JP5073609B2 - 光導波路の製造方法 - Google Patents

Description

本発明はコアとコアを覆うオーバークラッド層を含む光導波路の製造方法に関する。

光導波路は軽量で高速信号伝送が可能であるため各種電子デバイスに利用されることが期待されている。このような光導波路の製造方法として、パターン形成されたコアを覆うように液状の樹脂を流延しオーバークラッド層を形成する方法が知られている（特許文献１）。
特開２００５−１６５１３８号公報

従来の製造方法で得られた光導波路はコアを通る光の散乱が大きく、光伝送効率が低いという問題があった。本発明の目的はコアを通る光の散乱が小さく、光伝送効率の高い光導波路の製造方法を提供することである。

本発明者が鋭意検討した結果、従来の製造方法により作られた光導波路の光伝送効率が低い原因は、コアの表面に気泡が付着しているためであることが判明した。この気泡は、コアの表面に液状の樹脂を流延してオーバークラッド層を形成する際、コアの周囲に気泡が付着し残存したものである。コアの周囲に気泡があると、コアを通過する光が気泡のため散乱し、光伝送効率が低下する。

図１は光導波路の従来の製造方法の模式図である。図１（ａ）はアンダークラッド層１１の上にコア１２がパターン形成された状態を示す。従来の製造方法では、次に図１（ｂ）のようにコア１２を埋包するようにアンダークラッド層１１の上に高粘度の液状樹脂を流延して樹脂層１３を形成する。高粘度の液状樹脂を用いるのは樹脂層１３の膜厚を厚くするためである。このとき気泡１４がコア１２の周囲に付着しやすい。樹脂層１３の粘度が高いため、付着した気泡１４はコア１２の周囲から移動しにくい。そのため樹脂層１３を硬化させてオーバークラッド層１５とすると、図１（ｃ）のように、気泡１４がコア１２の周囲に残存したままとなる。

図２は光導波路の本発明の製造方法の模式図である。図２（ａ）はアンダークラッド層２１の上にコア２２がパターン形成された状態を示す。本発明の製造方法においてはオーバークラッド層を形成する際、図２（ｂ）のように、まず粘度の低い（例えば８００ｍＰａ・ｓ以下）第一の液状樹脂を、コア２２が埋包されるようにアンダークラッド層２１の上に流延して第一の樹脂層２３を形成する。第一の液状樹脂の粘度が低いため第一の樹脂層２３は厚みが薄い。このとき気泡２４がコア２２の周囲に付着しやすいことは従来と同様である。

そこで第一の樹脂層２３を加熱すると、第一の樹脂層２３の粘度が更に低下する一方、気泡２４が膨張する。それによって図２（ｃ）のように、気泡２４がコア２２の周囲から移動し第一の樹脂層２３の外部に抜ける。このようにしてコア２２の周囲の気泡２４の大部分を取り除くことができる。この際、第一の樹脂層２３の粘度の低いことが効果的である。第一の液状樹脂は例えば紫外線硬化樹脂であり、加熱によっては硬化しない。

次に図２（ｄ）のように、第一の樹脂層２３の上に、粘度の高い（例えば１０００ｍＰａ・ｓ以上）第二の液状樹脂を流延し、第二の樹脂層２５を形成する。第二の液状樹脂は粘度が高いため過度に塗れ広がることがなく、厚みのある（例えば５００μｍ以上）第二の樹脂層２５を形成する。第二の液状樹脂の粘度が第一の液状樹脂よりも高いため、第二の樹脂層２５の厚みは第一の樹脂層２３より厚くなる。

次に図２（ｅ）のように、第一の樹脂層２３と第二の樹脂層２５に、例えば紫外線を照射してそれらを硬化させ、オーバークラッド層２６とする。以上のようにして、本発明の製造方法により光導波路２０が作製される。

本発明の要旨は以下のとおりである。
（１）本発明の光導波路の製造方法は、コアとコアを覆うオーバークラッド層を含む光導波路の製造方法であって、第一の液状樹脂をコアが埋包されるように流延して第一の樹脂層を形成する工程Ａと、第一の樹脂層を加熱後又は加熱しながら、第一の液状樹脂より粘度の高い第二の液状樹脂を第一の樹脂層の上に流延して第二の樹脂層を形成する工程Ｂと、第一の樹脂層および前記第二の樹脂層を硬化させてオーバークラッド層を形成する工程Ｃを含み、第一の樹脂層および第二の樹脂層が活性エネルギー線硬化樹脂からなり、第一の液状樹脂の粘度が８００ｍＰａ・ｓ以下であることを特徴とする。
（２）本発明の光導波路の製造方法は、第二の樹脂層の厚みが第一の樹脂層の厚みより厚いことを特徴とする。
（３）本発明の光導波路の製造方法は、工程ＢおよびＣにおいて、オーバークラッド層の端部の光出射部と光入射部のいずれかまたは両方をレンズ形状に成形することを特徴とする。
（４）本発明の光導波路の製造方法は、オーバークラッド層の端部に成形されたレンズ形状の部分は、光導波路のコアの長軸に垂直な断面が、ほぼ１／４円弧の長尺レンズ形状であることを特徴とする。

本発明の製造方法によれば光伝送効率の高い光導波路を得ることができる。さらにオーバークラッド層の端の光出射部をレンズ形状に成形することによって、その先端から平行光を出射する光導波路デバイスが得られる。またオーバークラッド層の端の光入射部をレンズ形状に成形することによって、その先端から入射した光をコアに集光する光導波路デバイスが得られる。

［本発明の光導波路の製造方法］
本発明は、コアとコアを覆うオーバークラッド層を含む光導波路の製造方法である。本発明の光導波路の製造方法は、第一の液状樹脂をコアが埋包されるように流延して第一の樹脂層を形成する工程Ａと、第一の樹脂層を加熱後又は加熱しながら、第一の液状樹脂より粘度の高い第二の液状樹脂を第一の樹脂層の上に流延して第二の樹脂層を形成する工程Ｂと、第一の樹脂層および第二の樹脂層を硬化させてオーバークラッド層を形成する工程Ｃを含む。

本発明の製造方法によれば、コアの周囲に付着した気泡を効果的に取り除くことができるため、光散乱の少ないコアとクラッド層を得ることができる。その結果、光伝送効率の高い光導波路を作製することができる。

従来の製造方法においては、液状樹脂の粘度が高いほど（例えば１０００ｍＰａ・ｓ以上）、また、のちにオーバークラッド層となる樹脂層の厚みが厚いほど（例えば５００μｍ以上）、コアの周囲に付着した気泡を取り除くのが難しい。本発明の製造方法は特にそのような条件の場合に気泡を取り除く効果に優れている。

図３は、好ましい実施形態における、光導波路の本発明の製造方法の模式図である。図３（ａ）はアンダークラッド層３１の上にコア３２がパターン形成された状態を示す。本発明の製造方法においてはオーバークラッド層を形成する際、まず図３（ｂ）のように、粘度の低い（例えば８００ｍＰａ・ｓ以下）第一の液状樹脂をコア３２が埋包されるようにアンダークラッド層３１の上に流延して、第一の樹脂層３３を形成する。このとき気泡３４がコア３２の周囲に付着しやすいことは従来と同様である。第一の樹脂層３３を加熱すると、第一の樹脂層３３の粘度が更に低下する一方、気泡３４が膨張する。そのため図３（ｃ）のように、気泡３４がコア３２の周囲から移動し第一の樹脂層３３の外部に抜ける。このようにしてコア３２の周囲の気泡３４の大部分を取り除くことができる。この際、第一の樹脂層３３の粘度の低いことと膜厚が薄いことが効果的である。第一の液状樹脂は例えば紫外線硬化樹脂であり、加熱によっては硬化しない。

次に図３（ｄ）のように、外部に通じた通気孔３５ａを凹部に有する透明な凹型モールド型３５を第一の樹脂層３３にかぶせ、通気孔３５ａから粘度の高い（例えば１０００ｍＰａ・ｓ以上）第二の液状樹脂を凹型モールド型３５内に流延し、第二の樹脂層３６を形成する。第二の液状樹脂は粘度が高いため過度に塗れ広がることがなく、厚みのある（例えば５００μｍ以上）第二の樹脂層３６を形成する。

次に図３（ｅ）のように、凹型モールド型３５を通して第一の樹脂層３３と第二の樹脂層３６に、例えば紫外線３８を照射してそれらを硬化させ、オーバークラッド層３７とする。最後に図３（ｆ）のように、凹型モールド型３５を取り除いて光導波路３０が作製される。

本発明の製造方法の好ましい実施形態は次の工程（ア）〜（エ）を含む。
工程（ア）：アンダークラッド層の上にコアを形成する工程。
工程（イ）：コアを埋包するようにアンダークラッド層の上に粘度の低い第一の液状樹脂を流延して、第一の樹脂層を形成する工程。第一の樹脂層は紫外線などの活性エネルギー線で硬化する樹脂からなることが好ましい。
工程（ウ）：第一の樹脂層を加熱後又は加熱しながらコア周辺の気泡を取り除いた後、粘度の高い第二の液状樹脂を流延して、第二の樹脂層を形成する工程。第二の樹脂層も紫外線などの活性エネルギー線で硬化する樹脂からなることが好ましい。
工程（エ）：第一の樹脂層および第二の樹脂層に紫外線などの活性エネルギー線を照射し、それらを硬化させてオーバークラッド層とする工程。

［工程Ａ］
本発明の工程Ａでは、粘度の低い第一の液状樹脂を流延してコアが埋包された第一の樹脂層を形成する。第一の液状樹脂はコアよりも屈折率の低い樹脂を含む。第一の液状樹脂に特に制限はないが、活性エネルギー線硬化樹脂が好ましい。活性エネルギー線硬化樹脂は後述の加熱処理の際、硬化が進行しにくいため、気泡を取り除くのに好都合である。本明細書において「活性エネルギー線硬化樹脂」とは、赤外線、紫外線、電子線などの作用により架橋が進み、難溶難融の安定した状態に変化する樹脂をいう。活性エネルギー線硬化樹脂は、好ましくは紫外線硬化樹脂である。硬化する前の紫外線硬化樹脂は、通常、光化学的作用によって重合する光重合性プレポリマーを含み、それ以外に反応性希釈剤、光重合開始剤、溶剤、レベリング剤などを含んでいてもよい。

第一の液状樹脂の粘度は、コア周囲に付着した気泡が移動しやすいという観点から、好ましくは１ｍＰａ・ｓ〜８００ｍＰａ・ｓであり、さらに好ましくは１ｍＰａ・ｓ〜５００ｍＰａ・ｓであり、最も好ましくは２ｍＰａ・ｓ〜３００ｍＰａ・ｓである。これらの粘度は実施例に記載された測定方法による。

第一の樹脂層は、コアを埋包するように第一の液状樹脂を流延することによって得られる層である。第一の樹脂層の厚みはコアの高さにより適宜決定されるが、好ましくは１５μｍ〜１５０μｍである。第一の液状樹脂を流延する方法に特に制限はなく、スピンコート法、ディッピング法、キャスティング法などが挙げられる。

コアはオーバークラッド層より屈折率の高い材料により形成される。コアを形成する材料は、好ましくはパターン形成性に優れた紫外線硬化樹脂である。紫外線硬化樹脂としては、好ましくはアクリル系紫外線硬化樹脂、エポキシ系紫外線硬化樹脂、シロキサン系紫外線硬化樹脂、ノルボルネン系紫外線硬化樹脂、ポリイミド系紫外線硬化樹脂などが挙げられる。

コアをパターン形成する方法に特に制限はなく、ドライエッチング法、転写法、露光・現像法、フォトブリーチ法などが用いられる。

コアは、通常、基材またはアンダークラッド層の表面に作製される。通常、基材およびアンダークラッド層はコアより屈折率が低い。コアの長軸に垂直な断面の形状に制限はないが、台形または四角形が好ましい。コアの幅は好ましくは１０μｍ〜５００μｍであり、コアの高さは好ましくは１０μｍ〜１００μｍである。コアが台形の場合、コアの幅は下底の長さであり、コアの高さは上底の中点と下底の中点を結ぶ線分の長さである。

［工程Ｂ］
本発明の工程Ｂでは、工程Ａにて得られた第一の樹脂層を加熱後又は加熱しながらコア周辺の気泡を取り除いた後、粘度の高い第二の液状樹脂を第一の樹脂層の上に流延して、第一の樹脂層より厚い第二の樹脂層を形成する。

第一の樹脂層の加熱はコアの周囲に付着した気泡を取り除くために行なわれる。第一の樹脂層を加熱すると、第一の樹脂層の粘度が更に低下し、気泡が膨張する。そのため気泡がコアの周囲から移動しやすくなり、第一の樹脂層の外部に抜けやすくなる。第一の液状樹脂の粘度が低いため、第一の樹脂層は厚みが薄く、気泡が外部に抜けやすい。

第一の樹脂層を加熱する温度は、例えば第一の樹脂層に溶媒が含まれる場合は溶媒の沸点にもよるが、好ましくは４０℃〜１２０℃であり、さらに好ましくは６０℃〜１００℃である。

第二の液状樹脂は第一の液状樹脂よりも粘度の高いものであれば、第一の液状樹脂と同じ材質のものでもよいし、異なる材質のものでもよい。第二の液状樹脂の粘度は、好ましくは１０００ｍＰａ・ｓ〜６０００ｍＰａ・ｓであり、さらに好ましくは１０００ｍＰａ・ｓ〜４０００ｍＰａ・ｓである。この粘度の第二の液状樹脂を用いれば、例えば、厚みが５０μｍ〜５ｍｍのオーバークラッド層を形成することができる。

第二の液状樹脂に特に制限はないが、好ましくは活性エネルギー線硬化樹脂であり、さらに好ましくは第一の液状樹脂と同様の紫外線硬化樹脂である。紫外線硬化樹脂の粘度は、反応性希釈剤や溶剤の含有量を適宜調整することによって、増加ないし減少させることができる。

［工程Ｃ］
第一および第二の液状樹脂として液状の活性エネルギー線硬化樹脂を用いた場合、第一および第二の樹脂層は活性エネルギー線を照射するまでは未硬化状態である。未硬化の第一および第二の樹脂層は活性エネルギー線を照射して硬化させることが好ましい。活性エネルギー線としては紫外線が好ましい。紫外線の照射量は、好ましくは１０００ｍＪ／ｃｍ^２〜８０００ｍＪ／ｃｍ^２である。この条件範囲であれば第一および第二の樹脂層を十分に硬化させることができる。

第一の樹脂層と第二の樹脂層を硬化させて得られるオーバークラッド層は、第一の樹脂層と第二の樹脂層が明確な境界面を有する複層構造でもよいし、第一の樹脂層と第二の樹脂層が混然一体化した単層構造でもよい。単層構造の方が光伝送効率に優れているため好ましい。

一つの実施形態において、本発明の製造方法は図３（ｄ）、（ｅ）に示すように、第一の樹脂層３３を形成したのち、第一の樹脂層３３に凹型モールド型３５をかぶせて、その凹型モールド型３５の内部に第二の液状樹脂を流延して第二の樹脂層３６を形成することができる。この製造方法によれば、より厚みの厚い（例えば８００μｍ以上）オーバークラッド層３７を形成することができる。また凹型モールド型３５の内部形状を制御することにより、オーバークラッド層３７を所望の機能を有する形状（例えばレンズ形状）に成形することができる。

［光導波路］
図４（ａ）は本発明の製造方法により得られる光導波路の模式的な斜視図、図４（ｂ）は正面図と側面図である。本発明の製造方法により得られる光導波路４０はコア４１とコア４１を覆うオーバークラッド層４２を含む。好ましくは図４に示すように、光導波路４０はアンダークラッド層４３と、アンダークラッド層４３の上に形成されたオーバークラッド層４２を含む。オーバークラッド層４２は、好ましくはその先端部４２ａがレンズ形状に成形されたレンズ一体型オーバークラッド層である。

レンズ一体型オーバークラッド層は工程Ｂ，Ｃにおいて、オーバークラッド層の先端部をレンズ形状に成形することにより得られる。このようなレンズ一体型オーバークラッド層を備えた光導波路は、例えば、発光素子や受光素子などの光素子と結合して、光導波路デバイスとして用いることができる。

クラッド層がアンダークラッド層４３とオーバークラッド層４２からなる場合、アンダークラッド層４３の厚みは、好ましくは５μｍ〜１０ｍｍである。オーバークラッド層４２の厚みは、好ましくは１０μｍ〜１０ｍｍの範囲で、アンダークラッド層４３より厚く設定される。

オーバークラッド層４２の先端部４２ａにレンズ形状部が一体成形される場合、レンズ形状部は、好ましくは凸レンズ形状であり、さらに好ましくは、光導波路の長軸に垂直な断面がほぼ１／４円弧状の凸レンズ形状（レンチキュラーレンズを長軸に沿って半切した形状）である。その曲率半径は、好ましくは３００μｍ〜５ｍｍであり、さらに好ましくは５００μｍ〜３ｍｍである。

オーバークラッド層４２の先端部４２ａに凸レンズ形状が成形された場合、図４（ｂ）に示すように、コア４１から出射する光線は凸レンズ形状部により平行光線４４となって、広がらずに進む。また図示しないが、オーバークラッド層の先端部に入射する光線は凸レンズ形状部によりコアに収束する光線となって、効率よくコアに入射する。

［用途］
本発明の製造方法により製造された光導波路の用途に制限はないが、例えば光配線板、光コネクタ、光電気混載基板、光学式タッチパネルなどに好適に用いられる。

［実施例１］
［クラッド層形成用ワニスの調製］
（成分Ａ）脂環骨格を有するエポキシ系紫外線硬化樹脂（アデカ社製 ＥＰ４０８０Ｅ） １００重量部
（成分Ｂ）光酸発生剤（サンアプロ社製 ＣＰＩ−２００Ｋ） ２重量部
を混合してクラッド層形成用ワニスを調製した。

［コア形成用ワニスの調製］
（成分Ｃ）フルオレン骨格を含むエポキシ系紫外線硬化樹脂（大阪ガスケミカル社製 オグソールＥＧ） ４０重量部
（成分Ｄ）フルオレン骨格を含むエポキシ系紫外線硬化樹脂（ナガセケムテックス社製 ＥＸ−１０４０） ３０重量部
（成分Ｅ）１，３，３−トリス（４−（２−（３−オキセタニル）ブトキシフェニル）ブタン（製法後述） ３０重量部
・上記成分Ｂ １重量部
・乳酸エチル ４１重量部
を混合してコア形成用ワニスを調製した。

［１，３，３−トリス（４−（２−（３−オキセタニル）ブトキシフェニル）ブタンの製法）
温度計、冷却管及び攪拌装置を備えた２００ｍｌの三口フラスコに、１，３，３−トリス（４−ヒドロキシフェニル）ブタン６．６８ｇ（２０ｍｍｏｌ）と、Ｎ−メチル−２−ピロリドン２５ｍｌとを入れ、窒素雰囲気下８０℃に加熱しながら完全に溶けるまで攪拌した。溶解後、炭酸セシウム２３．４６ｇ（７２ｍｍｏｌ）を加え、さらに３０分攪拌した。そこに、先に合成した２−（３−オキセタニル）ブチルトシレート１７．８４ｇ（６６ｍｍｏｌ）を加え、窒素雰囲気下８０℃で２０時間攪拌した。反応終了後、室温まで冷却したのち、酢酸エチル１００ｍｌと蒸留水５０ｍｌとを加え、その後放置し、水相と有機相に分離した。このように分離した有機相を抽出し、これを水でさらに洗浄し、無水硫酸マグネシウムで一晩乾燥させた。その後、硫酸マグネシウムを濾別し、さらに溶媒を留去することにより、反応粗生成物を得た。この粗生成物を、シリカゲルカラムクロマトグラフィー（溶離液：ｎ−ヘキサン／アセトン）により分離精製し、無色透明の半固形体１２．２０ｇ（収率９７％）を得た。そして、このようにして得られた化合物を、 ¹Ｈ−ＮＭＲおよび¹³Ｃ−ＮＭＲ（ともに日本電子社製）を用いて分析した結果、１，３，３−トリス（４−（２−（３−オキセタニル））ブトキシフェニル）ブタンであることを確認した。

［光導波路の作製］
厚み１８８μｍのポリエチレンナフタレートフィルムの表面にクラッド層形成用ワニスを塗布し、紫外線を１０００ｍＪ／ｃｍ^２照射したのち、８０℃で５分間加熱処理して、厚み２０μｍのアンダークラッド層を形成した。アンダークラッド層の波長８３０ｎｍにおける屈折率は１．５１０であった。

アンダークラッド層の表面にコア形成用ワニスを塗布し、１００℃で５分間加熱処理してコア層を形成した。コア層にフォトマスクをかぶせて（ギャップ１００μｍ）紫外線を２５００ｍＪ／ｃｍ^２照射し、さらに１００℃で１０分間加熱処理した。コア層の紫外線未照射部分をＹ−ブチロラクトン水溶液で溶解除去し、１２０℃で５分間加熱処理して、コア幅２０μｍ、コア高さ５０μｍのコアをパターン形成した。コアの屈折率は波長８３０ｎｍで１．５９２であった。

粘度が２ｍＰａ・ｓのクラッド層形成用ワニス（第一の液状樹脂）を、コアを覆うように塗布して、厚み６０μｍの第一の樹脂層を形成した。第一の樹脂層を８０℃で５分間加熱し、コア周辺に存在する気泡を取り除いた。その後、第一の樹脂層に石英製の凹型モールド型を押圧し、凹型モールド型の内部に、粘度が３，０００ｍＰａ・ｓのクラッド層形成用ワニス（第二の液状樹脂）を流延し、第二の樹脂層を形成した。なおクラッド層形成用ワニスの粘度は、希釈剤として用いたメチルエチルケトンの量を適宜増減して調整した。

凹型モールド型を通して第一の樹脂層と第二の樹脂層に紫外線を２０００ｍＪ／ｃｍ^２照射し、８０℃で５分間加熱処理して、第一の樹脂層と第二の樹脂層を硬化させてオーバークラッド層を形成した。その後、凹型モールド型を剥離した。このようにして光導波路の長軸に垂直な断面の形状がほぼ１／４円弧の長尺凸レンズ（レンチキュラーレンズを長軸方向に半切の形状）を先端部に備えた厚み１ｍｍのオーバークラッド層を成形した。凸レンズの曲率半径は１．５ｍｍ、オーバークラッド層の波長８３０ｎｍにおける屈折率は１．５１０であった。

このようにして得られた光導波路は、アンダークラッド層（厚み２０μｍ）と、アンダークラッド層の表面にパターン形成されたコア（幅２０μｍ、高さ５０μｍ）と、コアを覆うようにアンダークラッド層上に形成されたオーバークラッド層（厚み１ｍｍ）を備えるものであった。

［実施例２］
第一の樹脂層を形成するためのクラッド層形成用ワニス（第一の液状樹脂）の粘度を２００ｍＰａ・ｓとしたこと以外は、実施例１と同様にして光導波路を作製した。

［実施例３］
第一の樹脂層を形成するためのクラッド層形成用ワニス（第一の液状樹脂）の粘度を５００ｍＰａ・ｓとしたこと以外は、実施例１と同様にして光導波路を作製した。

［比較例］
第一の樹脂層を形成するためのクラッド層形成用ワニス（第一の液状樹脂）の粘度を３０００ｍＰａ・ｓとしたこと以外は、実施例１と同様にして光導波路を作製した。

［評価］
実施例１〜３、比較例で作製したレンズ一体型オーバークラッド層を備えたＬ字型光導波路を各々２個ずつ用意した。図５に示すように、一方の光導波路５１の末端には波長８５０ｎｍの光を出射する発光素子５２（オプトウェル社製 ＶＥＣＳＥＬ）を結合し、他の光導波路５３の末端には受光素子５４（ＴＡＯＳ社製 ＣＭＯＳリニアセンサーアレイ）を結合した。各光導波路５１，５３が座標入力領域５５を隔てて対向するように配置し、対角３インチの光学式タッチパネル５０を作製した。

発光素子５２から強度５ｍＷの光を出射し、受光素子５４で受光強度を測定した。結果を表１に示す。実施例の光導波路の受光強度は比較例より大きく、実施例の光導波路の方が光伝送効率が高いことが分かる。

［測定方法］
［粘度］
ストレスレオメーター（ＴｈｅｒｍｏＨＡＡＫＥ社製 ＨＡＫＫＥ Ｒｈｅｏ Ｓｔｒｅｓｓ６００）を用いて温度２５℃で測定した。

［屈折率］
クラッド層形成用ワニスおよびコア形成用ワニスをそれぞれシリコンウエハ上にスピンコートにより成膜して屈折率測定用サンプルを作製し、プリズムカプラー（サイロン社製）を用いて測定した。

［コア幅、コア高さ］
作製した光導波路をダイサー式切断機（ＤＩＳＣＯ社製 ＤＡＤ５２２）を用いて断面切断し、切断面をレーザー顕微鏡（キーエンス社製）を用いて観察測定した。

光導波路の従来の製造方法の模式図 光導波路の本発明の製造方法の模式図 光導波路の本発明の製造方法の模式図 本発明の製造方法により得られる光導波路の模式図 光学式タッチパネルの模式図

符号の説明

１１ アンダークラッド層
１２ コア
１３ 樹脂層
１４ 気泡
１５ オーバークラッド層
２０ 光導波路
２１ アンダークラッド層
２２ コア
２３ 第一の樹脂層
２４ 気泡
２５ 第二の樹脂層
２６ オーバークラッド層
３０ 光導波路
３１ アンダークラッド層
３２ コア
３３ 第一の樹脂層
３４ 気泡
３５ 凹型モールド型
３５ａ 通気孔
３６ 第二の樹脂層
３７ オーバークラッド層
３８ 紫外線
４０ 光導波路
４１ コア
４２ オーバークラッド層
４２ａ 先端部
４３ アンダークラッド層
４４ 平行光線
５０ 光学式タッチパネル
５１ 光導波路
５２ 発光素子
５３ 光導波路
５４ 受光素子
５５ 座標入力領域

Claims (4)

1. コアと前記コアを覆うオーバークラッド層を含む光導波路の製造方法であって、
   第一の液状樹脂を前記コアが埋包されるように流延して第一の樹脂層を形成する工程Ａと、
   前記第一の樹脂層を加熱後又は加熱しながら、前記第一の液状樹脂より粘度の高い第二の液状樹脂を前記第一の樹脂層の上に流延して第二の樹脂層を形成する工程Ｂと、
   前記第一の樹脂層および前記第二の樹脂層を硬化させてオーバークラッド層を形成する工程Ｃを含み、
   前記第一の樹脂層および第二の樹脂層が活性エネルギー線硬化樹脂からなり、
   前記第一の液状樹脂の粘度が８００ｍＰａ・ｓ以下であることを特徴とする光導波路の製造方法。
2. 前記第二の樹脂層の厚みが前記第一の樹脂層の厚みより厚いことを特徴とする請求項１に記載の光導波路の製造方法。
3. 前記工程ＢおよびＣにおいて、前記オーバークラッド層の端部の光出射部と光入射部のいずれかまたは両方をレンズ形状に成形することを特徴とする請求項１または２に記載の光導波路の製造方法。
4. 前記オーバークラッド層の端部に成形されたレンズ形状の部分は、光導波路の前記コアの長軸に垂直な断面が、ほぼ１／４円弧の長尺レンズ形状であることを特徴とする請求項３に記載の光導波路の製造方法。

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