JP5032269B2 - 被処理基板の温度調節装置及び温度調節方法、並びにこれを備えたプラズマ処理装置 - Google Patents
被処理基板の温度調節装置及び温度調節方法、並びにこれを備えたプラズマ処理装置 Download PDFInfo
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- G05D23/193—Control of temperature characterised by the use of electric means using a plurality of sensors sensing the temperaure in different places in thermal relationship with one or more spaces
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Description
ΔHi=ΔHC+ΔHB=C(ΔQC・TC−ΔQC・TB)
=C・ΔQC(TC−TB)
これが全入口流量QT(=QB+QH+QC)を(Ti *−Ti)だけ変化させるエンタルピーC・QT(Ti *−Ti)であればよい。従って、
C・ΔQC(TC−TB)=C・QT(Ti *−Ti)
ΔQC=QT(Ti *−Ti)/(TC−TB) …………(1)
として、(1)式によりΔQCが与えられる。
ΔQC=QT(Ti *−Ti)/(TH−TB) …………(2)
この場合も、(S−1)から(S−5)の手順は同じである。
上記の操作手順によれば、必要なエンタルピーの変化分だけ、加熱側又は冷却側流量を増減すればよく、制御の操作が簡明になるとともに、加熱部に投入又は冷却部から除去するエネルギーを少なくすることができ、エネルギー経済性の観点からも有利である。
2…サセプタ(下部電極)
15…シャワーヘッド(上部電極)
18…熱媒体流路
19…温度調節ユニット
20…配管
21…温度制御装置
W…半導体ウェハ
35…仕切り壁
36…外側流路
37…内側流路
38a,38b…流入口
39a,39b…流出口
40,40a,40b…ポンプ
41a,41b…バイパス流路
42…加熱部
43…冷却部
44…流量調節バルブ
Claims (5)
- 被処理基板を領域別に所定の温度に調節するための温度系統別の温度調節部を複数備えた載置台と、前記温度調節部を通って温度系統別に流体が循環して流れる循環流路と、前記循環流路に流れる流体より高い温度の加熱流体が流れる加熱流路と、前記循環流路に流れる流体より低い温度の冷却流体が流れる冷却流路と、前記載置台の近傍で、前記循環流路と前記加熱流路と前記冷却流路とを温度系統別に合流させるとともに、前記温度調節部に出力する流体の各流路からの流量比を調節する流量調節手段を含む合流部とを備えた被処理基板の温度調節装置において、
前記温度調節部は、流体の淀みの発生を防止する淀み防止手段を備えたことを特徴とする温度調節装置。 - 前記淀み防止手段は、前記温度調節部の流路が蛇管状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の温度調節装置。
- 前記淀み防止手段は、前記温度調節部の流路が、流体衝突板により屈曲して形成されていることを特徴とする請求項1に記載の温度調節装置。
- 載置台に載置された被処理基板を領域別に所定の温度に調節するための被処理基板の温度調節方法であって、
前記被処理基板を領域別に温度調節する複数の温度調節部を温度系統別に前記載置台内部に設け、
前記温度調節部に流体の淀みが発生しないように蛇管状の流路、及び/又は流体衝突板により屈曲した流路を形成し、
温度系統別に前記流路に流れる流体の目標温度と前記流体の温度とを比較してその温度差を算出し、
前記流体の温度より高い温度の加熱流体、及び/又は前記流体の温度より低い温度の冷却流体を、前記流体が前記温度調節部に流入する手前で前記流体に温度系統別に合流させるとともに、前記流体と前記加熱流体、及び/又は前記冷却流体との流量比を調節し、
前記温度調節部に流れる流体の温度を温度系統別に調節することを特徴とする被処理基板の温度調節方法。 - 前記温度調節部に流れる流体の温度を温度系統別に検出し、前記流体の温度が目標温度となるようにフィードバック制御により前記流量比を調節することを特徴とする請求項4に記載の被処理基板の温度調節方法。
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KR1020080106009A KR101020357B1 (ko) | 2007-11-02 | 2008-10-28 | 피처리 기판의 온도 조절 장치 및 온도 조절 방법, 및 이것을 구비한 플라즈마 처리 장치 |
US12/261,341 US7988062B2 (en) | 2007-11-02 | 2008-10-30 | Temperature control device for target substrate, temperature control method and plasma processing apparatus including same |
TW097142046A TWI492321B (zh) | 2007-11-02 | 2008-10-31 | A temperature adjusting device and a temperature adjusting method of the substrate to be processed, and a plasma processing apparatus provided with the same |
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11656016B2 (en) | 2019-11-20 | 2023-05-23 | Ebara Refrigeration Equipment & Systems Co., Ltd. | Cooling system that comprises multiple cooling apparatus and reduces power consumption |
US11703284B2 (en) | 2019-11-08 | 2023-07-18 | Ckd Corporation | Temperature control system and integrated temperature control system |
US11788777B2 (en) | 2019-11-08 | 2023-10-17 | Ckd Corporation | Temperature control system and integrated temperature control system |
US11796247B2 (en) | 2019-11-20 | 2023-10-24 | Ckd Corporation | Temperature control system |
Families Citing this family (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4564973B2 (ja) * | 2007-01-26 | 2010-10-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
US8827695B2 (en) * | 2008-06-23 | 2014-09-09 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Wafer's ambiance control |
JP5102706B2 (ja) * | 2008-06-23 | 2012-12-19 | 東京エレクトロン株式会社 | バッフル板及び基板処理装置 |
US20100116788A1 (en) * | 2008-11-12 | 2010-05-13 | Lam Research Corporation | Substrate temperature control by using liquid controlled multizone substrate support |
JP5460197B2 (ja) * | 2009-09-10 | 2014-04-02 | キヤノン株式会社 | デバイス製造装置およびデバイス製造方法 |
US8410393B2 (en) * | 2010-05-24 | 2013-04-02 | Lam Research Corporation | Apparatus and method for temperature control of a semiconductor substrate support |
JP5567392B2 (ja) * | 2010-05-25 | 2014-08-06 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
WO2011160046A2 (en) * | 2010-06-18 | 2011-12-22 | Baker Hughes Incorporated | Apparatus for use downhole including devices having heat carrier channels |
KR101276256B1 (ko) * | 2011-02-11 | 2013-06-20 | 피에스케이 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
JP5822578B2 (ja) * | 2011-07-20 | 2015-11-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台温度制御装置及び基板処理装置 |
US10274270B2 (en) | 2011-10-27 | 2019-04-30 | Applied Materials, Inc. | Dual zone common catch heat exchanger/chiller |
US10256123B2 (en) * | 2011-10-27 | 2019-04-09 | Applied Materials, Inc. | Component temperature control using a combination of proportional control valves and pulsed valves |
JP5912439B2 (ja) * | 2011-11-15 | 2016-04-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度制御システム、半導体製造装置及び温度制御方法 |
US10553463B2 (en) | 2011-11-15 | 2020-02-04 | Tokyo Electron Limited | Temperature control system, semiconductor manufacturing device, and temperature control method |
JP5973731B2 (ja) | 2012-01-13 | 2016-08-23 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置及びヒータの温度制御方法 |
JP5905735B2 (ja) | 2012-02-21 | 2016-04-20 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法及び基板温度の設定可能帯域の変更方法 |
US20130240144A1 (en) * | 2012-03-13 | 2013-09-19 | Applied Materials, Inc. | Fast response fluid temperature control system |
JP5951384B2 (ja) * | 2012-07-20 | 2016-07-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度制御システムへの温調流体供給方法及び記憶媒体 |
KR101316001B1 (ko) * | 2013-03-19 | 2013-10-08 | 이순창 | 전자 제어 믹싱 밸브 및 이를 이용한 반도체 제조 장치 |
JP6205225B2 (ja) | 2013-03-25 | 2017-09-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板検査装置及び基板温度調整方法 |
KR101367086B1 (ko) | 2013-10-17 | 2014-02-24 | (주)테키스트 | 반도체 제조 설비를 위한 온도제어 시스템 |
US20150228514A1 (en) * | 2014-02-12 | 2015-08-13 | Axcelis Technologies, Inc. | Multi Fluid Cooling System for Large Temperature Range Chuck |
KR101682875B1 (ko) * | 2014-09-11 | 2016-12-06 | 인베니아 주식회사 | 기판 처리장치 |
US10049905B2 (en) * | 2014-09-25 | 2018-08-14 | Tokyo Electron Limited | Substrate heat treatment apparatus, substrate heat treatment method, storage medium and heat-treatment-condition detecting apparatus |
JP5970040B2 (ja) * | 2014-10-14 | 2016-08-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度制御システム及び温度制御方法 |
US9713286B2 (en) | 2015-03-03 | 2017-07-18 | International Business Machines Corporation | Active control for two-phase cooling |
KR101681493B1 (ko) * | 2015-03-11 | 2016-12-05 | (주)티티에스 | 서셉터 및 서셉터의 온도 가변 장치 |
JP2017016574A (ja) * | 2015-07-06 | 2017-01-19 | 清水建設株式会社 | タンク調温システム |
US10153136B2 (en) * | 2015-08-04 | 2018-12-11 | Lam Research Corporation | Hollow RF feed with coaxial DC power feed |
JP5938506B1 (ja) * | 2015-09-17 | 2016-06-22 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム、半導体装置の製造方法、プログラム及び記録媒体 |
JP6570390B2 (ja) | 2015-09-24 | 2019-09-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度調整装置及び基板処理装置 |
JP6339057B2 (ja) * | 2015-09-29 | 2018-06-06 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、プログラム |
KR102315304B1 (ko) * | 2016-03-22 | 2021-10-19 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 시스템 내의 온도 제어를 위한 시스템 및 방법 |
CN107403741A (zh) * | 2016-05-18 | 2017-11-28 | 兰州大学 | 一种高真空变温有机半导体器件测量腔 |
JP6675272B2 (ja) * | 2016-06-07 | 2020-04-01 | 日本発條株式会社 | 冷却ユニットおよび冷却ユニットの製造方法 |
KR101862003B1 (ko) | 2016-06-09 | 2018-05-29 | 주식회사 에프에스티 | 유닛 분리형 반도체 공정 설비용 칠러 시스템 |
US10465920B2 (en) * | 2016-09-19 | 2019-11-05 | Watts Regulator Co. | Zone control with modulating boiler |
KR20180064505A (ko) * | 2016-11-07 | 2018-06-14 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판을 홀딩하기 위한 캐리어, 프로세싱 시스템에서의 캐리어의 사용, 캐리어를 이용하는 프로세싱 시스템, 및 기판의 온도를 제어하기 위한 방법 |
KR101910347B1 (ko) | 2016-12-05 | 2018-10-23 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 반도체 제조설비의 고도화 온도제어장치 |
JP6837202B2 (ja) * | 2017-01-23 | 2021-03-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 基材加熱装置および方法および電子デバイスの製造方法 |
JP2018125461A (ja) * | 2017-02-02 | 2018-08-09 | 東京エレクトロン株式会社 | 被加工物の処理装置 |
JP6916633B2 (ja) * | 2017-02-24 | 2021-08-11 | 株式会社Screenホールディングス | 処理液供給装置、基板処理装置、および処理液供給方法 |
JP6990058B2 (ja) * | 2017-07-24 | 2022-01-12 | 伸和コントロールズ株式会社 | 温度制御装置 |
CN107818940B (zh) * | 2017-11-30 | 2020-04-10 | 上海华力微电子有限公司 | 一种静电吸盘装置及其温控方法 |
US10510564B2 (en) * | 2018-01-10 | 2019-12-17 | Lam Research Corporation | Dynamic coolant mixing manifold |
JP7066438B2 (ja) * | 2018-02-13 | 2022-05-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 冷却システム |
JP7101023B2 (ja) * | 2018-04-03 | 2022-07-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 温調方法 |
US10867829B2 (en) | 2018-07-17 | 2020-12-15 | Applied Materials, Inc. | Ceramic hybrid insulator plate |
JP7175114B2 (ja) * | 2018-07-19 | 2022-11-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台及び電極部材 |
EP3837710A1 (en) | 2018-08-15 | 2021-06-23 | Evatec AG | Method and apparatus for low particle plasma etching |
JP7112915B2 (ja) * | 2018-09-07 | 2022-08-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 温調システム |
JP2020043171A (ja) * | 2018-09-07 | 2020-03-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 温調方法 |
JP7129877B2 (ja) * | 2018-10-15 | 2022-09-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度制御システム及び温度制御方法 |
JP2020120081A (ja) * | 2019-01-28 | 2020-08-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP7304188B2 (ja) * | 2019-03-29 | 2023-07-06 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
JP7300310B2 (ja) * | 2019-05-20 | 2023-06-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 載置台の温度調整方法、検査装置及び載置台 |
JP6937806B2 (ja) * | 2019-09-25 | 2021-09-22 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、及び半導体の製造方法 |
CN113053775B (zh) * | 2019-12-27 | 2024-04-09 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 晶圆温度控制器及系统、方法和等离子体处理装置 |
JP7473401B2 (ja) * | 2020-06-03 | 2024-04-23 | 株式会社ディスコ | 加工水供給システム |
CN115472521A (zh) * | 2021-06-11 | 2022-12-13 | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 | 基板处理装置 |
CN114236338A (zh) * | 2021-12-15 | 2022-03-25 | 株洲中车时代半导体有限公司 | 热循环试验方法、装置、存储介质及电子设备 |
JP2023161767A (ja) * | 2022-04-26 | 2023-11-08 | Ckd株式会社 | 温度調整用流量制御ユニットおよび半導体製造装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05198582A (ja) * | 1992-01-23 | 1993-08-06 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造装置及び電極の温度制御方法 |
JPH07271452A (ja) | 1994-03-25 | 1995-10-20 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板の温度調節用プレート装置 |
JPH09270384A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Nikon Corp | 温度制御装置及び露光装置 |
JPH11231946A (ja) * | 1998-02-10 | 1999-08-27 | Komatsu Ltd | 多段蓄熱タンクの温度制御装置 |
JPH11329926A (ja) | 1998-05-11 | 1999-11-30 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板冷却装置および基板冷却方法 |
JP2000216140A (ja) * | 1999-01-20 | 2000-08-04 | Hitachi Ltd | ウエハステ―ジおよびウエハ処理装置 |
JP2001134324A (ja) | 1999-11-09 | 2001-05-18 | Komatsu Ltd | 温度調整システム |
JP2002168551A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置の電極用冷却装置 |
US6634177B2 (en) * | 2002-02-15 | 2003-10-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus for the real-time monitoring and control of a wafer temperature |
US6986261B2 (en) * | 2002-11-15 | 2006-01-17 | Tokyo Electron Limited | Method and system for controlling chiller and semiconductor processing system |
JP3910925B2 (ja) * | 2003-02-25 | 2007-04-25 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマ処理装置 |
JP2005210080A (ja) * | 2003-12-25 | 2005-08-04 | Tokyo Electron Ltd | 温度調節方法及び温度調節装置 |
JP2006261541A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Tokyo Electron Ltd | 基板載置台、基板処理装置および基板処理方法 |
JP4786925B2 (ja) * | 2005-04-04 | 2011-10-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2007088411A (ja) * | 2005-06-28 | 2007-04-05 | Hitachi High-Technologies Corp | 静電吸着装置およびウエハ処理装置ならびにプラズマ処理方法 |
JP4673173B2 (ja) * | 2005-09-15 | 2011-04-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | プラズマエッチング方法 |
JP4869167B2 (ja) * | 2007-07-04 | 2012-02-08 | シーケーディ株式会社 | 温度調整用バルブユニット及びそれを用いた温度制御システム |
-
2007
- 2007-11-02 JP JP2007285823A patent/JP5032269B2/ja active Active
-
2008
- 2008-10-28 KR KR1020080106009A patent/KR101020357B1/ko active IP Right Grant
- 2008-10-28 CN CN2008101683679A patent/CN101424950B/zh active Active
- 2008-10-30 US US12/261,341 patent/US7988062B2/en active Active
- 2008-10-31 TW TW097142046A patent/TWI492321B/zh active
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11703284B2 (en) | 2019-11-08 | 2023-07-18 | Ckd Corporation | Temperature control system and integrated temperature control system |
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