JP5651410B2 - シリコンカーバイドショットキーバリアダイオードおよびその製造方法 - Google Patents
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Claims (2)
- N型のシリコンカーバイド層表面にショットキー電極を備え、該ショットキー電極の周囲に一部が重畳するように形成されたガードリング層を備えたシリコンカーバイドショットキーバリアダイオードにおいて、
前記ガードリング層は、前記N型のシリコンカーバイド層にP型となる不純物イオンが注入された領域が900℃〜1300℃の熱処理により再結晶化した領域からなり、かつ注入された前記不純物イオンの活性化率が1%以下のP型を示す領域であることを特徴とするシリコンカーバイドショットキーバリアダイオード。 - N型のシリコンカーバイド層表面にショットキー電極を備え、該ショットキー電極の周囲に一部が重畳するように形成されたガードリング層を備えたシリコンカーバイドショットキーバリアダイオードの製造方法において、
前記N型のシリコンカーバイド層表面の前記ガードリング層形成予定領域に、P型となる不純物イオンを、少なくとも前記シリコンカーバイド層に結晶欠陥が生じる注入条件でイオン注入する工程と、
該イオン注入領域を再結晶化すると共に、注入された前記不純物イオンの活性化率が1%以下となる温度範囲で熱処理し、P型の前記ガードリング層を形成する工程と、
前記N型のシリコンカーバイド層表面に、ショットキー接触するショットキー電極を、該ショットキー電極の周囲が前記P型のガードリング層と一部重畳するように形成する工程と、を含み、
前記不純物イオンが、ホウ素あるいはアルミニウムであり、
注入量が、5×10 13 cm -2 〜5×10 15 cm -2 であり、
前記熱処理の温度範囲が、900℃〜1300℃であることを特徴とするシリコンカーバイドショットキーバリアダイオードの製造方法。
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