JP4622560B2 - 液晶アレイ検査装置 - Google Patents
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- 複数本のラインと複数の電極が設けられ、前記ラインは前記電極の何れか一つの電極に接続されてなる液晶基板に対し、前記各電極にプローバフレームが備える複数のプローブピンの何れか一つを接触させ各電極に接続される各ラインに検査信号を供給し、前記液晶基板上に形成された液晶アレイを検査する液晶アレイ検査装置において、
前記プローブピンと前記電極との間の接触状態の良・不良による測定信号強度の強度分布のレベルの違いを識別するしきい値を定めておき、
パネル上で電子線を走査させ、検出器によってパネル上の二次元の測定信号強度の分布を取得し、
前記パネル上の二次元の測定信号強度から各ラインの測定信号強度の強度分布のレベルを求め、
前記求めた強度分布のレベルを前記しきい値と比較し、
前記比較によって、各電極に接続される各ラインの中から、前記接触状態が不良である場合の強度分布のレベルを有するラインを不良ラインとして抽出し、
各電極に接続される複数本のラインの中から不良ラインとして抽出したラインの本数を求める不良ライン抽出手段と、
前記不良ラインとして抽出したラインの本数に基づいて前記電極と前記プローブピンとの接触状態の良・不良を判定する接触状態判定手段とを備えることを特徴とする、液晶アレイ検査装置。 - 前記不良ライン抽出手段は、
パネル上の二次元の測定信号強度の分布から読み出した各ラインに含まれる測定点の測定信号強度を用いて当該ラインの測定信号強度の平均強度を算出する平均強度演算部と、
前記平均強度と第1のしきい値とを比較する強度比較部と、
前記強度比較部の比較結果に基づいて、接触不良と判定した不良ラインの数を計数する不良ライン計数部とを備えることを特徴とする、請求項1に記載の液晶アレイ検査装置。 - 前記第1のしきい値は、接触不良時の前記ラインの測定信号強度の平均値に許容値を加えた値、又は接触良好時測定信号強度の平均値から所定値を差し引いた値により設定し、
前記強度比較部は、前記平均強度演算部が算出した平均強度が第1のしきい値よりも小さい場合に、当該ラインを不良ラインと判定することを特徴とする、請求項2に記載の液晶アレイ検査装置。 - 不良ライン抽出手段は、
各ラインに含まれる測定点の測定信号強度と第3のしきい値とを比較する強度比較部と、前記強度比較部の比較結果に基づいて接触不良と判定した測定点の数を計数する測定点計数部と、
前記測定点計数部の測定点の計数値と第4のしきい値とを比較する測定点数比較部と、
前記測定点数比較部の比較結果に基づいて接触不良と判定した不良ライン数を計数する不良ライン計数部とを備え、
第3のしきい値は、一ライン中において接触の良不良を判定するために、ライン上の測定点の測定信号強度と比較するための値であり、
第4のしきい値は、ラインの良不良を判定するために、測定点計数部で計数した測定点の個数と比較するための値であることを特徴とする、請求項1に記載の液晶アレイ検査装置。 - 前記第3のしきい値は、接触不良時の測定信号強度の平均値又は中心値に所定値を加えた値、あるは接触良好時の測定信号強度の平均値又は中心値から所定値を差し引いた値に設定し、
前記強度比較部は、測定信号強度が第3のしきい値よりも小さい場合に当該測定点を接触不良と判定し、
前記第4のしきい値は接触不良とみなす測定点数であり、
前記測定点比較部は測定点の計数値が第4のしきい値よりも大きい場合に当該ラインを不良ラインと判定することを特徴とする、請求項4に記載の液晶アレイ検査装置。 - 前記接触状態判定手段は、
前記不良ライン数計数部が計数した不良ライン数と接触良と接触不良とを識別するための異なる2つの値を有する第2のしきい値とを比較するライン数比較部を備え、
前記ライン数比較部は、前記不良ライン数が前記第2のしきい値が定める範囲内である場合に前記接触状態を接触不良と判定することを特徴とする、請求項1乃至5の何れかに記載の液晶アレイ検査装置。 - 前記接触状態判定手段のライン数比較部は、
前記不良ライン数が前記第2のしきい値の異なる2つの値が定める範囲以上である場合に前記液晶アレイの欠陥と判定することを特徴とする、請求項6に記載の液晶アレイ検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006215493A JP2006215493A (ja) | 2006-08-17 |
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JP2005030908A Expired - Fee Related JP4622560B2 (ja) | 2005-02-07 | 2005-02-07 | 液晶アレイ検査装置 |
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JP (1) | JP4622560B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5029826B2 (ja) * | 2007-10-04 | 2012-09-19 | 株式会社島津製作所 | プローブピンの接触検査方法およびtftアレイ検査装置 |
JP5163948B2 (ja) * | 2008-04-28 | 2013-03-13 | 株式会社島津製作所 | 走査ビーム検査装置、および欠陥検出の信号処理方法 |
JP5287445B2 (ja) * | 2009-04-08 | 2013-09-11 | 株式会社島津製作所 | Tftアレイ検査装置およびtftアレイ検査方法 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11237847A (ja) * | 1998-02-24 | 1999-08-31 | Sharp Corp | 液晶パネルの自動検査装置 |
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JPH11237847A (ja) * | 1998-02-24 | 1999-08-31 | Sharp Corp | 液晶パネルの自動検査装置 |
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