JP5051835B2 - 高出力ダイヤモンド半導体素子 - Google Patents
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Description
同時に、表面の修飾に対して敏感なダイヤモンドにおいて、高い破壊電界を活かすためには、表面不活化が必要である。他のパワーデバイスでは表面不活化技術は段階的に進展しているが(非特許文献1)、現在までにダイヤモンドにおいて、有効な手段は見出されていなかった。
C.I.Harris et al."SiC power device passivation using porous SiC" Appl. Phys. Lett. 66 (1995) 20.
本発明では、ダイヤモンドに対する表面不活化を行い、低リーク電流で高い電圧まで動作する高出力ダイヤモンド半導体素子を提供する。
本発明は、ショットキー電極をカソードとし、オーミック電極をアノードとし、ショットキー電極、ダイヤモンドp−ドリフト層、ダイヤモンドp+オーミック層、オーミック電極からなる構造の高出力ダイヤモンド半導体素子において、ショットキー電極の周りでむき出しになっている酸素終端ダイヤモンド表面を特定の絶縁膜の形成により、不活性にし、表面電流経路を遮断することで、低リークで高電圧動作を行うことが出来る高出力ダイヤモンド半導体素子である。
すなわち、本発明は、ショットキー電極をカソードとし、オーミック電極をアノードとし、ショットキー電極、ダイヤモンドp−ドリフト層、ダイヤモンドp+オーミック層、オーミック電極からなる構造の高出力ダイヤモンド半導体素子において、ショットキー電極の周囲に絶縁膜層を設けたダイヤモンド半導体素子である。
また、本発明は、表面不活性化をする絶縁体を窒化物あるいは酸化物材料とすることができる。
さらに本発明では、絶縁体材料としてSi3N4、SiO2またはAl2O3を用いることが出来る。また、本発明では、ショットキー電極に接合するダイヤモンドを、ダイヤモンド表面が酸素終端のダイヤモンドとすることが望ましい。
さらに本発明では、高出力ダイヤモンド半導体素子としてショットキーバリヤーダイオードとすることが望ましい。
形状は、どのようなものでも良いが、通常、ショットキー電極の周囲を取り巻く島状である(図1参照)。
表面不活化材は、どのような方法でも形成することが出来る。溶剤を用いる湿式方でも、蒸着による方法、プラズマCVDによる方法でもよい。
本発明においては、ショットキー電極とは、パワーエレクトロニクスに用いるための周知の形状のショットキー電極であり、周知の作用をするショットキー電極を意味する。ショットキー電極材料としては金属性材料であれば材料を選ばないが、たとえば、Ti, Mo, Ta, Pt, Au等が利用できる。
ショットキー電極の形状は、基板上のダイヤモンド半導体表面に形成された島状に点在する複数の電極から成るパターン電極である。
しかし、少なくともショットキー電極に接合するダイヤモンドは、ダイヤモンド表面が酸素終端のダイヤモンドが特に適していることが判明している。
本発明では、オーミック電極の作成についても、周知の材料と周知方法を用いてどのような手順で行っても良い。
本発明について実施例を用いてさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
まず、p+膜状にp-膜1.5μmを成膜した酸素終端ダイヤモンドに電子線描画装置にて30ミクロンの直径を持つショットキー電極パターンを作製し、Ru薄膜をRFスパッタ装置でRF出力200W、Arガス流量10sccmにてRuターゲットを用いて3分間(500Å)形成した。なお、オーミック電極はp-膜の一部をICPエッチングによりp+層まで切削し、そこにTi、Pt、Auと順に成膜し、RTA炉において420℃という条件で30分アニールすることでショットキー電極の周囲に絶縁膜層を設けたダイヤモンド半導体素子を得た。
このことから、ショットキー電極周囲に表面不活化のために絶縁膜を設置することは、リーク電流の抑制および性能の均一化に対して有効であることが判明した。
Claims (1)
- ショットキー電極をカソードとし、オーミック電極をアノードとし、ショットキー電極、ダイヤモンドp−ドリフト層、ダイヤモンドp+オーミック層、オーミック電極からなる構造のショットキーバリヤーダイオードである高出力ダイヤモンド半導体素子であって、
前記ショットキー電極に接合する前記ダイヤモンドp−ドリフト層のダイヤモンド表面が酸素終端のダイヤモンドであり、
前記ショットキー電極の周囲に不活性化材であるSi 3 N 4 またはAl 2 O 3 の絶縁膜層を設けて、前記ショットキー電極の周りの前記酸素終端のダイヤモンドの表面を不活性にすることにより、表面電流経路を遮断したことを特徴とする高出力ダイヤモンド半導体素子。
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