JP7300310B2 - 載置台の温度調整方法、検査装置及び載置台 - Google Patents
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Description
また、近年の検査装置では、高温や低温での電子デバイスの電気的特性検査を行うことができるように、ウェハが載置される載置台に、ヒータや冷却機構が設けられているものもある。
基板載置面を径方向に上述のように2つの領域ではなく3以上の領域に区画し、各領域について、上記通常の個別のフィードバック制御と同様に制御を行った場合にも、上述と同様な問題がある。具体的には、最中心に近い領域ほど、過渡期において設定温度からの外れ量が所望の範囲内に収まらない可能性が高い。
また、プローブカード11は、インターフェース12を介してテスタ4へ接続されている。各プローブ11aは、電気的特性検査時にウェハWの各電子デバイスの電極に接触し、テスタ4からの電力をインターフェース12を介して電子デバイスへ供給し、且つ、電子デバイスからの信号をインターフェース12を介してテスタ4へ伝達する。
そして、加熱部120は、トッププレート110の第1~第4領域Z1~Z4それぞれに対し設けられる、ヒータ1211~1214を有する。ヒータ1211~1214は、それぞれ上述の抵抗発熱体が内蔵されており、個別に制御可能に構成されている。
なお、ヒータ1211は、対応するウェハ載置面110aの第1領域Z1の形状に合わせて、平面視円形状に形成され、ヒータ1212~1214は、対応するウェハ載置面110aの第2~第4領域Z2~Z4の形状に合わせて、平面視円弧環状に形成されている。
冷却部130は、トッププレート110を冷却する部材であり、例えば円板状に形成されている。冷却部130の内部には、冷媒が流れる流路131が形成されている。冷却部130の側部には、ポート132が接続されている。ポート132は、図4に示すように、流路131へ冷媒を供給するための供給ポート132aと、流路131から冷媒を排出するための排出ポート132bを有する。
なお、冷媒には、例えばフッ素系液体、エチレングリコール等の液体、窒素等の気体を用いることができる。
また、図示は省略するが、この冷却部130と加熱部120との間には、金属材料等の導電率が高い材料から形成される電磁シールド層が設けられている。
この加熱制御部13cは、図6に示すように、第1~第4領域制御部201~204を有する。
冷却制御部13dは、冷却部130を制御する。具体的には、冷却制御部13dは、ステージ10の設定温度に基づいて、冷却部130の流路131を流れる冷媒の温度や流量を制御する。
検査処理では、まず、ローダ3のFOUPからウェハWが取り出されてステージ10に搬送され載置される。次いで、ステージ10が移動され、ステージ10の上方に設けられているプローブ11aと、ウェハWの検査対象の電子デバイスの電極とが接触する。
そして、プローブ11aに検査用に信号が入力される。これにより、電子デバイスの電気的特性検査が開始される。電気的特性検査が終了すると、ステージ10が移動され、ウェハWの次の検査対象の電子デバイスについて同様なことが行われる。
以後、全ての電子デバイスの電気的特性検査が完了するまで繰り返される。
したがって、この問題を解決するためには、中心領域Z1と周縁領域Z2~Z4との熱の移動をなるべく少なくするように制御することが重要である。熱移動がゼロならば干渉はなくなる。
一方、上記通常の個別のフィードバック制御では、各領域の干渉状態を考慮してないのでオーバーシュート、アンダーシュートしやすくなり、特に中心領域Z1のような遅い制御モードを持っている領域ではオーバーシュート等が顕著に現れる。その結果、中心領域Z1のみ、設定温度に静定するまで時間を要し、設定温度からの外れ量が所望の範囲内に収まらないことがある。
上述のように周縁領域Z2~Z4についての冷却能力が中心領域Z1よりも高いため、上記通常の個別のフィードバック制御では、周縁領域Z2~Z4は電子デバイスからの発熱を平面視外側の部分へ放熱することで、中心領域Z1よりも早期に定常状態になる。一方、中心領域Z1は、周縁領域Z2~Z4に比べ設定温度に静定するまで時間を要し、設定温度からの外れ量が所望の範囲内に収まらないことがある。
それに対し、本実施形態では、上述のように、ウェハ載置面110aにおける周縁領域Z2~Z4についてのフィードバック制御は、当該周縁領域Z2~Z4と中心領域Z1との温度差がオフセット量になるように行われる。言い換えると、中心領域Z1の温度制御を基に周縁領域Z2~Z4の温度制御が行われ、一番遅いモードを有する制御特性に合わせ周縁部分からの熱移動が最小になる。したがって、当該時期において、中心領域Z1の設定温度からの外れ量が所望の範囲外となることがない。よって、当該時期においても第1~第4領域Z1~Z4の温度の設定値からの外れ量を所望の範囲内に収めることができる。なお、本実施形態により、第1~第4領域Z1~Z4の温度が設定温度である定常状態に安定する時間も短縮することができる。
それに対し、本実施形態では、最も熱がこもり、オーバーシュートやアンダーシュートしやすい中心の第1領域Z1について単独で制御しつつ、第1領域Z1に流入する熱流束が零になるように周縁の第2~第4領域Z2~Z4について制御する。このような簡単な制御構造で、中心の第1領域Z1と、第2~第4領域Z2~Z4との間の熱的な干渉を最小にすることができる。したがって、PID制御、P制御、PI制御、PD制御等の簡単な制御方式のフィードバック制御でも、第1領域Z1の設定温度からの外れ量を所望の範囲内に収めることができる。
なお、以上の説明では、トッププレート110の下に電磁シールド層等を介して加熱部120が設けられていたが、トッププレートの中に加熱部を設けてもよい。この場合、加熱部の発熱体としてタングステン等の導電性の高い材料を用いる場合は、トッププレートの母材は窒化アルミニウム等の電気絶縁性及び熱伝導性が高い材料から形成される。
それに対し、本実施形態によれば、上述のように、発熱密度が高い電子デバイスについても、電気的特性検査時の局所的な発熱に対応することができ、所望の温度に維持することができる。
なお、以上の説明と異なり、温度センサをステージ10に設け、第1~第4領域Z1~Z4の温度を測定するようにしてもよい。
この場合、制御部13は、ウェハ載置面110aにおける上記3以上の領域のうちの最中心の領域については、上述の第1領域Z1についてと同様な制御を行う。
また、この場合、制御部13は、ウェハ載置面110aにおける上記3以上の領域のうちの最中心の領域より外側の領域については以下の制御を行う。すなわち、制御部13は、当該外側の領域と当該外側の領域の径方向内側に隣接する領域との温度差が、予め設定された値になるように、当該外側の領域に対し設けられたヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行う。
実施例は、本実施形態の検査装置1を用いた場合のシミュレーション結果である。
(1)基板が載置される載置台の温度制御を行う方法であって、
前記載置台の基板載置面は径方向に複数の領域に区画され、前記複数の領域それぞれに対しヒータが設けられ、
前記基板載置面における前記複数の領域のうちの最中心の領域について、設定温度になるように、当該最中心の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行う工程と、
前記基板載置面における前記複数の領域のうちの前記最中心の領域より外側の領域について、当該外側の領域と当該外側の領域の径方向内側に隣接する領域との温度差が、予め設定された値になるように、当該外側の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行う工程と、を含む、載置台の温度制御方法。
前記(1)によれば、載置台の基板載置面を径方向に複数の領域に区画し、領域毎にヒータを設けて基板載置面の温度を制御する場合に、過渡期においても各領域の温度の設定値からの外れ量を所望の範囲内に収めることができる。
前記(2)によれば、載置された基板が高い発熱密度で急に発熱した場合でも、基板載置面の温度を所望の温度に維持することができ、以て、基板の温度も所望の温度に維持することができる。
前記(3)によれば、基板載置面の区画された領域毎の温度制御を低コストで簡単に行うことができる。
前記検査対象基板が載置される載置台と、
制御部と、を備え、
前記載置台は、基板載置面が径方向に複数の領域に区画され、複数の領域それぞれにヒータが設けられ、
前記制御部は、前記基板載置面における前記複数の領域のうちの最中心の領域について、設定温度になるように、当該最中心の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行い、且つ、前記基板載置面における前記複数の領域のうちの前記最中心の領域より外側の領域について、当該外側の領域と当該外側の領域の径方向内側に隣接する領域との温度差が、予め設定された値になるように、当該外側の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行うように構成されている、検査装置。
前記ヒータは、前記冷却部より前記基板載置面から近い位置に設けられている、前記(4)に記載の検査装置。
前記(5)によれば、ヒータにより加熱される部分の熱容量が小さいため、ヒータによる加熱を、良い応答性で行うことができる。
基板載置面から近い順で、
通電により発熱する発熱体が設けられたヒータを有する加熱層と、
冷媒の流路が形成された冷却層と、を、有し、
前記基板載置面は、複数の領域に区画され、
前記加熱層は、前記基板載置面の複数の領域それぞれに対し、前記ヒータを有する、載置台。
10 ステージ
13 制御部
110a ウェハ載置面
1211、1212、1213、1214 ヒータ
W ウェハ
Z1 第1領域
Z2 第2領域
Z3 第3領域
Z4 第4領域
Claims (6)
- 基板が載置される載置台の温度制御を行う方法であって、
前記載置台の基板載置面は径方向に2つの領域に区画され、前記2つの領域それぞれに対しヒータが設けられ、
前記基板載置面における前記2つの領域のうちの中心の領域について、設定温度になるように、当該中心の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行う工程と、
前記基板載置面における前記2つの領域のうちの前記中心の領域より外側の領域について、当該外側の領域と前記中心の領域との温度差が、予め設定された値になるように、当該外側の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行う工程と、を含み、
前記中心の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行う工程、及び、前記外側の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行う工程において、冷媒が流れる流路を有する冷却部を用いて、前記載置台の前記基板載置面を冷却し、
前記外側の領域は、周方向に複数の領域に区画され、
前記冷却部に対し前記冷媒の供給または排出の少なくともいずれか一方を行うポートが前記冷却部に接続されており、
前記外側の領域の前記複数の領域のうち、前記ポートに近い領域は、前記予め設定された値が他の領域と異なる、載置台の温度制御方法。 - 冷却部を用いて前記載置台の前記基板載置面を冷却すると共に、前記冷却部より前記基板載置面に近い位置に配設されたヒータを用いて前記基板載置面を加熱する工程を含む、請求項1に記載の載置台の温度制御方法。
- 前記ヒータが有する発熱体の電気抵抗を測定し、その測定結果に基づいて、前記基板載置面における当該ヒータが設けられた領域の温度を取得する工程を含む、請求項1または2に記載の載置台の温度制御方法。
- 検査対象基板を検査する検査装置であって、
前記検査対象基板が載置される載置台と、
制御部と、を備え、
前記載置台は、基板載置面が径方向に2つの領域に区画され、前記2つの領域それぞれにヒータが設けられ、
前記制御部は、前記基板載置面における前記2つの領域のうちの中心の領域について、設定温度になるように、当該中心の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行い、且つ、前記基板載置面における前記2つの領域のうちの前記中心の領域より外側の領域について、当該外側の領域と前記中心の領域との温度差が、予め設定された値になるように、当該外側の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行うように構成され、
前記載置台は、前記基板載置面を冷却する冷却部をさらに有し、
前記冷却部は、冷媒が流れる流路を有し、当該冷却部に対し前記冷媒の供給または排出の少なくともいずれか一方を行うポートが接続されており、
前記外側の領域は複数の領域に区画され、
前記制御部は、前記中心の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行う際、及び、前記外側の領域の前記ヒータの操作量を調整するフィードバック制御を行う際、前記冷却部により前記基板載置面を冷却させ、
前記外側の領域の前記複数の領域のうち、前記ポートに近い領域は、前記予め設定された値が他の領域と異なる、検査装置。 - 前記載置台は、前記基板載置面を冷却する冷却部を有し、
前記ヒータは、前記冷却部より前記基板載置面から近い位置に設けられている、請求項4に記載の検査装置。 - 前記制御部は、前記ヒータが有する発熱体の電気抵抗の測定結果に基づいて、前記基板載置面における当該ヒータが設けられた領域の温度を取得するように構成されている、請求項4または5に記載の検査装置。
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023046600A (ja) | 2021-09-24 | 2023-04-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板載置機構、検査装置、および検査方法 |
US12000885B1 (en) | 2023-12-20 | 2024-06-04 | Aem Singapore Pte. Ltd. | Multiplexed thermal control wafer and coldplate |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002231421A (ja) | 2000-04-07 | 2002-08-16 | Ibiden Co Ltd | セラミックヒータ |
JP2003282461A (ja) | 2002-03-27 | 2003-10-03 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2017228230A (ja) | 2016-06-24 | 2017-12-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理システムおよび温度制御方法 |
WO2018030433A1 (ja) | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 日本碍子株式会社 | セラミックヒータ |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002184558A (ja) | 2000-12-12 | 2002-06-28 | Ibiden Co Ltd | ヒータ |
US6774661B1 (en) * | 2003-03-18 | 2004-08-10 | Unisys Corporation | Initial contact method of preventing an integrated circuit chip from being thermally destroyed, in a tester, due to a defective pressed joint |
JP5032269B2 (ja) * | 2007-11-02 | 2012-09-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理基板の温度調節装置及び温度調節方法、並びにこれを備えたプラズマ処理装置 |
JP6219229B2 (ja) * | 2014-05-19 | 2017-10-25 | 東京エレクトロン株式会社 | ヒータ給電機構 |
TWI706487B (zh) * | 2016-03-28 | 2020-10-01 | 日商東京精密股份有限公司 | 探針機台及探針機台的操作方法 |
-
2019
- 2019-05-20 JP JP2019094668A patent/JP7300310B2/ja active Active
-
2020
- 2020-05-08 CN CN202080034905.4A patent/CN113841464A/zh active Pending
- 2020-05-08 US US17/611,879 patent/US11762011B2/en active Active
- 2020-05-08 KR KR1020217040271A patent/KR102661180B1/ko active IP Right Grant
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Patent Citations (4)
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