６をＯＦＦする。

尚原料としての酸素（０_２）に不活性ガスとして窒素（Ｎ_２）を少量混合すれば、効率的にオゾンが得られるので所望量を混合することが望ましい。

図１２は、１ユニット当りのオゾン発生量を発生させるオゾン濃度と電力との関係を示す実施例のグラフであり、縦軸にオゾン濃度（ｇ／Ｎｍ^３）を、横軸に電力（Ｖｘｉ）を示す。図示の通り、１００％の０_２を供給した場合の実施例で、電力を増すと最初はオゾン濃度が増加して徐々に下がることが分かる。

以上この発明のオゾン発生装置の一例を説明したが、この特許請求の範囲内で変更して実施可能である。

は、この発明に係るオゾン発生装置の正面略図である。は、図１のオゾン発生装置の一部切欠拡大概略図である。は、図１、２のオゾン発生装置に設けられるオゾン発生ユニットの拡大略斜視図である。は、図３のオゾン発生ユニットの１V-１V線一部切欠拡大平面、断面略図である。は、図４のオゾン発生ユニットの一部切欠拡大平面、断面略図である。は、図５のオゾン発生ユニットから取出したオゾン発生体を構成する一対のオゾン発生板を分離した一部切欠拡大断面略図である。は、図５のオゾン発生ユニットから取出したオゾン発生体の側面図である。は、図７のオゾン発生ユニットから取出したオゾン発生体のオゾン発生板の平面図である。は、図８のオゾン発生板の底面図である。は、図５のオゾン発生ユニットに設けられる円盤状アース側押え板の平面図である。は、オゾン発生ユニットと水冷ユニットを複数個一体に設けた実施例の拡大側面図である。は、オゾン濃度と圧力との関係を示すグラフである。

符号の説明

１０外匣；
１２主電源スイッチ；
１４緊急停止用スイッチ；
１６オゾン分解用バーナ；
１８オゾン濃度計；
Ｖ_１、Ｖ_２流量調節弁；
２４マッチングユニット；
２６高周波電源；
２８フィルタ；
３０水冷ユニット；
３０ａ水冷ユニットの延長端；
３２圧力調整器；
３４逆止弁；
３６ガス流量計；
３８オゾン圧力計；
４０酸素ボンベ；
４２窒素ボンベ；
４４制御部；
５０オゾン発生ユニット；
５２円盤状高電圧電極板；
５４オゾン発生体；
５４ａ円盤状放電用石英オゾン発生板；
５４ｂペデストラル；
５４ｃ第1、２柄杓形部分同心円ガス・シーリング壁；
５４ｄペデストラル；
５４ｅガス吸入孔；
５４ｆオゾン排出孔；
５４ｇ凹部；
５４ｈガス通路；
５６酸素、窒素等供給部；
５６ａ、５６ｂ凹部；
５８オゾン吸引部；
６０高電圧電極板；
６０a 凹部；
６２ Oリング・シール；
６２ａ、６４ａ貫通孔；
６２、６４円盤状アース側押え板；
６６連結ボルト；
６６ａナット。

Claims

外匣と、主電源スイッチと、緊急停止用スイッチと、プロパンボンベ又は都市ガス供給部等に接続され、該外匣内に設けられたオゾン分解用バーナと、オゾン濃度計と、流量調節弁を有し、該オゾン分解用バーナと該オゾン濃度計との中点に設けられ、該外匣のガス導入部及びオゾン取出吸入部と、オゾン発生ユニットと、マッチングユニットと、高周波電源ユニットと、該オゾン発生ユニットに接続されたフィルタ及び水冷ユニットと、圧力調整器と流量調節弁及び酸素流量計とを介して該フィルタに接続された酸素ボンベ及び窒素ボンベと、流量、電力及びシーケンス等を制御する制御部とから成るオゾン発生装置。
外匣と、内面にガス・シーリング壁と多数のペデストラルとを形成した一対のオゾン発生板を合わせて該ガス・シーリング壁同士と多数の該ペデストラル同士とを接触させてガス通路を形成し、間に高電圧電極板を介在させ、上下面にアース側押え板を設けたオゾン発生体と、酸素、窒素等供給部及びオゾン吸引部と、高周波電源ユニットと、オゾン分解用バーナと、オゾン濃度計と、流量調節弁を有し、該オゾン分解用バーナと該オゾン濃度計との中点に設けられ、ガス導入部及びオゾン取出吸入部と、マッチングユニットと、フィルタ及び水冷ユニットと、圧力調整器と流量調節弁及び酸素流量計とを介して該フィルタに接続された酸素ボンベ及び窒素ボンベと、流量、電力及びシーケンス等を制御する制御部とから成るオゾン発生ユニットを有する請求項１記載のオゾン発生装置。
該オゾン発生ユニットを直列又は並列に接続して設置し、所望の濃度と流量とに調整する請求項１記載のオゾン発生装置。
該オゾン発生ユニットの該外部電極と該加圧板とを冷却させる構成として成る請求項１記載のオゾン発生装置。
所要面積と厚みとを有する石英板、耐熱ガラス板等のオゾン発生板の一面にエッチング等により所要幅と高さとを有する円周突起縁と、半径線から該円周突起縁と同心円で他方の半径線近くまで柄杓形第１部分同心円ガス・シーリング壁と、他方の半径線から該柄杓形第１部分同心円ガス・シーリング壁と対偶的に柄杓形第２部分同心円ガス・シーリング壁とを形成する工程と；
一対の該オゾン発生板を互いに合わせ、該円周突起縁同士と該両柄杓形部分同心円ガス・シーリング壁同士及び多数の該ペデストラル同士を接触させてガス通路を形成する工程と；
両側の該オゾン発生板円周囲縁を溶接してオゾン発生体とする工程と；
一対の該オゾン発生体間に高電圧電極板を介在させる工程と；
一対の該内側オゾン発生体と該高電圧電極板の円周縁で直径線に沿って形成された凹部に酸素、窒素等供給部及びオゾン吸引部とを夫々嵌合する工程と；該高電圧電極板に高周波電源ユニットを接続する工程と；
該内側オゾン発生板の該周囲縁を合わせて溶接する工程と；
一対の該オゾン発生体の上下面に夫々円盤状アース側押え板を一体に設ける工程と；
該円盤状アース側押え板の周囲縁の貫通孔にボルトを貫通し、該ボルトにナットを螺合する工程と；
から成るオゾン発生ユニットの製造法。