JP5029826B2 - プローブピンの接触検査方法およびtftアレイ検査装置 - Google Patents
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- プローバを介してTFTアレイ基板に駆動信号を給電してパネルを駆動し、当該パネルの電圧状態によってTFTアレイ基板を検査するTFTアレイ検査装置において、前記プローバのプローブピンと電極との電気的接触状態を検査するプローブピンの接触検査方法であって、
前記プローブピンを介してTFTアレイ基板に給電する駆動信号の駆動波形の変化を求め、当該駆動波形変化に基づいてプローブピンと電極との電気的接触状態を検査することを特徴とするプローブピンの接触検査方法。 - 前記駆動波形変化は、前記駆動信号の給電時の駆動波形の波形歪みの歪み時間であり、
前記プローブピンと電極との電気的接触状態の検査を、前記歪み時間がTFTアレイ基板に設けられた複数のパネルの内で接触が良好であるパネルの面数に応じて比例的に増減にすることに基づいて行うことを特徴とする、請求項1に記載のプローブピンの接触検査方法。 - TFTアレイ基板に駆動信号を給電してパネルを駆動し、当該パネルの電圧状態によってTFTアレイ基板を検査するTFTアレイ検査装置において、
前記TFTアレイを駆動する駆動信号を生成するTFT駆動回路と、
TFTアレイ基板の電極と接触して前記駆動信号をTFTアレイ基板に給電するプローバと、
前記駆動信号の駆動波形の時間変化を目視で観察可能とする駆動波形観察装置とを備え、
前記駆動波形観察装置は、前記駆動波形の時間変化からプローブピンと電極との電気的接触状態を検査することを特徴とする、TFTアレイ検査装置。 - 前記駆動波形変化は、前記駆動信号の給電時の駆動波形の波形歪みの歪み時間であり、
前記駆動波形観察装置は、前記駆動波形を表示し、
駆動波形の波形歪みの歪み時間とTFTアレイ基板に設けられた複数のパネルの内で接触が良好であるパネルの面数との比例的な増減関係に基づいて、前記表示された駆動波形の波形歪みの歪み時間からプローブピンと電極との電気的接触状態を検査することを特徴とする、請求項3に記載のTFTアレイ検査装置。 - TFTアレイ基板に駆動信号を給電してパネルを駆動し、当該パネルの電圧状態によってTFTアレイ基板を検査するTFTアレイ検査装置において、
前記TFTアレイを駆動する駆動信号を生成するTFT駆動回路と、
TFTアレイ基板の電極と接触して前記駆動信号をTFTアレイ基板に給電するプローバと、
前記駆動信号の駆動波形の時間変化を測定する駆動波形測定装置とを備え、
前記駆動波形測定装置は、前記測定した駆動波形の時間変化からプローブピンと電極との電気的接触状態を検査することを特徴とする、TFTアレイ検査装置。 - 前記駆動波形変化は、前記駆動信号の給電時の駆動波形の波形歪みの歪み時間であり、
前記駆動波形測定装置は、前記歪み時間を測定し、
駆動波形の波形歪みの歪み時間とTFTアレイ基板に設けられた複数のパネルの内で接触が良好であるパネルの面数との比例的な増減関係に基づいて、前記測定された駆動波形の波形歪みの歪み時間からプローブピンと電極との電気的接触状態を検査することを特徴とする、請求項5に記載のTFTアレイ検査装置。 - 前記TFTアレイ基板に給電する駆動信号の電流を制限する電流制限回路を備え、前記駆動波形の時間変化幅を延ばすことを特徴とする、請求項3から6の何れかに記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記駆動波形測定装置は、駆動信号を印加してから所定電圧に上昇するまでの時間幅、又は、駆動信号を印加してから所定電圧に上昇するまでの時間幅の基準時間幅に対する比率を測定することを特徴とする、請求項5又は6に記載のTFTアレイ検査装置。
- 前記駆動波形測定装置は、駆動信号の印加を停止してから所定電圧に下降するまでの時間幅、又は、駆動信号の印加を停止してから所定電圧に下降するまでの時間幅の基準時間幅に対する比率を測定することを特徴とする、請求項5又は6に記載のTFTアレイ検査装置。
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