JP5032168B2 - バルク基板中の結晶欠陥を顕在化する方法 - Google Patents
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Description
・ 顕在化熱処理は、アルゴンまたは窒素、あるいはそれら2種の混合物を収容する容器中で少なくとも3分間にわたって実施され、それに先だって乾式酸化工程を実施し、引き続いて前記バルク基板を脱酸素化(deoxidizing)して、その前に形成された酸化物層を完全に排除する工程を実施する。
・ 顕在化熱処理は、6時間にわたって950℃の温度で実施される。
・ 顕在化熱処理は、酸素に加えて任意選択的にアルゴン、窒素またはそれら2つの混合物を含有する雰囲気中で実施される乾式および/または湿式酸化工程を含み、該酸化工程に引き続いて、以前に形成された酸化物層を完全に排除するための脱酸素化工程が実施される。
・ バルク基板の湿式酸化は、3分〜20時間の期間にわたって500℃〜1300℃の範囲内の温度において実施され、500nm〜900nmの範囲内の厚さを有する酸化シリコン(SiO2)の層を形成する。
・ バルク基板の乾式酸化は、約2分〜15分の期間にわたって500℃〜1100℃の範囲内の温度において実施され、10〜60nmの範囲内の厚さを有する酸化シリコン(SiO2)の層を形成する。
・ 乾式酸化は、5分間にわたって950℃の温度で実施される。
・ 脱酸素化は、フッ化水素酸(HF)処理によって実施される。
・ 結晶欠陥を拡大する工程は、30秒から3分の範囲内の期間にわたって100℃から1300℃までの温度における急速熱プロセス(RTP)型の熱処理を含む。
・ 急速熱処理は、アルゴンおよび/または水素の存在下で実施される急速熱アニール(RTA)型を有する。
・ 急速熱処理は、酸素の存在下で実施される急速熱酸化(RTO)型を有する。
・ 結晶欠陥を拡大する工程は、3分から10時間にわたり、1100℃〜1250℃の温度において、中性および/または水素雰囲気中における「バッチ式炉アニール(batch furnace anneal)」と称する熱処理を含む。
・ 結晶欠陥を拡大する工程の後に、1〜6マイクロメートル厚のシリコンの層を、エピタキシャル成長によって前記バルク基板上に堆積させ、前記欠陥の顕在化をさらに促進する。
・ 前記方法によってバルク基板中の前記結晶欠陥を顕在化する工程;
・ 計数装置を用いて単位面積当たりの顕在化した結晶欠陥を計数し、前記バルク基板中の結晶欠陥密度を決定する工程
からなる。
バルク基板は、非還元雰囲気中、約500℃〜約1300℃の範囲内、好ましくは900℃から1300℃の範囲内の温度において、「顕在化熱処理」と称する熱処理を受ける。
これは、前述の顕在化熱処理によって顕在化しなかった欠陥を拡大する工程からなる。
RTPとして知られるこの方法は、分析される基板を急速アニーリング炉内に配置する工程からなる。
「バッチ式アニーリング」として知られる、このバッチ炉熱処理は、中性ガス(アルゴンまたは窒素)および/または水素の雰囲気中、1100℃〜1250℃のオーダーの温度において、数分から数時間(たとえば3分から10時間)にわたって実施される。
これは、バルク基板上にシリコンの層を成長させて、小さすぎる欠陥を拡大することを意図するエピタキシャル成長である。それによって堆積されるシリコン層の厚さは、数マイクロメートルのオーダー(たとえば1〜6マイクロメートル)を有する。
Claims (18)
- バルクシリコン基板中の結晶欠陥の密度を測定する方法であって、前記結晶欠陥は0.13μm未満の平均直径を有し、前記方法は、
前記バルクシリコン基板を、500℃〜1300℃の範囲内の温度において非還元性雰囲気中で実施される、顕在化熱処理にかける工程と、
前記顕在化熱処理によって顕在化された前記結晶欠陥を拡大する工程と、
計数装置を用いて単位面積当たりの拡大された結晶欠陥を計数して、前記バルクシリコン基板中の結晶欠陥の密度を決定する工程と
を含み、
前記顕在化熱処理はガス混合物を含む容器中で実施され、該ガス混合物は、該容器中に存在するガス混合物の全体積を基準として少なくとも10ppmの酸素、アルゴンまたは窒素あるいはそれら2つの混合物を含み、前記顕在化熱処理は、少なくとも3分間にわたって実施され、前記顕在化熱処理に続いて、前記フッ化水素酸(HF)処理による脱酸素化工程が実施されることを特徴とする方法。 - バルクシリコン基板中の結晶欠陥の密度を測定する方法であって、前記結晶欠陥は0.13μm未満の平均直径を有し、前記方法は、
前記バルクシリコン基板を、500℃〜1300℃の範囲内の温度において非還元性雰囲気中で実施される、顕在化熱処理にかける工程と、
前記顕在化熱処理によって顕在化された前記結晶欠陥を拡大する工程と、
計数装置を用いて単位面積当たりの拡大された結晶欠陥を計数して、前記バルクシリコン基板中の結晶欠陥の密度を決定する工程と
を含み、
前記顕在化熱処理は、アルゴンまたは窒素あるいはそれら2つの混合物を含むガス混合物を含む容器中で少なくとも3分間にわたって実施され、前記顕在化熱処理に先立って乾式酸化が実施され、および前記顕在化熱処理に続いて、その前に形成した酸化物層を完全に除去する脱酸素化工程が実施され、前記脱酸素化工程がフッ化水素酸(HF)処理によって実施されることを特徴とする方法。 - 前記顕在化熱処理は、6時間にわたって、950℃の温度において実施されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- バルクシリコン基板中の結晶欠陥の密度を測定する方法であって、前記結晶欠陥は0.13μm未満の平均直径を有し、前記方法は、
前記バルクシリコン基板を、500℃〜1300℃の範囲内の温度において非還元性雰囲気中で実施される、顕在化熱処理にかける工程と、
前記顕在化熱処理によって顕在化された前記結晶欠陥を拡大する工程と、
計数装置を用いて単位面積当たりの拡大された結晶欠陥を計数して、前記バルクシリコン基板中の結晶欠陥の密度を決定する工程と
を含み、
前記顕在化熱処理は、酸素に加えて任意選択的にアルゴン、窒素またはそれら2つの混合物を含む雰囲気中で実施される基板の乾式および/または湿式熱酸化を含み、前記酸化に続いて、その前に形成した酸化物層を完全に除去する脱酸素化工程が実施され、前記脱酸素化工程がフッ化水素酸(HF)処理によって実施されることを特徴とする方法。 - 前記バルクシリコン基板の前記湿式酸化が、3分〜20時間の期間にわたって、500℃〜1300℃の範囲内の温度において実施され、500nm〜900nmの範囲内の厚さを有する酸化シリコン(SiO2)の層を形成することを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記バルクシリコン基板の前記乾式酸化が、2分〜15分の期間にわたって、500℃〜1100℃の範囲内の温度において実施され、10〜60nmの厚さを有する酸化シリコン(SiO2)の層を形成することを特徴とする請求項2から4のいずれかに記載の方法。
- 前記乾式酸化が、5分間にわたって950℃の温度で実施されることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記結晶欠陥を拡大する工程は、30秒から3分の範囲内の期間にわたる100℃から1300℃までの温度におけるRTP型の急速熱処理を含むことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の方法。
- 該急速熱処理が、アルゴンおよび/または水素の存在下で実施される急速熱アニーリング(RTA)型であることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 該急速熱処理が、酸素の存在下で実施される急速熱酸化(RTO)型であることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記結晶欠陥を拡大する工程は、3分から10時間にわたり、1100℃〜1250℃の温度における、中性および/または水素雰囲気中での、バッチ式炉アニールを含むことを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の方法。
- 前記結晶欠陥を拡大する工程の後に、前記バルクシリコン基板上に、厚さ1〜6マイクロメートルのシリコン層をエピタクシャル成長により堆積させ、前記欠陥の顕在化をさらに促進することを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の方法。
- 前記計数装置は、顕微鏡および計数器を含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記計数装置は、原子間力顕微鏡を含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記計数装置は、レーザー表面分析装置を含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記計数装置は、光散乱トモグラフィー装置(LST)を含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- 前記計数装置は、走査赤外顕微鏡(SIRM)を含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の方法。
- チョクラルスキー型引き上げ法により得られるインゴットからバルクシリコン基板を作製する方法であって、前記方法は、
前記バルクシリコン基板を、500℃〜1300℃の範囲内の温度において非還元性雰囲気中で実施される、顕在化熱処理にかける工程と、
前記顕在化熱処理によって顕在化された前記結晶欠陥を拡大する工程と、
を含み、
前記顕在化熱処理は、以下の(a)または(b)のいずれかの方法:
(a) 前記顕在化熱処理は、アルゴンまたは窒素あるいはそれら2つの混合物を含むガス混合物を含む容器中で少なくとも3分間にわたって実施され、前記顕在化熱処理に先立って乾式酸化処理が実施され、および前記顕在化熱処理に続いて、その前に形成した酸化物層を完全に除去する脱酸素化工程が実施され、前記脱酸素化工程がフッ化水素酸(HF)処理によって実施される方法;
(b) 前記顕在化熱処理は、酸素に加えて任意選択的にアルゴン、窒素またはそれら2つの混合物を含む雰囲気中で実施される基板の乾式および/または湿式熱酸化を含み、前記酸化に続いて、その前に形成した酸化物層を完全に除去する脱酸素化工程が実施され、前記脱酸素化工程がフッ化水素酸(HF)処理によって実施される方法
で実施されることを特徴とする方法。
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